JP2008078238A - 電子部品の実装構造及び電子部品の実装方法 - Google Patents
電子部品の実装構造及び電子部品の実装方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008078238A JP2008078238A JP2006253316A JP2006253316A JP2008078238A JP 2008078238 A JP2008078238 A JP 2008078238A JP 2006253316 A JP2006253316 A JP 2006253316A JP 2006253316 A JP2006253316 A JP 2006253316A JP 2008078238 A JP2008078238 A JP 2008078238A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electronic component
- electrode terminal
- dummy
- electrode terminals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
Landscapes
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】はんだチップ2と、パッケージ基板4とが、導電性接着材によって接合され、該導電性接着材に含有されるはんだ粒子が、チップ側電極端子1及び基板側電極端子3のパッド面で、凝集、一体化されて、チップ側電極端子1及び基板側電極端子3とがはんだ接続され、かつ、はんだチップ2とパッケージ基板4との隙間には導電性接着材の樹脂成分(樹脂層9)が充填硬化されている。はんだチップ2の接合面及び/又はパッケージ基板4の接合面には、ダミー電極6、7が設けられていて、ダミー電極6、7には、はんだ粒子のうち、余分なはんだ粒子が吸着されている。
【選択図】図2
Description
また、パッケージ基板104の裏面には、電極端子(基板側電極端子)103と導通する複数の外部電極端子106が配設されて、この外部電極端子106にも、はんだバンプ107が接続されている。半導体チップ102とパッケージ基板104との間の空隙は絶縁性樹脂108によって充填され、半導体チップ102及びパッケージ基板104の周囲部分はパッケージ樹脂体109で覆われている。
それゆえ、フラックス洗浄残渣による信頼性低下を解消でき、微細接続を低コストで、しかも、過大な応力を加えることなく接続できる新しい実装技術が要望されている。
この特許文献4に記載の導電性接着材を第1の電子デバイスと第2の電子デバイスとの接合面全域に供給し、過熱処理すれば、フラックス材がはんだ粒子の電子デバイスの電極端子への接着を促進し、かつ導電性接着材の樹脂成分が硬化されるので、電子デバイス間の電気的機械的接続と、封入絶縁を一括して行うことができる。この方法では、加熱処理中にはんだ粒子が凝集、粒子同士の少なくとも一部分が金属接合を起こして成長し、電極端子間の電気的導通が得られるのである。
特許文献2の実装構造体でも、接着補強のために、ローラ塗布法を用いて、ダミー電極が形成されるが、これは、半導体素子と配線基板との接着力を補強するためのもので、本願発明の“ダミ−電極”や“ダミーバンプ”とは、機能を異にするものである。
特許文献3には、電子部品と基板との固着力を強化するために、大きさと比重が異なる複数のはんだ粒子が予め混練された電気絶縁性接着剤を用いることが開示されている。しかしながら、本願発明で用いるような、凝集性のはんだ粒子を含有する導電性接着剤とは異なっている。
それゆえ、この発明の構成によれば、上記したように、電子部品の信頼性を損なう要因となる端子間ブリッジや未接合バンプや残留粒子の発生を防止できるので、電子デバイスの正常な動作を一段と確実に補償すると共に、信頼性の高い電子部品の実装構造体を得ることができる。
加えて、適正な製造条件幅の拡大によって、製造歩留まりを向上でき、結果として、低コスト化も実現できる。
この例の電子部品の実装構造10は、図1及び図2に示すように、表面の全領域に複数のチップ側電極端子1が配設された半導体チップ(第1の電子部品又は基板)2と、チップ側電極端子1に対応した複数の基板側電極端子3が表面の全領域に配設されたパッケージ基板(第2の電子部品)4とが、両電極端子1、3が対向するように配置されて、対応する電極端子1、3同士がはんだバンプ5を介して接続されている構成において、半導体チップ2及びパッケージ基板4の対向面にそれぞれチップ側電極端子1及び基板側電極端子3に隣接するように複数のチップ側ダミー電極6及び基板側ダミー電極7が配設されて、これらのチップ側ダミー電極6及び基板側ダミー電極7には、有用なはんだバンプ5以外の過剰なはんだが吸着されて、ダミーバンプ8、及び未接合ダミーバンプ8A、8Bが形成されている。ここで、各ダミー電極6、7と、各電極端子1、3とは電気的に絶縁して配設されている。
したがって、半導体チップ2とパッケージ基板4との対向する電極間を確実に電気的に接続して、信頼性の向上を図ることができる。
まず、図8(a)に示すように、表面に基板側電極端子3及び基板側ダミー電極7が配設されたパッケージ基板4を用意する。次に、パッケージ基板4の表面にメタルマスク(図示せず)を使用して、印刷法により厚さが50〜100μmの導電性接着材12を供給する。この導電性接着材12は、エポキシ系樹脂をベースとして、その中にフラックス活性作用を有する剤及びはんだ粒子13を含有させたものを用いる。フラックス活性作用を有する剤としては、(メタ)アクリル酸、マレイン酸等の不飽和酸、蓚酸、マロン酸等の有機二酸、クエン酸等の有機酸をはじめとして、トリメリット酸、テトラメリット酸及びキレート剤等を少なくとも一つ有しているものを用いる。はんだ粒子13としては、例えば、錫・インジウム共晶合金(融点:117℃)からなる粒径が5〜30μm、体積含有率が30%のものを用いる。錫・インジウム共晶合金の他に、銀、銅、ビスマス、アンチモン等からなる2元系、又は3元系のはんだ合金を用いても良い。ただし、はんだ粒子が凝集、一体化の挙動をするには、はんだが溶融する温度において導電性接着材12の樹脂成分の粘度が低く抑えられている必要がある。したがって、はんだ材料の選定にあたっては、接合性の面からは低融点であることが望ましい。
この例の電子部品の実装構造15は、図9に示すように、パッケージ基板4の表面(半導体チップ搭載面)には、最も外側に配設されている複数の基板側電極端子3のさらに外側に隣接するように複数の基板側ダミー電極7が配設されている。また、パッケージ基板4上に搭載されるべき半導体チップ(図示せず)の表面のチップ側電極端子1及びチップ側ダミー電極6も、それぞれパッケージ基板4の表面の基板側電極端子3及び基板側ダミー電極7と同様なレイアウトで配設されている。これ以外は、前述した実施例1の構成と略同様であるので、詳細な説明は省略する。
この例の電子部品の実装構造20は、図10に示すように、マザーボード16の表面(BGA形パッケージ搭載面)の外周部には基板側電極端子3が配設されて、この基板側電極端子3は、例えば、直径が0.25mmの円形状の導電体が0.5mmの等間隔で格子状に配設されている。また、マザーボード16の表面の中央部には、基板側ダミー電極7が、基板側電極端子3と同一寸法及び同一間隔で格子状に配設されている。これによって、マザーボード16の表面の外周部に配設された基板側電極端子3の配置密度と、その表面の中央部に配設された基板側ダミー電極7の配置密度とは同じになっている。また、マザーボード16上に搭載されるBGA形パッケージ(図示せず)の表面のチップ側電極端子1及びチップ側ダミー電極6も、それぞれマザーボード16の表面の基板側電極端子3及び基板側ダミー電極7と同様なレイアウトで配設されている。
この例の電子部品の実装構造25は、図11に示すように、マザーボード16の表面のみに、その最近接して配設されている4つの基板側電極端子3で囲まれる領域のすべてに、直径が0.2mmの円形状の導電体からなる基板側ダミー電極17が等間隔で格子状に配設されている。すなわち、ダミー電極17を配設した分だけ、マザーボード16の方がBGA形パッケージのダミー電極よりも多くなっている。これ以外は、前述した実施例3の構成と略同様であるので、詳細な説明は省略する。
2 半導体チップ(第1の電子部品又は基板)
3 基板側電極端子(第2の電極端子)
4 パッケージ基板(第2の電子部品又は基板)
5 はんだバンプ
6 チップ側ダミー電極(ダミー電極)
7、17 基板側ダミー電極(ダミー電極)
8 ダミーバンプ
8A、8B 未接合ダミーバンプ
9 樹脂層(樹脂成分)
10、15、20、25 電子部品の実装構造
11 半導体チップの搭載領域
12 導電性接着材
13 はんだ粒子
16 マザーボード
Claims (12)
- 第1の接合面に複数の第1の電極端子が配列された第1の電子部品又は基板と、第2の接合面に複数の第2の電極端子が配列された第2の電子部品又は基板とが、相対向する前記第1の接合面と前記第2の接合面との間に介挿された導電性接着材によって接合され、該導電性接着材に含有されるはんだ粒子が、前記第1の電極端子及び前記第2の電極端子のパッド面で、凝集、一体化されて、互いに対応関係のある前記第1の電極端子と第2の電極端子とがはんだ接続され、かつ、前記第1の接合面と第2の接合面との隙間には前記導電性接着材の樹脂成分が充填硬化されている電子部品の実装構造であって、
前記第1の接合面又は/及び前記第2の接合面には、有効な電極端子としては機能しない少なくとも1個のダミー電極が設けられていて、該ダミー電極には、前記はんだ粒子のうち、余分なはんだ粒子が吸着されていることを特徴とする電子部品の実装構造。 - 第1の接合面に複数の第1の電極端子が粗に配列された疎な領域と密に配列された密な領域とを有する第1の電子部品又は基板と、第2の接合面に複数の第2の電極端子が粗に配列された疎な領域と密に配列された密な領域とを有する第2の電子部品又は基板とが、相対向する前記第1の接合面と前記第2の接合面との間に介挿された導電性接着材によって接合され、該導電性接着材に含有されるはんだ粒子が、前記第1の電極端子及び前記第2の電極端子のパッド面で、凝集、一体化されて、互いに対応関係のある前記第1の電極端子と第2の電極端子とがはんだ接続され、かつ、前記第1の接合面と第2の接合面との隙間には前記導電性接着材の樹脂成分が充填硬化されている電子部品の実装構造であって、
前記第1の接合面又は/及び前記第2の接合面のうち、前記第1及び第2の電極端子が疎に配列された前記疎な領域には、有効な電極端子としては機能しない少なくとも1個のダミー電極が設けられていて、該ダミー電極には、前記はんだ粒子のうち、余分なはんだ粒子が吸着されていることを特徴とする電子部品の実装構造。 - 第1の接合面に複数の第1の電極端子が粗に配列された疎な領域と密に配列された密な領域とを有する第1の電子部品又は基板と、第2の接合面に複数の第2の電極端子が粗に配列された疎な領域と密に配列された密な領域とを有する第2の電子部品又は基板とが、相対向する前記第1の接合面と前記第2の接合面との間に介挿された導電性接着材によって接合され、該導電性接着材に含有されるはんだ粒子が、前記第1の電極端子及び前記第2の電極端子のパッド面で、凝集、一体化されて、互いに対応関係のある前記第1の電極端子と第2の電極端子とがはんだ接続され、かつ、前記第1の接合面と第2の接合面との隙間には前記導電性接着材の樹脂成分が充填硬化されている電子部品の実装構造であって、
前記第1の接合面又は/及び前記第2の接合面には、有効な電極端子としては機能しない複数のダミー電極が設けられていて、該ダミー電極には、前記はんだ粒子のうち、余分なはんだ粒子が吸着されていると共に、
前記第1の接合面又は/及び前記第2の接合面のうち、前記第1及び第2の電極端子が密に配列された前記密な領域よりも、前記第1及び第2の電極端子が疎に配列された前記疎な領域の方が、前記ダミー電極の配置密度が高くなるように設定されていることを特徴とする電子部品の実装構造。 - 前記第1の接合面と前記第2の接合面とが前記導電性接着材を介して実質的に重合当接される部位である重合当接領域のうち、前記第1及び第2の電極端子が存在しない空き領域には、前記ダミー電極が設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の電子部品の実装構造。
- 前記第1の接合面と前記第2の接合面とが前記導電性接着材を介して実質的に重合当接される部位である重合当接領域のうち、前記第1及び第2の電極端子が存在しない内周部の空き領域及び/又は外周部の空き領域には、前記ダミー電極が設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の電子部品の実装構造。
- 前記第1及び第2の電極端子に前記ダミー電極を含む全体としての電極密度を均等化する態様で、前記ダミー電極が配列されていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1つに記載の電子部品の実装構造。
- 前記ダミー電極が、前記第1の電極端子と隣の第1の電極端子との間及び/又は前記第2の電極端子と隣の第2の電極端子との間に設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の電子部品の実装構造。
- 前記ダミー電極が、一組の前記第1の電極端子の概略中心位置及び/又は一組の前記第2の電極端子の概略中心位置に設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の電子部品の実装構造。
- 前記ダミー電極のパッド面積が、前記第1及び第2の電極端子のそれらよりも小さく設定されていることを特徴とする請求項1乃至8の何れか1つに記載の電子部品の実装構造。
- 第1の接合面に複数の第1の電極端子が配列された第1の電子部品又は基板と、第2の接合面に複数の第2の電極端子が配列された第2の電子部品又は基板と接合する際に、前記第1の接合面と前記第2の接合面との間に導電性接着材を介挿させて、前記第1の接合面と前記第2の接合面とを接合すると共に、互いに対応関係のある前記第1の電極端子と第2の電極端子とをはんだ接続する電子部品の実装方法であって、
前記第1の接合面又は/及び前記第2の接合面に、有効な電極端子としては機能しない少なくとも1個のダミー電極をさらに設け、
前記第1の接合面と前記第2の接合面とを相対向させ、これら第1及び第2の接合面に間に導電性接着材を挿入充填した後、
所定の加熱下で、前記導電性接着材に含有されるはんだ粒子を、前記第1の電極端子及び前記第2の電極端子のパッド面で、凝集、一体化させて、互いに対応関係のある前記第1の電極端子と第2の電極端子とをはんだ接続すると共に、前記はんだ粒子のうち、余分なはんだ粒子をダミー電極に吸着させることを特徴とする電子部品の実装方法。 - 前記はんだ接続の後、又は、前記はんだ接続と同時進行で、前記第1の接合面と第2の接合面との隙間に充填されている前記導電性接着材の樹脂成分を硬化させることを特徴とする請求項10記載の電子部品の実装方法。
- 前記導電性接着材が、フィルム状の樹脂成分の中にはんだ粒子が分散して含有される導電性接着フィルムからなることを特徴とする請求項10又は11記載の電子部品の実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006253316A JP4887997B2 (ja) | 2006-09-19 | 2006-09-19 | 電子部品の実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006253316A JP4887997B2 (ja) | 2006-09-19 | 2006-09-19 | 電子部品の実装方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008078238A true JP2008078238A (ja) | 2008-04-03 |
JP4887997B2 JP4887997B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=39350029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006253316A Expired - Fee Related JP4887997B2 (ja) | 2006-09-19 | 2006-09-19 | 電子部品の実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4887997B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008198745A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半田バンプの形成方法、半田バンプ、半導体装置および半導体装置の製造方法 |
WO2009044695A1 (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-09 | Nec Corporation | 電子部品の実装方法等 |
US8304338B2 (en) | 2009-03-24 | 2012-11-06 | Panasonic Corporation | Method of joining electronic component and the electronic component |
JP2013251562A (ja) * | 2013-07-22 | 2013-12-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | ダイシングシート機能付き導電接続材料、端子間の接続方法及び電気、電子部品 |
US8673688B2 (en) | 2010-10-20 | 2014-03-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor package and method of manufacturing the same |
JP2016178177A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及び電子部品装置と電子部品装置の製造方法 |
JP2019125778A (ja) * | 2017-12-01 | 2019-07-25 | インフィネオン テクノロジーズ アーゲーInfineon Technologies Ag | 多種多様な外部接点を含む半導体チップ、チップ配列、及び半導体チップの位置のアライメントをチェックする方法 |
KR20210001894A (ko) * | 2019-06-28 | 2021-01-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 전자 디바이스 및 그 제작 방법과 표시 장치 및 그 제조 방법 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05267392A (ja) * | 1992-03-18 | 1993-10-15 | Hitachi Ltd | 多層配線基板 |
JPH10308413A (ja) * | 1997-05-07 | 1998-11-17 | Casio Comput Co Ltd | 電子部品及び電子部品搭載モジュール |
JP2000165007A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-16 | Nec Corp | プリント配線板、電子部品及び電子部品の実装方法 |
JP2001257289A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体パッケージ、半導体装置並びに半導体装置の製造方法 |
JP2003017530A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Hitachi Ltd | 半導体装置およびその実装方法 |
JP2006245189A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体素子のフリップチップ実装方法及び実装構造体 |
-
2006
- 2006-09-19 JP JP2006253316A patent/JP4887997B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05267392A (ja) * | 1992-03-18 | 1993-10-15 | Hitachi Ltd | 多層配線基板 |
JPH10308413A (ja) * | 1997-05-07 | 1998-11-17 | Casio Comput Co Ltd | 電子部品及び電子部品搭載モジュール |
JP2000165007A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-16 | Nec Corp | プリント配線板、電子部品及び電子部品の実装方法 |
JP2001257289A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体パッケージ、半導体装置並びに半導体装置の製造方法 |
JP2003017530A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Hitachi Ltd | 半導体装置およびその実装方法 |
JP2006245189A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体素子のフリップチップ実装方法及び実装構造体 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008198745A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半田バンプの形成方法、半田バンプ、半導体装置および半導体装置の製造方法 |
WO2009044695A1 (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-09 | Nec Corporation | 電子部品の実装方法等 |
JP5560713B2 (ja) * | 2007-10-05 | 2014-07-30 | 日本電気株式会社 | 電子部品の実装方法等 |
US8304338B2 (en) | 2009-03-24 | 2012-11-06 | Panasonic Corporation | Method of joining electronic component and the electronic component |
US8673688B2 (en) | 2010-10-20 | 2014-03-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor package and method of manufacturing the same |
JP2013251562A (ja) * | 2013-07-22 | 2013-12-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | ダイシングシート機能付き導電接続材料、端子間の接続方法及び電気、電子部品 |
JP2016178177A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及び電子部品装置と電子部品装置の製造方法 |
US9633964B2 (en) | 2015-03-19 | 2017-04-25 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Wiring substrate and electronic component device |
JP2019125778A (ja) * | 2017-12-01 | 2019-07-25 | インフィネオン テクノロジーズ アーゲーInfineon Technologies Ag | 多種多様な外部接点を含む半導体チップ、チップ配列、及び半導体チップの位置のアライメントをチェックする方法 |
US11728257B2 (en) | 2017-12-01 | 2023-08-15 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor chip comprising a multiplicity of external contacts, chip arrangement and method for checking an alignment of a position of a semiconductor chip |
JP7334037B2 (ja) | 2017-12-01 | 2023-08-28 | インフィネオン テクノロジーズ アーゲー | 多種多様な外部接点を含む半導体チップ、チップ配列、及び半導体チップの位置のアライメントをチェックする方法 |
KR20210001894A (ko) * | 2019-06-28 | 2021-01-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 전자 디바이스 및 그 제작 방법과 표시 장치 및 그 제조 방법 |
KR102377755B1 (ko) * | 2019-06-28 | 2022-03-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 전자 디바이스 및 그 제작 방법과 표시 장치 및 그 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4887997B2 (ja) | 2012-02-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4887997B2 (ja) | 電子部品の実装方法 | |
US7482199B2 (en) | Self alignment features for an electronic assembly | |
TWI419300B (zh) | 內建電子零件之基板及其製造方法 | |
TW200525666A (en) | Bump-on-lead flip chip interconnection | |
JP5569676B2 (ja) | 電子部品の実装方法 | |
KR102006637B1 (ko) | 범프의 형성 방법 및 이를 포함하는 반도체 소자의 형성방법 | |
JP2009099669A (ja) | 電子部品の実装構造および実装方法 | |
JP5560713B2 (ja) | 電子部品の実装方法等 | |
JP4051570B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
TWI508258B (zh) | 半導體封裝件及其製法 | |
JP2000277649A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP3972209B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 | |
JP5036397B2 (ja) | チップ内蔵基板の製造方法 | |
JP2007266564A (ja) | フリップチップボンデッドパッケージ | |
JP3847602B2 (ja) | 積層型半導体装置及びその製造方法並びに半導体装置搭載マザーボード及び半導体装置搭載マザーボードの製造方法 | |
JP5245270B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP4324773B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5333220B2 (ja) | 半導体装置の実装構造及び半導体装置の実装方法 | |
JP2016162813A (ja) | プリント基板及びハンダ付け方法 | |
JP4561969B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2000133680A (ja) | 面実装用接合部材 | |
JP4591715B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2013110264A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2007266640A (ja) | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 | |
KR20070063119A (ko) | 플립칩 실장용 기판의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090812 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110819 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110823 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111024 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111115 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111128 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |