JP5084841B2 - 被制御の電極オフ状態位置を有するmemsデバイス - Google Patents
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Description
第1電極と、
第2電極と、
少なくとも1つの変形電極とを具えたMEMSデバイスにおいて、
この第2電極は、当該第2電極に切り換え力が加わらないオフ状態位置において、懸架(サスペンション)構造を用いて第1電極から少し離れて懸架され、第1電極によって切り換え力が加わると、オン状態位置に弾性的に切り換え可能である
MEMSデバイスが提供される。
ステップ1102:MEMSデバイスを動作させる。
ステップ1104:開放容量を確定する。
ステップ1106:確定した開放容量=目標値か?
ステップ1108:変形電圧を印加する。
ステップ1302:MEMSデバイス及び回路を製造する。
ステップ1304:パッケージ化する。
ステップ1306:開放容量を確定する。
ステップ1308:変形電圧を印加する。
Claims (14)
- 基板上の第1電極と、
第2電極であって、当該第2電極が、当該第2電極に切り換え力が加わらない元のオフ状態位置にある際に、懸架構造を利用して前記第1電極から距離をおいて懸架され、前記第1電極を介して当該第2電極に切り換え力が加わると、当該第2電極がオン状態位置に弾性的に切り換え可能な第2電極と、
少なくとも1つの変形電極とを具えて仮製造される微小電気機械システム(MEMS)デバイスにおいて、
前記MEMSデバイスの前記仮製造後に、前記少なくとも1つの変形電極を介して、前記第2電極または前記懸架構造、あるいは前記第2電極及び前記懸架構造に静電変形力を加えると、前記第2電極または前記懸架構造、あるいは前記第2電極及び前記懸架構造の両方が塑性変形し、これにより、前記距離が変化することを特徴とするMEMSデバイス。 - 前記懸架構造が少なくとも1つのバネを具え、このバネは、前記少なくとも1つの変形電極を介して変形力を加えると塑性変形可能であることを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 複数の前記バネが複数の前記変形電極に対応し、前記バネと前記変形電極とが一対一に対応する構成に配置されていることを特徴とする請求項2に記載のMEMSデバイス。
- 前記バネがアルミニウムを含むことを特徴とする請求項2に記載のMEMSデバイス。
- 前記第2電極が、熱エネルギーに曝すことによって低下させることのできる降伏応力を有することを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 前記少なくとも1つの変形電極が前記第1電極と同一であるか、前記第1電極に直接、電気接続されていることを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
- それぞれの前記懸架構造の下の、前記懸架構造と前記変形電極との間に存在するクリアランス内に達する1つ以上の突起を具えていることを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 前記少なくとも1つの変形電極に接続された少なくとも1つの変形制御接点素子であって、当該変形電極を外部調整装置に接続するための少なくとも1つの変形制御接点素子を具えていることを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
- それぞれが前記第1電極及び前記第2電極に接続された2つの容量測定接点素子であって、前記第1電極及び前記第2電極を外部測定装置に接続して、オフ状態において前記第1電極及び前記第2電極によって形成される構成のオフ状態容量に依存する第1の量を確定するための2つの容量測定接点素子を具えていることを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 集積回路に接続された請求項1に記載のMEMSデバイスを具えた電子デバイス。
- 前記少なくとも1つの変形電極に接続された変形制御装置であって、変形電圧を発生して前記少なくとも1つの変形電極に供給するように構成された変形制御装置を具えていることを特徴とする請求項10に記載の電子デバイス。
- 前記第1電極及び前記第2電極に接続された変形制御装置であって、オフ状態において前記第1電極及び前記第2電極によって形成される構成のオフ状態容量に依存する第1の量の値を確定するように構成された変形制御装置を具えていることを特徴とする請求項10に記載の電子デバイス。
- MEMSデバイスを具えた電子デバイスを製造する方法において、
請求項1に記載のMEMSデバイスを仮製造するステップであって、前記第2電極が、当該第2電極に切り換え力が加わらない前記元のオフ状態位置にある際に、前記第1電極から前記距離をおいて懸架されるステップと、
前記オフ状態において前記第1電極及び前記第2電極によって形成される構成のオフ状態容量に依存する第1の量の値を確定するステップと、
前記MEMSデバイスをパッケージ化するステップと、
前記少なくとも1つの変形電極に変形電圧を印加し、これにより、前記第2電極を、当該第2電極が目標のオフ状態位置に達するまで塑性変形させ、これにより、前記距離を変化させるステップを具えていることを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 請求項10に記載の電子デバイスを動作させる方法において、
前記少なくとも1つの変形電極に変形電圧を印加し、これにより、前記電子デバイスに含まれる前記MEMSデバイスの前記第2電極を、オフ状態において前記第1電極及び前記第2電極によって形成される構成のオフ状態容量に依存する第1の量が目標値に達するまで塑性変形させるステップを具えていることを特徴とする電子デバイスの動作方法。
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