JP2003214805A - 厚さ検知装置 - Google Patents

厚さ検知装置

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JP2003214805A JP2002014690A JP2002014690A JP2003214805A JP 2003214805 A JP2003214805 A JP 2003214805A JP 2002014690 A JP2002014690 A JP 2002014690A JP 2002014690 A JP2002014690 A JP 2002014690A JP 2003214805 A JP2003214805 A JP 2003214805A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】詰まりを生じることなく被測定物の厚さを高い
精度で検知可能な厚さ検知装置を提供することにある。 【解決手段】被測定物の厚さを検知する厚さ検知装置
は、被測定物の搬送路18に沿って設けられ、被測定物
が接触して通過する当接部32と、搬送路を間に挟んで
当接部と対向して設けられた可動部材7と、を備えてい
る。可動部材は、支持部10により、当接部に対して接
離する方向に変位自在に支持され、押圧部により、当接
部と接触する方向の押圧力を付加されている。当接部と
可動部材との間を被測定物が通過する際、可動部材の変
位量を検知する検知器12と、可動部材に連結され、可
動部材の変位速度に応じた制動力を可動部材に印加する
アクティブダンパ13と、が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、走行移動する被
測定物の厚さを検知する厚さ検知装置に関する。
【0002】
【従来の技術】被測定物として、例えば、ベルトに挟持
された状態で搬送される紙葉類の厚みを検知する検知装
置は、対向配置された固定ローラおよび可動ローラを備
え、固定ローラは軸が固定され、可動ローラは上下移動
可能に支持されている。また、可動ローラは、板ばね等
により一定の押圧力で固定ローラに押し付けられてい
る。そして、検知装置は、紙葉類がローラ間を通過する
際、可動ローラの変位量を紙葉類の厚さとして検知す
る。
【0003】搬送方向に直角な方向に沿った紙葉類の厚
さ分布を測定する場合、複数の上記ローラ対を搬送方向
に直角な方向に並べて配置し、紙葉類の複数箇所の測定
をする。
【0004】また、他の検知方法として、被測定物の上
下に配置された光学式距離計により被測定物までの距離
をそれぞれ測定し、両測定結果の差を厚さとして検知す
る方法が知られている。更に、特開平11−11060
5号公報に開示された検知装置によれば、先端にプリン
トコイルを設置した弾性帯状体により被測定物を両側か
ら挟み、被測定物に接触したコイルのインピーダンス変
化を、測定物の厚さとして検出している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】固定ローラおよび可動
ローラにより紙葉類を挟持し可動ローラの変位によって
厚さを検知する方式では、可動ローラを押し付ける力が
弱いと、走行する被測定物の先端突入時や後端の抜け
時、あるいは紙葉類にテープが貼付されているような急
激な厚み変化が生じた場合等、可動ローラは振動状態と
なり紙葉類に対する追従性が低下する.そのため、正確
な厚み検知が困難となる。
【0006】一方、可動ローラの押圧力が強すぎると、
紙葉類がローラ間を押し広げて通過することができずに
詰まってしまい、厚み測定ができなくなる。したがっ
て、通常、可動ローラを支持する部材を板ばねとし、そ
の押圧力は、可動ローラの振動を押さえ、且つ、紙葉類
が可動ローラを押し広げて通過できる限界に近い値に設
定されている。
【0007】しかしながら、紙葉類の剛性にはばらつき
があるため、剛性の弱い紙葉類はローラ間を通過できず
詰まってしまうことが多々ある。また、被測定物が走行
中に厚み方向に強く揺動すると、検知装置は、この揺動
を可動ローラの変位量として測定してしまう。その結
果、測定精度が低下するなどの問題がある。
【0008】また、光学式距離計を用いて厚さを検知す
る方式では、被測定物の色彩によって光の反射光量が異
なるため、測定結果に誤差を生じる。色彩による影響の
ない光学式距離計は高価で且つ外形寸法が大きいため、
設置場所が限られるなどの問題がある。
【0009】更に、特開平11−110605号公報に
開示された検知装置は、弾性帯状体を用いた接触方式で
あり、可動部が軽量で厚みの変化に対する追従性は良い
が、接触部に耐摩耗性を持たせるため特殊薄膜やセラミ
ックスチップなどを設置する必要があり、用途が限定さ
れてしまう。
【0010】この発明は以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、詰まりを生じることなく被測定物の厚
さを高い精度で検知可能な厚さ検知装置を提供すること
にある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の態様に係る厚さ検知装置は、被測定物が
走行する搬送路に沿って設けられ、上記搬送される被測
定物が接触して通過する固定の当接部と、上記搬送路を
間に挟んで上記当接部と対向して設けられた可動部材
と、上記可動部材を上記当接部に対して接離する方向に
変位自在に支持した支持部と、上記当接部に接触する方
向の押圧力を上記可動部材に付加した押圧部と、上記当
接部と可動部材との間を被測定物が通過する際、上記可
動部材の変位量を検知する検知器と、上記可動部材に連
結され、上記可動部材の変位速度に応じた制動力を上記
可動部材に印加するアクティブダンパと、を備え、上記
被測定物の厚さを検知する。
【0012】上記のように構成された厚さ検知装置によ
れば、被測定物が可動部材と当接部との間を通過する
と、可動部材が被測定物の厚みにより変位し、その変位
量を検知器により検知する。可動部材は被測定物の先端
が衝突したときの衝撃力により跳ね上がろうとするが、
アクティブダンパにより可動部材の跳ね上がりを抑制
し、衝突力による可動部材の振動を直ちに減衰すること
ができる。これにより、被測定物の厚さおよび厚さ変化
を安定して検知することができる。また、被測定物が走
行中に厚み方向に強く揺動した場合でも、アクティブダ
ンパにより可動部材の揺動を抑制することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、この
発明の実施の形態に係る厚さ検知装置について詳細に説
明する。図1および図2に示すように、被測定物とし
て、例えば、紙葉Pの厚さを検知する厚さ検知装置は、
紙葉Pの搬送路18に隣接して設けられている。ここ
で、紙葉Pは、搬送路18に沿って上下に配設された複
数の搬送ベルト17により両端部が挟持された状態で、
矢印A方向に沿ってほぼ水平に搬送される。
【0014】厚さ検知装置は、搬送路18の下方に設け
られた固定ユニット34と、搬送路の上方に設けられた
検知ユニット36とを備えている。固定ユニット34
は、搬送路18の下方に配置された固定の第1ベース2
を有している。第1ベース2にはブラケット5を介して
固定ローラ4が設けられ、搬送ベルト17間に位置して
いる。当接部として機能する固定ローラ4は、搬送路1
8と直交する方向に延びた枢軸6により回転自在に支持
され、搬送路に沿って配置されている。そして、搬送路
18を走行する紙葉Pは固定ローラ4に接触して通過す
る。
【0015】一方、検知ユニット36は、搬送路18の
上方に配置された固定の第2ベース3を備えている。第
2ベース3には、可動部材として機能する可動ローラ
7、検知器として機能する渦電流式の変位センサ12、
可動ローラの振動を減衰するアクティブダンパ13が取
り付けられている。
【0016】詳細に述べると、可動ローラ7は、搬送路
18を間に挟んで固定ローラ4と対向して配置され、カ
ンチレバー10によって支持されている。カンチレバー
10は、その基端部がホルダ11を介して第2ベース3
に固定され、ほぼ水平に、且つ、第2ベースと所定の隙
間を置いて設けられている。可動ローラ7はブラケット
8を介してカンチレバー10の自由端部に取り付けられ
ている。そして、可動ローラ7は、搬送路18と直交す
る方向に延びた枢軸9により回転自在に支持され、搬送
路に沿って配置されている。
【0017】カンチレバー10は板ばねにより形成され
ている。従って、可動ローラ7は、このカンチレバー1
0により、固定ローラ4に対して接離する方向、つま
り、枢軸9とほぼ直交する方向に沿って変位自在に支持
されている。同時、可動ローラ7は、カンチレバー10
のばね特性により、固定ローラ4と接触する方向の押圧
力を付加され、通常、固定ローラ4に接触している。こ
のように、カンチレバー10は、可動ローラ7を変位自
在に支持した支持部、および可動ローラに所定の押圧力
を付加する押圧部として機能する。なお、ブラケット8
は、カンチレバー10と一体に形成されていてもよい。
【0018】変位センサ12は、第2ベース2に固定さ
れカンチレバー10と所定の隙間を置いて対向してい
る。そして、カンチレバー10は導電体で形成されてい
る。そのため、可動ローラ7の変位に応じてカンチレバ
ー10が変位すると、渦電流が変化し、変位センサ12
はこの渦電流の変化を検出してカンチレバーの変位量、
すなわち、可動ローラ7の変位量を検知する。
【0019】なお、カンチレバー10を導電体で形成す
る代わりに、カンチレバーの表面に導電性の薄板等を貼
り付ける構成としてもよい。また、検出器は、渦電流型
の変位センサに限らず、可動ローラ7の変位に伴うカン
チレバーの歪を検出する歪ゲージ、カンチレバーの変位
を光学的に検知する光学変位計等を用いることができ
る。
【0020】図1および図3に示すように、アクティブ
ダンパ13は、ほぼ円筒状に形成されたコイルユニット
25、およびコイルユニットの内側に配設された円柱形
状の可動磁石23を備えている。コイルユニット25は
第2ベース3に取り付けられ、可動ローラ7の上方に位
置している。可動磁石23は永久磁石で形成され、軸方
向一端側がN極、他端側がS極に着磁されている。
【0021】また、可動磁石23は、この可動磁石と同
軸的に延びた連結ロッド14を介してカンチレバー10
の自由端部に連結されている。そして、コイルユニット
25、可動磁石23、および連結ロッド14は、その中
心軸Cが可動ローラ7の中心を通り可動ローラの移動方
向とほぼ一致するように配置されている。これにより、
可動磁石23は、可動ローラ7の変位に連動して、か
つ、可動ローラの変位方向に沿ってコイルユニット25
内を移動自在に支持されている。
【0022】一方、コイルユニット25は、ほぼ円筒形
状のコイルボビン20を有し、その外周には検知コイル
21および駆動コイル22が巻装されている。また、コ
イルボビン20の外周は、円筒状のカバー26によって
覆われている。
【0023】検知コイル21は、可動磁石23の外側に
隣接して設けられ、可動磁石の変位速度に応じた誘起電
圧を発生する。また、駆動コイル22は、可動磁石23
の外側に隣接して設けられ、検知コイル21で発生した
誘起電圧に基づいて可動磁石の変位方向と反対方向の磁
界を発生し、可動磁石23に印加する。検知コイル21
および駆動コイル22は、コイルボビン20の軸方向に
沿って互いに離間して設けられている。
【0024】なお、図4に示すように、アクティブダン
パ13の駆動回路は、検知コイル21と駆動コイル33
との間に設けられたアンプ30およびパワーアンプ31
を備え、これらのアンプおよびパワーアンプは、検知コ
イルで発生した誘起電圧を増幅して駆動コイルに供給す
る。
【0025】図3、図5および図6に示すように、アク
ティブダンパ13は、磁力により可動磁石23を浮遊状
態に支持した複数の支持磁石24を備えている。これら
の支持磁石24は、コイルボビン20の外周に固定さ
れ、可動磁石23の外側に位置している。支持磁石24
は、3個以上、例えば、4個設けられ、コイルボビン2
0の円周方向に沿って互いに等間隔離間して配置されて
いる。
【0026】各支持磁石24は、可動磁石23に対向す
る面が同極性になるように配置する。例えば、各支持磁
石24は、コイルボビン20の内側がS極、外側がN極
となるように着磁されている。そして、可動磁石23
は、この可動磁石および支持磁石24から発生する磁力
の相互作用により、周囲から反発力あるいは吸着力を受
けている。これにより、可動磁石23は、浮遊状態で、
つまり、コイルボビン20の内周面に非接触の状態で、
コイルボビン20の内側に支持されている。従って、可
動磁石23は、摩擦抵抗等を受けることなく円滑に移動
することができる。
【0027】次に、以上のように構成された厚さ検知装
置の厚さ検知動作について説明する。図1に示すよう
に、非検知状態において、検知ユニット36の可動ロー
ラ7は、固定ローラ4と接触した状態にある。この際、
可動ローラ7は、カンチレバー10のばね特性により、
可動ローラ7と固定ローラ4との間を走行する紙葉Pが
詰まらない程度に設定された弱い押圧力で固定ローラに
接触している。可動ローラ7の押圧力は、ホルダ11の
厚みや傾斜を予め調整することにより、任意の値に設定
される。
【0028】厚さ検知時、紙葉Pは、搬送ベルト17に
より挟持された状態で厚さ検知装置に搬送されて来る。
紙葉Pが固定ローラ4と可動ローラ7との間に入ると、
固定ローラおよび可動ローラは紙葉Pに押され枢軸6、
9の回りでそれぞれ回転する。同時に、可動ローラ7
は、紙葉Pの厚さ分だけ上側に持ち上げられる。可動ロ
ーラ7と共にカンチレバー10が変位すると、渦電流が
変化し、変位センサ12はこの渦電流の変化を検出して
カンチレバーの変位量、すなわち、可動ローラ7の変位
量を検知する。そして、検知された変位量から、紙葉P
の厚さを測定することができる。
【0029】ここで、紙葉Pが所定の速度を有している
と、紙葉Pは固定ローラ4および可動ローラ7に衝突す
る形となる。この衝撃力がカンチレバー10の押圧力よ
りも大きいと、可動ローラ7は跳ね上げられて紙葉Pの
厚さ以上に変位し、更には振動状態となる。そのため、
アクティブダンパを備えていないと、図7(a)に示す
ように、検知開始後、変位センサ12の検出出力が大き
く変動し、この変動が減衰して安定するまでの減衰時間
tが長くなってしまう。従って、検知装置の応答性が低
く、紙葉Pの厚さを安定して、かつ、紙葉Pの全長に亘
って正確に測定することが困難となる。
【0030】これに対して、本実施の形態に係る検知装
置によれば、可動ローラ7が上側に変位すると、この変
位は連結ロッド14を介してアクティブダンパ13の可
動磁石23に伝達され、可動磁石23が可動ローラ7に
連動して移動する。すると、可動磁石23から発する磁
力線が検知コイル21を横切り、検知コイル21は可動
磁石23の変位速度に比例した誘起電圧を発生する。こ
の誘起電圧は、アンプ30およびパワーアンプ31によ
り増幅された後、駆動コイル22に帰還印加される。こ
れにより、駆動コイル22から磁界が発生する。
【0031】そして、発生した磁界は可動磁石23に作
用し、可動磁石の変位方向と反対方向の力を発生して、
可動磁石の変位を押さえるように作用する。この反対方
向の力は、可動ローラ7の制動力として作用するため、
可動ローラの振動を直ちに減衰することができる。従っ
て、図7(b)に示すように、変位センサ12における
検出出力の振動減衰時間tは、アクティブダンパを持た
ない場合の減衰時間に比較して大幅に短縮される。
【0032】アクティブダンパ13は、可動ローラ7の
変位量が小さい場合でも変位速度が速ければ大きな制動
力を発生させることができ、紙葉類のように厚さの小さ
い被測定物でも効果的に作用して可動ローラの振動を押
さえることができる。従って、可動ローラ7は、測定開
始後、直ちに紙葉Pの厚さに応じた変位となり、検知装
置は、紙葉Pの厚さおよび厚さ変化を安定して、かつ、
紙葉Pの全長に亘って正確に測定することが可能とな
る。また、カンチレバー10によって可動ローラ7に付
加する押圧力を小さく設定することが可能となり、紙葉
Pの詰まりをなくすことができる。更に、厚さ検知時、
走行中の紙葉Pが厚さ方向に強く揺動した場合でも、ア
クティブダンパ13の作用により可動ローラ7の揺動を
抑制し、安定した厚さ検知を維持することができる。
【0033】次に、この発明の第2の実施の形態に係る
厚さ検知装置について説明する。図8に示すように、本
実施の形態によれば、被測定物に当接する当接部は、固
定ローラの代わりにブロック状あるいは板状の支持部材
32を備え、また、可動部材は、可動ローラの代わり
に、例えば、半球状あるいは半円筒状の接触子33を備
えている。紙葉Pに接触する支持部材32の当接面は、
搬送路18側を凸とする曲面に形成されている。ただ
し、この当接面は、曲面に限らず、平面としてもよい。
【0034】他の構成は、前述した第1の実施の形態と
同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してそ
の詳細な説明を省略する。そして、このように構成され
た第2の実施の形態においても、第1の実施の形態と同
様の作用効果を得ることができる。また、第2の実施の
形態において、当接部として第1の実施の形態と同様の
固定ローラを用い、上記接触子33と組み合わせてもよ
く、あるいは、可動部材として第1の実施の形態と同様
の可動ローラを用い、上記支持部材32と組み合わせて
もよい。
【0035】図9に示すように、第3の実施の形態に係
る検知装置は、搬送路18の両側に対向して設けられた
一対の検知ユニット36a、36bを備え、各検知ユニ
ットは、前述した第1の実施の形態に係る検知ユニット
36と同様に構成されている。
【0036】すなわち、検知ユニット36aは、可動部
材として機能する第1可動ローラ7a、第1可動ローラ
を支持しているとともに押圧部として機能する第1カン
チレバー10a、第1可動ローラの変位量を検知する第
1変位センサ12a、第1連結ロッド14aを介して第
1可動ローラに連結され、第1可動ローラの変位速度に
応じた制動力を第1可動ローラに印加する第1アクティ
ブダンパ13aを備えている。そして、第1カンチレバ
ー10aの基端部はホルダ11aを介してベース3aに
固定され、同様に、第1変位センサ12aおよび第1ア
クティブダンパ13aもベース3aに取り付けられてい
る。
【0037】検知ユニット36bも同様に、ベース3
b、第2可動ローラ7b、第2カンチレバー10b、ホ
ルダ11b、第2変位センサ12b、第2アクティブダ
ンパ13b、連結ロッド14b等を備えて構成されてい
る。
【0038】各検知ユニット36a、36bの詳細な構
成は、第1の実施の形態における検知ユニット36と同
一であり、その説明は省略する。これら検知ユニット3
6a、36bは搬送路18に対して対称に配置され、第
1および第2可動ローラ7a、7bは、搬送路を間に挟
んで対向配置されている。また、第1および第2可動ロ
ーラ7a、7bは、第1および第2カンチレバー10
a、10bにより、互いに接離する方向に変位自在に支
持されているとともに、互いに接触する方向の押圧力を
受けている。また、厚さ検知装置は、第1および第2変
位センサ12a、12bにより検知された変位量の差か
ら紙葉Pの厚さを測定する測定部38を備えている。
【0039】以上のように構成された厚さ検知装置によ
れば、非検知状態において、第1および第2可動ローラ
7a、7bは第1および第2カンチレバー10a、10
bにより押圧され、互いに接触した状態にある。厚さ検
知時、紙葉Pが第1および第2可動ローラ7a、7bの
間を通過すると、これらの可動ローラは紙葉Pに押され
枢軸9a、9bの回りでそれぞれ回転する。同時に、第
1および第2可動ローラ7a、7bは、紙葉Pの厚さ分
だけ上方あるいは下方に移動される。
【0040】そして、第1および第2可動ローラ7a、
7bと共に第1および第2カンチレバー10a、10b
が変位すると、渦電流が変動する。第1および第2変位
センサ12a、12bはこの渦電流の変動をそれぞれ検
出して第1および第2カンチレバー10a、10bの変
位量、すなわち、第1および第2可動ローラ7a、7b
の変位量を検知する。
【0041】例えば、搬送路18に対して上方への変位
量をプラス、下方への変位量をマイナスとした場合、測
定部38は、第1および第2変位センサ12a、12b
によって検知された変位量の差から紙葉Pの厚さを測定
する。
【0042】また、厚さ検知時、第1および第2アクテ
ィブダンパ13a、13bは、第1の実施の形態と同様
の作用により、第1および第2可動ローラ7a、7bの
変位速度に応じた制動力をそれぞれ第1および第2可動
ローラに与え、可動ローラの振動を直ちに減衰する。
【0043】以上のように構成された第3の実施の形態
においても、厚さ検知装置は、紙葉Pの厚さおよび厚さ
変化を安定して、かつ、紙葉Pの全長に亘って正確に測
定することができる。また、第1および第2可動ローラ
に付加する押圧力を小さく設置することが可能となり、
紙葉Pの詰まりをなくすことができる。更に、厚さ検知
時、走行中の紙葉Pが厚さ方向に強く揺動した場合で
も、第1および第2アクティブダンパの作用により第1
および第2可動ローラ7の揺動を抑制し、安定した厚さ
検知を維持することができる。
【0044】なお、この発明は上述した実施の形態に限
定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、図10に示すように、アクティブダンパ
13の駆動回路は、微分回路40を備えていてもよい。
この微分回路40は、検知コイル21と駆動コイル22
との間に接続され、検知コイルで発生した誘起電圧を微
分してパワーアンプ31に入力する。この場合、微分回
路40により、可動部材の変位加速度に比例して誘起電
圧を増大することができ、アクティブダンパの感度を向
上することができる。
【0045】また、アクティブダンパ13において、可
動磁石23を浮遊支持する支持磁石24は、検知コイル
21あるいは駆動コイル22の内側に配置してもよく、
更に、検知コイル21あるいは駆動コイル22の外側に
配置しても浮動支持の効果が得られる。検知コイル21
と駆動コイル22は同心状に重ねて設置してもよい。ま
た、この発明に係る厚さ検知装置は、被測定物は紙葉類
に限らず、種々の被測定物の厚さ検知に適用することで
きる。
【0046】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
可動部材の振動を抑制し、詰まりを生じることなく被測
定物の厚さを高い精度で検知可能な厚さ検知装置を提供
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態に係る厚さ検知装置を示
す側面図。
【図2】上記厚さ検知装置の一部を示す平面図。
【図3】上記厚さ検知装置のアクティブダンパを示す断
面図。
【図4】上記アクティブダンパの駆動回路を示す図。
【図5】図3の線B−Bに沿った断面図。
【図6】上記アクティブダンパの浮遊支持構造を拡大し
て示す断面図。
【図7】上記厚さ検知装置の厚さ検知特性を従来装置の
検知特性と比較して示す図。
【図8】この発明の第2の実施の形態に係る厚さ検知装
置を示す側面図。
【図9】この発明の第3の実施の形態に係る厚さ検知装
置を示す側面図。
【図10】アクティブダンパの駆動回路の変形例を示す
図。
【符号の説明】
P…紙葉、 2…第1ベース、3…第2ベース、 4…
固定ローラ、7…可動ローラ、 10…カンチレバー、
12…変位検知部、18…搬送路、 13…アクティ
ブダンパ、 21…検知コイル、22…駆動コイル、
23…可動磁石、 24…支持磁石、25…コイルユニ
ット、 30…アンプ、 31…パワーアンプ、36、
36a、36b…検知ユニット、 40…微分回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F062 AA28 BB05 BB14 BC08 CC04 CC11 CC14 CC26 DD10 EE03 EE05 EE12 EE62 EE63 FF12 GG41 GG51 GG65 HH05 HH15 HH21 JJ02 JJ04 2F069 AA46 BB20 BB36 DD08 DD09 GG04 GG06 GG07 HH09 LL07 MM21 NN05 3F048 AA01 AA06 AB01 BA06 BB10 CA02 DC19

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被測定物が走行する搬送路に沿って設けら
    れ、上記搬送される被測定物が接触して通過する固定の
    当接部と、 上記搬送路を間に挟んで上記当接部と対向して設けられ
    た可動部材と、 上記可動部材を上記当接部に対して接離する方向に変位
    自在に支持した支持部と、 上記当接部に接触する方向の押圧力を上記可動部材に付
    加した押圧部と、 上記当接部と可動部材との間を被測定物が通過する際、
    上記可動部材の変位量を検知する検知器と、 上記可動部材に連結され、上記可動部材の変位速度に応
    じた制動力を上記可動部材に印加するアクティブダンパ
    と、 を備え上記被測定物の厚さを検知する厚さ検知装置。
  2. 【請求項2】上記アクティブダンパは、上記可動部材に
    連結されているとともに、上記可動部材の変位方向に沿
    って移動可能に支持された可動磁石と、 上記可動磁石に隣接して設けられ、可動磁石の変位速度
    に応じて誘起電圧を発生する検知コイルと、上記可動磁
    石に隣接して設けられ、上記検知コイルから発生した誘
    起電圧に基づいて上記可動磁石の変位方向と反対方向の
    磁界を発生し上記可動磁石に印加する駆動コイルと、を
    備えている請求項1に記載の厚さ検知装置。
  3. 【請求項3】上記アクティブダンパは、上記検知コイル
    と駆動コイルとの間に設けられ検知コイルで発生した誘
    起電圧を増幅して上記駆動コイルに供給する増幅器を備
    えている請求項2に記載の厚さ検知装置。
  4. 【請求項4】上記アクティブダンパは、上記検知コイル
    と駆動コイルとの間に設けられ検知コイルで発生した誘
    起電圧を微分して上記増幅器に入力する微分回路を備え
    ている請求項2又は3に記載の厚さ検知装置。
  5. 【請求項5】上記アクティブダンパは、上記可動磁石の
    周囲に設けられ磁力により上記可動磁石を浮遊状態に支
    持した支持磁石を備えている請求項1ないし4のいずれ
    か1項に記載の厚さ検知装置。
  6. 【請求項6】上記支持部は、固定のベースと、上記可動
    部材を支持した自由端部および上記ベースに支持された
    基端部を有したカンチレバーと、を備えている請求項1
    ないし5のいずれか1項に記載の厚さ検知装置。
  7. 【請求項7】上記カンチレバーは板ばねにより形成さ
    れ、上記押圧部を構成している請求項6に記載の厚さ検
    知装置。
  8. 【請求項8】上記可動部材は、上記搬送路と直交する方
    向に延びた枢軸の回りで回転自在に支持された可動ロー
    ラを備えている請求項1ないし7のいずれか1項に記載
    の厚さ検知装置。
  9. 【請求項9】上記当接部は、上記搬送路と直交する方向
    に延びた枢軸の回りで回転自在に支持された固定ローラ
    を備えている請求項1ないし8のいずれか1項に記載の
    厚さ検知装置。
  10. 【請求項10】被測定物が走行する搬送路を間に挟んで
    対向配置され、上記走行する被測定物が接触して通過す
    る第1および第2可動部材と、 上記第1および第2可動部材を互いに接離する方向に変
    位自在にそれぞれ支持した第1および第2支持部と、 上記第1および第2可動部材が互いに接触する方向の押
    圧力を上記第1および第2可動部材にそれぞれ付加した
    第1および第2押圧部と、 上記第1可動部材と第2可動部材との間を被測定物が通
    過する際、上記第1および第2可動部材の変位量をそれ
    ぞれ検知する第1および第2検知器と、 上記第1および第2可動部材にそれぞれ連結され、上記
    第1および第2可動部材の変位速度に応じた制動力を上
    記第1および第2可動部材にそれぞれ印加する第1およ
    び第2アクティブダンパと、 上記第1および第2検知器により検知された第1および
    第2可動部材の変位量に応じて上記被測定物の厚さ測定
    する測定部と、 を備えた厚さ検知装置。
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