JP2005010145A - サーボ型振動検出器及びサーボ型振動検出器の零点補正方法 - Google Patents
サーボ型振動検出器及びサーボ型振動検出器の零点補正方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 支持部(6)により弾性的に支持され、外乱振動により変位する振子(2)を零点補正する零点補正駆動コイル(32)、振子をフィードバック制御する変位側駆動コイル(33)及び速度側駆動コイル(34)を有する駆動部(3)と、振子の零点位置からの変位を検出する変位検出部(4)と、変位検出部から出力される静止状態における振子信号の変位に基づいて設定された零点補正量に応じて零点補正駆動コイルに電流を供給して、振子を零点位置に戻す制御を行う零点補正制御手段(52、53)、変位検出部から出力される振子の変位信号に基づいて設定されたフィードバック量に応じてフィードバック駆動コイルに電流を供給するフィードバック制御手段(54、55、56、57)と、を備えた。
【選択図】図2
Description
図3は、従来のサーボ型振動検出器10の要部構成を示すブロック図である。サーボ型振動検出器10は、板ばね等の弾性部材(図示省略)に支持され、外乱振動によって変位する振子20と、振子20の振動を検出する変位検出部40と、振子20を駆動させる駆動部30と、駆動部30を制御するサーボアンプ50などから構成されている。
そして、振子20が振動して可動極板が変位すると、変位検出部40は、変位に応じて可動極板と固定極板間の静電容量の変化を検出して、この静電容量の変化を電圧に変換して、変位信号としてサーボアンプ5に出力する。
サーボアンプ50は、変位検出部40から出力された変位信号に基づいて、振子20を零点位置に戻すための電磁力を付与するため、駆動部30のフィードバック駆動コイル301の電流量制御を行う。
このとき、駆動コイル301に供給された電流を測定することによって、加速度などの振動量を検出する。
支持部(6)により弾性的に支持され、外乱振動により変位する振子(2)と、
前記振子を零点補正する零点補正駆動コイル(32)及び前記振子をフィードバック制御するフィードバック駆動コイル(例えば、変位側駆動コイル33、速度側駆動コイル34)を有する駆動部(3)と、
前記振子の零点位置からの変位を検出する変位検出部(4)と、
前記変位検出部から出力される静止状態における前記振子の変位信号に基づいて設定された零点補正量に応じて前記零点補正駆動コイルに電流を供給して、前記振子を零点位置に戻す零点補正制御手段(例えば、零点補正制御回路52、零点補正駆動回路53)と、
前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号に基づいて設定されたフィードバック量に応じて前記フィードバック駆動コイルに電流を供給するフィードバック制御手段(例えば、変位側制御回路54、変位側駆動回路55、速度側制御回路56、速度側駆動回路57)と、を備えることを特徴とする。
前記フィードバック駆動コイルは、変位側駆動コイル(33)及び速度側駆動コイル(34)から構成され、
前記フィードバック制御手段は、前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号に基づいて設定された変位フィードバック量に応じて前記変位側駆動コイルに電流を供給する変位フィードバック制御手段(例えば、変位側制御回路54、変位側駆動回路55)と、
前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号から前記振子の速度を算出し、当該速度に基づいて設定された速度フィードバック量に応じて前記速度側駆動コイルに電流を供給する速度フィードバック制御手段(例えば、速度側制御回路56、速度側駆動回路57)と、を備えることを特徴とする。
支持部(6)により弾性的に支持され、外乱振動により変位する振子(2)と、
外乱振動により変位した前記振子を零点位置に戻すためのフィードバック駆動コイル(例えば、変位側駆動コイル33、速度側駆動コイル34)を有する駆動部(3)と、
前記振子の零点位置からの変位を検出する変位検出部(4)と、
前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号に基づいて設定されたフィードバック量に応じて前記フィードバック駆動コイルに電流を供給して、前記振子を零点位置に戻すフィードバック制御手段(例えば、変位側制御回路54、変位側駆動回路55、速度側制御回路56、速度側駆動回路57)と、
を備えるサーボ型振動検出器の零点補正方法であって、
前記駆動部に前記振子の零点補正を行うための零点補正駆動コイル(32)を設け、
前記変位検出部から出力される静止状態における前記振子の変位信号に基づいて設定された零点補正量に応じて前記零点補正駆動コイルに電流を供給することにより前記振子の零点補正を行うことを特徴とする。
支持部(6)により弾性的に支持され、外乱振動により変位する振子(2)と、
外乱振動により変位した前記振子を零点位置に戻すための変位側駆動コイル(33)及び速度側駆動コイル(34)を有する駆動部(3)と、
前記振子の零点位置からの変位を検出する変位検出部(4)と、
前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号に基づいて設定された変位フィードバック量に応じて前記変位側駆動コイルに電流を供給し、前記振子を零点位置に戻す変位フィードバック制御手段(例えば、変位側制御回路54、変位側駆動回路55)と、
前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号から前記振子の速度を算出し、当該速度に基づいて設定された速度フィードバック量に応じて前記速度側駆動コイルに電流を供給し、前記振子を零点位置に戻す速度フィードバック制御手段(例えば、速度側制御回路56、速度側駆動回路57)と、
を備えるサーボ型振動検出器の零点補正方法であって、
前記駆動部に前記振子の零点補正を行うための零点補正駆動コイル(32)を設け、
前記変位検出部から出力される静止状態における前記振子の変位信号に基づいて設定された零点補正量に応じて前記零点補正駆動コイルに電流を供給することにより前記振子の零点補正を行うことを特徴とする。
また、変位検出部から出力される静止状態における振子の変位信号に基づいて設定された零点補正量に応じて零点補正駆動コイルに電流を供給し、零点補正駆動コイルに働く電磁力のみにより前記振子の零点補正を行う。従って、零点補正のために振子を付勢する弾性部材(例えば、板ばね等)を検出器内に組み込む必要がなくなり、検出器同士の機差を低減させることができることとなって、感度調整、振動数特性調整等に要する時間も削減することができる。
また、変位検出部から出力される静止状態における振子の変位信号に基づいて設定された零点補正量に応じて零点補正駆動コイルに電流を供給し、零点補正駆動コイルに働く電磁力のみにより振子の零点補正を行うので、零点補正専用の弾性部材等を検出器内に組み込むことなく零点補正を行うことができる。従って、零点補正のために振子を付勢する弾性部材(例えば、板ばね等)を検出器内に組み込む必要がなくなり、検出器同士の機差を低減させることができることとなって、感度調整、振動数特性調整等に要する時間も削減することができる。
そして、振子2が振動して可動極板41が変位すると、変位検出部4は、変位に応じて可動極板41と固定極板42の静電容量の変化を検出して、この静電容量の変化を電圧に変換して、変位信号としてサーボアンプ5に出力する。
零点補正駆動回路53は、零点補正制御回路52から出力された零点補正制御信号に基づいて、振子2を零点補正するための零点補正駆動信号を生成して、駆動電源(図示省略)に出力する回路である。
零点補正駆動コイル32は、零点補正駆動信号に応じた電流が駆動電源から供給されることによって電磁力を発生させて振子2を零点位置に戻すことにより零点補正を行うためのコイルである。
このように、零点補正制御回路52、零点補正駆動回路53は零点補正制御手段として機能する。
なお、先に零点補正制御回路52及び零点補正駆動回路53と零点補正駆動コイル32の巻数とを設計後、零点補正駆動コイル32に働く電磁力のみによって振子2が零点補正されるように、振子2の質量を決定してもよい。
変位側駆動回路55は、変位側制御回路54から出力された変位側制御信号に基づいて、振子2を零点位置に戻すための変位側駆動信号を生成して、駆動電源(図示省略)に出力する回路である。
変位側駆動コイル33は、変位側駆動信号に応じた電流が駆動電源から供給されることによって振子2を零点位置に戻すコイルである。
速度側駆動回路57は、速度側制御回路56から出力された速度側制御信号に基づいて速度側駆動信号を生成して、駆動電源(図示省略)出力する回路である。
速度側駆動コイル34は、速度側駆動信号に応じた電流が駆動電源から供給されることによって振子2を零点位置に戻すコイルである。
SW1をOFFにすると、変位フィードバック制御及び速度フィードバック制御をかけることなく振子2の零点補正のみを行う状態になり、SW1をONに、SW2をOFFにすると、零点補正及び変位フィードバック制御が機能する状態になる。
振子2が静止状態で零点位置からずれている場合には、変位検出部4がその変位を検出して、サーボアンプ5に出力する。次いで、サーボアンプ5内の増幅器51が静止状態における振子2の変位信号を増幅し、その後に零点補正制御回路52に出力する。零点補正制御回路52は、出力された変位に基づいて零点補正制御信号を生成し、その零点補正制御信号を零点補正駆動回路53に出力する。零点補正駆動回路53は、入力された零点補正制御信号に基づいて零点補正駆動信号を生成し、その零点補正駆動信号を駆動電源(図示省略)に出力する。そして駆動電源が零点補正駆動信号に応じた電流を零点補正駆動コイル32に供給することによって、振子2を零点位置に戻す。
2 振子
3 駆動部
4 変位検出部
5 サーボアンプ
6 支持部
32 零点補正駆動コイル
33 変位側駆動コイル
34 速度側駆動コイル
52 零点補正制御回路(零点補正制御手段)
53 零点補正駆動回路(零点補正制御手段)
54 変位側制御回路(フィードバック制御手段、変位フィードバック制御手段)
55 変位側駆動回路(フィードバック制御手段、変位フィードバック制御手段)
56 速度側制御回路(フィードバック制御手段、速度フィードバック制御手段)
57 速度側駆動回路(フィードバック制御手段、速度フィードバック制御手段)
Claims (4)
- 支持部により弾性的に支持され、外乱振動により変位する振子と、
前記振子の零点補正を行うための零点補正駆動コイル及び外乱振動により変位した前記振子を零点位置に戻すためのフィードバック駆動コイルを有する駆動部と、
前記振子の零点位置からの変位を検出する変位検出部と、
前記変位検出部から出力される静止状態における前記振子の変位信号に基づいて設定された零点補正量に応じて前記零点補正駆動コイルに電流を供給して、前記振子を零点位置に戻す零点補正制御手段と、
前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号に基づいて設定されたフィードバック量に応じて前記フィードバック駆動コイルに電流を供給して、前記振子を零点位置に戻すフィードバック制御手段と、を備えることを特徴とするサーボ型振動検出器。 - 前記フィードバック駆動コイルは、変位側駆動コイル及び速度側駆動コイルから構成され、
前記フィードバック制御手段は、前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号に基づいて設定された変位フィードバック量に応じて変位側駆動コイルに電流を供給する変位フィードバック制御手段と、
前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号から前記振子の速度を算出し、当該速度に基づいて設定された速度フィードバック量に応じて速度側駆動コイルに電流を供給する速度フィードバック制御手段と、を備えることを特徴とする請求項1記載のサーボ型振動検出器。 - 支持部により弾性的に支持され、外乱振動により変位する振子と、
外乱振動により変位した前記振子を零点位置に戻すためのフィードバック駆動コイルを有する駆動部と、
前記振子の零点位置からの変位を検出する変位検出部と、
前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号に基づいて設定されたフィードバック量に応じて前記フィードバック駆動コイルに電流を供給して、前記振子を零点位置に戻すフィードバック制御手段と、
を備えるサーボ型振動検出器の零点補正方法であって、
前記駆動部に前記振子の零点補正を行うための零点補正駆動コイルを設け、
前記変位検出部から出力される静止状態における前記振子の変位信号に基づいて設定された零点補正量に応じて前記零点補正駆動コイルに電流を供給することにより前記振子の零点補正を行うことを特徴とするサーボ型振動検出器の零点補正方法。 - 支持部により弾性的に支持され、外乱振動により変位する振子と、
外乱振動により変位した前記振子を零点位置に戻すための変位側駆動コイル及び速度側駆動コイルを有する駆動部と、
前記振子の零点位置からの変位を検出する変位検出部と、
前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号に基づいて設定された変位フィードバック量に応じて前記変位側駆動コイルに電流を供給し、前記振子を零点位置に戻す変位フィードバック制御手段と、
前記変位検出部から出力される前記振子の変位信号から前記振子の速度を算出し、当該速度に基づいて設定された速度フィードバック量に応じて前記速度側駆動コイルに電流を供給し、前記振子を零点位置に戻す速度フィードバック制御手段と、
を備えるサーボ型振動検出器の零点補正方法であって、
前記駆動部に前記振子の零点補正を行うための零点補正駆動コイルを設け、
前記変位検出部から出力される静止状態における前記振子の変位信号に基づいて設定された零点補正量に応じて前記零点補正駆動コイルに電流を供給することにより前記振子の零点補正を行うことを特徴とするサーボ型振動検出器の零点補正方法。
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JP2015087340A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | 株式会社ミツトヨ | 加速度・速度検出器及び加速度・速度検出方法 |
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CN114183334A (zh) * | 2021-11-03 | 2022-03-15 | 内蒙古北方重工业集团有限公司 | 径向柱塞泵放大板调试抑制零位漂移方法 |
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---|---|---|---|---|
JP2010271324A (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | Schlumberger Holdings Ltd | 地震信号検出のための方法及びシステム |
US9554197B2 (en) | 2012-06-25 | 2017-01-24 | Lg Electronics Inc. | Apparatus and method for processing an interactive service |
US9794645B2 (en) | 2012-06-25 | 2017-10-17 | Lg Electronics Inc. | Apparatus and method for processing an interactive service |
JP2015087340A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | 株式会社ミツトヨ | 加速度・速度検出器及び加速度・速度検出方法 |
CN114183334A (zh) * | 2021-11-03 | 2022-03-15 | 内蒙古北方重工业集团有限公司 | 径向柱塞泵放大板调试抑制零位漂移方法 |
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