JP4487512B2 - 電気機械共振器およびその動作方法 - Google Patents
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- 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と、
前記振動子に直流電圧を印加する電源とを備えた電気機械共振器において、
前記電気機械共振器もしくはその周囲の温度を測定する温度センサと、
前記温度センサにより測定された温度に基づいて前記振動子に印加する直流電圧を前記電源に指示する制御部と
を備えた電気機械共振器。 - 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と、
前記振動子に直流電圧を印加する電源と
を備えた電気機械共振器の動作方法であって、
前記電気機械共振器もしくはその周囲の温度を測定する温度センサと、
前記温度センサにより測定された温度に基づいて前記振動子に印加する直流電圧を前記電源に指示する制御部とを備え、
前記温度センサで前記電気機械共振器もしくはその周囲の温度を測定し、前記電気機械共振器の共振周波数が所望の周波数になるように前記測定した温度に対応した直流電圧を前記制御部より前記電源に指示して、前記指示された直流電圧を前記電源より前記振動子に印加する
電気機械共振器の動作方法。 - 基板上の電極と、
前記基板上の電極に対して空間を介して対向する振動子と、
前記振動子に直流電圧を印加する電源と
を備えた電気機械共振器において、
前記電気機械共振器もしくはその周囲の温度を測定する温度センサと、
前記温度センサにより測定された温度に基づいて前記振動子に印加する直流電圧を前記電源に指示する制御部と
を備えた電気機械共振器。
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