JP2008067549A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の例に関わるアクチュエータは、互いに電気的に絶縁された複数の電極部から構成され、可動部23を駆動する駆動電極25を備え、複数の電極部のうちの一部に選択的に駆動電圧を印加することにより可動部23に作用する静電力の大きさを制御する。
【選択図】図11
Description
本発明の例では、可動部を駆動する駆動電極を互いに電気的に絶縁された複数の電極部から構成し、複数の電極部のうちの一部に選択的に駆動電圧を印加することにより、プルイン電圧及びプルアウト電圧の温度依存性に起因する悪影響を回避する。
但し、kは、可動部のばね定数である。
(1) 温度依存性
まず、静電アクチュエータのプルイン電圧Vpi及びプルアウト電圧Vpoの温度依存性について説明する。
図7は、第1実施の形態に関わるMEMSシステムを示している。
このシステムは、MEMS11とドライバ12とから構成される。
図13は、第2実施の形態に関わるMEMSの駆動電極を示している。
MEMSシステムは、第1実施の形態と同じであるので、ここでは、その説明を省略する。
図14は、第3実施の形態に関わるMEMSの駆動電極を示している。
MEMSシステムは、第1実施の形態と同じである。
図15は、第4実施の形態に関わるMEMSの駆動電極を示している。
MEMSシステムは、第1実施の形態と同じである。
図16は、第5実施の形態に関わるMEMSの構造を示している。
MEMSシステムは、第1実施の形態と同じである。
第1乃至第5実施の形態では、静電アクチュエータが可変容量を構成していたが、これをスイッチに変えることもできる。
第7実施の形態は、静電アクチュエータの可動部の駆動方式に関する。
第8実施の形態は、駆動電圧の制御方式に関する。
このシステムは、MEMS11とドライバ12とから構成される。
プルイン電圧及びプルアウト電圧の変動の原因は、温度以外にも存在する。
このシステムは、MEMS11とドライバ12とから構成される。
このテストシーケンスは、図1又は図3に示すような駆動電極の実効面積を変えることができる静電アクチュエータを対象とする。
第1乃至第9実施の形態におけるMEMSシステムに関しては、可動部を固定電位(接地電位)にし、駆動電極を基板上の絶縁層上に形成しているが、これに代えて、可動部に駆動電極を形成し、基板上の絶縁層上に固定電位が印加される電極を配置してもよい。
本発明の例によれば、プルイン電圧及びプルアウト電圧の変動に起因するアクチュエータの信頼性の低下を防止できる。
Claims (5)
- 互いに電気的に絶縁された複数の電極部から構成され、可動部を駆動する駆動電極を具備し、前記複数の電極部に選択的に駆動電圧を印加することにより前記可動部に作用する静電力の大きさを制御することを特徴とするアクチュエータ。
- プルイン前後で前記駆動電圧を印加する前記複数の電極部の数が異なることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
- 請求項1に記載のアクチュエータと、温度検知回路と、前記駆動電圧を生成する電圧生成回路とを具備し、前記温度検知回路の出力信号に基づいて前記駆動電圧を印加する前記複数の電極部を決定することを特徴とするアクチュエータ駆動システム。
- アクチュエータと、温度検知回路と、前記アクチュエータの駆動電圧を生成する電圧生成回路とを具備し、前記温度検知回路の出力信号に基づいて前記駆動電圧の値を決定することを特徴とするアクチュエータ駆動システム。
- アクチュエータと、記憶回路と、前記アクチュエータの駆動電圧を生成する電圧生成回路とを具備し、前記記憶回路に不揮発に記憶されたデータに基づいて、前記駆動電圧の値及び前記アクチュエータの可動部を駆動する駆動電極の実効面積の少なくとも1つを決定するアクチュエータ駆動システム。
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