JP2011220798A - 触針式段差計における差動トランス用コア及びその製造方法 - Google Patents
触針式段差計における差動トランス用コア及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011220798A JP2011220798A JP2010089355A JP2010089355A JP2011220798A JP 2011220798 A JP2011220798 A JP 2011220798A JP 2010089355 A JP2010089355 A JP 2010089355A JP 2010089355 A JP2010089355 A JP 2010089355A JP 2011220798 A JP2011220798 A JP 2011220798A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- differential transformer
- manufacturing
- cutting
- permalloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】差動トランスのコア6は、切削加工により形成したパーマロイ製の円筒状本体の表面を研磨処理して表面粗さを1μmオーダー以下にして構成される。また、触針式段差計における本発明による差動トランス用コア6の製造方法は、パーマロイを切削加工により円筒状本体を形成し、円筒状本体の表面を研磨し、その後磁性焼鈍することを含む。
【選択図】図1
Description
Nt = ( Nm2 +Nc2 )0.5 (1)
引抜きや深絞りによるコアでは固有雑音Ncが小さいのに対して、切削加工によるコアでは固有雑音Ncが大きく、そのために、測定時のトータルの雑音Ntが大きくなり、センサとしての変位分解能が低下する。すなわち、・引抜きや深絞り加工で製作されるコアは、その表面を比較的滑らかに仕上げることができるが、旋盤を用いた切削加工では、旋盤の刃の加工跡が残り、10から数10μmオーダーの凹凸が表面にできる。この表面の凹凸が固有雑音Ncを大きくしている。
Claims (5)
- 支点に揺動可能に取付けられた支持体の一端に探針を設け、探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを設け、探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを支持体に取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計における変位センサ用差動トランスのコアにおいて、
切削加工により形成したパーマロイ製の円筒状本体の表面を研磨処理して表面粗さを1μmオーダー以下にしたことを特徴とする差動トランスのコア。 - 触針式段差計における差動トランスのコアの製造方法において、
パーマロイを切削加工により円筒状本体を形成し、円筒状本体の表面を研磨し、その後磁性焼鈍することを特徴とする差動トランスのコアの製造方法。 - 表面の研磨に、粒度1μm(メッシュナンバー #8,000)のラッピングフィルムシートを用いることを特徴とする請求項2記載の差動トランスのコアの製造方法。
- 触針式段差計における差動トランスのコアの製造方法において、
パーマロイを切削加工により円筒状本体を形成し、磁性焼鈍した後円筒状本体の表面を研磨することを特徴とする差動トランスのコアの製造方法。 - 表面の研磨に、粒度1μm(メッシュナンバー #8,000)のラッピングフィルムシートを用いることを特徴とする請求項4記載の差動トランスのコアの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010089355A JP5382947B2 (ja) | 2010-04-08 | 2010-04-08 | 触針式段差計における差動トランス用コア及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010089355A JP5382947B2 (ja) | 2010-04-08 | 2010-04-08 | 触針式段差計における差動トランス用コア及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011220798A true JP2011220798A (ja) | 2011-11-04 |
JP5382947B2 JP5382947B2 (ja) | 2014-01-08 |
Family
ID=45037978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010089355A Active JP5382947B2 (ja) | 2010-04-08 | 2010-04-08 | 触針式段差計における差動トランス用コア及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5382947B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014120742A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 圧粉成形体、及び圧粉成形体の表面加工方法 |
Citations (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60135544A (ja) * | 1983-12-24 | 1985-07-18 | Tohoku Metal Ind Ltd | 快削性磁性合金 |
JPS61160809A (ja) * | 1985-08-30 | 1986-07-21 | Tdk Corp | 磁気ヘツドの製造方法 |
JPS61215974A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-25 | Kawatetsu Techno Res Kk | 磁気センサ用磁心 |
JPH0471150A (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
JPH05225525A (ja) * | 1992-02-14 | 1993-09-03 | Nec Ibaraki Ltd | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
JPH05242427A (ja) * | 1992-02-26 | 1993-09-21 | Asahi Glass Co Ltd | 薄膜磁気ヘッドコア |
JPH05326238A (ja) * | 1992-05-20 | 1993-12-10 | Tokin Corp | 磁性材料 |
JPH07210813A (ja) * | 1994-01-12 | 1995-08-11 | Tokin Corp | 積層型磁気ヘッドコアの製造方法 |
JPH095361A (ja) * | 1995-06-23 | 1997-01-10 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 直流電流センサー |
JPH09275021A (ja) * | 1996-04-04 | 1997-10-21 | Nkk Corp | 磁気特性の優れた低騒音鉄心 |
JPH10239002A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-11 | Zexel Corp | 直線変位センサのコア構造およびその製造方法 |
JPH10256053A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-25 | Nkk Corp | 鉄損特性のばらつきが小さい鉄心 |
JPH10302221A (ja) * | 1997-04-22 | 1998-11-13 | Citizen Watch Co Ltd | 磁気ヘッドの製造方法 |
JP2001076948A (ja) * | 1999-09-07 | 2001-03-23 | Tokin Corp | 非接触型トランス |
JP2003014407A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Sony Precision Technology Inc | 位置検出装置 |
JP2003059031A (ja) * | 2001-08-16 | 2003-02-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JP2004022847A (ja) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Hitachi Ltd | 変流器,電源装置及びセンサシステム |
JP2005010019A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 測定ヘッド |
JP2005269599A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-29 | Sony Corp | アンテナモジュール用磁芯部材およびその製造方法 |
JP2006085795A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体 |
JP2008122254A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Ulvac Japan Ltd | 触針式段差計における変位センサ用差動トランス |
WO2009075173A1 (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-18 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 粉末及びその製造方法 |
-
2010
- 2010-04-08 JP JP2010089355A patent/JP5382947B2/ja active Active
Patent Citations (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60135544A (ja) * | 1983-12-24 | 1985-07-18 | Tohoku Metal Ind Ltd | 快削性磁性合金 |
JPS61215974A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-25 | Kawatetsu Techno Res Kk | 磁気センサ用磁心 |
JPS61160809A (ja) * | 1985-08-30 | 1986-07-21 | Tdk Corp | 磁気ヘツドの製造方法 |
JPH0471150A (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
JPH05225525A (ja) * | 1992-02-14 | 1993-09-03 | Nec Ibaraki Ltd | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
JPH05242427A (ja) * | 1992-02-26 | 1993-09-21 | Asahi Glass Co Ltd | 薄膜磁気ヘッドコア |
JPH05326238A (ja) * | 1992-05-20 | 1993-12-10 | Tokin Corp | 磁性材料 |
JPH07210813A (ja) * | 1994-01-12 | 1995-08-11 | Tokin Corp | 積層型磁気ヘッドコアの製造方法 |
JPH095361A (ja) * | 1995-06-23 | 1997-01-10 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 直流電流センサー |
JPH09275021A (ja) * | 1996-04-04 | 1997-10-21 | Nkk Corp | 磁気特性の優れた低騒音鉄心 |
JPH10239002A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-11 | Zexel Corp | 直線変位センサのコア構造およびその製造方法 |
JPH10256053A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-25 | Nkk Corp | 鉄損特性のばらつきが小さい鉄心 |
JPH10302221A (ja) * | 1997-04-22 | 1998-11-13 | Citizen Watch Co Ltd | 磁気ヘッドの製造方法 |
JP2001076948A (ja) * | 1999-09-07 | 2001-03-23 | Tokin Corp | 非接触型トランス |
JP2003014407A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Sony Precision Technology Inc | 位置検出装置 |
JP2003059031A (ja) * | 2001-08-16 | 2003-02-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JP2004022847A (ja) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Hitachi Ltd | 変流器,電源装置及びセンサシステム |
JP2005010019A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 測定ヘッド |
JP2005269599A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-29 | Sony Corp | アンテナモジュール用磁芯部材およびその製造方法 |
JP2006085795A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体 |
JP2008122254A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Ulvac Japan Ltd | 触針式段差計における変位センサ用差動トランス |
WO2009075173A1 (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-18 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 粉末及びその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014120742A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 圧粉成形体、及び圧粉成形体の表面加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5382947B2 (ja) | 2014-01-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2406623B1 (en) | Eddy current flaw detection probe | |
EP2613160A1 (en) | Magnetic field observation device and magnetic field observation method | |
JP2004523737A (ja) | 高精度位置測定のための改良された直線型可変差動トランス | |
JP5382947B2 (ja) | 触針式段差計における差動トランス用コア及びその製造方法 | |
JP2006189347A (ja) | 探傷プローブ及び探傷装置 | |
JP2011053154A (ja) | 誘電率の測定方法及び走査型非線形誘電率顕微鏡 | |
Abdallh et al. | Local magnetic measurements in magnetic circuits with highly non-uniform electromagnetic fields | |
JP5124249B2 (ja) | 表面形状測定用触針式段差計を用いた段差測定方法及び装置 | |
CN106442713A (zh) | 一种基于表层磁导率差动测量的厚壁钢管内裂纹检测方法 | |
RU2442131C1 (ru) | Устройство для измерения параметров рельефа поверхности и механических свойств материалов | |
CN102620751B (zh) | 一种微悬臂梁传感器的共振激发方法 | |
JP5782863B2 (ja) | 表面形状測定用触針式段差計の性能改善方法及び該方法を実施した表面形状測定用触針式段差計 | |
JP2008122254A (ja) | 触針式段差計における変位センサ用差動トランス | |
CN109900793B (zh) | 一种铁磁性金属构件蠕变损伤的磁致声发射检测方法 | |
EP3159854B1 (en) | Coin detection system | |
JP4922583B2 (ja) | 表面形状測定用触針式段差計の摩擦力補正方法 | |
CN109596702A (zh) | 一种针对表面缺陷的无损检测装置及方法 | |
CN203772802U (zh) | 一种基于穿过式涡流的牺牲阳极断芯检测系统 | |
Nikolaev et al. | Studying a signal due to the tangential component of stray fluxes from a surface flaw detected with a vibrating induction transducer | |
JP2007327826A (ja) | 表面形状測定用触針式段差計の力の補正方法 | |
Huan et al. | Analysis of the practical force accuracy of electromagnet-based nanoindenters | |
JP5295066B2 (ja) | 誘電率の測定方法及び走査型非線形誘電率顕微鏡 | |
JP2013007666A (ja) | 表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法 | |
KR20190067716A (ko) | 자화 가능한 기재상의 비자성 층의 두께를 측정하는 방법 및 장치 | |
RU2738201C1 (ru) | Портативный микротвердомер |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130904 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130930 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5382947 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |