JP6160800B1 - 圧電素子駆動回路および流体制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第2の実施形態に係る流体制御装置200について、図を参照して説明する。
本発明の第3の実施形態に係る流体制御装置300について、図を参照して説明する。
本発明の第4の実施形態に係る流体制御装置400について、図を参照して説明する。
なお、前記実施形態において圧電素子駆動回路150、250、350は、圧電ポンプ23の圧電素子Pを駆動しているが、これに限るものではない。実施の際、圧電素子駆動回路150、250、350は例えば、圧電アクチュエータ、圧電トランス、又は圧電MEMS、モータ等にも適用できる。
10…駆動回路
12…LPF付き差動増幅回路
13…BPF付き増幅回路
17…コンパレータ
18…インバータ
21…電池
22…昇圧回路
23…圧電ポンプ
100…流体制御装置
110…波形成形回路
111…演算回路
112…MCU
122…昇圧制御回路
150…圧電素子駆動回路
200…流体制御装置
210…駆動回路
250…圧電素子駆動回路
300…流体制御装置
312…MCU
350…圧電素子駆動回路
400…流体制御装置
450…圧電素子駆動回路
Claims (8)
- DC電源電圧を出力する電源回路と、
前記電源回路から出力される前記DC電源電圧に基づいて駆動信号を生成し、前記駆動信号を圧電素子に印加する駆動回路と、
前記圧電素子に流れる駆動電流に比例する電圧信号を前記駆動回路から抽出し、前記電圧信号に基づいて、前記駆動電流の電流値に相当する電圧値を求める制御回路と、を備え、
前記制御回路は、前記電圧値に基づいて前記駆動電流の変化を抑制する制御信号を出力し、
前記電源回路は、前記制御信号に基づいて前記DC電源電圧の値を設定する、圧電素子駆動回路。 - 前記電源回路は、電池から入力されるDC電圧を前記DC電源電圧に昇圧し、前記DC電源電圧を出力する昇圧回路である、請求項1に記載の圧電素子駆動回路。
- 前記駆動回路は、前記圧電素子に対して直列に接続された抵抗と、前記駆動電流により生じる前記抵抗の両端電圧を差動増幅し、前記電圧信号を出力する差動増幅回路と、を有する、請求項1又は請求項2に記載の圧電素子駆動回路。
- 前記制御回路は、正弦波の前記電圧信号を前記駆動回路から抽出する、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の圧電素子駆動回路。
- 前記制御回路は、非線形領域での増幅が可能な増幅回路を用いて、前記制御信号を出力する、
請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の圧電素子駆動回路。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の圧電素子駆動回路と、
前記圧電素子駆動回路により駆動される前記圧電素子を有し、前記圧電素子の駆動により流体を輸送する圧電ポンプと、を備える、流体制御装置。 - 前記圧電ポンプは、負圧を発生させることによって前記流体を吸引する、請求項6に記載の流体制御装置。
- 前記圧電ポンプは、正圧を発生させることによって圧縮した前記流体を送出する、請求項6に記載の流体制御装置。
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