JP2008021712A - 半導体モジュールならびにその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】優れた信頼性を持って受動部品を実装でき、インターポーザー上の省スペース化及び半導体モジュールの小型化を可能にする半導体モジュールならびにその製造方法を提供する。
【解決手段】ボンディングパッド21を有する第1インターポーザー10と、第1インターポーザー10に搭載されるICチップ12と、ICチップ12の裏面12b上に搭載され、能動面12aにパッド間配線17及び接続パッド18を有する第2インターポーザー11と、第2インターポーザー11の接続パッド18上に搭載される受動部品14’と、を備え、接続パッド18とボンディングパッド21とがボンディングワイヤ25によって電気的に接続されている。
【選択図】図2
【解決手段】ボンディングパッド21を有する第1インターポーザー10と、第1インターポーザー10に搭載されるICチップ12と、ICチップ12の裏面12b上に搭載され、能動面12aにパッド間配線17及び接続パッド18を有する第2インターポーザー11と、第2インターポーザー11の接続パッド18上に搭載される受動部品14’と、を備え、接続パッド18とボンディングパッド21とがボンディングワイヤ25によって電気的に接続されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体モジュールならびにその製造方法に関するものである。
従来の半導体モジュールは、インターポーザー上にICチップ(ICチップ)、抵抗、コンデンサ及びコイル等の受動部品を平面的に配置した構成となっている。また、ICチップに至っては、複数のICチップを積層構造とすることにより小型化が図られており、ICチップとインターポーザーとの電気的な接続方法として、ワイヤーボンディングもしくは貫通電極により行なうことが一般的に用いられる方法であった。
特許文献1には、モジュール基材上にベアチップ半導体とボンディング対応の電極を有する受動部品を実装し、これらのチップの電極上に設けたバンプによってマザーボー
ドに接続する方法が開示されている。
ドに接続する方法が開示されている。
特許文献2には、ハンダバンプをキャリア上に設けることで各ICチップを各接続パッドでキャリアに接合できるような構成が開示されている。
特許文献3には、半導体装置と該半導体装置を実装する配線基板との電気的な接続を、配線基板に形成された貫通電極により行なうことが開示されている。
特開平11−220089号公報
特開平5−206379号公報
特開2002−359341号公報
しかしながら、上述した従来技術には、以下のような問題が存在する。
近年、ICチップ及び受動部品の高集積化に伴いICチップ等の外部接続端子が狭小化、狭ピッチ化される傾向にあり、それに従いインターポーザー上に形成される配線パターンも狭ピッチ化される傾向にある。このような構成では、半導体モジュールとしての小型化を図ることは困難であるとともに、配線間の短絡の虞もあることから品質信頼性の問題も兼ねていた。
近年、ICチップ及び受動部品の高集積化に伴いICチップ等の外部接続端子が狭小化、狭ピッチ化される傾向にあり、それに従いインターポーザー上に形成される配線パターンも狭ピッチ化される傾向にある。このような構成では、半導体モジュールとしての小型化を図ることは困難であるとともに、配線間の短絡の虞もあることから品質信頼性の問題も兼ねていた。
ICチップを高密度実装することを目的として、複数のICチップを一つのICパッケージに3次元的に納めるシステムインパッケージ(System in Package;SiP)の実用化が進められてきている。このSIP技術は、超小型化を必須とする携帯電話やデジタルカメラなどのモバイル製品を中心に急速に広まってきており、異機種チップの混載や大容量メモリの搭載等を可能とすることにより、機器の小型軽量化を図ることができるというものである。
最近においては、SIP技術を応用してICチップ上に複数の受動部品を搭載した形態が提案され始めている。この構成では、搭載した受動部品の電極とインターポーザーの電極とがワイヤーボンディングにより接続されている。このような構成によれば、第1のインターポーザー上の省スペース化に伴う半導体モジュールの小型化を図ることができる。しかしながら、受動部品の上部に設けられた電極上からボンディングワイヤが直接配されることから、ボンディングワイヤのループ高さ分だけ半導体モジュールの厚みが増していた。また、ボンディングワイヤの低プロファイル化、つまりワイヤループの高さを低く抑えようとする場合には、ボンディングワイヤがICチップの端部に接触してショートを引き起こしたり、ボンディングワイヤが切れてしまう虞があった。
このようなことから、品質の信頼性を確保しつつ半導体モジュールの薄型化(小型化)を図ることが課題となっていた。
このようなことから、品質の信頼性を確保しつつ半導体モジュールの薄型化(小型化)を図ることが課題となっていた。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、優れた信頼性を持って受動部品を実装でき、インターポーザー上の省スペース化及び半導体モジュールの小型化を可能にする半導体モジュールならびにその製造方法を提供することにある。
ICチップ上に複数の受動部品を搭載した従来の形態は、ICチップの裏面上に受動部品を搭載させ、能動面側をインターポーザー側に向けてフリップチップ実装する構成となっている。しかしながらこの構成では、ICチップの能動面のみならず、受動部品が搭載される裏面上にも配線形成を施す必要があることから、生産プロセス工程がどうしても煩雑になってしまうという問題があった。
本発明の半導体モジュールは、上記課題を解決するために、インターポーザー上に、能動面がインターポーザー側を向くように実装されたICチップを搭載してなる半導体モジュールにおいて、導通接続部を有する第1のインターポーザーと、該第1のインターポーザーに搭載されるICチップと、該ICチップの裏面上に搭載され、表面に配線及び接続パッドを有する第2のインターポーザーと、該第2のインターポーザーの接続パッド上に搭載される受動部品と、を備え、接続パッドと導通接続部とがボンディングワイヤによって電気的接続されていることを特徴とする。
本発明の半導体モジュールによれば、ICチップ上に搭載される第2のインターポーザー上に受動部品が搭載されることから、ICチップにおける能動面側の配線形成と、第2のインターポーザーの配線形成とを分けることができる。そのため、配線形成がなされたICチップ及び第2のインターポーザーを予め用意しておくことができる。ところが従来のように、ICチップの裏面上に受動部品を搭載する場合には、能動面側の配線形成のみならず、裏面側にも配線形成を施さなければならないことから形成プロセス工程が煩雑になってしまっていた。これに対して本発明によれば、上述したように第2のインターポーザー上に受動部品を搭載する構成となっているため、ICチップの裏面側に配線形成を施す必要がなくなる。これにより、ICチップ及び第2のインターポーザーの形成作業プロセスを分けることができるので、スループットが向上して製造効率を良くすることができる。
また、第1のインターポーザーと第2のインターポーザーとの電気的導通が、接続パッド及び導電接続部間のワイヤーボンディングにより行なわれていることから、受動部品上からボンディングワイヤが突出していた従来の構成と比べると半導体モジュール全体を薄型化することができる。また、第2のインターポーザー上に受動部品を搭載した構成となっているので、第1のインターポーザー上の省スペース化に伴う半導体モジュールの小型化を図ることができるとともに、第1のインターポーザー上の配線の引き廻しを少なくすることができる。以上のことから、第1のインターポーザーの配線設計の自由度が増すのでデザイン対応力を向上させることが可能となる。
このように、第1のインターポーザー上の省スペース化及び半導体モジュールの小型化を可能にするとともに、生産プロセスの簡略化を図ることで生産性を向上させることを可能にする半導体モジュールを提供することができる。
また、第2のインターポーザーは、有機基板、セラミック基板、ガラス基板のいずれかからなることも好ましい。
これによれば、受動部品及びICチップに合わせて、有機基板、セラミック基板、ガラス基板のいずれかから適宜選択することができ、信頼性を向上させることができる。また、これらは絶縁体でかつ加工が容易なものである。
これによれば、受動部品及びICチップに合わせて、有機基板、セラミック基板、ガラス基板のいずれかから適宜選択することができ、信頼性を向上させることができる。また、これらは絶縁体でかつ加工が容易なものである。
また、第2のインターポーザーは、その表面に接続パッドと電気的に接続された配線が設けられ、この配線の最表層が金めっきされていることも好ましい。
このような構成によれば、配線の最表層が金めっきされていることによって、例えば、Cuからなる配線の酸化や腐食を防いで配線を保護することができる。
このような構成によれば、配線の最表層が金めっきされていることによって、例えば、Cuからなる配線の酸化や腐食を防いで配線を保護することができる。
また、第2のインターポーザーの裏面に金めっきが施されていることも好ましい。
このような構造によれば、例えば、第2インターポーザーをICチップへ搭載する際にダイアタッチ材を介在させる場合に、ダイアタッチ材に対する第2インターポーザーの接着性を良くすることができる。これにより、ICチップ上へインターポーザーを確実に実装させることができる。
このような構造によれば、例えば、第2インターポーザーをICチップへ搭載する際にダイアタッチ材を介在させる場合に、ダイアタッチ材に対する第2インターポーザーの接着性を良くすることができる。これにより、ICチップ上へインターポーザーを確実に実装させることができる。
また、ICチップは、能動面に電極端子が設けられ、該電極端子は金バンプもしくははんだバンプにより構成され、電極端子が第1のインターポーザー側のICチップ接続用電極に対して接続されるように、第1のインターポーザー上にICチップをフリップチップ実装することができる。
このような構造によれば、フリップチップ実装技術により、小型化が図れるとともに実装が容易となる。また、ベアチップ(ICチップ)をそのまま実装するため、短時間で生産でき、ローコスト化への対応力に優れたものとすることができる。
このような構造によれば、フリップチップ実装技術により、小型化が図れるとともに実装が容易となる。また、ベアチップ(ICチップ)をそのまま実装するため、短時間で生産でき、ローコスト化への対応力に優れたものとすることができる。
また、ICチップと第1のインターポーザーとが、異方性導電性フィルム、異方性導電性ペースト、非導電性ペースト、のうちのいずれかからなる第1の接合材により接合されていることも好ましい。
このような構造によれば、ICチップが第1のインターポーザーにフリップチップ実装されているため、これら樹脂系接合材(ACF、ACP、NCP)からなる第1接合材を介してICチップが第1のインターポーザー上に密着固定される。したがって、ICチップの第1のインターポーザーに対する接合強度を向上させることができる。導電性粒子を含むACF、ACPにより、フリップチップ実装時に熱圧着することで、圧着部分、つまり、ICチップと第1のインターポーザーとの接続部分における接続方向に対しては導電性を示す一方、接続部分に直交する方向に対しては絶縁性という電気的異方性を示すことになる。電気的異方性は、ICチップ及び第1のインターポーザーの電極端子間に少なくとも一つの導電性粒子が存在することによって可能となる。これらのことから、対向するICチップ及び第1のインターポーザーの電極端子同士を電気的に導通させるだけでなく、接続部分を機械的に固定することができる。一方、NCPは非導電性であるので、接続してはならない第1のインターポーザーの電極端子とICチップの電極端子との絶縁保護を図ることができる。
このような構造によれば、ICチップが第1のインターポーザーにフリップチップ実装されているため、これら樹脂系接合材(ACF、ACP、NCP)からなる第1接合材を介してICチップが第1のインターポーザー上に密着固定される。したがって、ICチップの第1のインターポーザーに対する接合強度を向上させることができる。導電性粒子を含むACF、ACPにより、フリップチップ実装時に熱圧着することで、圧着部分、つまり、ICチップと第1のインターポーザーとの接続部分における接続方向に対しては導電性を示す一方、接続部分に直交する方向に対しては絶縁性という電気的異方性を示すことになる。電気的異方性は、ICチップ及び第1のインターポーザーの電極端子間に少なくとも一つの導電性粒子が存在することによって可能となる。これらのことから、対向するICチップ及び第1のインターポーザーの電極端子同士を電気的に導通させるだけでなく、接続部分を機械的に固定することができる。一方、NCPは非導電性であるので、接続してはならない第1のインターポーザーの電極端子とICチップの電極端子との絶縁保護を図ることができる。
また、ICチップと第1のインターポーザーとの間に、アンダーフィル材からなる第1の接合材が充填されたことも好ましい。
このような構造によれば、ICチップと第1のインターポーザーとの接合にアンダーフィル材からなる第1接合材を用いることにより、ICチップ及び第1のインターポーザー間に生じる熱膨張係数の相違により生じる応力を吸収することができる。これにより、ヒートサイクル等の熱的応力に対する接続信頼性の向上、及び衝撃や折り曲げ等の物理的応力に対する接続信頼性の向上を図ることができる。
このような構造によれば、ICチップと第1のインターポーザーとの接合にアンダーフィル材からなる第1接合材を用いることにより、ICチップ及び第1のインターポーザー間に生じる熱膨張係数の相違により生じる応力を吸収することができる。これにより、ヒートサイクル等の熱的応力に対する接続信頼性の向上、及び衝撃や折り曲げ等の物理的応力に対する接続信頼性の向上を図ることができる。
また、ボンディングワイヤは、金又はアルミから形成されていることも好ましい。
このような構造によれば、電気抵抗が非常に小さく、加工も施し易い。
このような構造によれば、電気抵抗が非常に小さく、加工も施し易い。
また、受動部品は、導電性樹脂或いは無鉛はんだからなる第2の接合材を介して第2のインターポーザー上に搭載されることも好ましい。
このような構造によれば、受動部品がはんだ或いは導通性接着剤からなる第2接着材を介して電極パッド上に搭載されることから、受動部品と電極パッドとを電気的に接続することができるとともに、受動部品をインターポーザー上へと機械的に固定することができる。
このような構造によれば、受動部品がはんだ或いは導通性接着剤からなる第2接着材を介して電極パッド上に搭載されることから、受動部品と電極パッドとを電気的に接続することができるとともに、受動部品をインターポーザー上へと機械的に固定することができる。
また、受動部品は、電極の表面に金めっきが施されていることも好ましい。
このような構成によれば、受動部品の表面に金めっきが施されていることから、金、アルミからなるワイヤーボンディングの接合を良好にすることができる。これにより、安定した電気的接続を確保することができる。
このような構成によれば、受動部品の表面に金めっきが施されていることから、金、アルミからなるワイヤーボンディングの接合を良好にすることができる。これにより、安定した電気的接続を確保することができる。
また、受動部品、第2のインターポーザー及びICチップは、モールド材により封止された形態であることも好ましい。
このような構造によれば、受動部品、第2のインターポーザー及びICチップをモールド材によって封止することでパッケージ化されることから、受動部品、第2のインターポーザー及びICチップを機械的又は化学的に保護することができるとともに取り扱いも容易となる。
このような構造によれば、受動部品、第2のインターポーザー及びICチップをモールド材によって封止することでパッケージ化されることから、受動部品、第2のインターポーザー及びICチップを機械的又は化学的に保護することができるとともに取り扱いも容易となる。
本発明の製造方法によれば、第2のインターポーザーシート上に受動部品を搭載する工程と、第2のインターポーザーシートをダイシングして複数の第2のインターポーザーを形成する工程と、ICウェハ上に、受動部品を搭載した第2のインターポーザーを搭載する工程と、ICウェハをダイシングして複数のICチップを形成する工程と、第1のインターポーザーシート上に、第2のインターポーザーを搭載したICチップを搭載する工程と、受動部品の電極と第1のインターポーザーの導電接続部とをワイヤーボンディングする工程と、ICチップ、第2のインターポーザー及び受動部品をモールド材によって封止する工程と、インターポーザーシートをダイシングして複数のインターポーザーを形成する工程、とを備えたことを特徴とする。
このような製造方法によれば、受動部品を第2のインターポーザー上に搭載して、ICチップの裏面上には搭載しないことから、ICチップの裏面側に配線を形成する工程を削減することができる。これにより、ICチップ側の配線形成と、第2のインターポーザー側の配線形成とを分けることができるので、ICチップ及び第2のインターポーザーを予め形成しておくことができる。よって、後は第2のインターポーザー、ICチップ、受動部品を各々実装させるだけでよいため、作業が簡略化されて作業時間を短縮することができる。
また、ICチップの接続パッド上へ受動部品を搭載する工程において、接続パッド上に、印刷法、ディスペンス法、インクジェット法のいずれかによって導電性樹脂或いは無鉛はんだからなる第2接合材を供給した後、受動部品を搭載し、第2の接合材を加熱することによって、受動部品と接続パッドとを接合させることも好ましい。
このような製造方法によれば、受動部品を第2接合材を介して接続パッド上へと搭載することにより、受動部品と接続パッドとの電気的な接続が得られるとともに、受動部品を接続パッド上へと確実に固定させることができる。また、第2接合材の供給方法は、材料によって適宜選択することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせてある。
図1は、本実施の形態における半導体モジュールの構成を示す斜視図であって、図2は、半導体モジュールの概略構成を示す側断面図である。また、図3は、ワイヤーボンディングの態様を示す拡大平面図である。
図1は、本実施の形態における半導体モジュールの構成を示す斜視図であって、図2は、半導体モジュールの概略構成を示す側断面図である。また、図3は、ワイヤーボンディングの態様を示す拡大平面図である。
本実施形態の半導体モジュール1は、図1に示すように、第1インターポーザー10、第2インターポーザー11、ICチップ12、複数の受動部品14,14’、さらにこれら第2インターポーザー11、ICチップ12及び受動部品14,14’を封止するモールド材16からなるシステムインパッケージ(SiP)の構成をなすものである。
第1インターポーザー10は、平面視矩形状を呈するその主面10aに、裏面12b側に第2インターポーザー11を搭載したICチップ12、複数の受動部品14、発振素子24(図示略)を搭載している。
ICチップ12は、能動面12a側を第1インターポーザー10の主面10aに対向させた状態でフリップチップ実装されている。このときICチップ12は、第1インターポーザー10の長辺より短い長辺を有する平面視矩形状を呈しており、その長辺を第1インターポーザー10の長辺に沿わせた方向で搭載されている。そして、第1インターポーザー10の主面10a及びICチップ12の能動面12a間に介在するダイアタッチ材33によって、ICチップ12が第1インターポーザー10上に固定されている。
受動部品14は、ICチップ12の周辺部に配置されるとともに第1インターポーザー10の各辺に沿って配列されている。さらに、ICチップ12及び受動部品14とは干渉しない位置に水晶振動子等の発振素子24が搭載されている。このような発振素子24を用いた発振回路を形成することで、半導体モジュール1の発振動作が安定化される。
第2インターポーザー11は、ICチップ12と同様の形状をなしており、その裏面11b側をICチップ12の裏面12b側に対向させた状態で搭載されている。さらに、主面11a(表面)上には複数の受動部品14’が搭載されており、これら受動部品14’と第1インターポーザー10とがワイヤーボンディング方式により電気的に接続されている。
ここで、受動部品14,14’は、例えば、プルダウン抵抗やプルアップ抵抗等の抵抗、カップリングコンデンサ等のコンデンサ、コイル、インダクタであって、これら受動部品14,14’は、図1に示すように一対の電極14a,14aを有したものである。特に、受動部品14’における各電極14aの表面には、Auめっきが施されており、これによって、後述するボンディングワイヤ25との接合性を向上させている。
モールド材16は、受動部品14,14’、第2インターポーザー11、ICチップ12を埋め込むようにして、第1インターポーザー10の主面10a全体に形成されている。このようにして、本実施形態の半導体モジュール1が構成されている。
次に、図1〜3に基づいて半導体モジュールの構成についてより詳しく説明する。
第1インターポーザー10は、例えばガラス繊維を含んだエポキシ樹脂(ガラス・エポキシ樹脂)のような汎用樹脂を主体として構成された配線基板であって、各種電子機器のマザーボードに実装する際の中継基板として機能するものである。
第1インターポーザー10は、例えばガラス繊維を含んだエポキシ樹脂(ガラス・エポキシ樹脂)のような汎用樹脂を主体として構成された配線基板であって、各種電子機器のマザーボードに実装する際の中継基板として機能するものである。
図2に示すように、第1インターポーザー10の裏面10b側には、後述の主面10a側における所定の第1インターポーザー側接続パッド部19及びボンディングパッド21に接続された電極部27が形成されており、それぞれの電極部27上にバンプボール等を接続することで構成される電極端子26を複数有している。この第1インターポーザー10の電極端子26が、半導体モジュール1の外部接続端子として機能することになる。
第1インターポーザー10の主面10a(上面)には、配線(図示略)及びICチップ接続用電極22が形成されている。さらに、このICチップ接続用電極22を避けるようにして、受動部品14を搭載するための第1インターポーザー側接続パッド部19(接続パッド)と、ワイヤーボンディングにより第2インターポーザー11との電気的な接続を得るためのボンディングパッド21(導電接続部)とが形成されている。
第1インターポーザー側接続パッド部19は、図1に示すように、搭載すべき受動部品14の数に応じて主面10aの周縁に配列されている。第1インターポーザー側接続パッド部19は、Al(アルミニウム)やAu(金)等によって平面視矩形状に形成される一対の電極パッド19a,19aから構成されている。そして、各電極パッド19a,19aは、互いの配置方向を第1インターポーザー10の各辺に沿わせた状態で、互いに所定間隔をおいて配置されている。この第1インターポーザー側接続パッド部19の構成材料については、第1インターポーザー側接続パッド部19に必要とされる電気的特性及び物理的特性に応じて適宜変更が可能である。また、ボンディングワイヤ25の材質によっても適宜変更可能となっている。
このような第1インターポーザー側接続パッド部19上に受動部品14が搭載されるのであるが、このとき受動部品14は、その各電極14a,14aが一対の電極パッド19a,19aにそれぞれ接続するような方向で配置される。そのため、電極パッド19a,19aの配置間隔を受動部品14の電極14a,14aの位置に合わせて適宜設定されるようにする。
図2に示すように、受動部品14は第1インターポーザー側接続パッド部19上に供給される接着材5(第2接合材)を介して搭載されている。接着材5としては、無鉛はんだや導電性を有する樹脂等が用いられ、印刷法、ディスペンス法(定量吐出法)及びインクジェット法のいずれかにて第1インターポーザー側接続パッド部19上に供給される。このような材料を用いることにより、受動部品14の各電極14a,14aが、第1インターポーザー側接続パッド部19の電極パッド19a,19aとそれぞれ電気的に接続されるとともに、ICチップ12に対して受動部品14が機械的に固定されることになる。なお、接着材5に関して、環境に配慮する意味では無鉛はんだが好ましい。
ボンディングパッド21は、図1,2に示すように、Al又はAu等から例えば平面視矩形状に形成され、第1インターポーザー10の主面10aの二つの長辺に沿うとともに少なくとも第1インターポーザー側接続パッド部19よりも内方側(ICチップ12の近傍)に配置されている。本実施形態におけるボンディングパッド21は、後述のボンディングワイヤ25と同様の材料であることが好ましい。
そして、第1インターポーザー10には、これらICチップ接続用電極22、第1インターポーザー側接続パッド部19及びボンディングパッド21を露出させるようにして主面10a全体を覆う絶縁層2が設けられている。本実施形態における絶縁層2は、SiO2等により0.1μm〜1.0μm程度の厚さで形成されている。
このような構成をなす第1インターポーザー10の主面10a上にICチップ12が搭載される。
このような構成をなす第1インターポーザー10の主面10a上にICチップ12が搭載される。
ICチップ12は、図1、2に示すように、シリコンにより所定の厚さを有して平面視矩形状に形成され、その能動面12a側にトランジスタやメモリ部、その他の電子部品からなる集積回路(不図示)が形成されてなるものである。能動面12aには複数の電極端子13が形成されている。電極端子13は、能動面12aに形成された不図示の電極上の所定箇所に、金バンプ若しくはハンダバンプ等が形成されることにより構成され、断面視において円形状又は正方形状を呈している。そして、これら電極端子13の下方には集積回路が形成されないようになっている。
このようなICチップ12は、電極端子13が第1インターポーザー10側のICチップ接続用電極22に対して接続されるように、第1インターポーザー10上に実装されている。ICチップ12は、能動面12a側に形成された電極端子13と第1インターポーザー10側のICチップ接続用電極22とが接続することによって、第1インターポーザー10側との電気的な導通を得ている。そして、ICチップ12は、ICチップ12の能動面12aと第1インターポーザー10の主面10aとの隙間に充填される接合材15(第1接合材)を介して第1インターポーザー10へと固定された構成となっている。
接合材15には、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)及び非導電性ペースト(NCP:Non-Conductive Paste)、アンダーフィル材のうちのいずれかが用いられている。
ここで、ACF、ACPを用いる場合には、含まれる導電性粒子により、ICチップ12の電極端子13と第1インターポーザー10のICチップ接続用電極22との接続部分における接続方向に対しては導電性を示す一方、接続部分に直交する方向に対しては絶縁性という電気的異方性を示すことになる。電気的異方性は、ICチップ12の電極端子13と第1インターポーザー10のICチップ接続用電極22との間に少なくとも一つの導電性粒子が存在することによって可能となる。そのため、対向する電極端子13及びICチップ接続用電極22同士を電気的に導通させるだけでなく、接続部分が機械的に固定される。
接合材15としてNCP及びアンダーフィル材を用いる場合には、電極端子13及びICチップ接続用電極22との接続を保持した状態で、ICチップ12及び第1インターポーザー10を固定させることができる。また、NCP及びアンダーフィル材は非導電性であるので、接続されてはならない第1インターポーザー10側の電極とICチップ12側の電極との絶縁保護を図ることができる。
このようにして、ICチップ12が第1インターポーザー10に対してフリップチップ実装されることによって、ICチップ12の能動面12aが第1インターポーザー10側と電気的に接続されている。
一方、ICチップ12の能動面12aとは反対側の面(裏面12b)には、その全面に塗布されたダイアタッチ材33を介して第2インターポーザー11が搭載されている。ダイアタッチ材33は、大面積の接着用途に使用しても十分な低応力性を有し且つ良好な接着性を示す樹脂組成物である。また、例えば銀フィラー入りのエポキシ樹脂ペースト(銀ペースト)等であっても、鉛を含んだ多元系金属からなるものでもよい。
第2インターポーザー11は、絶縁体でかつ加工が容易な有機基板、セラミック基板、ガラス基板のいずれかから形成されている。そのため、第2インターポーザー11の裏面11bには、ダイアタッチ材33との接着性を良くするためにAuめっきが施されている。Auめっきは、工程管理等が容易な電解めっきによるのが一般的であるが、これに限ったことではない。本実施形態においては、裏面12b全体にAuめっきを施すことによって、ダイアタッチ材33を介して第2インターポーザー11をICチップ12上へと固定することができる。
一方、第2インターポーザー11の主面11aには、その周縁に、複数の第2インターポーザー側接続パッド部18(接続パッド)とパッド間配線17とが形成されている。第2インターポーザー側接続パッド部18は、上記した第1インターポーザー側接続パッド部19と同様の構成をなしている。パッド間配線17は、複数の第2インターポーザー側接続パッド部18のうちのいずれかを繋ぐようにして形成されている。
第2インターポーザー側接続パッド部18は、Al(アルミニウム)やAu(金)等より平面視矩形状に形成される一対の電極パッド18a,18aを有してなり、各電極パッド18a,18aの配置方向が裏面12bの二つの長辺に沿うようにして配列されている。この第2インターポーザー側接続パッド部18の構成材料についても、第2インターポーザー側接続パッド部18に必要とされる電気的特性及び物理的特性に応じて適宜変更が可能であるとともに、後述するボンディングワイヤ25の材質によっても適宜変更可能となっている。
そして、このような第2インターポーザー側接続パッド部18には、当該第2インターポーザー側接続パッド部18上に供給される接着材5を介して受動部品14’が搭載されている。このとき、図3に示すように、受動部品14’の各電極14a,14aが第2インターポーザー側接続パッド部18の各電極パッド18a,18aにそれぞれ接続されるようにして配置される。
また、図1に示すように、第2インターポーザー11の主面11aには、所定の第2インターポーザー側接続パッド部18間を繋ぐようにして配されるパッド間配線17が形成されている。パッド間配線17は、金、銀、銅、ニッケルのうちのいずれか1つ、或いは2つ以上を組み合わせてなる材料から構成され、めっき法、印刷法、インクジェット法、スパッタ法、ディスペンス法のいずれかにより形成されたものである。
例えば、パッド間配線17の構成材料をニッケル−金とした場合、本実施形態においては、ニッケルが5.0μm、金が0.2〜1.0μm程度の厚みを有して形成される。このような材料を用いることで、安価に且つ接続信頼性に優れた配線を形成することができる。
なお、必要に応じてパッド間配線17の最表面にAuめっき層(不図示)を形成してもよく、これにより、電流リークの発生、酸素や水分等による浸食等が防止されるので安定した接続が可能となる。
そして、図2,3に示すように、第1インターポーザー10と第2インターポーザー11とは、第2インターポーザー側接続パッド部18及びボンディングパッド21間を繋ぐボンディングワイヤ25によって電気的に接続されている。ボンディングワイヤ25としては、Al(アルミニウム)やAu(金)等の金属材料を用いて、例えば、5.0μm程度で構成されたものを使用する。AlやAuは、電気抵抗が非常に小さく、加工も施し易い。
また、受動部品14’の電極14a,14aの表面には金めっきが施されていることから、電極14a,14aと上記材料からなるボンディングワイヤ25との接合性が良い。さらに、ボンディングパッド21においても、ボンディングワイヤ25を構成する材料(Al又はAu等)と同じ材料により形成されていることから、ボンディングパッド21とボンディングワイヤ25との接合性が良い。これにより、安定した接続を確保することができる。
このように、第2インターポーザー側接続パッド部18及びボンディングパッド21を、ボンディングワイヤ25と同じ材料により構成することによって、第2インターポーザー側接続パッド部18及びボンディングパッド21に対するボンディングワイヤ25の接合性が良好なものとなる。これにより、ワイヤーボンディングの接続信頼性を向上させることができる。
また、発振素子(不図示)は、接着材5を介して主面10aの所定箇所に搭載する。
モールド材16は、第2インターポーザー11、ICチップ12、受動部品14,14’及び発振素子24の全てを埋め込むようにして、第1インターポーザー10の主面10a上に形成されている。モールド材16としては、所定の粒径のシリカを分散させた熱硬化型エポキシ系樹脂からなるものを使用する。このように、モールド材16によって、第2インターポーザー11、ICチップ12、受動部品14,14’及び発振素子24を封止することにより、これら第2インターポーザー11、ICチップ12、受動部品14,14’及び発振素子24に対する機械的又は化学的な保護を得ることができる。
このような構成の半導体モジュール1は、第1インターポーザー10に接続される電極端子26を介して各種電子機器のマザーボードに実装されることになる。
なお、ICチップ接続用電極22及び電極部27は、主面10a及び裏面10bの周辺部にそれぞれ形成される電極素子から引き廻された再配置配線の一部が電極として機能するものである。本実施形態において、電極素子及び再配置配線についての説明は省略してあるがこれは従来公知の構成である。
次に、本実施形態の半導体モジュールの製造方法について説明する。
図4は、ICチップの基体(基板本体)となるシリコンICウェハ、第1のインターポーザーの基体となる第1インターポーザーシート、第2のインターポーザーの基体となる第2インターポーザーシートを示す斜視図である。また、図5は、本実施形態の第2インターポーザーの製造手順を示す工程図である。図6は、本実施形態のICチップの製造手順を示す工程図である。図7,8は、本実施形態における半導体モジュールの製造手順を示す工程図である。
図4は、ICチップの基体(基板本体)となるシリコンICウェハ、第1のインターポーザーの基体となる第1インターポーザーシート、第2のインターポーザーの基体となる第2インターポーザーシートを示す斜視図である。また、図5は、本実施形態の第2インターポーザーの製造手順を示す工程図である。図6は、本実施形態のICチップの製造手順を示す工程図である。図7,8は、本実施形態における半導体モジュールの製造手順を示す工程図である。
半導体モジュール1を製造するには、ICチップ12、第2インターポーザー11、受動部品を予め用意する必要がある。そのため、まずは、ICチップ12及び第2インターポーザー11の製造方法について、図4とともに図5、6に基づいて説明するものとし適宜図2を参照する。
第2インターポーザー11及びICチップ12は、ウェハの状態において一括して配線及びバンプ等の形成を行ってから個々の第2インターポーザー11及びICチップに分離する、W−CSP(Wafer level Chip Scale Package)技術を利用して形成される。
まず、第2インターポーザー11の製造方法について説明する。
第2インターポーザー11を製造するにあたっては、図4に示すような有機基板、セラミック基板或いはガラス基板のいずれかからなる第2インターポーザーシート35を用意する。この第2インターポーザーシート35は、ダイシングラインLによって区画される複数の第2インターポーザー領域36を有してなるものである。
第2インターポーザー11を製造するにあたっては、図4に示すような有機基板、セラミック基板或いはガラス基板のいずれかからなる第2インターポーザーシート35を用意する。この第2インターポーザーシート35は、ダイシングラインLによって区画される複数の第2インターポーザー領域36を有してなるものである。
以下の説明では、図4とともに図5を参照し、第2インターポーザーシートの1つの第2インターポーザー領域における構成に着目して述べることにする。なお、図5は、第1インターポーザーシートの1つの第2インターポーザー領域における構成を中心に図示してある。
まず、図5(a)に示すように、主面35a(第2インターポーザー11の主面11aに相当)における第2インターポーザー領域36毎に所定数の第2インターポーザー側接続パッド部18及びパッド間配線17を形成し、その最表層に金めっき層(不図示)を形成する。
次に、図5(b)に示すように、第2インターポーザーシート35の第2インターポーザー側接続パッド部18上に接着材5を供給する。接着材5の供給方法としては、上記した印刷法、ディスペンス法(定量吐出法)及びインクジェット法のいずれかにて第2インターポーザー側接続パッド部18上に供給するものとする。その後、供給された接着材5の上に受動部品14’を搭載して固定することによって、受動部品14’及び第2インターポーザー側接続パッド部18を接着材5を介して電気的に接続させる。
なお、受動部品14’の搭載には、既存のSMT(Surface Mounting Technology)マウンターやダイボンダーを用いることができる。
一方、第2インターポーザーシート35の裏面35bにおいては、その全面に金めっき層(不図示)を従来公知の方法で形成する。本実施形態においては、例えば電界めっきによって所定の厚さに形成する。
その後、第2インターポーザーシート35をダイシングラインLに沿ってダイシング(切断)する。具体的には、図4に示すダイヤモンドブレード40を用いて切断するものとしており、これによって図5(c)に示すような第2インターポーザー11が複数形成される。このようにして、第2インターポーザー11を製造する。
次に、ICチップ12の製造方法について説明する。
ICチップ12を製造するにあたっては、図4に示すような単結晶シリコンからなるシリコンICウェハ4を用意する。そして、その主面4a(ICチップ12の能動面12aに相当)に集積回路及び電極を形成し、その後、集積回路、電極を覆うようにしてシリコンICウェハ4上にパッシベーション膜を一面に形成する。このシリコンICウェハ4は、ダイシングラインLによって区画される複数のICチップ形成領域3を有してなるものである。そして、裏面4bにおけるICチップ形成領域3毎に所定数の電極端子13(図2参照)が存在するように構成される。なお、図4において、集積回路、電極、パッシベーション膜の図示は省略するものとする。
ICチップ12を製造するにあたっては、図4に示すような単結晶シリコンからなるシリコンICウェハ4を用意する。そして、その主面4a(ICチップ12の能動面12aに相当)に集積回路及び電極を形成し、その後、集積回路、電極を覆うようにしてシリコンICウェハ4上にパッシベーション膜を一面に形成する。このシリコンICウェハ4は、ダイシングラインLによって区画される複数のICチップ形成領域3を有してなるものである。そして、裏面4bにおけるICチップ形成領域3毎に所定数の電極端子13(図2参照)が存在するように構成される。なお、図4において、集積回路、電極、パッシベーション膜の図示は省略するものとする。
以下の説明では、図4とともに図6を参照し、シリコンICウェハの1つのICチップ形成領域における構成に着目して述べることにする。なお、図6は、シリコンICウェハの1つのICチップ形成領域における構成を中心に図示してある。
まず、図6(a)に示すように、電極端子13を、主面4aの各ICチップ形成領域3(図4参照)の周辺部に位置する不図示の電極上に、金バンプ若しくはハンダバンプ等を公知の方法で所定高さに一括形成する。また、その高さは適宜設定されるものとするが、全てのバンプの高さを均一として所定パターンで形成する。
次に、図6(b)に示すように、シリコンICウェハ4の裏面12b全体にダイアタッチ材33を所定の厚さで塗布する。その後、図6(c)に示すように、ICチップ形成領域3毎に第2インターポーザー11を搭載する。このとき、第2インターポーザー11の裏面11b側をシリコンICウェハ4の裏面4b側(ダイアタッチ材33側)に対向させた状態で搭載する。このようにして、複数のインターポーザー11をダイアタッチ材33を介してシリコンICウェハ4へと固定する。
次に、シリコンICウェハ4をダイシングラインLに沿ってダイシング(切断)する。具体的には、図4に示すダイヤモンドブレード40を用いて切断するものとしており、これによって図6(d)に示すように、第2インターポーザー11を搭載したICチップ12を複数形成する。このようにして、第2インターポーザー11を搭載したICチップ12を製造する。
次に、半導体モジュール1の製造方法について説明する。
半導体モジュール1を製造するには、第2インターポーザー11を搭載したICチップ12、複数の受動部品14を揃え、さらに、図4に示すような、複数の第1インターポーザー10を多面取り可能な第1インターポーザーシート30を用意する。
半導体モジュール1を製造するには、第2インターポーザー11を搭載したICチップ12、複数の受動部品14を揃え、さらに、図4に示すような、複数の第1インターポーザー10を多面取り可能な第1インターポーザーシート30を用意する。
第1インターポーザーシート30は、図4に示すように、ダイシングラインLによって区画される複数のインターポーザー領域31を有してなるもので、その主面30aには、インターポーザー領域31毎に所定数のボンディングパッド、インターポーザー側接続パッド部が形成されている。一方、裏面30bには電極端子が既に形成されているものとする。図4において、電極端子、ボンディングパッド、インターポーザー側接続パッド部の図示は省略する。
以下の説明では、図4とともに図7,8を参照し、第1インターポーザーシートの1つの第1インターポーザー領域における構成に着目して述べることにする。なお、図7,8は、第1インターポーザーシートの1つの第1インターポーザー領域における構成を中心に図示してある。
まず、図7(a)に示すように、第1インターポーザーシート30の主面30aにおける各インターポーザー領域31の所定箇所に、第2インターポーザー11を搭載したICチップ12をフリップチップ方式で実装する。このようにして、ICチップ12の電極端子13と第1インターポーザーシート30のICチップ接続用電極22とを接続する。
その後、図7(b)に示すように、ICチップ12と第1インターポーザーシート30との隙間に、本実施形態においては、アンダーフィル樹脂(アンダーフィル材)からなる接合材15を充填する。続いて、加熱及び硬化させることにより、ICチップ12側の電極端子13と第1インターポーザーシート30側のICチップ接続用電極22とが接合して導通が得られる。接合材15としてアンダーフィル樹脂を用いることにより、熱的応力、物理的応力に対して接続信頼性が保持される。また、低温且つ短時間で硬化させることができるので、他の電子部品へ与える影響を低く抑えることができる。
また、電極端子13とICチップ接続用電極22との接続は、第1インターポーザーシート30上に異方性導電性樹脂又は非導電性樹脂等からなる接合材を予め塗布しておき、この接合材を加熱或いは溶融させることによっても可能となる。このとき、加熱加圧及び超音波振動を印加することにより、ICチップ12の電極端子13が第1インターポーザーシート30側の所定のICチップ接続用電極22上にある接合材を排除し、ICチップ12側の電極端子13が第1インターポーザーシート30側のICチップ接続用電極22と接合または接触することにより導通が得られる。
この場合は、アンダーフィル樹脂による接合材15を充填する工程が不要となる。
この場合は、アンダーフィル樹脂による接合材15を充填する工程が不要となる。
次に、図8(a)に示すように、第1インターポーザーシート30の第1インターポーザー側接続パッド部19上に接着材5を供給する。接着材5の供給方法としては、上記した印刷法、ディスペンス(定量吐出)及びインクジェット法のいずれかにて第1インターポーザー側接続パッド部19上に供給するものとする。その後、接着材5の上に受動部品14を搭載して固定することによって、受動部品14及び第1インターポーザー側接続パッド部19を接着材5を介して電気的に接続させる。
なお、受動部品14の搭載においても、既存のSMT(Surface Mounting Technology)マウンターやダイボンダーを用いることができる。
その後、図8(b)に示すように、第2インターポーザー11の第2インターポーザー側接続パッド部18と第1インターポーザーシート30のボンディングパッド21とをボンディングワイヤ25により結線する。ボンディングワイヤ25のボンディングは、例えば超音波振動と熱圧着とを併用したワイヤボンダを使用して行うものとする。
また、第2インターポーザー側接続パッド部18とボンディングパッド21との結線は、受動部品14を第1インターポーザー10上に搭載する前に行っておくこともできる。
また、ボンディングワイヤ25を形成する前に、プラズマ処理を行ってもよい。これにより、第2インターポーザー側接続パッド部18及びボンディングパッド21が清浄化される。なお、ここでは図示していないが、受動部品14’と他の受動部品14’とをボンディングワイヤ25を介して接続する構成とすることもできる。
次に、第1インターポーザーシート30をモールド金型(図示略)に装着して、図8(c)に示すように、第2インターポーザー11を搭載したICチップ12、受動部品14,14’及び発振素子(不図示)を埋め込むようにして、第1インターポーザーシート30の主面30a上をモールド材16で封止する。モールド金型へモールド材16を注入させる方法は、サイドゲートとよばれる通路から溶融しながら流し込むトランスファモールド方式が一般的であって、このような方式を用いて第2インターポーザー11、ICチップ12、受動部品14,14’及び発振素子(不図示)をモールド材16で封止してパッケージ化する。モールド材16としては、所定の粒径のシリカを分散させた熱硬化型エポキシ系樹脂からなるものを使用する。
モールド材16の形成方法としては、上記したモールド金型によるものではなく、スピンコートによる成膜やドライフィルム等を貼着することによっても可能である。
その後、第1インターポーザーシート30をダイシングラインLに沿ってダイシングする。具体的には、図4に示すダイヤモンドブレード40を用いて切断するものとしており、ダイシングにより第1インターポーザーシート30を個片化することにより、図1,2に示すような半導体モジュール1が複数得られる。このようにして、半導体モジュール1を製造する。
なお、第1インターポーザーシート30をダイシングした後にモールド材16による封止を行っても良い。
本実施形態の半導体モジュール1によれば、ICチップ12上に搭載される第2インターポーザー11上に受動部品14’が搭載されることから、ICチップ12における能動面12a側の配線形成と、第2インターポーザー11の配線形成とを分けることができる。そのため、配線形成がなされたICチップ12及び第2インターポーザー11を予め用意しておくことができる。従来のように、ICチップ12の裏面12b上に受動部品14’を搭載する場合、能動面12a側の配線形成のみならず、裏面12b側にも配線形成を施さなければならないことから形成プロセス工程が煩雑になってしまっていた。これに対し、本実施形態の構成によれば、上述したように第2インターポーザー11上に受動部品14を’搭載する構成となっているため、ICチップ12及び第2インターポーザー11の形成作業プロセスを分けることができるので、スループットが向上して製造効率を良くすることができる。
さらに、半導体モジュール1の略中央に位置するダイアタッチ材33は、ICチップ12と第2インターポーザー11とを接着させるだけでなく、ICチップ12及び第2インターポーザー11の発熱を放散させる機能も兼ねている。これにより、信頼性の高い半導体モジュール1を得ることができる。
また、第2インターポーザー11上に受動部品14’を搭載したことで、第1インターポーザー10における高集積化に伴う狭ピッチ化が解消される。したがって、半導体モジュール1の小型化を実現することが可能となる。
さらに、ICチップ12と第1インターポーザー10との接合にアンダーフィル材からなる接合材15を用いることにより、ICチップ12及び第1インターポーザー10間に生じる熱膨張係数の相違により生じる応力を吸収することができる。これにより、ヒートサイクル等の熱的応力に対する接続信頼性の向上、及び衝撃や折り曲げ等の物理的応力に対する接続信頼性の向上を図ることができる。
また、受動部品14’と第1インターポーザー10とはワイヤーボンディングによる接続であることから、貫通電極を用いることなく電気的に接続することができる。よって、貫通電極用の孔を第2インターポーザー11及びICチップ12に形成する必要がなく、作業工程数が削減されるとともに低コスト化を図ることができる。
なお、受動部品14は、ICチップ12の動作および電気的接続の妨げにならない限り、第1インターポーザー10上のどの位置に配置してもよい。また、図9に示すように、受動部品14の底面に接着層50を予め形成しておいてもよく、この場合、受動部品14の底面全体に接着層50が形成されている。接着層50の形成は、受動部品14が個片化される前に、複数の受動部品14の集合体の裏面に導電性を有する接着材を塗布するか、或いはフィルム状の接着テープ等を貼着することにより行なわれ、これらをダイシングすることにより接着層50を有した受動部品14が複数得られる。これにより、製造工程が簡略化されるので、ボンディングワイヤ25が変形したり断線したりすることを防ぐことができる。また、接着層50は受動部品14の裏面の大きさと略同一の大きさに形成されるので、第1インターポーザー10上で、受動部品14が搭載される領域以外には接着層50が設けられないことから作業性が良い。なお、接着層50は、受動部品14’にも応用することができる。
1…半導体モジュール、2…絶縁層、3…ICチップ形成領域、4…シリコンICウェハ、5…接着材(第2接合材)、L…ダイシングライン、10…第1インターポーザー、10a…主面、10b…裏面、11…第2インターポーザー、12…ICチップ、12a…能動面、12b…裏面、13…電極端子、14,14’…受動部品、14a…電極、15…接合材(第1接合材)、16…モールド材、17…パッド間配線、18…第2インターポーザー側接続パッド部、18a…電極パッド、19…インターポーザー側接続パッド部、21…ボンディングパッド(導電接続部)、22…ICチップ接続用電極部、24…発振素子、25…ボンディングワイヤ、26…電極端子、27…電極部、30…第1インターポーザーシート、31…インターポーザー領域、35…第2インターポーザーシート、36…第2インターポーザー領域
Claims (13)
- インターポーザー上に、能動面が前記インターポーザー側を向くように実装されたICチップを搭載してなる半導体モジュールにおいて、
導通接続部を有する第1のインターポーザーと、
該第1のインターポーザーに搭載されるICチップと、
該ICチップの裏面上に搭載され、表面に接続パッドを有する第2のインターポーザーと、
該第2のインターポーザーの前記接続パッド上に搭載される受動部品と、を備え、
前記接続パッドと前記導通接続部とがボンディングワイヤによって電気的接続されていることを特徴とする半導体モジュール。 - 前記第2のインターポーザーは、有機基板、セラミック基板、ガラス基板のいずれかからなることを特徴とする請求項1記載の半導体モジュール。
- 前記第2のインターポーザーは、その表面に前記接続パッドと電気的に接続された配線が設けられ、
該配線の最表層が金メッキされていることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体モジュール。 - 前記第2のインターポーザーは、その裏面に金めっきが施されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記ICチップは、能動面に電極端子が設けられ、該電極端子は金バンプもしくははんだバンプにより構成され、前記電極端子が前記第1のインターポーザー側のICチップ接続用電極に対して接続されるように、前記第1のインターポーザー上に前記ICチップをフリップチップ実装することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記ICチップと前記第1のインターポーザーとが、異方性導電性フィルム、異方性導電性ペースト、非導電性ペースト、のうちのいずれかからなる第1の接合材により接合されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記ICチップと前記第1のインターポーザーとの間に、アンダーフィル材からなる第1の接合材が充填されたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記ボンディングワイヤは、金又はアルミから形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記受動部品は、導電性樹脂或いは無鉛はんだからなる第2の接合材を介して前記第2のインターポーザー上に搭載されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記受動部品は、前記電極の表面に金めっきが施されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記受動部品、前記第2のインターポーザー及び前記ICチップは、モールド材により封止された形態であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 第2のインターポーザーシート上に受動部品を搭載する工程と、
前記第2のインターポーザーシートをダイシングして複数の第2のインターポーザーを形成する工程と、
ICウェハ上に、前記受動部品を搭載した前記第2のインターポーザーを搭載する工程と、
前記ICウェハをダイシングして複数のICチップを形成する工程と、
第1のインターポーザーシート上に、前記第2のインターポーザーを搭載した前記ICチップを搭載する工程と、
前記受動部品の電極と前記第1のインターポーザーの導電接続部とをワイヤーボンディングする工程と、
前記ICチップ、前記第2のインターポーザー及び前記受動部品をモールド材によって封止する工程と、
前記インターポーザーシートをダイシングして複数のインターポーザーを形成する工程、とを備えたことを特徴とする半導体モジュールの製造方法。 - 前記ICチップの接続パッド上へ受動部品を搭載する工程において、
前記接続パッド上に、印刷法、ディスペンス法、インクジェット法のいずれかによって導電性樹脂或いは無鉛はんだからなる第2接合材を供給した後、前記受動部品を搭載し、前記第2の接合材を加熱することによって、前記受動部品と前記接続パッドと接合させることを特徴とする請求項12記載の半導体モジュールの製造方法。
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JP2012129555A (ja) * | 2009-01-20 | 2012-07-05 | Altera Corp | 挿入層上に配置されたコンデンサーを有するicパッケージ |
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2006
- 2006-07-11 JP JP2006190240A patent/JP2008021712A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012129555A (ja) * | 2009-01-20 | 2012-07-05 | Altera Corp | 挿入層上に配置されたコンデンサーを有するicパッケージ |
JP2012518893A (ja) * | 2009-01-20 | 2012-08-16 | アルテラ コーポレイション | 挿入層上に配置されたコンデンサーを有するicパッケージ |
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