JP2008070806A - 多面取り薄膜トランジスタアレイ基板および液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マザー基板から複数の薄膜トランジスタアレイを作製する多面取り薄膜トランジスタアレイ基板において、OLBパッドと切断境界線までの端面配線において、該配線の両側に枝配線である目盛兼OLB保護用枝配線を所定の間隔で配置し、薄膜トランジスタアレイをマザー基板から切断した後に行う面取りの際に、目盛兼OLB保護用枝配線が基板の端面からOLB用パッドまでの寸法を確認する際の目盛となり、かつ、OLBパッドが基板から剥がれにくくするという効果を奏するようにする。
【選択図】図1
Description
請求項1に記載の発明は、多面取り薄膜トランジスタアレイ基板であって、
各薄膜トランジスタアレイは
絶縁基板上に縦横に列設された信号線および走査線と、
前記信号線および走査線の各交点付近に形成された表示素子と、
前記マザー基板から切断された後で外部との接続のために前記絶縁基板の周辺に形成された複数のアウターリードボンディング用パッド(以下「OLBパッド」ともいう)及び接続用配線と、を有し、
前記OLBパッドから出て、該薄膜トランジスタアレイを前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切り出すために前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板を切断する位置を示す線(以下「切断線」ともいう)と交差する配線(以下「端面配線」ともいう)の両側に枝配線(以下「目盛兼OLB保護枝配線」ともいう)を所定の間隔で設け、
該薄膜トランジスタアレイを前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切断した後に切断した端面の面取りを行う際に、前記目盛兼OLB保護用枝配線が前記表示装置用基板の端面から前記OLB用パッドまでの寸法を確認する際の目盛となるとともに、前記OLBパッドが前記表示装置用基板から剥がれにくくなるように構成されていることを特徴とする。
前記薄膜トランジスタアレイはアクティブマトリックス型液晶表示装置用の薄膜トランジスタアレイであることを特徴とする。
請求項1または2に記載の多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切り出された薄膜トランジスタアレイを有することを特徴とする。
作製し、各薄膜トランジスタアレイを取り出すために、切断した後に、切断端面の角の面取り工程をより少ない労力で行うことが可能になるとともに、OLBパッドが剥離してしまう割合を低減でき、薄膜トランジスタアレイの製造コストの低減と品質の向上を図ることができる。
109は走査線102とOLBパッド104を接続さるためのスルーホールであり、110は切断線であり、111は面取り量の基準とする面取り基準線であり、112は画素が配置される所謂表示領域であり、106は検査用配線である。なお、図1では、薄膜トランジスタアレイの表示領域、走査線、信号線、の一部だけを図示している。また、走査線102を点線で描いている理由は、走査線102が存在する層は信号線105が存在する層とは異なり、信号線105が存在する層の下にあることを考慮したものである。目盛兼OLB保護用枝配線としては121乃至128のいずれも同じ目盛兼OLB保護用枝配線であるが、説明の都合上異なる番号を付している。
目盛兼OLB保護用枝配線を設置してある場合には、OLBパッドから何個目の目盛兼OLB保護用枝配線を残しておけばよいかを基準として、面取り作業をすることができる。図4の場合には、目盛兼OLB保護用枝配線127まで、削ることができ、目盛兼OLB保護用枝配線128を残しておけば良い。この作業方法によれば、別の物差し等は不必要で、作業も簡単で確実である。
なお、本発明に係る多面取り薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法は、公知のフォトリソ工程であるので説明は省略する。
また、以上の説明は走査線に連結するOLBパッド104につながる端面配線の目盛兼OLB保護用枝配線に対して行っているが、信号線に連結する図1に示されるOLBパッド134につながる端面配線137の場合も同様であり、図1に示されるように、端面配線137に対して目盛兼OLB保護用枝配線141等を設置すればよい。また、信号線や走査線でなくても、本実施例と同様な配線構造となる場合の端面配線にも適用できる。
104 OLBパッド
105 信号線
106 検査用配線
107 端面配線
109 走査線102とOLBパッド104を接続さるためのスルーホール
110 切断線
111 面取り基準線
121 目盛兼OLB保護用枝配線
122 目盛兼OLB保護用枝配線
123 目盛兼OLB保護用枝配線
124 目盛兼OLB保護用枝配線
125 目盛兼OLB保護用枝配線
126 目盛兼OLB保護用枝配線
127 目盛兼OLB保護用枝配線
128 目盛兼OLB保護用枝配線
134 OLBパッド
137 端面配線
141 目盛兼OLB保護用枝配線
Claims (3)
- 1枚のマザー基板上に薄膜トランジスタアレイを複数配置した多面取り薄膜トランジスタアレイ基板において、
各薄膜トランジスタアレイは
絶縁基板上に縦横に列設された信号線および走査線と、
前記信号線および走査線の各交点付近に形成された表示素子と、
前記マザー基板から切断された後で外部との接続のために前記絶縁基板の周辺に形成された複数のアウターリードボンディング用パッド(以下「OLBパッド」ともいう)及び接続用配線と、を有し、
前記OLBパッドから出て、該薄膜トランジスタアレイを前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切り出すために前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板を切断する位置を示す線(以下「切断線」ともいう)と交差する配線(以下「端面配線」ともいう)の両側に枝配線(以下「目盛兼OLB保護用枝配線」ともいう)を所定の間隔で設け、
該薄膜トランジスタアレイを前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切断した後に切断した端面の面取りを行う際に、前記目盛兼OLB保護用枝配線が前記表示装置用基板の端面から前記OLB用パッドまでの寸法を確認する際の目盛となるとともに、前記OLBパッドが前記表示装置用基板から剥がれにくくなるように構成されていることを特徴とする多面取り薄膜トランジスタアレイ基板。 - 請求項1に記載の多面取り薄膜トランジスタアレイ基板において、前記薄膜トランジスタアレイはアクティブマトリックス型液晶表示装置用の薄膜トランジスタアレイであることを特徴とする多面取り薄膜トランジスタアレイ基板。
- 請求項1または2に記載の多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切り出された薄膜トランジスタアレイを有する液晶表示装置。
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