JP2008085165A - エッチング方法及び半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
エッチング方法及び半導体デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008085165A JP2008085165A JP2006265148A JP2006265148A JP2008085165A JP 2008085165 A JP2008085165 A JP 2008085165A JP 2006265148 A JP2006265148 A JP 2006265148A JP 2006265148 A JP2006265148 A JP 2006265148A JP 2008085165 A JP2008085165 A JP 2008085165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- etching
- polysilicon film
- film
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 117
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 113
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims abstract description 111
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 51
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 38
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 38
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 136
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N Hydrogen bromide Chemical compound Br CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 60
- 229910000042 hydrogen bromide Inorganic materials 0.000 claims description 29
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 claims description 15
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 5
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 11
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 13
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 9
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 4
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/3213—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer
- H01L21/32133—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only
- H01L21/32135—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only
- H01L21/32136—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas
- H01L21/32137—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas of silicon-containing layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/3065—Plasma etching; Reactive-ion etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】ラジアルラインスロットアンテナ19を備える基板処理装置10の処理容器11内にウエハWを搬入し、ウエハWにおいて開口部40によって露出されているポリシリコン膜37の部分をゲート酸化膜36上に僅かに残る程度までエッチングし、処理空間S1,S2の圧力を66.7Paに設定し、処理空間S2へHBrガス及びHeガスを供給し、ラジアルラインスロットアンテナ19には2.45GHzのマイクロ波を供給してHBrガスから発生したプラズマによってポリシリコン膜37をエッチングして完全に除去し、露出したゲート酸化膜36をエッチングし、レジスト膜39及び反射防止膜38をエッチングする。
【選択図】図5
Description
まず、図4のウエハWを準備し、該ウエハWを基板処理装置10の処理容器11に搬入し、処理ガスG1としてHBrガス、O2ガス及びArガスを処理空間S2に供給し、処理空間S1,S2の圧力を4.0Paに設定し、ラジアルラインスロットアンテナ19に2.45GHzのマイクロ波を供給すると共に、サセプタ12に400KHzの高周波電力を供給して開口部40によって露出されているポリシリコン膜37の部分を当該部分がゲート酸化膜36上に僅かに残る程度までエッチングした。さらに、処理空間S2へHBrガス及びHeガスを供給し、処理空間S1,S2の圧力を66.7Paに設定し、HBrガス等から発生したプラズマによって残留ポリシリコン膜をエッチングした。このとき、残留ポリシリコン膜が完全に除去される一方、ゲート酸化膜36が殆どエッチングされていないことが確認された。
まず、実施例1と同じ条件で開口部40によって露出されているポリシリコン膜37の部分を当該部分がゲート酸化膜36上に僅かに残る程度までエッチングした。さらに、処理空間S1,S2の圧力を13.3Paに設定し、処理空間S2へHBrガス及びO2ガスを供給し、HBrガス等から発生したプラズマによって残留ポリシリコン膜をエッチングした。そして、残留ポリシリコン膜が完全に除去されることによって露出したゲート酸化膜36、続いて、反射防止膜38及びレジスト膜39を除去した。その後、ウエハWのゲートを観察したところ、シリコン基材35に深さが5.05nmのリセス41が発生しているのが確認された(図6(B)参照。)。さらに、ゲートにおいてゲート酸化膜36の形状が裾広がりになっていないことも確認された。
まず、実施例1と同じ条件で開口部40によって露出されているポリシリコン膜37の部分を当該部分がゲート酸化膜36上に僅かに残る程度までエッチングした。さらに、処理空間S1,S2の圧力を33.3Paに設定した以外は実施例1と同じ条件で残留ポリシリコン膜をエッチングした。
まず、実施例1と同じ条件で開口部40によって露出されているポリシリコン膜37の部分を当該部分がゲート酸化膜36上に僅かに残る程度までエッチングした。さらに、処理空間S1,S2の圧力を93.3Pa(700mTorr)に設定した以外は実施例1と同じ条件で残留ポリシリコン膜をエッチングした。
まず、実施例1と同じ条件で開口部40によって露出されているポリシリコン膜37の部分を当該部分がゲート酸化膜36上に僅かに残る程度までエッチングした。さらに、処理空間S1,S2の圧力を40.0Paに設定した以外は実施例1と同じ条件で残留ポリシリコン膜をエッチングした。
まず、実施例1と同じ条件で開口部40によって露出されているポリシリコン膜37の部分を当該部分がゲート酸化膜36上に僅かに残る程度までエッチングしたサンプルを幾つか準備した。さらに、処理空間S1,S2の圧力をサンプル毎に異なるように設定し(具体的には80.0Paを中心に幾つかの圧力に設定した。)、これらのサンプルについて残留ポリシリコン膜をエッチングした。
S1,S2 処理空間
W ウエハ
10 基板処理装置
11 処理容器
12 サセプタ
13 マイクロ波透過窓
14 リング部材
19 ラジアルラインスロットアンテナ
20 スロット板
21 アンテナ誘電体板
22 遅波板
24 同軸導波管
25a,25b スロット
28 処理ガス供給部
33 高周波電源
Claims (6)
- シリコン基材上に少なくともシリコン酸化膜、ポリシリコン膜及び開口部を有するマスク膜が順に形成された基板のエッチング方法であって、
前記開口部に対応する前記ポリシリコン膜を該ポリシリコン膜の一部を残すようにエッチングする第1のエッチングステップと、
前記残されたポリシリコン膜を、酸素ガスを含まない処理ガスから発生したプラズマを用いてエッチングする第2のエッチングステップとを有し、
前記第2のエッチングステップでは、圧力が33.3Pa〜93.3Paの雰囲気下で前記残されたポリシリコン膜をエッチングすることを特徴とするエッチング方法。 - 前記第2のエッチングステップでは、圧力が40.0Pa〜80.0Paの雰囲気下で前記残されたポリシリコン膜をエッチングすることを特徴とする請求項1記載のエッチング方法。
- 前記酸素ガスを含まない処理ガスは、臭化水素ガス及び不活性ガスの混合ガスであることを特徴とする請求項1又は2記載のエッチング方法。
- 前記第1のエッチングステップでは、臭化水素ガス、フルオロカーボンガス又は塩素ガスから発生したプラズマを用いて前記ポリシリコン膜をエッチングすることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- 前記シリコン酸化膜をエッチングする第3のエッチングステップを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- シリコン基材上に少なくともシリコン酸化膜、ポリシリコン膜及び開口部を有するマスク膜が順に形成された基板から半導体デバイスを製造する半導体デバイスの製造方法であって、
前記開口部に対応する前記ポリシリコン膜を該ポリシリコン膜の一部を残すようにエッチングする第1のエッチングステップと、
前記残されたポリシリコン膜を、酸素ガスを含まない処理ガスから発生したプラズマを用いてエッチングする第2のエッチングステップとを有し、
前記第2のエッチングステップでは、圧力が33.3Pa〜93.3Paの雰囲気下で前記残されたポリシリコン膜をエッチングすることを特徴とする製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006265148A JP4801553B2 (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | エッチング方法及び半導体デバイスの製造方法 |
CN2007101466418A CN101154582B (zh) | 2006-09-28 | 2007-08-23 | 蚀刻方法以及半导体器件的制造方法 |
EP07017735.7A EP1906439B1 (en) | 2006-09-28 | 2007-09-11 | Etching method |
US11/861,469 US20080261406A1 (en) | 2006-09-28 | 2007-09-26 | Etching method and semiconductor device fabrication method |
KR1020070097476A KR100931427B1 (ko) | 2006-09-28 | 2007-09-27 | 에칭 방법 및 반도체 디바이스의 제조 방법 |
TW096136039A TWI463563B (zh) | 2006-09-28 | 2007-09-27 | Etching method and manufacturing method of semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006265148A JP4801553B2 (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | エッチング方法及び半導体デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008085165A true JP2008085165A (ja) | 2008-04-10 |
JP4801553B2 JP4801553B2 (ja) | 2011-10-26 |
Family
ID=38938287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006265148A Expired - Fee Related JP4801553B2 (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | エッチング方法及び半導体デバイスの製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080261406A1 (ja) |
EP (1) | EP1906439B1 (ja) |
JP (1) | JP4801553B2 (ja) |
KR (1) | KR100931427B1 (ja) |
CN (1) | CN101154582B (ja) |
TW (1) | TWI463563B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009302181A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Tokyo Electron Ltd | プラズマエッチング処理方法およびプラズマエッチング処理装置 |
WO2011021539A1 (ja) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置とプラズマ処理方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101752207B (zh) * | 2008-12-02 | 2011-11-09 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 消除干法刻蚀中溴化氢浓缩残留方法 |
JP4968861B2 (ja) * | 2009-03-19 | 2012-07-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板のエッチング方法及びシステム |
US8809199B2 (en) * | 2011-02-12 | 2014-08-19 | Tokyo Electron Limited | Method of etching features in silicon nitride films |
CN104900515B (zh) * | 2014-03-07 | 2019-04-12 | 无锡华润上华科技有限公司 | 一种半导体器件蚀刻方法及半导体器件形成方法 |
JP6489483B2 (ja) * | 2016-03-09 | 2019-03-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | プラズマ処理方法 |
CN107492485B (zh) * | 2016-06-13 | 2020-03-06 | 北大方正集团有限公司 | 半导体器件的制作方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05243188A (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-21 | Japan Steel Works Ltd:The | エッチング方法 |
JPH09260349A (ja) * | 1996-01-12 | 1997-10-03 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH09270420A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Nippon Steel Corp | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4502915B1 (en) * | 1984-01-23 | 1998-11-03 | Texas Instruments Inc | Two-step plasma process for selective anisotropic etching of polycrystalline silicon without leaving residue |
US5201993A (en) * | 1989-07-20 | 1993-04-13 | Micron Technology, Inc. | Anisotropic etch method |
US5242536A (en) * | 1990-12-20 | 1993-09-07 | Lsi Logic Corporation | Anisotropic polysilicon etching process |
JP3165047B2 (ja) * | 1996-12-12 | 2001-05-14 | 日本電気株式会社 | ポリサイド膜のドライエッチング方法 |
CN1287430C (zh) * | 2001-06-15 | 2006-11-29 | 东京毅力科创株式会社 | 干蚀刻方法 |
US6759340B2 (en) * | 2002-05-09 | 2004-07-06 | Padmapani C. Nallan | Method of etching a trench in a silicon-on-insulator (SOI) structure |
KR20040036802A (ko) * | 2002-10-24 | 2004-05-03 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 게이트 형성 방법 |
-
2006
- 2006-09-28 JP JP2006265148A patent/JP4801553B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-08-23 CN CN2007101466418A patent/CN101154582B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-09-11 EP EP07017735.7A patent/EP1906439B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-09-26 US US11/861,469 patent/US20080261406A1/en not_active Abandoned
- 2007-09-27 KR KR1020070097476A patent/KR100931427B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-09-27 TW TW096136039A patent/TWI463563B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05243188A (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-21 | Japan Steel Works Ltd:The | エッチング方法 |
JPH09260349A (ja) * | 1996-01-12 | 1997-10-03 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH09270420A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Nippon Steel Corp | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009302181A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Tokyo Electron Ltd | プラズマエッチング処理方法およびプラズマエッチング処理装置 |
KR101147964B1 (ko) * | 2008-06-11 | 2012-05-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 에칭 처리 방법 및 플라즈마 에칭 처리 장치 |
TWI405260B (zh) * | 2008-06-11 | 2013-08-11 | Tokyo Electron Ltd | A plasma etching treatment method and a plasma etching processing apparatus |
WO2011021539A1 (ja) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置とプラズマ処理方法 |
CN102473634A (zh) * | 2009-08-20 | 2012-05-23 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理装置和等离子体处理方法 |
US8771537B2 (en) | 2009-08-20 | 2014-07-08 | Tokyo Electron Limited | Plasma treatment device and plasma treatment method |
US10224220B2 (en) | 2009-08-20 | 2019-03-05 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and plasma etching apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080029856A (ko) | 2008-04-03 |
CN101154582B (zh) | 2010-06-09 |
EP1906439A2 (en) | 2008-04-02 |
EP1906439A3 (en) | 2008-04-30 |
US20080261406A1 (en) | 2008-10-23 |
EP1906439B1 (en) | 2015-02-25 |
TW200826188A (en) | 2008-06-16 |
JP4801553B2 (ja) | 2011-10-26 |
TWI463563B (zh) | 2014-12-01 |
KR100931427B1 (ko) | 2009-12-11 |
CN101154582A (zh) | 2008-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4972594B2 (ja) | エッチング方法及び半導体デバイスの製造方法 | |
JP4801553B2 (ja) | エッチング方法及び半導体デバイスの製造方法 | |
US8974628B2 (en) | Plasma treatment device and optical monitor device | |
US8809199B2 (en) | Method of etching features in silicon nitride films | |
JP4668205B2 (ja) | 多孔質低誘電率層内に形状を形成する方法および装置 | |
KR101056199B1 (ko) | 플라즈마 산화 처리 방법 | |
CN103081074B (zh) | 基板处理方法、图案形成方法、半导体元件的制造方法及半导体元件 | |
JP5171683B2 (ja) | プラズマ処理方法 | |
KR101718170B1 (ko) | 기판 처리 방법 | |
US8778206B2 (en) | Substrate processing method and storage medium | |
JP3893888B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2002520848A (ja) | 2ステップ自己整合コンタクトエッチング | |
US7608544B2 (en) | Etching method and storage medium | |
JP6840041B2 (ja) | エッチング方法 | |
KR20110102243A (ko) | 표면 평탄화 방법 | |
JP2000294626A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4643916B2 (ja) | 層間絶縁膜のドライエッチング方法及びその装置 | |
JP2005072352A (ja) | 層間絶縁膜のドライエッチング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090925 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110217 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110511 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110708 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110802 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110805 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140812 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |