JPH02114872A - 静電アクチュエータ - Google Patents
静電アクチュエータInfo
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- JPH02114872A JPH02114872A JP26765688A JP26765688A JPH02114872A JP H02114872 A JPH02114872 A JP H02114872A JP 26765688 A JP26765688 A JP 26765688A JP 26765688 A JP26765688 A JP 26765688A JP H02114872 A JPH02114872 A JP H02114872A
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- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 101000684510 Rattus norvegicus Sentrin-specific protease 2 Proteins 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Micromachines (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は静電力を用いて移動子を移動させる静電アクチ
ュエータに関するものである。
ュエータに関するものである。
近年、物体を微小量移動させる手段として、静電アクチ
ュエータか注目されている。第１０図は静電アクチュエ
ータの動作原理を示す図で、図中１゜２は互いにずれて
対向配置された一対の電極である。これらの電極］、２
間には摺動画３を持つ２つの誘電体４，５が配置され、
この誘電体４．５の表面に前記電極１．２が固定されて
いる。ここで、電極１，２に電圧■を印加すると、電極
１゜２間には電極面に水平な方向の静電力Ｆｘと電極面
に垂直な方向の静電引力Ｆｙが発生する。
ュエータか注目されている。第１０図は静電アクチュエ
ータの動作原理を示す図で、図中１゜２は互いにずれて
対向配置された一対の電極である。これらの電極］、２
間には摺動画３を持つ２つの誘電体４，５が配置され、
この誘電体４．５の表面に前記電極１．２が固定されて
いる。ここで、電極１，２に電圧■を印加すると、電極
１゜２間には電極面に水平な方向の静電力Ｆｘと電極面
に垂直な方向の静電引力Ｆｙが発生する。
上記静電力Ｆｘは電極１，２間の距離をｄ、電極１，２
の幅をＷ、電極］と電極２の重なり部分の長さをａ１誘
電体４，５の比誘電率を特徴とする特許 で表わされ、また静電引力Ｆｙは て表わされる。なお、ε。：真空中の誘電率である。
の幅をＷ、電極］と電極２の重なり部分の長さをａ１誘
電体４，５の比誘電率を特徴とする特許 で表わされ、また静電引力Ｆｙは て表わされる。なお、ε。：真空中の誘電率である。
したかって、静電力Ｆｘで移動子を移動させる条件は摺
動面３の摩擦係数をμとすると、Ｆｘ−μＦｙ＞Ｑ
・・・・・・（３）を満たせばよいこと
になり、電極１，２の長さをｌとすると移動子はａ＝１
になるまで移動する。
動面３の摩擦係数をμとすると、Ｆｘ−μＦｙ＞Ｑ
・・・・・・（３）を満たせばよいこと
になり、電極１，２の長さをｌとすると移動子はａ＝１
になるまで移動する。
このような静電力を利用した従来の静電アクチュエータ
としては、特開昭ＢＬ−９５８５８号や特願昭６３−１
８２１７３号などに示されているものがある。しかしな
がら、これらの静電アクチュエータは移動子の移動方向
が一方向のみであるため、例えば物体を多方向に移動さ
せる場合には適用できないという問題があった。また、
従来の静電アクチュエ−タは物体を直線運動させる場合
、多数の電極を移動子の移動方向に沿って配列し、かつ
これらの電極を多相駆動する必要があるため、配線が１
夏雑になったり、装置自体が大型化するという問題かあ
った。
としては、特開昭ＢＬ−９５８５８号や特願昭６３−１
８２１７３号などに示されているものがある。しかしな
がら、これらの静電アクチュエータは移動子の移動方向
が一方向のみであるため、例えば物体を多方向に移動さ
せる場合には適用できないという問題があった。また、
従来の静電アクチュエ−タは物体を直線運動させる場合
、多数の電極を移動子の移動方向に沿って配列し、かつ
これらの電極を多相駆動する必要があるため、配線が１
夏雑になったり、装置自体が大型化するという問題かあ
った。
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、
その第１の目的は移動子を多方向に移動させることがで
きる静電アクチュエータを提供することにある。また、
本発明の第２の目的は移動子の移動方向に多数の電極を
配列することなく物体を直線運動させることができる静
電アクチュエータを提供することにある。
その第１の目的は移動子を多方向に移動させることがで
きる静電アクチュエータを提供することにある。また、
本発明の第２の目的は移動子の移動方向に多数の電極を
配列することなく物体を直線運動させることができる静
電アクチュエータを提供することにある。
！−記第１のｌ」的を達成するために本発明は、所定の
間隔で互いに離間して配置された複数の固定電極を有す
る固定子と、この固定子の固定電極に対向して表面上に
可動電極を有し１−記固定電極の電極面と一定の間隔を
おいて相対的に移動可能な移動子とこの移動子の可動電
極と前記固定子の固定電極との間に設けられ少なくとも
どちらか一方の電極面を覆う誘電体層と、前記固定電極
のうち少なくとも１つの固定電極を選択し、選択された
固定電極と前記可動電極との間に電圧を印加する手段と
を具備してなることを特徴とするものである。
間隔で互いに離間して配置された複数の固定電極を有す
る固定子と、この固定子の固定電極に対向して表面上に
可動電極を有し１−記固定電極の電極面と一定の間隔を
おいて相対的に移動可能な移動子とこの移動子の可動電
極と前記固定子の固定電極との間に設けられ少なくとも
どちらか一方の電極面を覆う誘電体層と、前記固定電極
のうち少なくとも１つの固定電極を選択し、選択された
固定電極と前記可動電極との間に電圧を印加する手段と
を具備してなることを特徴とするものである。
また、第２の目的を達成するために本発明は、」１記固
定子または移動子のどちらか一方に上記固定電極及び可
動電極の電極面に垂直な方向に伸縮する圧電アクチュエ
ータを設けた請求項１記載の静電アクチュエータを少な
くとも２つ以上組み合せたことを特徴とするものである
。
定子または移動子のどちらか一方に上記固定電極及び可
動電極の電極面に垂直な方向に伸縮する圧電アクチュエ
ータを設けた請求項１記載の静電アクチュエータを少な
くとも２つ以上組み合せたことを特徴とするものである
。
本発明においては、固定子に設けられた複数の固定電極
のうち少なくとも１つの固定電極を選択し、選択された
固定電極と可動電極との間に電圧を印加することにより
移動子を多方向に移動させることかできる。また、上記
固定子または可動子のどちらか一方に」１記固定電極及
び可動電極の電極面に垂直な方向に伸縮する圧電アクチ
ュエータを設け、この圧電アクチュエータを設けた静電
アクチュエータを同一平面上に少なくとも２つ以上組み
合せることにより、移動子の移動方向に多数の電極を配
列することなく物体を直線運動させることができる。
のうち少なくとも１つの固定電極を選択し、選択された
固定電極と可動電極との間に電圧を印加することにより
移動子を多方向に移動させることかできる。また、上記
固定子または可動子のどちらか一方に」１記固定電極及
び可動電極の電極面に垂直な方向に伸縮する圧電アクチ
ュエータを設け、この圧電アクチュエータを設けた静電
アクチュエータを同一平面上に少なくとも２つ以上組み
合せることにより、移動子の移動方向に多数の電極を配
列することなく物体を直線運動させることができる。
以下、本発明の実施例を第１図〜第９図を参照して説明
する。
する。
第１図及び第２図は本発明の第１目的を達成するための
一実施例を示すもので、第１図は平面図、第２図は第１
図の■−■矢視断面図である。
一実施例を示すもので、第１図は平面図、第２図は第１
図の■−■矢視断面図である。
図中１０は例えばアルミナ、ジルコニア等の絶縁材料か
らなる板状の固定子で、この固定子１０の表面（平面列
こは複数の固定電極１１ａ、１ｌｂ１１ｃ、１．］、ｄ
が所定間隔で互いに離間して配設されている。また、１
２は」１記固定子１０−１−に摺動可能に配置された移
動子で、この移動子］２の摺動面には前記固定電極］］
、ａ、ｌｌｂ、］、１．ｃ。
らなる板状の固定子で、この固定子１０の表面（平面列
こは複数の固定電極１１ａ、１ｌｂ１１ｃ、１．］、ｄ
が所定間隔で互いに離間して配設されている。また、１
２は」１記固定子１０−１−に摺動可能に配置された移
動子で、この移動子］２の摺動面には前記固定電極］］
、ａ、ｌｌｂ、］、１．ｃ。
１１ｄに対向して可動電極１３が設けられている。
この可動電極１３はリード線を介して直流電源１６に接
続され、また固定電極１１ａ、ｌｌｂ。
続され、また固定電極１１ａ、ｌｌｂ。
１１ｃ ｌｌｄはそれぞれリード線を介して前記直流
電源１６と接続した切換スイッチボックス１５に接続さ
れている。この切換スイッチボックス１５は電圧を印加
する固定電極を選択するだめのもので、切換信号によっ
て動作するようになっている。
電源１６と接続した切換スイッチボックス１５に接続さ
れている。この切換スイッチボックス１５は電圧を印加
する固定電極を選択するだめのもので、切換信号によっ
て動作するようになっている。
また、１４は前記固定電極１１ａ、ｌｌｂ。
１１ｃ、ｌｌｄを覆うように固定子１０の表面に一定厚
さで形成された誘電体層である。この誘電体層１４は例
えばジルコンチタン酸鉛（ＰＺＴ）。
さで形成された誘電体層である。この誘電体層１４は例
えばジルコンチタン酸鉛（ＰＺＴ）。
チタン酸バリウム等からなり、固定電極１］ａ。
１１、ｂ、１．１ｃ、１１．ｄと可動電極１３との間を
一定間隔に保っている。なお、可動電極１３は人なり小
なり全ての固定電極１１ ａ、 １．１． ｂ。
一定間隔に保っている。なお、可動電極１３は人なり小
なり全ての固定電極１１ ａ、 １．１． ｂ。
１、］ｃ、ｌｌｄと重なり合う部分を持っており、例え
ば固定電極の寸法をａｘａｍｍ、固定電極間の間隔をｂ
ｍｍ、可動電極の寸法をＣＸ Ｃ１１１ｍとするとｃ
＞ａ＋ｂとなっている。
ば固定電極の寸法をａｘａｍｍ、固定電極間の間隔をｂ
ｍｍ、可動電極の寸法をＣＸ Ｃ１１１ｍとするとｃ
＞ａ＋ｂとなっている。
このような構成において、固定子１０に設けられた固定
電極１１ａ、ｌｌｂ、ｌｌｃ、ｌｌｄのうち例えば固定
電極１１ａを切換スイッチボックス１５で選択し、この
固定電極１１ａと可動電極１３との間に電圧Ｖを印加す
ると、移動子１２は上記電極１１ａ、１３間に生じる静
電力Ｆｘによって第３図中矢印ａ方向に移動する。また
、固定電極１１ａ、１］、ｂ、］、１ｃ、ｌｌｄのうち
例えば固定電極１１ａ、１１．ｂを切換スイッチボック
ス１５で選択し、これら固定電極１．１ａ、ｌｌｂとｎ
Ｊ動主電極１３の間に電圧Ｖを印加すると、移動子１２
は上記電極１１ａ、１３間及び１１ｂ。
電極１１ａ、ｌｌｂ、ｌｌｃ、ｌｌｄのうち例えば固定
電極１１ａを切換スイッチボックス１５で選択し、この
固定電極１１ａと可動電極１３との間に電圧Ｖを印加す
ると、移動子１２は上記電極１１ａ、１３間に生じる静
電力Ｆｘによって第３図中矢印ａ方向に移動する。また
、固定電極１１ａ、１］、ｂ、］、１ｃ、ｌｌｄのうち
例えば固定電極１１ａ、１１．ｂを切換スイッチボック
ス１５で選択し、これら固定電極１．１ａ、ｌｌｂとｎ
Ｊ動主電極１３の間に電圧Ｖを印加すると、移動子１２
は上記電極１１ａ、１３間及び１１ｂ。
１３間に生じる２つの静電力Ｆｘによって第３図中矢印
す方向に移動する。つまり、切換スイッチボックス１５
で１つの固定電極を選択すると移動子１２は固定子１０
の対角線方向（矢印ａ、ｃ。
す方向に移動する。つまり、切換スイッチボックス１５
で１つの固定電極を選択すると移動子１２は固定子１０
の対角線方向（矢印ａ、ｃ。
ｅ、ｇ方向）に移動し、また隣り合う２つの固定電極を
選択すると移動子１２は固定子１０の縦方向及び横方向
（矢印す、ｄ、ｆ、ｈ方向）に移動する。
選択すると移動子１２は固定子１０の縦方向及び横方向
（矢印す、ｄ、ｆ、ｈ方向）に移動する。
このように本実施例では、固定子１０の平面上に互いに
所定間隔で離間した複数の固定電極１１ａ、ｌｌｂ、ｌ
ｌｃ、ｌｌｄを設けるとともに、」１記固定子１０の表
面に前記固定電極１１ａ。
所定間隔で離間した複数の固定電極１１ａ、ｌｌｂ、ｌ
ｌｃ、ｌｌｄを設けるとともに、」１記固定子１０の表
面に前記固定電極１１ａ。
１１ｂ ｌｌｃ、ｌｉｄを覆う一定厚さの誘電体層１
４を形成し、この誘電体層１４Ｉ：に固定電極］１．ａ
、１．１ｂ、１］、ｃ、ｌｌｄと対向する可動電極１３
を有する移動子１２を摺動可能に配置しだので、前記固
定電極］ １．ａ、 １ ｌｂ、 １１．ｃ。
４を形成し、この誘電体層１４Ｉ：に固定電極］１．ａ
、１．１ｂ、１］、ｃ、ｌｌｄと対向する可動電極１３
を有する移動子１２を摺動可能に配置しだので、前記固
定電極］ １．ａ、 １ ｌｂ、 １１．ｃ。
１１ｄのうち少なくとも１つの固定電極を切換スイッチ
ボックス１５で選択し、選択された固定電極と可動電極
１３との間に電圧を印加することにより、移動子１２を
多方向に移動させることかできる。
ボックス１５で選択し、選択された固定電極と可動電極
１３との間に電圧を印加することにより、移動子１２を
多方向に移動させることかできる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない。
例えば上記実施例では誘電体層１４を固定子１０に設け
たが、誘電体層１４を可動電極１３を覆うように移動子
１２の表面に設けてもよい。また、第４図に示すように
固定ｒ−１０の下面に圧電体１８と電極１９．２０とか
らなる圧電アクチュエータ１７を設け、固定子１０を」
二下方向に変位させるようにしてもよい。さらに第５図
に示すように固定子１０の下面に積層型の圧電アクチュ
エータ１７を設けてもよい。なお、第４図及び第５図中
２１は圧電アクチュエータ］７を駆動するための電源で
ある。
たが、誘電体層１４を可動電極１３を覆うように移動子
１２の表面に設けてもよい。また、第４図に示すように
固定ｒ−１０の下面に圧電体１８と電極１９．２０とか
らなる圧電アクチュエータ１７を設け、固定子１０を」
二下方向に変位させるようにしてもよい。さらに第５図
に示すように固定子１０の下面に積層型の圧電アクチュ
エータ１７を設けてもよい。なお、第４図及び第５図中
２１は圧電アクチュエータ］７を駆動するための電源で
ある。
第６図及び第７図は本発明の第２目的を達成するための
一実施例を示すもので、第６図は平面図第７図は−断面
図である。この 静電アクチュエータは第１図に示した静電アクチュエー
タを同一平面上に４つ組み合せたもので、各固定子１０
Ａ 、 １０ Ｂ 、 １．０ Ｃ、１０Ｄには
圧電アクチュエータ１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ。
一実施例を示すもので、第６図は平面図第７図は−断面
図である。この 静電アクチュエータは第１図に示した静電アクチュエー
タを同一平面上に４つ組み合せたもので、各固定子１０
Ａ 、 １０ Ｂ 、 １．０ Ｃ、１０Ｄには
圧電アクチュエータ１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ。
１７Ｄが固定電極１１ ａ 、 １．１ ｂ 、
１．１． ｃ１１ｄ側と反対側に設けられている。これ
らの圧電アクチュエータ１７Ａ、１．７Ｂ、１７Ｃ。
１．１． ｃ１１ｄ側と反対側に設けられている。これ
らの圧電アクチュエータ１７Ａ、１．７Ｂ、１７Ｃ。
１７Ｄは−１−足固定電極１１．ａ、 １ ｌｂ、
］、１．ｃ１１ｄの電極面に垂直な方向に厚み変位（
伸縮）する圧電体１８と、この圧電体１８に電圧を印加
する電極１９．２０（電極２０は共用電極）とを備えて
構成されている。なお、図中２２は移動面である。
］、１．ｃ１１ｄの電極面に垂直な方向に厚み変位（
伸縮）する圧電体１８と、この圧電体１８に電圧を印加
する電極１９．２０（電極２０は共用電極）とを備えて
構成されている。なお、図中２２は移動面である。
このように構成される静電アクチュエータを図中矢印方
向に移動させる場合は、まず圧電アクチュエータ１．７
Ａ１７Ｃに電圧を印加し、これら圧電アクチュエータ１
７Ａ、１７Ｃの圧電体１８を第８図（ａ）（ｂ）に示す
ように収縮方向に厚み変位させる。次にこの状態で固定
子］ＯＡ。
向に移動させる場合は、まず圧電アクチュエータ１．７
Ａ１７Ｃに電圧を印加し、これら圧電アクチュエータ１
７Ａ、１７Ｃの圧電体１８を第８図（ａ）（ｂ）に示す
ように収縮方向に厚み変位させる。次にこの状態で固定
子］ＯＡ。
１０Ｃの固定電極１１ａ、ｌｌｂと移動子１２Ａ。
１、２ Ｃの可動電極１３との間に電圧を印加し、これ
ら電極１１ａ、１．３および１．１ｂ、１３間に静電力
を発生させる。これにより移動子１２Ａ１２Ｃは静電力
によって移動し、節季〇図（ａ）に示す位置に来たとこ
ろで停止する。
ら電極１１ａ、１．３および１．１ｂ、１３間に静電力
を発生させる。これにより移動子１２Ａ１２Ｃは静電力
によって移動し、節季〇図（ａ）に示す位置に来たとこ
ろで停止する。
次に圧電アクチュエータ１７Ａ、１７Ｃへの電圧印加を
停止し、これら圧電アクチュエータ１７Ａ １７Ｃの
圧電体１８を元の厚みに戻す。
停止し、これら圧電アクチュエータ１７Ａ １７Ｃの
圧電体１８を元の厚みに戻す。
その後、圧電アクチュエータ１７Ｂ、１７Ｄに電圧を印
加し、これら圧電アクチュエータ１７Ｂ１、７ Ｄの圧
電体１８を収縮方向に厚み変位させる。
加し、これら圧電アクチュエータ１７Ｂ１、７ Ｄの圧
電体１８を収縮方向に厚み変位させる。
そして、この状態で固定子１０Ｂ、１．０Ｄの固定］１
電極１１ａ、１１ｂと移動子１２Ｂ、１２Ｄの可動電極
１３との間に電圧を印加し、これら電極１１ａ、１３お
よび１．１． ｂ、 １３間に静電力を発生させる。
１３との間に電圧を印加し、これら電極１１ａ、１３お
よび１．１． ｂ、 １３間に静電力を発生させる。
これにより移動子１．２Ｂ、１２Ｄは静電力によって移
動し、第キ０図（ｂ）に示す位置に来たところで停止す
る。
動し、第キ０図（ｂ）に示す位置に来たところで停止す
る。
次に圧電アクチュエータ１７Ｂ、１７Ｄへの電圧印加を
停止し、これら圧７ｕアクチュエータ１７Ｂ １７Ｄ
の圧電体１８を元の厚みに戻す。
停止し、これら圧７ｕアクチュエータ１７Ｂ １７Ｄ
の圧電体１８を元の厚みに戻す。
その後、固定子１０Ａ、ＩＯＢ、ＩＯＣ，ＩＯＤの固定
電極１．１ｃ、ｌｌｄと移動子１２Ａ１２Ｂ、１２Ｃ，
１２ＤのｎＪ動電極１３との間に電圧を印加する。これ
によりに記同定電極１１Ｃ２１１ｄと可動電極］３との
間には移動子１２Ａ１２Ｂ、１２Ｃ，１２Ｄを矢印方向
と逆方向に移動させるようとする静電力が発生するが、
このとき移動子１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ，１２Ｄは移動
面２２に接地しており、移動子１２Ａ、１．２Ｂ。
電極１．１ｃ、ｌｌｄと移動子１２Ａ１２Ｂ、１２Ｃ，
１２ＤのｎＪ動電極１３との間に電圧を印加する。これ
によりに記同定電極１１Ｃ２１１ｄと可動電極］３との
間には移動子１２Ａ１２Ｂ、１２Ｃ，１２Ｄを矢印方向
と逆方向に移動させるようとする静電力が発生するが、
このとき移動子１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ，１２Ｄは移動
面２２に接地しており、移動子１２Ａ、１．２Ｂ。
１２Ｃ，１２Ｄと移動面２２との摩擦係数が移動子１．
２Ａ、１．２Ｂ、１２Ｃ，１２Ｄと固定子］、ＯＡ、Ｉ
ＯＢ、ＩＯＣ，ＩＯＤとの間の摩擦係数より大きいため
、固定子１．ＯＡ、１．ＯＢ。
２Ａ、１．２Ｂ、１２Ｃ，１２Ｄと固定子］、ＯＡ、Ｉ
ＯＢ、ＩＯＣ，ＩＯＤとの間の摩擦係数より大きいため
、固定子１．ＯＡ、１．ＯＢ。
１０Ｃ，］、ＯＤが矢印方向に移動し、第一に：→図（
Ｃ）に示す位置に来たところで停止する。したかって、
このような動作を繰り返して行なうことにより、移動子
の移動方向に多数の電極を配列することなく物体を直線
運動させることができる。
Ｃ）に示す位置に来たところで停止する。したかって、
このような動作を繰り返して行なうことにより、移動子
の移動方向に多数の電極を配列することなく物体を直線
運動させることができる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない。
例えば上記実施例では圧電アクチュエタ１．７Ａ、１７
Ｂ、１７Ｃ，１７Ｄを固定子１０Ａ、ＩＯＢ、ＩＯＣ，
ＩＯＤに設けたが、移動子１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ，１
２Ｄに設けてもよい。また、上記実施例では第１図に示
した静電アクチュエータを同一平面」二に４つ組み合せ
たが、２つ以］二組み合せても同様の効果が得られる。
Ｂ、１７Ｃ，１７Ｄを固定子１０Ａ、ＩＯＢ、ＩＯＣ，
ＩＯＤに設けたが、移動子１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ，１
２Ｄに設けてもよい。また、上記実施例では第１図に示
した静電アクチュエータを同一平面」二に４つ組み合せ
たが、２つ以］二組み合せても同様の効果が得られる。
以−１−説明したように本発明によれば、移動子を多方
向に移動させることができる静電アクチュエータを得る
ことができる。また、移動子の移動方向に多数の電極を
配列することなく物体を直線運】３ 動させることができる静電アクチュエータを得ることが
できる。
向に移動させることができる静電アクチュエータを得る
ことができる。また、移動子の移動方向に多数の電極を
配列することなく物体を直線運】３ 動させることができる静電アクチュエータを得ることが
できる。
第１図及び第２図は本発明の第１実施例を示す図で、第
１図は静電アクチュエータの・１う面図、第２図は第１
図の■−■矢視断面図、第３図は同実施例の作用を示す
図、第４図は本発明の第２実施例を示す静電アクチュエ
ータの断面図、第５図は本発明の第３実施例を示す静電
アクチュエータの断面図、第６図及び第７図は本発明の
第４実施例は静電アクチュエータの動作原理を示す図で
ある。 １、０． １０Ａ 〜１．０Ｄ・・固定子、］−１，ａ
−１１、ｄ・・・固定電極、１２．１２Ａ〜１２Ｄ・
・移動子、１３・・・可動電極、１４・・・誘電体層、
１５・・・切換スイッチボックス、１６・・・電源、１
７Ａ〜１７Ｄ・・・圧電アクチュエータ。 第 図 第 図 （Ｊ（Ｊ トＯ Ｌ） （） （Ｊ（） 第１０図
１図は静電アクチュエータの・１う面図、第２図は第１
図の■−■矢視断面図、第３図は同実施例の作用を示す
図、第４図は本発明の第２実施例を示す静電アクチュエ
ータの断面図、第５図は本発明の第３実施例を示す静電
アクチュエータの断面図、第６図及び第７図は本発明の
第４実施例は静電アクチュエータの動作原理を示す図で
ある。 １、０． １０Ａ 〜１．０Ｄ・・固定子、］−１，ａ
−１１、ｄ・・・固定電極、１２．１２Ａ〜１２Ｄ・
・移動子、１３・・・可動電極、１４・・・誘電体層、
１５・・・切換スイッチボックス、１６・・・電源、１
７Ａ〜１７Ｄ・・・圧電アクチュエータ。 第 図 第 図 （Ｊ（Ｊ トＯ Ｌ） （） （Ｊ（） 第１０図
Claims (2)
- （１）所定の間隔で互いに離間して配置された複数の固
定電極を有する固定子と、この固定子の固定電極に対向
して表面上に可動電極を有し上記固定電極の電極面と一
定の間隔をおいて相対的に移動可能な移動子と、この移
動子の可動電極と前記固定子の固定電極との間に設けら
れ少なくともどちらか一方の電極面を覆う誘電体層と、
前記固定電極のうち少なくとも１つの固定電極を選択し
、選択された固定電極と前記可動電極との間に電圧を印
加する手段とを具備してなることを特徴とする静電アク
チュエータ。 - （２）上記固定子または移動子のどちらか一方に上記固
定電極及び可動電極の電極面に垂直な方向に伸縮する圧
電アクチュエータを設けた請求項１記載の静電アクチュ
エータを同一平面上に少なくとも２つ以上組み合せたこ
とを特徴とする静電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63267656A JP3021460B2 (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 | 静電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63267656A JP3021460B2 (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 | 静電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02114872A true JPH02114872A (ja) | 1990-04-26 |
| JP3021460B2 JP3021460B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=17447712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63267656A Expired - Fee Related JP3021460B2 (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 | 静電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3021460B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5489812A (en) * | 1991-06-11 | 1996-02-06 | International Business Machines Corporation | Micro actuator |
| JP2008067549A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Toshiba Corp | アクチュエータ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5680694U (ja) * | 1979-11-21 | 1981-06-30 | ||
| JPS63171173A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-07-14 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 静電型二次元移動アクチユエ−タ |
| JPS63253884A (ja) * | 1986-10-16 | 1988-10-20 | アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー | 静電モータ |
-
1988
- 1988-10-24 JP JP63267656A patent/JP3021460B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5680694U (ja) * | 1979-11-21 | 1981-06-30 | ||
| JPS63253884A (ja) * | 1986-10-16 | 1988-10-20 | アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー | 静電モータ |
| JPS63171173A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-07-14 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 静電型二次元移動アクチユエ−タ |
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| US5489812A (en) * | 1991-06-11 | 1996-02-06 | International Business Machines Corporation | Micro actuator |
| JP2008067549A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Toshiba Corp | アクチュエータ |
| US8044552B2 (en) | 2006-09-08 | 2011-10-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Actuator driving system in which a drive voltage and number of electrodes parts driven changes in accordance with temperature |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3021460B2 (ja) | 2000-03-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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