JPH05225525A - 薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH05225525A JPH05225525A JP2706192A JP2706192A JPH05225525A JP H05225525 A JPH05225525 A JP H05225525A JP 2706192 A JP2706192 A JP 2706192A JP 2706192 A JP2706192 A JP 2706192A JP H05225525 A JPH05225525 A JP H05225525A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pole height
- lapping
- magnetic head
- monitor
- monitors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Abstract
(57)【要約】
【構成】フォトレジストパターン４とポールハイトモニ
ター３を用いてモニターを作成し、高倍（５００〜１０
００倍）の顕微鏡で治具の基準面に高精度（±０．５μ
ｍ以内）でポールハイト基準線７の位置に合わせる。そ
して、ラップ盤１１でラップ加工を行い、左右のポール
ハイトモニターＡ３ａがポールハイト基準線８までラッ
プされた時、図１（ｂ）でパーマロイパターン１が上下
に離され、絶縁計で検出され、ラップが完了する。ここ
で、左右のポールハイトモニター３のどちらか片方が離
された場合、目指チェックし、図４に示すラップバラン
ス重りを離されなかったモニター側にラップ量の差に比
例させて移動し、離されなかった側のラップ速度を速め
る操作を行うことにより、ポールハイト基準線７と８の
間でラップを終了させる。 【効果】上記により、目視で治具加工面より高精度な位
置合わせができ、また、ポールハイトのラッピング加工
量を目視で確認せずに、ポールハイト加工ができ、生産
性を向上できる。
ター３を用いてモニターを作成し、高倍（５００〜１０
００倍）の顕微鏡で治具の基準面に高精度（±０．５μ
ｍ以内）でポールハイト基準線７の位置に合わせる。そ
して、ラップ盤１１でラップ加工を行い、左右のポール
ハイトモニターＡ３ａがポールハイト基準線８までラッ
プされた時、図１（ｂ）でパーマロイパターン１が上下
に離され、絶縁計で検出され、ラップが完了する。ここ
で、左右のポールハイトモニター３のどちらか片方が離
された場合、目指チェックし、図４に示すラップバラン
ス重りを離されなかったモニター側にラップ量の差に比
例させて移動し、離されなかった側のラップ速度を速め
る操作を行うことにより、ポールハイト基準線７と８の
間でラップを終了させる。 【効果】上記により、目視で治具加工面より高精度な位
置合わせができ、また、ポールハイトのラッピング加工
量を目視で確認せずに、ポールハイト加工ができ、生産
性を向上できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記憶装置に関し、
特に磁気ディスク装置の磁気ヘッドのＲ／Ｗポールハイ
ト出しのラッピング加工による薄膜磁気ヘッドの製造方
法に関する。
特に磁気ディスク装置の磁気ヘッドのＲ／Ｗポールハイ
ト出しのラッピング加工による薄膜磁気ヘッドの製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の薄膜磁気ヘッドの製造方法につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【０００３】図４は従来例の薄膜磁気ヘッドのモニター
部分の詳細図、図４（ａ）は従来例の薄膜磁気ヘッドの
モニター部分の上面図、図４（ｂ）は従来例の薄膜磁気
ヘッドのモニター部分の正面図、図４（ｃ）は図４
（ｂ）のＡ−Ａ断面図である。
部分の詳細図、図４（ａ）は従来例の薄膜磁気ヘッドの
モニター部分の上面図、図４（ｂ）は従来例の薄膜磁気
ヘッドのモニター部分の正面図、図４（ｃ）は図４
（ｂ）のＡ−Ａ断面図である。
【０００４】図４において、従来例のモニターは、製品
であるパーマロイパターン１ａ，１ｂと、ポールハイト
モニターＡ３ａ，Ｂ３ｂ，Ｃ３ｃとがフォトレジスト４
により切断加工前の製品の切断加工の部分に取り付けら
れている。
であるパーマロイパターン１ａ，１ｂと、ポールハイト
モニターＡ３ａ，Ｂ３ｂ，Ｃ３ｃとがフォトレジスト４
により切断加工前の製品の切断加工の部分に取り付けら
れている。
【０００５】ここで、従来の薄膜磁気ヘッドのＲ／Ｗポ
ールハイト出しは、例として図４に示すように、パーマ
ロイパターン１ａ，１ｂと、ポールハイトモニターＡ３
ａ，Ｂ３ｂ，Ｃ３ｃと、フォトレジスト４を配置してラ
ッピング加工する。そして、図３（ａ）のように、加工
していくことにより、ラップする面よりポールハイトモ
ニターＡ３ａ，Ｂ３ｂ，Ｃ３ｃと、フォトレジスト４と
が見え、この表示をラッピグ途中で何回か顕微鏡により
確認しながらポールハイトのラッピング加工量を求め、
図４（ｃ）に示すパーマロイパターン１ａ，１ｂが図４
（ｂ）に示す基準値のＲ／Ｗポールハイト位置２の規定
寸法に入るように加工する。
ールハイト出しは、例として図４に示すように、パーマ
ロイパターン１ａ，１ｂと、ポールハイトモニターＡ３
ａ，Ｂ３ｂ，Ｃ３ｃと、フォトレジスト４を配置してラ
ッピング加工する。そして、図３（ａ）のように、加工
していくことにより、ラップする面よりポールハイトモ
ニターＡ３ａ，Ｂ３ｂ，Ｃ３ｃと、フォトレジスト４と
が見え、この表示をラッピグ途中で何回か顕微鏡により
確認しながらポールハイトのラッピング加工量を求め、
図４（ｃ）に示すパーマロイパターン１ａ，１ｂが図４
（ｂ）に示す基準値のＲ／Ｗポールハイト位置２の規定
寸法に入るように加工する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の薄膜磁
気ヘッドの製造方法は、ラッピグ途中で何回か顕微鏡に
より確認しながらポールハイトのラッピング加工量を求
めて規定寸法までラップしているため、非常に効率が悪
く、ラッピング加工に時間がかかり過き、薄膜磁気ヘッ
ドの量産に対処できないという欠点がある。
気ヘッドの製造方法は、ラッピグ途中で何回か顕微鏡に
より確認しながらポールハイトのラッピング加工量を求
めて規定寸法までラップしているため、非常に効率が悪
く、ラッピング加工に時間がかかり過き、薄膜磁気ヘッ
ドの量産に対処できないという欠点がある。
【０００７】本発明の目的は、上記の欠点を解消し、パ
ーマロイ膜の上下ポールの間にあるフォトレジストの絶
縁膜により、ポールハイトの位置をあらかじめフォトレ
ジストで作っておくことにより、目視で治具加工面より
高精度な位置合わせができ、また、上下ポールの間のフ
ォトレジストをラップ加工によって加工面を露出させ、
モニター部の端子間の導通をなくし、それを電気的信号
で検出することにより、ポールハイトのラッピング加工
量を目視で確認せずに、ポールハイト加工ができ、生産
性を向上できる薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供するこ
とにある。
ーマロイ膜の上下ポールの間にあるフォトレジストの絶
縁膜により、ポールハイトの位置をあらかじめフォトレ
ジストで作っておくことにより、目視で治具加工面より
高精度な位置合わせができ、また、上下ポールの間のフ
ォトレジストをラップ加工によって加工面を露出させ、
モニター部の端子間の導通をなくし、それを電気的信号
で検出することにより、ポールハイトのラッピング加工
量を目視で確認せずに、ポールハイト加工ができ、生産
性を向上できる薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供するこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の薄膜磁気ヘッド
の製造方法は、読出し／書込み磁気ヘッドの磁極となる
パーマロイ膜の上下ポールをラッピング加工により読出
し／書込み用ポールハイトの位置まで加工する薄膜磁気
ヘッドの製造方法において、あらかじめパーマロイ膜の
上下ポール間に配置されたフォトレジストの絶縁膜によ
り読出し／書込み用ポールハイトの位置をあらかじめで
作っておき、目視で読出し／書込み用ポールハイトの位
置を検出してラッピング加工の加工基準位置を読出し／
書込み用ポールハイトの位置に合わせ、ラッピング加工
によって上下ポール間のフォトレジストを加工面に露出
させ、パーマロイの上下ポール間を絶縁させることによ
り、読出し／書込み用ポールハイトの位置に達したこと
を電気信号で検出している。
の製造方法は、読出し／書込み磁気ヘッドの磁極となる
パーマロイ膜の上下ポールをラッピング加工により読出
し／書込み用ポールハイトの位置まで加工する薄膜磁気
ヘッドの製造方法において、あらかじめパーマロイ膜の
上下ポール間に配置されたフォトレジストの絶縁膜によ
り読出し／書込み用ポールハイトの位置をあらかじめで
作っておき、目視で読出し／書込み用ポールハイトの位
置を検出してラッピング加工の加工基準位置を読出し／
書込み用ポールハイトの位置に合わせ、ラッピング加工
によって上下ポール間のフォトレジストを加工面に露出
させ、パーマロイの上下ポール間を絶縁させることによ
り、読出し／書込み用ポールハイトの位置に達したこと
を電気信号で検出している。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１０】図１は本発明の一実施例の薄膜磁気ヘッド
とパーマロイ膜の上下ポールの膜に取り付けられたポー
ルハイトモニター部分の詳細図、図１（ａ）は本実施例
の薄膜磁気ヘッドとパーマロイ膜の上下ポールの膜に取
り付けられたポールハイトモニター部分の正面図、図１
（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は図１
（ａ）のＢ−Ｂ断面図、図２は切断加工前の状態で製品
が複数個配列されているところを示す全体図、図３は本
実施例の切断加工前の状態の薄膜磁気ヘッドとラップバ
ランス重りの詳細図である。
とパーマロイ膜の上下ポールの膜に取り付けられたポー
ルハイトモニター部分の詳細図、図１（ａ）は本実施例
の薄膜磁気ヘッドとパーマロイ膜の上下ポールの膜に取
り付けられたポールハイトモニター部分の正面図、図１
（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は図１
（ａ）のＢ−Ｂ断面図、図２は切断加工前の状態で製品
が複数個配列されているところを示す全体図、図３は本
実施例の切断加工前の状態の薄膜磁気ヘッドとラップバ
ランス重りの詳細図である。
【００１１】図１、図２において、製品であるパーマロ
イパターン１と、その両側に、ポールハイトモニターＡ
３ａおよび端部Ａ５と端部Ｂ６に取り付けられた絶縁計
と、ポールハイトモニターＢ３ｂおよび端部Ａ５と端部
Ｂ６に取り付けられた絶縁計とがそれぞれフォトレジス
ト４により切断加工前の製品の切断加工の部分に取り付
けられている。
イパターン１と、その両側に、ポールハイトモニターＡ
３ａおよび端部Ａ５と端部Ｂ６に取り付けられた絶縁計
と、ポールハイトモニターＢ３ｂおよび端部Ａ５と端部
Ｂ６に取り付けられた絶縁計とがそれぞれフォトレジス
ト４により切断加工前の製品の切断加工の部分に取り付
けられている。
【００１２】そして、図１において、フォトレジストパ
ターン４とポールハイトモニター３を用いてモニターを
作成し、高倍（５００〜１０００倍）の顕微鏡で治具の
基準面に高精度（±０．５μｍ以内）でポールハイト基
準線７の位置に合わせる。
ターン４とポールハイトモニター３を用いてモニターを
作成し、高倍（５００〜１０００倍）の顕微鏡で治具の
基準面に高精度（±０．５μｍ以内）でポールハイト基
準線７の位置に合わせる。
【００１３】また、図２において、ラップ盤１１でラッ
プ加工を行い、図１の左右のポールハイトモニターＡ３
ａがポールハイト基準線＋１μｍ８までラップされた
時、図１（ｂ）でパーマロイパターン１の上下ポールが
上下に離され、この上下ポールが絶縁されたことが絶縁
計により検出され、ラップが完了する。
プ加工を行い、図１の左右のポールハイトモニターＡ３
ａがポールハイト基準線＋１μｍ８までラップされた
時、図１（ｂ）でパーマロイパターン１の上下ポールが
上下に離され、この上下ポールが絶縁されたことが絶縁
計により検出され、ラップが完了する。
【００１４】ここで、図３に示すように、ラップ盤１１
の上に加工治具１２の一方に取り付けられた切断加工前
の状態の薄膜ヘッドが乗せられ、加工治具１２の他方に
ラップバランス重り１０が乗せられている。この時、ラ
ップ速度を制御しているのがラップバランスの重り１０
であり、重りの掛かる方がラップ速度が速くなってい
る。
の上に加工治具１２の一方に取り付けられた切断加工前
の状態の薄膜ヘッドが乗せられ、加工治具１２の他方に
ラップバランス重り１０が乗せられている。この時、ラ
ップ速度を制御しているのがラップバランスの重り１０
であり、重りの掛かる方がラップ速度が速くなってい
る。
【００１５】そして、図２を参照して左右のＣ部のポー
ルハイトモニター３のどちらか片方が離された時に、目
指チェックし、ラップバランス重り１０（図３）を離さ
れなかったモニター側にラップ量の差に比例させて移動
し、離されなかった側のラップ速度を速める操作を行う
ことにより、ポールハイト基準線７と８の間でラップを
終了させる。
ルハイトモニター３のどちらか片方が離された時に、目
指チェックし、ラップバランス重り１０（図３）を離さ
れなかったモニター側にラップ量の差に比例させて移動
し、離されなかった側のラップ速度を速める操作を行う
ことにより、ポールハイト基準線７と８の間でラップを
終了させる。
【００１６】ここで、ポールハイト基準予備線８は、ポ
ールハイト分割線９＋０．数μｍの位置にできている。
ールハイト分割線９＋０．数μｍの位置にできている。
【００１７】そして、ポールハイト分割線９までラップ
されると、Ｒ／Ｗギャップ寸法制御ができなくなり、製
品不良となる。
されると、Ｒ／Ｗギャップ寸法制御ができなくなり、製
品不良となる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の薄膜磁気
ヘッドの製造方法は、パーマロイ膜の上下ポールの間に
あるフォトレジストの絶縁膜によりポールハイトの位置
をあらかじめフォトレジストで作っておくことにより、
目視で治具加工面より高精度な位置合わせができる。
ヘッドの製造方法は、パーマロイ膜の上下ポールの間に
あるフォトレジストの絶縁膜によりポールハイトの位置
をあらかじめフォトレジストで作っておくことにより、
目視で治具加工面より高精度な位置合わせができる。
【００１９】また、上下ポールの間のフォトレジストを
ラップ加工によって加工面を露出させ、モニター部の端
子間の導通をなくし、それを電気的信号で検出すること
により、ポールハイトのラッピング加工量を目視で確認
せずに、ポールハイト加工ができ、生産性を向上できる
という効果がある。
ラップ加工によって加工面を露出させ、モニター部の端
子間の導通をなくし、それを電気的信号で検出すること
により、ポールハイトのラッピング加工量を目視で確認
せずに、ポールハイト加工ができ、生産性を向上できる
という効果がある。
【図１】本発明の一実施例の薄膜磁気ヘッドとパーマロ
イ膜の上下ポールの膜に取り付けられたポールハイトモ
ニター部分の詳細図である。図１（ａ）は本実施例の薄
膜磁気ヘッドとパーマロイ膜の上下ポールの膜に取り付
けられたポールハイトモニター部分の正面図である。図
１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図１
（ｃ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
イ膜の上下ポールの膜に取り付けられたポールハイトモ
ニター部分の詳細図である。図１（ａ）は本実施例の薄
膜磁気ヘッドとパーマロイ膜の上下ポールの膜に取り付
けられたポールハイトモニター部分の正面図である。図
１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図１
（ｃ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図２】本実施例の切断加工前の状態で製品が複数個配
列されているところを示す全体図である。
列されているところを示す全体図である。
【図３】本実施例の切断加工前の状態の薄膜磁気ヘッド
とラップバランス重りの詳細図である。
とラップバランス重りの詳細図である。
【図４】従来例の薄膜磁気ヘッドのモニター部分の詳細
図である。図４（ａ）は従来例の薄膜磁気ヘッドのモニ
ター部分の上面図である。図４（ｂ）は従来例の薄膜磁
気ヘッドのモニター部分の正面図である。図４（ｃ）は
図４（ｂ）のＡ−Ａ断面図である。
図である。図４（ａ）は従来例の薄膜磁気ヘッドのモニ
ター部分の上面図である。図４（ｂ）は従来例の薄膜磁
気ヘッドのモニター部分の正面図である。図４（ｃ）は
図４（ｂ）のＡ−Ａ断面図である。
１ パーマロイパターン １ａ パーマロイパターンａ １ｂ パーマロイパターンｂ ２ Ｒ／Ｗポールハイト位置 ３ａ ポールハイトモニターＡ ３ｂ ポールハイトモニターＢ ３ｃ ポールハイトモニターＣ ４ フォトレジスト ５ 端子Ａ ６ 端子Ｂ ７ ポールハイト基準線 ８ ポールハイト基準予備線 ９ ポールハイト分離線 １０ ラップバランス重り １１ ラップ盤 １２ 加工治具
Claims (1)
- 【請求項１】 読出し／書込み磁気ヘッドの磁極となる
パーマロイ膜の上下ポールをラッピング加工により読出
し／書込み用ポールハイトの位置まで加工する薄膜磁気
ヘッドの製造方法において、あらかじめ前記パーマロイ
膜の上下ポール間に配置されたフォトレジストの絶縁膜
により前記読出し／書込み用ポールハイトの位置をあら
かじめで作っておき、目視で前記読出し／書込み用ポー
ルハイトの位置を検出して前記ラッピング加工の加工基
準位置を前記読出し／書込み用ポールハイトの位置に合
わせ、前記ラッピング加工によって前記上下ポール間の
フォトレジストを加工面に露出させ、前記パーマロイの
上下ポール間を絶縁させることにより、前記読出し／書
込み用ポールハイトの位置に達したことを電気信号で検
出することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2706192A JPH05225525A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2706192A JPH05225525A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05225525A true JPH05225525A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=12210557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2706192A Withdrawn JPH05225525A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05225525A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011220798A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Ulvac Japan Ltd | 触針式段差計における差動トランス用コア及びその製造方法 |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP2706192A patent/JPH05225525A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011220798A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Ulvac Japan Ltd | 触針式段差計における差動トランス用コア及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |