JP3602434B2 - 高精度移動機構 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウェハ等の表面形状を精密に測定するための微細形状測定装置、その他の装置に用いられる高精度移動機構に関する。
【0002】
【背景技術】
従来より、LSI、その他の半導体ウェハ等の表面形状の精密測定において、被測定物と、この被測定物表面に接触する触針との間に作用する測定力を所定値以下に維持することは、極めて重要なニーズとなっている。これは測定力を所定値以下に維持することで、被測定物および触針にダメージを与えず、かつ、被測定物の表面形状を触針の動きに正確に反映できるようになるからである。そして、このようなニーズに応えるため、半導体ウェハ等の表面形状の精密測定においては、測定力を所定値以下に制御する機構を備えた特殊な測定装置が用いられている。
【0003】
以上のニーズを満たす測定装置として、本件出願人は、微細形状測定装置を特願2000−70216号で提案した。
この装置は、加振型触針が取り付けられた微動機構と、この微動機構および触針を移動する粗動機構との2種類の移動機構を備えて構成されている。微動機構は、加振型触針をナノメートルオーダからマイクロメートルオーダまでの範囲において移動させるものであり、粗動機構は、加振型触針をマイクロメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲において移動させるものであって、これらの移動機構を組み合わせることにより、加振型触針をナノメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲において移動させるものである。
【0004】
微動機構は圧電素子をアクチュエータとし、粗動機構は磁界中をコイルが動く可動コイル型アクチュエータとしている。
加振型触針は微動機構の高速動作で表面粗さに追従し、粗動機構の大変位動作で表面のうねり形状に追従する。微動機構の変位と粗動機構の変位との和が触針の変位となり、この変位は加振型触針と微動機構の間に配置された変位検出器により検出される。微動機構と粗動機構とは直線運動をするように板ばねで支持されている。
【0005】
微動機構は、固定部と、この固定部を中心に配置されそれぞれ圧電素子からなる駆動用可動部およびバランス用可動部とを備える。
駆動用可動部には載置台を介して加振型触針が設けられ、さらに、静電容量型変位センサの可動電極が駆動用可動部に設けられている。この可動電極と所定の間隔を隔てて固定電極が対向配置されている。駆動用圧電素子は保持体を介して粗動機構の可動部に固定されている。
【0006】
可動電極および固定電極から変位検出器が構成され、加振型触針の動き、つまり、駆動用可動部の動きは固定電極と可動電極との間の静電容量を検出することによって知ることができる。
一方、固定部の上部にはバランス用圧電素子が固定部に対して対称となる位置に配置されており、その先端にはバランサが設けられている。駆動用圧電素子とバランス用圧電素子とはほぼ同一波形の電圧が印可されており、両者の圧電素子は同時に伸びまたは縮むように動作する。
【0007】
加振型触針の接触部が試料の表面粗さに追従しようとして駆動用圧電素子が急激に伸びる場合を想定すると、その動きは可動電極および加振形触針等の質量を動かそうとするため、その慣性力の反力を固定部に受ける。
しかし、同時にバランス用圧電素子が急激に伸び、同様に、固定部に反力を及ぼす。両者の反力は同一となるように、バランサの質量が決められているので、固定部において反力は相殺される。
従って、加振型触針の試料面に追従するための動きの反力は粗動機構に何らの影響を及ぼさないので、微動機構の制御と粗動機構の制御とは干渉せず、それぞれ高精度の制御ができ、その結果、精度の高い測定が可能となる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
特願2000−70216号で示される微細形状測定装置では、駆動用圧電素子が駆動する質量体は可動電極や加振型触針の合計であるが、その形状が複雑であるため、設計段階での質量を厳密に見積もることが困難であり、このため、バランサの正確な設計は極めて困難であるという問題点がある。
また、部品段階で正確に重量を測定し、バランサと同一質量に調整することは可能であるが、加振型触針を重量の異なるものに変更したりすると、全体のバランスが崩れる虞れがある。
また、厳密に同一質量とすることができたとしても、駆動用圧電素子とバランス用圧電素子の特性が若干でも異なると、バランスを厳密にとることは困難となる。
【0009】
本発明の目的は、微動機構の制御と粗動機構の制御との干渉を十分になくして高精度の制御が行える高精度移動機構を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
そのため、本発明は、微動機構の駆動用可動部の動きの反力が固定部で完全に相殺されるように駆動用圧電素子とバランス用圧電素子に印加する電圧とその位相とを調整して前記目的を達成しようとするものである。
具体的には、本発明の高精度移動機構は、固定部と載置台を印加電圧の変化に応じて高速微細に変位させる駆動用可動部とを有する微動機構と、この微動機構の固定部を変位させる可動部を有する粗動機構とを含み、前記載置台の動きが前記微動機構の動きと前記粗動機構の動きとの和になるように構成された高精度移動機構であって、前記微動機構は、前記駆動用可動部の動作方向と反対の方向に動作するバランス用可動部を備え、前記駆動用可動部の動きの反力が前記粗動機構に伝達されないように前記微動機構の前記駆動用可動部と前記バランス用可動部との少なくとも一方は駆動電圧と位相とを調整する駆動電圧調整回路を備えたことを特徴とする。
【0011】
この構成の本発明によれば、高精度移動機構は、たとえば、ナノメートルオーダからマイクロメートルオーダまでの範囲で載置台を微小変位させる微動機構と、マイクロメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で載置台を大変位させる粗動機構との二つの機構を備えているため、ナノメートルオーダからマイクロメートルオーダまでの範囲で載置台を動作させたいときには微動機構を作動させ、マイクロメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で載置台を動作させたいときには粗動機構を作動させればよい。このように微動機構と粗動機構とを組み合わせて作動させることで載置台の動作をナノメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で容易かつ短時間で制御できる。
【0012】
その上、微動機構には、駆動用可動部の動作方向と反対の方向に動作するバランス用可動部が備えられているため、駆動用可動部が動作した際の固定部への反力は、バランス用可動部が動作して固定部への反力(駆動用可動部の動作によって生じた反力の方向と反対の方向へ作用する力)が生じることで、微動機構の固定部において、駆動用可動部による反力と、バランス用可動部による反力とが相殺される。つまり、微動機構の駆動用可動部による反力が粗動機構の可動部に影響することがない。
しかも、駆動用可動部および載置台等とバランス用可動部との質量的な釣り合いが完全にとれていなくても、駆動電圧調整回路によって、駆動用可動部とバランス用可動部との少なくとも一方に供給される駆動電圧が調整されるため、両者が完全に釣り合うことになる。そのため、微動機構と粗動機構との力学的な相互干渉は完全になくなり、移動精度を向上させることができる。
【0013】
ここで、本発明では、前記微動機構は、圧電素子、磁歪素子等の高速微少変位固定素子を含んで構成されるが好ましい。
この構成では、圧電素子として、たとえば、電歪効果があるPZT(ジルコンチタン酸鉛)の薄板を積層すれば、電気的に制御できる微動機構を容易に構成できる。高速微小変位固体素子としては、PZT等の圧電素子の他、磁歪素子や形状記憶素子等であってもよい。
【0014】
さらに、前記粗動機構は、前記固定部が弾性板ばね、磁気ベアリングまたはエアベアリングによりガイドされている構成が好ましい。
この構成では、粗動機構には潤滑油を必要としない磁気ベアリング、エアベアリングあるいは弾性板ばねを用いているから、清浄な粗動機構を構成でき、半導体ウェハ等の表面形状計測に有効である。
【0015】
また、前記載置台の変位を検出する変位検出手段を設け、前記載置台に、被測定物に接触する触針を取り付けた構成が好ましい。
この構成の本発明では、表面粗さを測定するための微動機構とうねり形状を測定するための粗動機構とを組み合わせることで触針の動作をナノメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で容易かつ短時間で制御できる。
また、微動機構には、バランス用可動部が設けられているため、微動機構と粗動機構との間には力学的な干渉が生じないので、触針が複雑かつ制御不能な変位動作をとることもなく、触針の動作を微動機構および粗動機構で正確に制御できる。これにより、触針に作用する測定力の制御を正確に行うことができて、被測定物および触針へのダメージを低減できるとともに測定精度を高めることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。ここで、各実施形態中、同一構成要素は同一符号を付して説明を省略もしくは簡略にする。
[第1実施形態]
図1には、本発明の第1実施形態に係る高精度移動機構20が適用された微細形状測定装置1の一部断面図が示されている。
図1において、測定装置1は、被測定物Wに接触する触針12を有する触針機構10と、触針12を上下方向(被測定物Wの表面の高さ方向)へ移動させる高精度移動機構20と、この高精度移動機構20による触針12の移動量を検出する変位検出手段30と、触針12に作用する測定力を調整する測定制御回路(図示せず)とを備えている。
【0017】
触針機構10は、先端に被測定物Wに接触する接触部を有しかつホルダに開口内から先端が突出した状態で支持された加振型触針12と、この加振型触針12を軸方向に共振状態で振動させる加振手段(図示せず)と、加振型触針12の接触部が被測定物Wに接触した際に生ずる共振状態の変化を検出する状態量検出手段(図示せず)とを備えている。
加振型触針12は、その軸方向に略対称な構造とされている。
【0018】
高精度移動機構20は、表面粗さを測定するためにナノメートルオーダからマイクロメートルオーダまでの範囲で触針12を微小変位させる微動機構50と、うねり形状を測定するためにマイクロメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で触針12を大変位させる粗動機構60とを備える。
粗動機構60は、固定部51を備え、微動機構50は、固定部51の下面に設けられた駆動用可動部52と、固定部51の上面に設けられたバランス用可動部53とを備えており、駆動用可動部52とバランス用可動部53とは固定部51を基点として反対方向に動作するようになっている。駆動用可動部52の下面側には中間部材54を介して載置台55が取り付けられ、この載置台55の下面にはホルダを介して触針12が設けられている。この触針12の軸方向は被測定物Wの高さ方向(つまり、微動機構50および粗動機構60の動作方向)へ沿っている。また、バランス用可動部53の上面側には、必要に応じてバランサ53Aが設けられている。
【0019】
駆動用可動部52およびバランス用可動部53は、圧電素子(PZT)の薄板を積層してそれぞれ構成されたものであり、略同一構造とされている。このように構成された駆動用可動部52およびバランス用可動部53に、略同一波形の電圧をかけると、両方の圧電素子が同時に伸びる、あるいは同時に縮む。これら駆動用可動部52およびバランス用可動部53は、固定部51を基点として伸縮するので、圧電素子を伸ばすような所定の電圧がかけられると、駆動用可動部52は固定部51を基点として下方向に伸び、バランス用可動部53は固定部51を基点として上方向に延びる。一方、圧電素子を縮ませるような所定の電圧がかけられると、駆動用可動部52は固定部51を基点として上方向に縮み、バランス用可動部53は固定部51を基点として下方向に縮む。
【0020】
これにより、駆動用可動部52が動作した際の固定部51への反力は、バランス用可動部53が動作して固定部51への反力(駆動用可動部52の動作によって生じた反力の方向と反対の方向へ作用する力)が生じることで、微動機構50の固定部51において、駆動用可動部52による反力と、バランス用可動部53による反力とが相殺される。つまり、微動機構50の駆動用可動部52による反力が粗動機構60の可動部62に影響することがない。なお、バランス用可動部53のバランサ53Aの質量は、駆動用可動部52とバランス用可動部53との各反力が同一となるように設定されている。
【0021】
粗動機構60は、ベース(図示せず)に固定されたヨーク61および永久磁石62からなる磁気回路の空隙中を可動コイル63が上下方向へ移動し、この可動コイル63の下端側に微動機構50が設けられることで、微動機構50および触針12が上下方向へ移動する構造となっている。
可動コイル63の下端側にはプレート64が固定され、このプレート64から下方に突出した支持部材65に微動機構50の固定部51が固定されることで、微動機構50が可動コイル63に設けられていることになる。
このような可動コイル63に流す電流量を制御することで、微動機構50および触針12を上下方向へ移動させることができる。可動コイル63の保持は、たとえば、可動コイル63の移動方向へ弾性可能な板ばね66の一端を支持部材65に他端をベース支持部材67に固定することで行われる。
本実施形態では、ヨーク61は粗動機構60の固定部であり、プレート64および支持部材65は粗動機構60の可動部である。
【0022】
変位検出手段30は、微動機構50の駆動用可動部52の下面に中間部材51を介して固定された可動電極31と、この可動電極31に上下方向へ所定間隔を隔てて対向配置された固定電極32とを備え、固定電極32および可動電極31間の静電容量を検出することで、微動機構50および粗動機構60による触針12の移動量を検出する構成である。
固定電極32は、リング状に形成されており、その外周面がベース支持部材67の内周端面部67Aに固定されている。
なお、本実施形態では、変位検出手段30について、光ファイバセンサを備えて構成してもよい。
【0023】
測定制御回路は、微動機構駆動回路50Aおよび粗動機構駆動回路(図示せず)を介して微動機構50および粗動機構60の作動を制御するものである。
微動機構駆動回路50Aは、触針12の先端が被測定物の表面を一定の測定力を維持したまま倣うように触針12を駆動する電圧を発生し、この電圧によって駆動電圧調整回路56を介して微動機構50の作動を制御する。
【0024】
駆動電圧調整回路56は、図2に示される通り、駆動用可動部52に接続された第1の圧電素子駆動回路57Aと、バランス用可動部53に接続された第2の圧電素子駆動回路57Bと、第1の圧電素子駆動回路57Aに供給する電圧を調整する第1の分圧抵抗器58Aと、第2の圧電素子駆動回路57Bに供給する電圧を調整する第2の分圧抵抗器58Bとを備えて構成される。
【0025】
微動機構駆動回路50Aで発生した電圧は、第1の分圧抵抗器58Aと第2の分圧抵抗器58Bとで分圧され、第1の分圧抵抗器58Aから出力された電圧は第1の圧電素子駆動回路57Aで位相を調整し増幅された後、駆動用可動部52に供給され、第2の分圧抵抗器58Bから出力された電圧は第2の圧電素子駆動回路57Bで位相を調整し増幅された後、バランス用可動部53に印加される。ここで、位相を調整する手段は通常の演算増幅器と、この演算増幅器の入力あるいは出力端子に接続される位相特性補償用回路とによって、既知の手法で容易に実現される。
【0026】
ここで、第1の分圧抵抗器58Aと第2の分圧抵抗器58Bとで分圧される電圧は、駆動用可動部52の動きの反力が粗動機構60に伝達されず固定部51で完全に相殺されるように調整される。この調整は、適宜な調整手段を用いて行われる。
なお、第1実施形態では、第1の分圧抵抗器58Aと第2の分圧抵抗器58Bとの2個の分圧抵抗器58A,58Bで電圧調整をしたが、1個の分圧抵抗器を用いてもよい。この場合、抵抗で分圧すると圧電素子駆動回路の入力電圧は微動機構駆動回路50Aの出力電圧より小さくなるので、予め反力が大きい方に調整用の分圧抵抗器を設置する必要がある。
【0027】
このような測定制御回路は、触針12に実際にかかる測定力が所定値より大きくなると、駆動用可動部52の下端面を被測定物Wから離間させるように微動機構駆動回路50Aおよび粗動機構駆動回路に信号を送る。一方、触針12に実際にかかる測定力が所定値より小さくなると、駆動用可動部52の下端面を被測定物Wに接近させて触針12を被測定物Wに押圧するように微動機構駆動回路50Aおよび粗動機構駆動回路に信号を送る。
このような微細形状測定装置1では、触針12を被測定物Wの表面に所定の測定力で接触させるとともに、当該表面に沿って触針12を移動させることで測定作業が行われる。
【0028】
次に、本発明における具体的電圧調整法を図3に基づいて説明する。
図3には、本発明の電圧調整法を説明するための概略構成が示されている。図3において、駆動電圧調整回路56は、第1の圧電素子駆動回路57Cと、第2の圧電素子駆動回路57Dと、この第2の圧電素子駆動回路57Dに供給される電圧のゲインと位相を調整するゲイン位相調整回路58Cと、このゲイン位相調整回路58Cと第1の圧電素子駆動回路57Cに増幅した電圧を供給する増幅器58Dと、この増幅器58Dに正弦波で変化する電圧を供給する発振器58Eとを備えて構成されている。
【0029】
発振器58Eから出力された正弦波を、増幅器58Dで増幅した後2つに分け、そのうち、1つは第1の圧電素子駆動回路57Cを介して駆動用可動部52を動かし、残り1つは、ゲイン位相調整回路58Cおよび第2の圧電素子駆動回路57Dを介してバランス用可動部53を動かす。ここで、駆動用可動部52とバランス用可動部53との反力が等しくない場合には、発振器58Dの発信周波数を適宜選択することで共振振動現象が起こる。この共振現象は粗動機構60の可動部(プレート64および支持部材65)を質量とし、板ばね66をばねとする振動現象である。
【0030】
このときの振幅の大きさは駆動用可動部52とバランス用可動部53とのバランスの程度に比例するため、振幅を変位検出手段30に接続されたオシロスコープ58Fでモニタし、振幅ができるだけ小さくなるようにゲイン位相調整回路58Cのゲインと位相を調整する。
次に、ここで、得られたゲインをもとに、図2に示す駆動電圧調整機構56における分圧抵抗器58A,58Bの値を決定すればよい。なお、具体的電圧調整法におけるゲイン位相調整回路58C、増幅器58Dの構成を図2に示される駆動電圧調整機構56に用いてもよい。
【0031】
上述のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
(1)微細形状測定装置1は、ナノメートルオーダからマイクロメートルオーダまでの範囲で触針12を微小変位させる微動機構50と、マイクロメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で触針12を大変位させる粗動機構60との二つの機構を備えているので、微動機構50と粗動機構60とを組み合わせて作動させることで触針12の動作をナノメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で容易かつ短時間で制御できる。
その上、微動機構50には、微動機構50の駆動用可動部52と略同一構造に構成されて駆動用可動部52の動作方向と反対の方向に動作するバランス用可動部53が設けられているため、駆動用可動部52が動作した際の固定部51への反力は、バランス用可動部53が動作して固定部51への反力(駆動用可動部52の動作によって生じた反力の方向と反対の方向へ作用する力)が生じることで、微動機構50の固定部51において、駆動用可動部52による反力と、バランス用可動部53による反力とが相殺される。
【0032】
しかも、駆動用可動部52、載置台55および触針12等とバランス用可動部53との質量的な釣り合いが完全にとれていなくても、駆動電圧調整回路56によって、駆動用可動部52とバランス用可動部53との少なくとも一方に供給される駆動電圧が調整されるため、両者が完全に釣り合うことになる。
つまり、微動機構50の駆動用可動部52による反力が粗動機構60の可動部62に影響することがなくなり、微動機構50と粗動機構60との間には力学的な干渉が生じないので、触針12が複雑かつ制御不能な変位動作をとることもなく、触針12の動作を微動機構50および粗動機構60で正確に制御できる。これにより、触針12に作用する測定力の制御を正確に行うことができて、被測定物Wおよび触針12へのダメージを低減できるとともに測定精度を高めることができる。
【0033】
(2)駆動電圧調整回路56を、駆動用可動部52に接続された第1の圧電素子駆動回路57Aと、バランス用可動部53に接続された第2の圧電素子駆動回路57Bと、第1の圧電素子駆動回路57Aに供給する電圧を調整する第1の分圧抵抗器58Aと、第2の圧電素子駆動回路57Bに供給する電圧を調整する第2の分圧抵抗器58Bとを備えて構成すれば、2個の分圧抵抗器58A,58Bによって駆動用可動部52および/またはバランス用可動部53に印加される電圧を適正に調整することができ、測定精度をより高めることができる。
(3)これに対して、駆動電圧調整回路56が2個の分圧抵抗器58A,58Bをいずれか一方を備えた構成とすれば、駆動電圧調整回路56の構成を簡易なものにできる。
【0034】
(4)一般に、曲げの固有振動数は、軸方向の固有振動数より低くなるので、軸方向に振動する触針12は、曲げ振動する触針と比べて応答性が高くなる。従って、このような応答性の高い触針12の振動状態を、触針12が被測定物Wと接触した際に変化する状態量として検出手段18で検出し、この検出手段18からの情報をもとに微動機構50および粗動機構60を作動させれば、触針12に作用する測定力をより正確に制御できる。
【0035】
(5)微動機構50および粗動機構60の動作方向が触針12の軸方向に沿っているので、触針12の軸方向が被測定物W表面の高さ方向に沿った状態で、触針12を移動させることができる。つまり、触針12をその軸方向に沿って被測定物W表面に確実に押し当てることができるから、軸方向に共振状態で振動する触針12の振動状態の変化をより正確に検出手段18で検出できる。
【0036】
(6)電歪効果があるPZT(ジルコンチタン酸鉛)の薄板を積層することで、微動機構50を構成しているから、電気的に制御できる微動機構50を容易に構成できる。
(7)微動機構50および粗動機構60による触針12の移動量を検出する変位検出手段30は、それ一つで構成されているため、安価に構成できる。
【0037】
(8)駆動電圧調整回路56を、第2の圧電素子駆動回路57Dに供給される電圧のゲインと位相を調整するゲイン位相調整回路58Cと、このゲイン位相調整回路58Cと第1の圧電素子駆動回路57Cに増幅した電圧を供給する増幅器58Dと、この増幅器58Dに正弦波で変位する電圧を供給する発振器58Eとを備え、この発振器58Eの振幅を変位検出手段30を介してオシロスコープ58Fでモニタし、振幅ができるだけ小さくなるようにゲイン位相調整回路58Cのゲインを調整するように構成したから、駆動用可動部52とバランス用可動部53とに供給される駆動電圧が正確に調整され、両者の釣り合いをより完全に行うことができる。
【0038】
第1実施形態の効果を確認するために、実験例について説明する。
図4は、実験を行う微細形状測定装置1の概略構成図である。図4は図3で示す装置と同じものであるが、増幅器58Dの図示が省略されている。図4では、変位検出装置30は光ファイバセンサからなる変位センサを備えている。発振器58Eの振幅信号Aと粗動機構60の振幅信号Bは検査装置100に送られる。図4において、発振器58Eで出力された正弦波を第1の圧電素子駆動回路57Cに伝達して駆動用可動部52のみを動かす。この状態における粗動機構60の挙動を図5(A)に示す。図5(A)は、発振器58Eの振幅信号Aと粗動機構60の振幅信号Bとの比(B/A)と、発振器58Eから送られる信号の周波数との関係を示すグラフである。このグラフにおいて、周波数56Hzの時に、粗動・微動機構の質量と板ばね66の作用に起因して発生する共振現象があり、この時の振幅は約1.8μm相当であった。
【0039】
次に、発振器58Eで出力された正弦波を2つに分け、そのうち、1つは第1の圧電素子駆動回路57Cを介して駆動用可動部52を動かし、残り1つは第2の圧電素子駆動回路57Dを介してバランス用可動部53を動かす。この際、第2の圧電素子駆動回路57Dからバランス用可動部53に送られる信号の振幅調整をゲイン位相調整回路58Cによって行う。この調整は、圧電素子52,53を前述の共振周波数で励起した状態で変位検出装置30の変位センサの出力振幅が最小となるようにした。
この状態における粗動機構60の挙動を図5(B)に示す。図5(B)のグラフにおいて、共振時の振幅は0.054μmであり、図5(A)と比較すると、約33分の1に軽減された。
さらに、第2の圧電素子駆動回路57Dからバランス用可動部53に送られる信号の位相調整をゲイン位相調整回路58Cによって行う。
この状態における粗動機構60の挙動を図5(C)に示す。図5(C)のグラフにおいて、共振時の振幅は0.01μm相当であり、図5(B)と比較すると、約5分の1に軽減され、図5(A)と比較すると、約180分の1に軽減された。
【0040】
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態を図6に基づいて説明する。
第2実施形態は第1実施形態とは移動機構の基本構成が異なるもので、駆動電圧調整回路、その他の構成は第1実施形態と同じである。
図6には、本発明の第2実施形態に係る高精度移動機構2が示されている。図6において、高精度移動機構2は、顕微鏡の試料移動機構やLSI製造装置におけるウェハ移動機構として適用されるものであり、基部3Aと、この基部3Aに一方向往復自在に設けられた粗動機構70と、この粗動機構70に対して前記一方向と平行な方向に往復方向に設けられた微動機構80と、この微動機構80に設けられた載置台55とを備え、この載置台55の動きが微動機構80の動きと粗動機構70の動きとの和になるように構成されている。
【0041】
粗動機構70は、マイクロメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で載置台55を移動させるものであって、基部3Aに対して進退自在に設けられた固定部71と、この固定部71に対して変位するブロック状の可動部72と、固定部71を基部3Aに対して進退駆動する電磁アクチュエータ73と、可動部72を固定部71に対して進退駆動する図示しない駆動機構とを備えている。
固定部71は、図示しない弾性板ばね、磁気ベアリングまたはエアベアリングにより基部3Aにガイドされている。
微動機構80は、ナノメートルオーダからマイクロメートルオーダまでの範囲で載置台55を移動させるものであって、粗動機構70の可動部72の両端部から起立して設けられた固定部81と、この固定部81に対して変位し頂部に載置台55が取り付けられた駆動用可動部82と、この駆動用可動部82の動作方向と反対の方向に動作し圧電素子から構成されるバランス用可動部83とを有する。
【0042】
駆動用可動部82は、載置台55を挟んで互いに対向配置された第1圧電素子82A及び第2圧電素子82Bを備えている。
これらの第1圧電素子82Aおよび第2圧電素子82Bは、電圧が印可されて一方が伸張する場合には他方が収縮するように、いわばプッシュプルの関係で載置台55を図中左右方向に移動する。
バランス用可動部83は、駆動用可動部82の固定部81を挟んで対向する位置に設けられており、圧電素子から構成されている。バランス用可動部83には、必要に応じてバランサ83Aが設けられている。
駆動用可動部82の動きの反力が粗動機構70に伝達されないように微動機構80の駆動用可動部82とバランス用可動部83との双方に供給される駆動電圧を調整する駆動電圧調整回路56が駆動用可動部82およびバランス用可動部83に接続されている。
【0043】
上述のような第2実施形態によれば、次の作用効果を奏することができる。
(9)高精度移動機構2は、ナノメートルオーダからマイクロメートルオーダまでの範囲で載置台55を微小変位させる微動機構80と、マイクロメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で載置台55を大変位させる粗動機構70との二つの機構を備えているので、微動機構80と粗動機構70とを組み合わせて作動させることで載置台55に載置される目的物の動作をナノメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で容易かつ短時間で制御できる。
その上、微動機構80には、駆動用可動部82と略同一構造に構成されて駆動用可動部82の動作方向と反対の方向に動作するバランス用可動部83が設けられているため、駆動用可動部82が動作した際の固定部81への反力は、バランス用可動部83が動作して固定部81への反力が生じることで、駆動用可動部82による反力と、バランス用可動部83による反力とが相殺される。
【0044】
しかも、駆動用可動部82および載置台55等とバランス用可動部83との質量的な釣り合いが完全にとれていなくても、駆動電圧調整回路56によって、駆動用可動部82とバランス用可動部83とに印加される駆動電圧が調整されるため、両者が完全に釣り合うことになる。
(10)粗動機構70は、固定部71が潤滑油を必要としない弾性板ばね、磁気ベアリングまたはエアベアリングによりガイドされているので、清浄な粗動機構70を構成でき、半導体ウェハ等の表面形状計測に有効である。
【0045】
なお、本発明は前各記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は、本発明に含まれるものである。
たとえば、前記第1実施形態では、軸方向に振動するタイプの触針12が用いられているが、本発明に係る触針はこれに限定されるものではない。例えば、長手方向が微動機構および粗動機構の動作方向と略直交配置されかつ前記動作方向に沿う方向に弾性変形可能な弾性レバーを介して微動機構の駆動用可動部に設けられた触針でもよい。
【0046】
前記各実施形態では、微動機構50により触針12をナノメートルオーダからマイクロメートルオーダまでの範囲で微小変位させ、粗動機構60,90により触針12をマイクロメートルオーダからミリメートルオーダまでの範囲で大変位させたが、微動機構および粗動機構による触針の動きの設定範囲は、測定対象物によって適宜設定してもよい。
【0047】
前記各実施形態において、微動機構50は、圧電素子によって構成されているが、たとえば、粗動機構に用いた可動コイルの電磁アクチュエータによって構成されてもよく、可動磁石や可動鉄片等の電磁アクチュエータによって構成されてもよく、また、磁歪素子や形状記憶素子等の高速微小変位固体素子によって構成されてもよく、このような場合も本発明に含まれる。
【0048】
【発明の効果】
本発明の高精度移動機構によれば、微動機構の制御と粗動機構の制御との干渉を十分になくして高精度の制御が行えるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る高精度移動機構を適用した微細形状測定装置の一部を示す断面図である。
【図2】駆動電圧調整回路の概略構成図である。
【図3】本発明の電圧調整法を説明するための概略構成図である。
【図4】第1実施形態の効果を確認するための実験例の概略構成図である。
【図5】実験例から求められた触針の振幅信号Aと粗動機構の振幅信号Bとの比(B/A)と、発振器から送られる信号の周波数との関係を示すグラフである。
【図6】本発明の第2実施形態に係る高精度移動機構を示す概略構成図である。
【符号の説明】
1 微細形状測定装置
2,20 高精度移動機構
12 触針
50,80 微動機構
60,70 粗動機構
51,81 固定部
52,82 駆動用可動部
53,83 バランス用可動部
55 載置台
56 駆動電圧調整回路
W 被測定物
Claims (4)
- 固定部と載置台を印加電圧の変化に応じて高速微細に変位させる駆動用可動部とを有する微動機構と、この微動機構の固定部を変位させる可動部を有する粗動機構とを含み、前記載置台の動きが前記微動機構の動きと前記粗動機構の動きとの和になるように構成された高精度移動機構であって、
前記微動機構は、前記駆動用可動部の動作方向と反対の方向に動作するバランス用可動部を備え、
前記駆動用可動部の動きの反力が前記粗動機構に伝達されないように前記微動機構の前記駆動用可動部と前記バランス用可動部との少なくとも一方は駆動電圧と位相とを調整する駆動電圧調整回路を備えたことを特徴とする高精度移動機構。 - 請求項1に記載の高精度移動機構において、
前記微動機構は、圧電素子、磁歪素子等の高速微少変位固定素子を含んで構成されることを特徴とする高精度移動機構。 - 請求項1または2に記載の高精度移動機構において、
前記粗動機構は、前記固定部が弾性板ばね、磁気ベアリングまたはエアベアリングによりガイドされていることを特徴とする高精度移動機構。 - 請求項1から3のいずれかに記載の高精度移動機構において、前記載置台の変位を検出する変位検出手段を設け、前記載置台に、被測定物に接触する触針を取り付けたことを特徴とする高精度移動機構。
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