JP2019125778A - 多種多様な外部接点を含む半導体チップ、チップ配列、及び半導体チップの位置のアライメントをチェックする方法 - Google Patents
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Abstract
Description
110 第1の配列
113 ターゲット位置を取り囲む材料
114 絶縁材料
115 ターゲット位置
120 第1の外部接点
130 第2の外部接点
135 第2の外部接点
150 集積回路
153 個別ドライバ回路
157 個別機能要素
158 電気的接続要素
159 テスト端子
160 未接続箇所
170 未接続箇所
175 接続済み箇所
200 第2の半導体チップ
201 第1の主表面
202 第2の主表面
210 第2の配列
213 ターゲット位置を取り囲む材料
214 絶縁材料
220 第1の外部接点
230 第2の外部接点
300 チップ配列
Claims (20)
- 複数の第1の導体接点と少なくとも1つの第2の導体接点とを含むマウント面を含む半導体チップであって、
前記複数の第1の接点のそれぞれは、前記第1の接点のうちの直接隣り合う第1の接点の中心点同士が第1の方向に第1の距離だけ互いに離されるように、規則正しく間隔を空けられたアレイとして配列され、
前記複数の第1の接点のそれぞれは、第1の横方向の広がりが同一であり、
前記少なくとも1つの第2の導体接点は、少なくとも一部が、前記第1の横方向の広がりを有する領域の中にあり、前記第1の接点のうちの直接隣接する第1の接点から前記第1の方向に前記第1の距離だけ離れており、
以下の2つの事柄、即ち、
前記少なくとも1つの第2の導体接点の第2の横方向の広がりが前記第1の横方向の広がりより小さいこと、又は
前記少なくとも1つの第2の導体接点の中心点が、前記第1の接点のうちの前記直接隣接する第1の接点の前記中心点から前記第1の方向に、前記第1の距離と異なる第2の距離だけ離れていること
のうちの少なくとも一方が真実である、
半導体チップ。 - 前記少なくとも1つの第2の導体接点は前記第2の横方向の広がりを有し、前記少なくとも1つの第2の導体接点の中心点が、前記第1の接点のうちの直接隣接する第1の接点の中心点から前記第1の方向に前記第1の距離だけ離れている、請求項1に記載の半導体チップ。
- 前記少なくとも1つの第2の導体接点の前記中心点は、前記第1の接点のうちの前記直接隣接する第1の接点の前記中心点から前記第1の方向に前記第2の距離だけ離れている、請求項1に記載の半導体チップ。
- 前記少なくとも1つの第2の導体接点の第2の横方向の広がりが前記第1の横方向の広がりより小さい、請求項3に記載の半導体チップ。
- 前記第2の距離は前記第1の距離より長い、請求項3に記載の半導体チップ。
- 前記規則正しく間隔を空けられたアレイは、前記第1の接点の少なくとも1つの行と、前記第1の接点の少なくとも1つの列とを含み、前記少なくとも1つの行は、前記第1の接点のうちの、それぞれが互いに前記第1の方向に前記第1の距離だけ離れている2つ以上の第1の接点を含み、前記少なくとも1つの列は、前記第1の接点のうちの、それぞれが互いに第2の方向に第3の距離だけ離れている2つ以上の第1の接点を含む、請求項1に記載の半導体チップ。
- 前記第3の距離は前記第1の距離と異なる、請求項6に記載の半導体チップ。
- 前記半導体チップは前記第2の接点のうちの4つを含み、前記第2の接点のうちの前記4つは、前記規則正しく間隔を空けられたアレイの外側コーナーに配置される、請求項6に記載の半導体チップ。
- 前記4つの第2の接点のそれぞれは、前記第1の接点のうちの直接隣接する第1の接点の外側エッジ側から前記第1の方向に前記第1の距離だけ離れている場所と重なっており、前記4つの第2の接点のそれぞれは、前記第1の接点のうちの直接隣接する第1の接点の外側エッジ面から前記第2の方向に前記第3の距離だけ離れている場所と重なっている、請求項8に記載の半導体チップ。
- 複数の第1の導体接点と第2の導体接点とを含むマウント面を含む半導体チップであって、
前記複数の第1の接点のそれぞれは、前記第1の接点のうちの直接隣り合う第1の接点の中心点同士が第1の方向に第1の距離だけ互いに離されるように、規則正しく間隔を空けられたアレイとして配列され、
前記複数の第1の接点のそれぞれは、第1の横方向の広がりが同一であり、
前記第2の導体接点は、前記規則正しく間隔を空けられたアレイと、前記半導体チップの第1の外側エッジ面との間に、前記第1の方向に配置され、
以下の2つの事柄、即ち、
前記第2の導体接点の第2の横方向の広がりが前記第1の横方向の広がりより小さいこと、又は
前記第2の導体接点の中心点が、前記第1の接点のうちの直接隣接する第1の接点の前記中心点から前記第1の方向に、前記第1の距離と異なる第2の距離だけ離れていること
のうちの少なくとも一方が真実である、
半導体チップ。 - 前記半導体チップは更に、第3の導体接点を含み、前記第3の導体接点は、前記規則正しく間隔を空けられたアレイと、前記半導体チップの第2の外側エッジ面との間に配置され、前記第1及び第2の外側エッジ面は互いに向かい合っており、
以下の2つの事柄、即ち、
前記第3の導体接点の第3の横方向の広がりが前記第1の横方向の広がりより小さいこと、又は
前記第3の導体接点の中心点が、前記第3の接点のうちの直接隣接する第3の接点の前記中心点から前記第1の方向に、前記第1の距離と異なる第3の距離だけ離れていること
のうちの少なくとも一方が真実である、
請求項10に記載の半導体チップ。 - 前記第3の距離は前記第2の距離と異なる、請求項11に記載の半導体チップ。
- 前記第2の導体接点の第2の横方向の広がりが前記第1の横方向の広がりより小さく、前記第3の導体接点の第3の横方向の広がりが前記第1の横方向の広がりより小さい、請求項11に記載の半導体チップ。
- 複数の第1の導体接点と第2の導体接点とを含むマウント面を含む半導体チップであって、
前記複数の第1の接点のそれぞれは、前記第1の接点のうちの直接隣り合う第1の接点の中心点同士が第1の方向に第1の距離だけ互いに離されるように、規則正しく間隔を空けられたアレイとして配列され、
前記第1の接点のうちの中央の第1の接点の両側が、前記第1の接点のうちの外側の第1の接点によって取り囲まれ、
前記複数の第1の接点のそれぞれは、第1の横方向の広がりが同一であり、
前記第2の接点の第2の横方向の広がりが前記第1の横方向の広がりより小さく、
前記第2の導体接点は、前記第1の接点のうちの、前記第1の方向の2つの第1の接点の間に、前記第2の導体接点と、前記第1の接点のうちの前記2つの第1の接点との間の距離が前記第1の距離より短いように、配置される、
半導体チップ。 - 前記規則正しく間隔を空けられたアレイは、前記第1の接点の少なくとも1つの行と、前記第1の接点の少なくとも1つの列とを含み、前記少なくとも1つの行のそれぞれは、前記第1の接点のうちの、それぞれが互いに前記第1の方向に前記第1の距離だけ離れている2つ以上の第1の接点を含み、前記少なくとも1つの列のそれぞれは、前記第1の接点のうちの、それぞれが互いに第2の方向に第3の距離だけ離れている2つ以上の第1の接点を含み、前記第2の導体接点は、前記第1の接点のうちの、前記行のうちの1つの行にある2つの第1の接点の間に前記第1の方向に位置し、前記第2の導体接点は、前記第1の接点のうちの、前記列のうちの1つの列にある2つの第1の接点の間に前記第2の方向に位置する、請求項14に記載の半導体チップ。
- 前記規則正しく間隔を空けられたアレイは、前記行のうちの3つの行と、前記列のうちの3つの列とを含み、前記第1の接点のうちの前記中央の第1の接点は、前記第1の接点のうちの外側の第1の接点によって前記第1の方向及び前記第2の方向に取り囲まれる、請求項14に記載の半導体チップ。
- 第1の半導体チップであって、
第1の複数の第1の導体接点を含むマウント面を含み、
前記第1の複数の第1の接点のそれぞれは、前記第1の接点のうちの直接隣り合う第1の接点の中心点同士が第1の方向に第1の距離だけ互いに離されるように、規則正しく間隔を空けられたアレイとして配列され、
前記第1の複数の第1の接点のそれぞれは、第1の横方向の広がりが同一である、
前記第1の半導体チップと、
第2の半導体チップであって、
第2の複数の第2の導体接点と第3の導体接点とを含むマウント面を含み、
前記第2の複数の第2の接点のそれぞれは、前記第2の接点のうちの直接隣り合う第2の接点の中心点同士が第2の方向に前記第1の距離だけ互いに離されるように、規則正しく間隔を空けられたアレイとして配列され、
前記第2の複数の第2の接点のそれぞれは、前記同一の第1の横方向の広がりを有する、
前記第2の半導体チップと、
を含む半導体チップアセンブリであって、
前記第1及び第2の半導体チップのスタックされた配列では、前記第1及び第2の半導体チップの前記マウント面は互いに向き合い、前記第1の導体接点の少なくとも一部が、前記第2の導体接点の少なくとも一部と向き合って電気的に接続され、
第3の導体接点は、前記スタックされた配列では、前記第3の導体接点が、場合によっては、前記第1の半導体チップが前記第2の半導体チップに対して横方向に動く範囲で、前記第1の半導体チップの別の接点と向き合い、電気的に接続又は切断されたままになるように、且つ、前記第3の導体接点が、場合によっては、前記第1の半導体チップが前記横方向の動く範囲より大きく動くことによって、電気的に切断又は接続されるように構成され、
前記横方向に動く範囲は前記第1の横方向の広がりより小さい、
半導体チップアセンブリ。 - 前記第1の半導体チップの前記別の導体接点は、前記第1の導体接点のうちの1つであり、前記第3の導体接点は、前記横方向に動く範囲で、前記別の導体接点と重なり、電気的に接続されるように構成され、前記第3の導体接点と前記別の導体接点とが重なる領域は、前記第1の導体接点のうちの、前記別の導体接点とは異なる他の第1の導体接点と前記第2の接点とが正確にアライメントされていれば、前記第2の導体接点と、前記第1の導体接点のうちの前記他の第1の導体接点とが重なる領域より小さい、請求項17に記載の半導体チップアセンブリ。
- 前記第1の半導体チップの前記別の導体接点は第4の導体接点であり、第3及び第4の導体接点の第2の横方向の広がりは前記第1の横方向の広がりより小さい、請求項17に記載の半導体チップアセンブリ。
- 前記第1及び第2の接点が正確にアライメントされている場合には前記第4及び第3の導体接点が互いに切断されているように、且つ、前記第1の半導体チップが前記横方向に動く範囲より大きく動くことによって前記第3及び第4の接点が接続されるように、前記第4の導体接点及び第3の導体接点が、それぞれ、前記第1及び第2の複数の第1の接点から間隔を空けて配置されている、請求項17に記載の半導体チップアセンブリ。
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