KR100924096B1 - 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자 - Google Patents

압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자 Download PDF

Info

Publication number
KR100924096B1
KR100924096B1 KR1020070118379A KR20070118379A KR100924096B1 KR 100924096 B1 KR100924096 B1 KR 100924096B1 KR 1020070118379 A KR1020070118379 A KR 1020070118379A KR 20070118379 A KR20070118379 A KR 20070118379A KR 100924096 B1 KR100924096 B1 KR 100924096B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
piezoelectric
displacement expansion
contraction
piezoelectric element
displacement
Prior art date
Application number
KR1020070118379A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090051920A (ko
Inventor
강형원
이형규
Original Assignee
전자부품연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 전자부품연구원 filed Critical 전자부품연구원
Priority to KR1020070118379A priority Critical patent/KR100924096B1/ko
Publication of KR20090051920A publication Critical patent/KR20090051920A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100924096B1 publication Critical patent/KR100924096B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes

Abstract

본 발명은 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자에 관한 것으로서, 복수 개의 적층된 압전체 시트와, 복수 개의 압전체 시트에 압전체 시트의 길이 방향으로 순차적으로 형성된 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부를 포함하여 이루어지며, 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부는 인가되는 전압에 따라 압전체 시트의 길이 방향 및 적층 방향으로 팽창 또는 수축되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 한 개의 압전 소자로 압전 리니어 액츄에이터를 구현할 수 있으므로, 액츄에이터의 크기를 소형화할 수 있고, 구동 신호를 단순화할 수 있으므로 구동 회로의 크기를 줄일 수 있다.
압전 소자, 어스웜, 정현파, 분극, 액츄에이터, 압전체 시트

Description

압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자{ Piezoelcetric device for piezoelcetric linear actuator }
본 발명은 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자에 관한 것으로서, 한 개의 압전 소자로 이루어지며, 구동 신호를 단순화한 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자에 관한 것이다.
최근, 가공·조립 시스템의 마이크로화가 생산 기계 분야에서 국제적인 이슈가 되고 있으며, 멤스(MEMS : Micro-Electro Mechanical System) 등과 같은 마이크로기술의 발전에 의해 가공·조립 기계 및 시스템의 초소형화가 가능해지고 있다.
특히, 압전 소자를 이용한 압전 리니어(Piezoelcetric Linear) 액츄에이터는 미세 이동이 용이하여 핸드폰의 줌 기능 또는 ODD(Optical Disk Drive)용 픽업을 수행하기 위한 용도에 주로 이용된다.
상기 압전 리니어 액츄에이터는 다수의 압전 소자, 변위 이동부, 가이드 레일 등으로 구성되어, 다수의 압전 소자들의 기계적인 변형에 의해 그와 연결된 변위 이동부가 가이드 레일 내에서 일측 방향으로 이동하는 소자이다.
도 1은 일반적인 압전 리니어 액츄에이터를 나타낸 도면이다.
이에 도시된 바와 같이, 가이드 레일(10) 사이에 각각 위치하는 제1 압전 소자(11) 및 제2 압전 소자(12)와, 상기 제1 압전 소자(11) 및 제2 압전 소자(12) 각각에 결합되며, 상기 제1 압전 소자(11) 및 제2 압전 소자(12)의 변형에 따라 양측이 상기 가이드 레일(10)에 각각 접촉되는 제1 클램프(13-1) 및 제2 클램프(13-2)와, 상기 제1 압전 소자(11) 및 제2 압전 소자(12) 사이에 형성되며, 프레임(15)으로 둘러싸여 있는 제3 압전 소자(14)로 이루어진다.
이와 같이 구성된 압전 리니어 방식의 액츄에이터는, 인가된 전압에 따른 각 압전 소자(11, 12, 14)들의 기계적인 변형에 의해 가이드 레일(10)을 따라 우측 또는 좌측으로 이동하게 된다.
도 2a 내지 도 2f는 일반적인 압전 리니어 액츄에이터가 우측으로 이동하는 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
먼저, 도 2a에 도시된 바와 같이, 좌측에 위치한 제1 압전 소자(11)가 인가된 신호 전압에 따라 팽창하면, 그와 연결된 제1 클램프(13-1)가 가이드 레일(10)에 접촉된다.
이 상태에서, 가운데 부분에 위치한 제3 압전 소자(14)가 신호 전압을 인가받아 팽창하면, 가이드 레일(10)로부터 떨어져 있는 제2 클램프(13-2)가 우측 방향으로 밀려지게 되어 소정 거리만큼 이동하게 된다(도 2b).
다음으로, 제2 압전 소자(12)가 인가된 신호 전압에 따라 팽창하면, 그와 연결된 제2 클램프(13-2)가 가이드 레일(10)에 접촉된다(도 2c). 이때, 제3 압전 소자(14)는 팽창한 상태를 유지하도록 신호 전압이 계속 인가되도록 한다.
그리고, 상기 팽창된 제1 압전 소자(11)가 신호 전압의 차단으로 원래의 상태로 되면, 가이드 레일(10)에 부착된 제1 클램프(13-1)가 가이드 레일(10)로부터 떨어지게 된다(도 2 d).
다음으로, 상기 팽창한 제3 압전 소자(14)가 신호 전압의 차단으로 원래의 상태로 되면, 가이드 레일(10)로부터 떨어진 제1 클램프(13-1)가 우측 방향으로 소정 거리만큼 이동하게 된다(도 2e).
그리고, 상기 제1 압전 소자(11)가 인가된 신호 전압에 따라 팽창하면, 그와 연결된 제1 클램프(13-1)가 가이드 레일(10)에 접촉하여 한 사이클 동안의 압전 소자의 이동이 완료된다.
전술한 동작이 순차적으로 반복되면, 압전 리니어 액츄에이터는 우측 방향으로 원하는 거리만큼 이동할 수 있게 된다.
상기 압전 리니어 액츄에이터는 이동형 단말기의 오토 포커싱을 위해서나 나노 단위로 위치를 결정하는 초정밀 위치 결정 기구 등에 사용되는데, 그로 인해 소형화가 요구되고 있다.
그러나, 종래의 압전 리니어 액츄에이터는 부품수도 많이 요구되고, 압전 소자를 3개 이상 사용하기 때문에 소형화하는데 한계가 있다.
또한, 3개의 압전 소자 각각에 여러 단계의 상이한 구동 신호를 인가하여야 하기 때문에 구동 회로가 복잡해지는 문제점이 있다.
상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자의 바람직한 실시예는, 복수 개의 적층된 압전체 시트; 상기 복수개의 압전체 시트 상에 접지 전극과 제1 전극이 층별로 번갈아가며 형성되어 이루어지고, 상호 이격된 제 1과 3 변위 팽창/수축부; 상기 복수개의 압전체 시트 상에 접지 전극과 제2 전극이 층별로 번갈아가며 형성되어 이루어지고, 상호 이격된 제 2와 4 변위 팽창/수축부로 구성되며, 상기 제 2 변위 팽창/수축부는 상기 제 1과 3 변위 팽창/수축부 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제1 변위 팽창/수축부 및 제3 변위 팽창/수축부는 상기 적층된 압전체 시트 상에 접지 전극과 제1 전극이 층별로 교대로 형성되어 있고, 상기 제2 변위 팽창/수축부 및 제4 변위 팽창/수축부는 상기 적층된 압전체 시트 상에 접지 전극과 제2 전극이 층별로 교대로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 전극 및 제2 전극에는 위상 차가 90°나는 정현파 신호 전압이 각각 인가되는데, 일 예로 제1 전극에는 사인(Sine) 신호 전압이 인가되고, 상기 제2 전극에는 코사인(Cosine) 신호 전압이 인가되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부의 각 압전체 시트는 적층이 됨에 따라 분극 방향이 바뀌는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제1 변위 팽창/수축부와 제4 변위 팽창/수축부의 각 압전체 시트는 동일한 층에서 분극 방향이 서로 같고, 상기 제2 변위 팽창/수축부와 제3 변위 팽창/수축부의 각 압전체 시트는 동일한 층에서 분극 방향이 서로 같으나, 상기 제1 변위 팽창/수축부 및 제4 변위 팽창/수축부의 각 압전체 시트는 상기 제2 변위 팽창/수축부 및 제3 변위 팽창/수축부의 각 압전체 시트와 동일한 층에서 분극 방향이 서로 반대인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 제 1 내지 제 4 변위 팽창/수축부와 제 1과 2 전극을 포함하여 이루어진 압전 소자로 압전 리니어 액츄에이터를 구현할 수 있으므로, 액츄에이터의 크기를 소형화할 수 있고, 구동 신호를 단순화할 수 있으므로 구동 회로의 크기를 줄일 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자에 관해 상세히 설명한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술 되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 3은 본 발명의 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자의 실시예를 나타낸 사시도이다.
이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 압전 소자는 복수 개의 적층된 압전체 시트(S)에 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부(100, 200, 300, 400)가 상기 압전체 시트(S)의 길이 방향으로 순차적으로 형성되어 이루어진다.
여기서, 상기 제1 변위 팽창/수축부(100) 및 제3 변위 팽창/수축부(300)는 적층된 압전체 시트(S) 상에 접지 전극(110, 310)과 제1 전극(120, 320)이 층별로 번갈아 가며 형성되어 이루어진다.
그리고, 상기 제2 변위 팽창/수축부(200) 및 제4 변위 팽창/수축부(400)도 적층된 압전체 시트(S) 상에 접지 전극(210, 410)과 제2 전극(220, 420)이 층별로 번갈아 가며 형성되어 이루어진다.
상기 압전체 시트(S) 상에 형성되는 제1 전극(120, 320)은 층간 배선을 통해 서로 전기적으로 연결되고, 제2 전극(220, 420)도 층간 배선을 통해 서로 전기적으로 연결된다.
상기 접지 전극(110, 210, 310, 410)과 제1 전극(120, 320) 및 제2 전극(220, 420)은 금속 페이스트를 도포하여 형성한 것으로, 상기 금속으로는 백금, 팔라듐, 은-팔라듐 합금 또는 은을 사용할 수 있으며, 하소 세라믹 분말을 함유하여 사용할 수 있다.
그리고 상기 압전체 시트(S)에 사용되는 압전 물질로는 강유전체인 지르콘산납(PbZrO3)과, 반 강유전체인 티탄산 지르콘산납(PbZrO3-PbTiO3) 계 압전 세라믹스를 사용할 수 있다
한편, 상기 제1 전극(120, 320) 및 제2 전극(220, 420)에는 정현파 신호 전압이 인가되는데, 일 예로 상기 제1 전극(120, 320)에 사인(Sine) 신호 전압이 인가되고, 상기 제2 전극(220, 420)에 코사인(Cosine) 신호 전압이 인가될 수 있으며, 다른 예로 상기 제1 전극(120, 320)에 코사인(Cosine) 신호 전압이 인가되고, 상기 제2 전극(220, 420)에 사인(Sine) 신호 전압이 인가될 수도 있다.
즉, 상기 제1 전극(120, 320) 및 제2 전극(220, 420)에는 위상 차가 90도인 정현파 신호 전압이 각각 인가된다.
이와 같은 구조를 가지는 압전 소자에 있어서, 위상 차가 90도인 정현파 신호 전압을 상기 제1 전극(120, 320) 및 제2 전극(220, 420)에 각각 인가하면, 상기 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부(100, 200, 300, 400)는 상기 압전체 시트(S)의 적층 및 길이 방향으로 팽창 또는 수축을 일으켜 압전 소자가 일정한 방향으로 이동 하게 된다.
이때, 상기 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부(100, 200, 300, 400)는 상기 제1 전극(120, 320) 및 제2 전극(220, 420)에 인가되는 정현파 신호 전압에 따라, 각각 팽창 또는 수축을 일으키게 되므로, 압전 소자는 마치 지렁이(Earthworm)가 꿈틀거리며 이동하는 것과 같이 이동하게 된다.
도 4는 본 발명의 압전 소자의 움직임을 연속적으로 나타낸 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 압전 소자의 제1 전극 및 제2 전극에 90도 위상 차가 나는 정현파 신호 전압을 각각 인가하면, 압전 소자의 위아래로 팽창된 부분이 우측에서 좌측으로 점점 이동하는 것을 볼 수 있다. 이러한 움직임을 통하여 본 발명의 압전 소자는 지렁이가 이동하듯이 꿈틀거리며 이동하게 된다.
본 발명의 압전 소자가 정현파 신호 전압의 인가에 따라 이러한 움직임을 보이기 위해서는, 압전체 시트(S)의 각 영역이 일정한 방식을 따라 분극되어 있어야 한다.
도 5는 본 발명의 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자의 분극 상태를 나타낸 도면이다.
이에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부(100, 200, 300, 400)에서 각 압전체 시트는 적층됨에 따라 분극 방향이 번갈아가며 바뀌게 된다.
즉, 제1 변위 팽창/수축부(100)를 살펴보면, 제1층 압전체 시트(S1)에서는 분극 방향이 아래(↓)를 향하고 있고, 제2층 압전체 시트(S2)에서는 분극 방향이 위(↑)를 향하고 있으며, 다시 제3층 압전체 시트(S3)에서는 분극 방향이 아래(↓)를 향하고 있는 것을 볼 수 있는데, 이와 같이 압전체 시트가 적층됨에 따라 분극 방향이 교대로 바뀌게 된다.
또한, 제1 변위 팽창/수축부(100) 및 제4 변위 팽창/수축부(400)의 경우, 동일한 압전체 시트에서 분극 방향이 서로 같으며, 제2 변위 팽창/수축부(200) 및 제3 변위 팽창/수축부(300)의 경우도 동일한 압전체 시트에서 분극 방향이 서로 같다.
그리고, 제1 변위 팽창/수축부(100)와 제2 변위 팽창/수축부(200)는 동일한 압전체 시트에서 분극 방향이 서로 반대이며, 마찬가지로 제3 변위 팽창/수축부(300)와 제4 변위 팽창/수축부(400)는 동일한 압전체 시트에서 분극 방향이 서로 반대이다.
이하에서, 도 6 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자의 동작에 대해서 설명하기로 한다.
도 6은 사인(Sine) 신호 전압의 파형 및 코사인(Cosine) 신호 전압의 파형을 나타낸 그래프이고, 도 7a 및 도 7b는 0°~ 90°까지의 정현파 신호 전압이 압전 소자에 인가되었을 경우, 압전 소자의 변형 상태를 나타낸 도면으로, 편의상 제1 변위 팽창/수축부(100)와 제2 변위 팽창/수축부(200)의 경우만 도시하였다.
도 7a 및 도 7b에서 상기 제1 변위 팽창/수축부(100)의 제1 전극(120)에는 사인(Sine) 신호 전압을 인가하였고, 제2 변위 팽창/수축부(200)의 제2 전극(220)에는 코사인(Cosine) 신호 전압을 인가하였다.
도 6을 참조하면, 사인(Sine) 신호 전압과 코사인(Cosine) 신호 전압은 0°~ 90°까지는 모두 (+) 부호를 갖게 되며, 이러한 신호 전압이 상기 제1 변위 팽창/수축부(100) 및 제2 변위 팽창/수축부(200)에 각각 인가되면, 제1 변위 팽창/수축부(100)는 상하로는 수축하고 좌우로는 팽창하며, 제2 변위 팽창/수축부(100)는 상하로 팽창하고 좌우로는 수축하게 된다(도 7a).
이는 도 5에서 살펴본 바와 같이, 압전체 시트의 각 영역이 일정한 방식에 따라 분극되어 있기 때문인데, 이를 도 7b를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 7b에는 제1 변위 팽창/수축부(100) 및 제2 변위 팽창/수축부(200)의 분극 상태를 나타내었으며, 이에 도시된 바와 같이 제1 변위 팽창/수축부(100)에 (+) 전압이 인가되면, 각 압전체 시트 간에 척력이 발생하여 상하로는 수축하고 좌우로는 팽창하게 된다.
그리고, 제2 변위 팽창/수축부(200)에 (+) 전압이 인가되면, 각 압전체 시트 간에 인력이 발생하여 상하로 팽창하고 좌우로는 수축하게 된다.
도 8a 내지 도 8d는 한 주기 동안의 정현파 신호 전압을 압전 소자에 인가하였을 때, 압전 소자의 변형 상태를 90°단위로 순차적으로 나타낸 도면이다. 여기 서, 제1 변위 팽창/수축부(100) 및 제3 변위 팽창/수축부(300)에는 사인(Sine) 신호 전압이 인가되고, 제2 변위 팽창/수축부(200) 및 제4 변위 팽창/수축부(400)에는 코사인(Cosine) 신호 전압이 인가된다.
먼저, 0°~ 90°까지는 사인(Sine) 신호 전압과 코사인(Cosine) 신호 전압의 부호가 (+)이므로, 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부(100, 200, 300, 400) 모두에 (+) 전압이 인가된다(도 8a).
다음으로, 90°~ 180°까지는 사인(Sine) 신호 전압의 부호는 (+)이고, 코사인(Cosine) 신호 전압의 부호는 (-)이므로, 제1 변위 팽창/수축부(100) 및 제3 변위 팽창/수축부(300)에는 (+) 전압이 인가되고, 제2 변위 팽창/수축부(200) 및 제4 변위 팽창/수축부(400)에는 (-) 전압이 인가된다(도 8b).
이어서, 180°~ 270°까지는 사인(Sine) 신호 전압과 코사인(Cosine) 신호 전압의 부호가 (-)이므로, 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부(100, 200, 300, 400) 모두에 (-) 전압이 인가된다(도 8c).
마지막으로, 270°~ 360°까지는 사인(Sine) 신호 전압의 부호는 (-)이고, 코사인(Cosine) 신호 전압의 부호는 (+)이므로, 제1 변위 팽창/수축부(100) 및 제3 변위 팽창/수축부(300)에는 (-) 전압이 인가되고, 제2 변위 팽창/수축부(200) 및 제4 변위 팽창/수축부(400)에는 (+) 전압이 인가된다(도 8d).
이와 같이, 본 발명에서는 위상 차가 90°가 나는 정현파 신호 전압을 제1 변위 팽창/수축부(100) 및 제3 변위 팽창/수축부(300)와 제2 변위 팽창/수축부(200) 및 제4 변위 팽창/수축부(400)에 각각 인가함으로써, 압전 소자를 지렁 이(Earthworm)가 꿈틀거리며 이동하는 것과 같이 이동시킬 수 있게 된다.
본 발명에 의하면, 한 개의 압전 소자로 압전 리니어 액츄에이터를 구현할 수 있으므로, 액츄에이터의 크기를 소형화할 수 있고, 구동 회로의 크기를 줄일 수 있다.
이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다.
그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
도 1은 일반적인 압전 리니어 액츄에이터를 나타낸 도면.
도 2a 내지 도 2f는 일반적인 압전 리니어 액츄에이터가 우측으로 이동하는 상태를 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자의 실시예를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 압전 소자의 움직임을 연속적으로 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자의 분극 상태를 나타낸 도면.
도 6은 사인(Sine) 신호 전압의 파형 및 코사인(Cosine) 신호 전압의 파형을 나타낸 그래프.
도 7a 및 도 7b는 0°~ 90°까지의 정현파 신호 전압이 압전 소자에 인가되었을 경우, 압전 소자의 변형 상태를 나타낸 도면.
도 8a 내지 도 8d는 한 주기 동안의 정현파 신호 전압을 압전 소자에 인가하였을 때, 압전 소자의 변형 상태를 90°단위로 순차적으로 나타낸 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 제1 변위 팽창/수축부 200 : 제2 변위 팽창/수축부
300 : 제3 변위 팽창/수축부 400 : 제4 변위 팽창/수축부
110, 210, 310, 410 : 접지 전극 120, 320 : 제1 전극
220, 420 : 제2 전극

Claims (8)

  1. 복수 개의 적층된 압전체 시트;
    상기 복수개의 압전체 시트 상에 접지 전극과 제1 전극이 층별로 번갈아가며 형성되어 이루어지고, 상호 이격된 제 1과 3 변위 팽창/수축부;
    상기 복수개의 압전체 시트 상에 접지 전극과 제2 전극이 층별로 번갈아가며 형성되어 이루어지고, 상호 이격된 제 2와 4 변위 팽창/수축부로 구성되며,
    상기 제 2 변위 팽창/수축부는 상기 제 1과 3 변위 팽창/수축부 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 전극 및 제2 전극에는 위상 차가 90°나는 정현파 신호 전압이 각각 인가되는 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 전극에는 사인(Sine) 신호 전압이 인가되고, 상기 제2 전극에는 코사인(Cosine) 신호 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수개의 압전체 시트는 적층이 됨에 따라 분극 방향이 바뀌는 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 변위 팽창/수축부와 제4 변위 팽창/수축부는 동일한 압전체 시트 층에서 분극 방향이 서로 같은 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제2 변위 팽창/수축부와 제3 변위 팽창/수축부는 동일한 압전체 시트 층에서 분극 방향이 서로 같은 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 제1 변위 팽창/수축부 및 제4 변위 팽창/수축부는 상기 제2 변위 팽창/수축부 및 제3 변위 팽창/수축부와 동일한 압전체 시트 층에서 분극 방향이 서로 반대인 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
KR1020070118379A 2007-11-20 2007-11-20 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자 KR100924096B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070118379A KR100924096B1 (ko) 2007-11-20 2007-11-20 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070118379A KR100924096B1 (ko) 2007-11-20 2007-11-20 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090051920A KR20090051920A (ko) 2009-05-25
KR100924096B1 true KR100924096B1 (ko) 2009-11-02

Family

ID=40859835

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070118379A KR100924096B1 (ko) 2007-11-20 2007-11-20 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100924096B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101561540B1 (ko) 2013-06-18 2015-10-19 전자부품연구원 압전 리니어 액추에이터
KR20160000566A (ko) 2014-06-24 2016-01-05 전자부품연구원 압전 액츄에이터 및 이를 포함하는 전자기기

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0555795U (ja) * 1991-12-18 1993-07-23 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ リニアアクチュエータ
JPH10323064A (ja) 1997-05-13 1998-12-04 Hioki Ee Corp 微小位置決めアクチュエータ
KR19990036120A (ko) * 1996-06-05 1999-05-25 윤종용 압전형 리니어 스텝 모터
KR20070102769A (ko) * 2006-04-17 2007-10-22 엘지전자 주식회사 초소형 압전 리니어 모터

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0555795U (ja) * 1991-12-18 1993-07-23 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ リニアアクチュエータ
KR19990036120A (ko) * 1996-06-05 1999-05-25 윤종용 압전형 리니어 스텝 모터
JPH10323064A (ja) 1997-05-13 1998-12-04 Hioki Ee Corp 微小位置決めアクチュエータ
KR20070102769A (ko) * 2006-04-17 2007-10-22 엘지전자 주식회사 초소형 압전 리니어 모터

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101561540B1 (ko) 2013-06-18 2015-10-19 전자부품연구원 압전 리니어 액추에이터
KR20160000566A (ko) 2014-06-24 2016-01-05 전자부품연구원 압전 액츄에이터 및 이를 포함하는 전자기기
KR101641649B1 (ko) 2014-06-24 2016-07-22 전자부품연구원 압전 액츄에이터 및 이를 포함하는 전자기기

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090051920A (ko) 2009-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4580826B2 (ja) マイクロメカニカルデバイス、マイクロスイッチ、容量可変キャパシタ、高周波回路及び光学スイッチ
JP4316590B2 (ja) 圧電駆動型ｍｅｍｓアクチュエータ
US8866364B2 (en) Piezo-electric based micro-electro-mechanical lens actuation system
CN100544049C (zh) 压电驱动mems器件
US7705514B2 (en) Bi-directional actuator utilizing both attractive and repulsive electrostatic forces
KR20190049707A (ko) 햅틱 피드백 생성 장치
EP3044970B1 (en) Microelectromechanical apparatus for generating a physical effect
US7830068B2 (en) Actuator and electronic hardware using the same
JP2008116668A (ja) アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
CN103227279A (zh) 滑动粘附型压电致动器
JP3966704B2 (ja) 静電アクチュエータ、静電アクチュエータの駆動方法及びこれを用いたカメラモジュール
JPH0741207B2 (ja) マイクロアクチュエータ
US7095159B2 (en) Devices with mechanical drivers for displaceable elements
KR100924096B1 (ko) 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자
KR100924097B1 (ko) 압전 리니어 액츄에이터
KR101561540B1 (ko) 압전 리니어 액추에이터
JP2006066655A (ja) 電気機械エネルギー変換素子の駆動方法及び前記電気機械エネルギー変換素子の駆動装置
KR100974440B1 (ko) 초음파 모터의 진동자
JP4550620B2 (ja) 圧電アクチュエータおよびそれを用いた電子機器
JP2010187538A (ja) 超音波モータおよび超音波モータ付電子機器
JP2011176962A (ja) 駆動装置
KR20140146739A (ko) 일자형 압전 리니어 액추에이터
US7952259B2 (en) Electronic apparatus with a micro-electromechanical switch made of a piezoeletric material
KR20150061411A (ko) 압전 액추에이터 모듈 및 이를 포함하는 mems 센서
KR100651164B1 (ko) 인치웜 액츄에이터용 압전 소자

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130621

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140708

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150626

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161018

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181008

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191001

Year of fee payment: 11