JP4591715B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
第1の配線パターンが形成された第1のインターポーザと、前記第1のインターポーザに搭載されるとともに前記第1の配線パターンと電気的に接続された第1の半導体チップと、を含む第1のパッケージと、
第2の配線パターンが形成された第2のインターポーザと、前記第2のインターポーザに搭載されるとともに前記第2の配線パターンと電気的に接続された第2の半導体チップと、を含む第2のパッケージと、
前記第1及び第2の配線パターンを電気的に接続するコンタクト部と、
樹脂と、
を有し、
前記第2のパッケージは、前記第2のインターポーザが前記第1の半導体チップ及び前記第1のインターポーザの上方にオーバーラップするように配置され、
前記コンタクト部は、前記第1及び第2のインターポーザの間に設けられ、
前記樹脂は、前記第1のインターポーザ及び前記第1の半導体チップと、前記第2のインターポーザと、の間に設けられてなる。本発明によれば、第2のインターポーザは、第1のインターポーザ及び第1の半導体チップの上方に位置し、これらの間に樹脂が設けてあるので、上下のインターポーザの接合強度が向上している。
(2)この半導体装置において、
前記樹脂は、前記第1及び第2のパッケージの間に隙間なく充填されていてもよい。これによって、上下のインターポーザの接合強度がさらに向上する。
(3)この半導体装置において、
前記樹脂は、前記第2のパッケージの端面を被覆していてもよい。
(4)この半導体装置において、
前記樹脂は、前記第2のパッケージの端面にフィレットを形成していてもよい。
(5)この半導体装置において、
前記第2の半導体チップを封止するように前記第2のインターポーザに設けられた封止部をさらに有していてもよい。
(6)この半導体装置において、
前記樹脂は、前記封止部の端面を被覆していてもよい。
(7)この半導体装置において、
前記樹脂は、前記第2のパッケージの端面の全部を露出していてもよい。
(8)本発明に係る回路基板には、上記半導体装置が実装されている。
(9)本発明に係る電子機器は、上記半導体装置を有する。
(10)本発明に係る半導体装置の製造方法は、
(a)第1の配線パターンが形成された第1のインターポーザに、前記第1の配線パターンと電気的に接続するように第1の半導体チップを搭載することによって、第1のパッケージを形成すること、
(b)第2の配線パターンが形成された第2のインターポーザに、前記第2の配線パターンと電気的に接続するように第2の半導体チップを搭載することによって、第2のパッケージを形成すること、
(c)前記第2のパッケージを、前記第2のインターポーザが前記第1の半導体チップ及び前記第1のインターポーザの上方にオーバーラップするように配置すること、
(d)コンタクト部によって、前記第1及び第2のインターポーザの間で、前記第1及び第2の配線パターンを電気的に接続すること、
(e)樹脂を、前記第1のインターポーザ及び前記第1の半導体チップと、前記第2のインターポーザと、の間に注入すること、
を含む。本発明によれば、第2のインターポーザを、第1のインターポーザ及び第1の半導体チップの上方に配置し、これらの間に樹脂を設けるので、上下のインターポーザの接合強度を向上させることができる。
(11)この半導体装置の製造方法において、
前記(b)工程で、複数の前記第2のインターポーザに、複数の前記第2の配線パターンと電気的に接続するように複数の前記第2の半導体チップを搭載することによって、複数の前記第2のパッケージを形成し、
前記(c)工程で、前記複数の前記第2のパッケージを、隣同士に隙間をあけて相互にオーバーラップしないように配置し、
前記(e)工程で、前記樹脂を、前記複数の前記第2のパッケージの隣同士の前記隙間から注入してもよい。これによれば、樹脂を複数の第2のパッケージの隣同士の隙間から注入するので、樹脂は、その隙間から複数の第2のパッケージの方向に進行する。すなわち、樹脂が複数の方向に進行するので、注入作業を短時間で完了させることができる。
(12)この半導体装置の製造方法において、
前記(e)工程後に、前記第1のインターポーザを、それぞれの前記第2のパッケージごとに切断することをさらに含んでもよい。
16…第1の半導体チップ 30…第2のパッケージ 32…第2のインターポーザ
33…端面 34…第2の配線パターン 44…封止部 46…端面
48…コンタクト部 50…樹脂 52…外部端子 54…隙間
60…第1のインターポーザ 70…樹脂 72…フィレット 80…樹脂
110…第1のパッケージ 112…第1のインターポーザ
Claims (4)
- (a)第1の配線パターンが形成された第1のインターポーザと、前記第1の配線パターンと電気的に接続された第1の半導体チップと、を用意する工程と、
(b)第2の配線パターンが形成された第2のインターポーザと、前記第2の配線パターンと電気的に接続された第2の半導体チップと、を有するパッケージを用意する工程と、
(c)前記パッケージを、前記第2のインターポーザが前記第1の半導体チップ及び前記第1のインターポーザの上方にオーバーラップするように配置する工程と、
(d)コンタクト部によって、前記第1及び第2の配線パターンを電気的に接続する工程と、
(e)前記(c)工程後、樹脂を、前記第1のインターポーザと前記第2のインターポーザとの間、及び前記第1の半導体チップと前記第2のインターポーザとの間に注入する工程と、
を含み、
前記(a)工程で、前記第1の配線パターンと電気的に接続された複数の前記第1の半導体チップを用意し、
前記(b)工程で、複数の前記パッケージを用意し、
前記(c)工程で、前記複数の前記第1の半導体チップの各々の上方に少なくとも一つの前記パッケージがオーバーラップし、且つ、前記複数の前記パッケージが隣同士に隙間をあけて相互にオーバーラップしないように、前記複数の前記パッケージを配置し、
前記(e)工程で、前記樹脂を、前記複数の前記パッケージの隣同士の前記隙間から注入する、半導体装置の製造方法。 - (a)第1の配線パターンが形成された第1のインターポーザと、前記第1の配線パターンと電気的に接続された第1の半導体チップと、を用意する工程と、
(b)第2の配線パターンが形成された第2のインターポーザと、前記第2の配線パターンと電気的に接続された第2の半導体チップと、を有するパッケージを用意する工程と、
(c)前記パッケージを、前記第2のインターポーザが前記第1の半導体チップ及び前記第1のインターポーザの上方にオーバーラップするように配置する工程と、
(d)コンタクト部によって、前記第1及び第2の配線パターンを電気的に接続する工程と、
(e)前記(c)工程後、樹脂を、前記第1のインターポーザと前記第2のインターポーザとの間、及び前記第1の半導体チップと前記第2のインターポーザとの間に注入する工程と、
を含み、
前記(e)工程を、前記第1のインターポーザと前記第2のインターポーザを、斜面を有するステージにセットした状態で行う、半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(e)工程は、ディスペンサを前記パッケージの周囲に沿って動かしながら、前記ディスペンサから前記樹脂を吐出させて行う、半導体装置の製造方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(e)工程後に、前記第1のインターポーザを、それぞれの前記パッケージごとに切断することをさらに含む半導体装置の製造方法。
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