KR20140146739A - 일자형 압전 리니어 액추에이터 - Google Patents

일자형 압전 리니어 액추에이터 Download PDF

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강형원
이형규
한승호
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Abstract

일자형 압전 리니어 액추에이터가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 일자형 압전 리니어 액추에이터는 탄성체와, 탄성체의 일측에 연결되는 제1 압전 세라믹과, 탄성체의 중앙부를 기준으로 상기 제1 압전 세라믹과 대칭되도록 상기 탄성체의 타측에 연결되는 제2 압전 세라믹을 포함하고, 제1 압전 세라믹 및 제2 압전 세라믹에는 위상 차가 90°인 정현파 신호 전압이 각각 인가된다.

Description

일자형 압전 리니어 액추에이터{STRAIGHT TYPE PIEZOELECTRIC LINEAR ACTUATOR}
본 발명은 압전 리니어 액추에이터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 소자의 중앙부분에 타원 운동을 유도할 수 있는 일자형 압전 리니어 액추에이터에 관한 것이다.
일반적으로 압전 재료(piezoelectric material)는 재료에 기계적 변형을 가하면 전기장이 발생하고, 역으로 전기장이 인가되면 기계적 변형이 발생하는 특징을 지닌 재료를 말한다. 이 때, 전자의 효과를 압전 효과, 후자의 효과를 역압전 효과라고 하는데, 이 중 후자의 효과는 MEMS(micro electro mechanical system)에서의 정밀 위치제어 또는 진동제어를 위한 압전 액추에이터(piezoelectric actuator)로 응용되고 있다.
압전 액추에이터는 전기를 입력 에너지로 변위 또는 발생력을 출력하는 전기식 액추에이터로, 압전 액추에이터를 구성하는 압전 세라믹에 전계를 인가하면 늘어나거나 수축하는 성질을 이용한다. 이와 같은 압전 액추에이터는 미소 변위의 고정밀 제어가 가능하고, 발생력이 크고, 응답성이 빠르고, 에너지 변환 효율이 높고, 전자적인 간섭이 없고, 형태의 영향을 적게 받는 등의 장점을 가지는 바 널리 이용되고 있다.
한편, 압전 액추에이터 중에서 다수의 압전 소자들의 기계적 변형으로 인해 그와 접촉하는 접촉체를 일 방향으로 이동시키는 것을 압전 리니어 액추에이터(piezoelectric linear actuator)라고 한다. 이와 같은 압전 리니어 액추에이터는 초음파 모터(ultrasonic motor)에 응용되곤 하는데, 미국등록특허 제7501743호에서는 압전 리니어 액추에이터를 활용한 L자형 압전 초음파 모터를 개시하고 있다.
상기 특허에 개시된 L자형 압전 초음파 모터는 L자형의 베이스에 대하여 한쪽에는 사인(Sine) 신호를 다른 한 쪽에는 코사인(Cosine) 신호를 인가하여 상기 베이스 모서리 부분에 타원 변형을 유도함으로써, 상기 모서리와 접촉하는 물체를 이동시키는 구조를 갖고 있다. 그런데 상기 특허에 개시된 L자형 압전 초음파 모터는 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째는 단판형의 L자형 압전 초음파 모터를 제작하기 위해서는 L자형의 몰드를 사용하여 소자를 성형하여야 하는데 몰드에 압력을 인가한 후에 소자를 수거할 때에 상기 소자의 각 모서리(edge) 부분에 스트레스가 집중되는 바, 소자에 크랙(crack)이 발생할 가능성이 크다. 관련하여 도 1에서는 종래 L자형 초음파 모터의 소자(10)에서의 크랙 발생(11)을 개략적으로 도시하였으며, 도 1에 표시된 부분과 같이 소자(10) 제작시에 크랙(11)이 발생하므로 소자(10)의 정밀도 및 내구성이 약해질 수 있다.
둘째는 적층형의 L자형 압전 초음파 모터를 제작하기 위해서는 복수개의 L자형 베이스가 필요한데, L자 형태의 베이스의 경우 하나의 플레이트에서 생산될 수 있는 수량이 적다는 문제가 있다. 관련하여 도 2는 도 1의 종래 L자형 베이스(10)가 플레이트(12)에 패터닝 된 모습을 도시하고 있는데, 도 2a에서와 같이 L자형 베이스(10)를 인접 배치시키도록 패터닝하거나, 도 2b에서와 같이 L자형 베이스(10)가 사각 프레임을 형성하도록 패터닝하여야 하므로 하나의 플레이트(12)에서 활용되지 못하는 부분이 많이 발생하게 되는 바, 공정 효율성 측면에서 불리하다는 단점이 있다.
본 발명의 실시예들은 소자의 중앙부분에 타원 운동을 유도할 수 있는 일자형의 압전 리니어 액추에이터를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 탄성체와, 상기 탄성체의 일측에 연결되는 제1 압전 세라믹과, 상기 탄성체의 중앙부를 기준으로 상기 제1 압전 세라믹과 대칭되도록 상기 탄성체의 타측에 연결되는 제2 압전 세라믹을 포함하고, 상기 제1 압전 세라믹 및 제2 압전 세라믹에는 위상 차가 90°인 정현파 신호 전압이 각각 인가되는 일자형 압전 리니어 액추에이터가 제공될 수 있다.
또한, 상기 제1,2 압전 세라믹과 상기 탄성체의 연결면은 상기 탄성체의 하부면을 기준으로 소정 정도의 기울기를 가질 수 있다.
한편, 상기 제1,2 압전 세라믹은 두께 방향으로 분극되고, 분극 방향이 동일할 수 있다.
또한, 상기 제1 압전 세라믹에는 제1 전극이 형성되고, 상기 제2 압전 세라믹에는 제2 전극이 형성되고, 상기 제1 전극에는 사인(Sine) 신호 전압이 인가되고, 상기 제2 전극에는 코사인(Cosine) 신호 전압이 인가될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명의 일 측면에 따른 일자형 압전 리니어 액추에이터가 복수개 적층되어 형성되는 압전 리니어 액추에이터가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 탄성체의 중앙부를 기준으로 양측에 각각 위상 차가90°인 정현파 신호 전압이 각각 인가되는 압전 세라믹을 연결함으로써, 보다 간단한 구조로 상기 탄성체의 중앙부에 타원 운동을 유도할 수 있다.
따라서, 종래 L자형 압전 초음파 모터보다 소자 정밀도 및 내구성이 우수하며, 공정 효율성 측면에서 유리하다는 장점을 갖는다.
도 1은 종래 L자형 초음파 모터의 소자에서의 크랙 발생을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 종래 소자가 패터닝 된 모습을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 일자형 압전 리니어 액추에이터를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 일자형 압전 리니어 액추에이터를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 일자형 압전 리니어 액추에이터를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 도 5의 압전 리니어 액추에이터에 정현파 신호 전압이 인가되었을 경우의 변형 상태를 시뮬레이션한 이미지이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 일자형 압전 리니어 액추에이터(100)를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 압전 리니어 액추에이터(100)는 탄성체(110)와, 탄성체(110)의 양측에 각각 결합되는 압전 세라믹(120,130)을 포함하여 형성된다. 구체적으로, 탄성체(110)의 일측에는 제1 압전 세라믹(120)이 연결되고, 탄성체(110)의 타측에는 제2 압전 세라믹(130)이 연결되는데, 제1 압전 세라믹(120)과 제2 압전 세라믹(130)은 탄성체(110)의 중앙부(110a)를 기준으로 대칭된 형태를 갖는다. 관련하여 본 명세서에서는 도 3을 기준으로 탄성체(110)의 좌측에 연결되는 압전 세라믹(120)을 제1 압전 세라믹(120)으로 칭하고, 탄성체(110)의 우측에 연결되는 압전 세라믹(130)을 제2 압전 세라믹(130)으로 칭하기로 한다.
이와 같이 구성되는 압전 리니어 액추에이터(100)는 도 3에 도시된 바와 같이 전체적으로는 일자형의 막대 형태로 형성될 수 있으며, 탄성체(110)의 중앙부(110a)가 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 변형에 의해 타원 운동을 하게 된다.
제1 압전 세라믹(120) 및 제2 압전 세라믹(130)은 각각 일면에 접지전극(121,131)이 형성되고, 타면에 전극(122,132)이 형성된다. 이 때, 후술할 바와 같이 제1,2 압전 세라믹(120,130)에 인가되는 전압은 위상 차를 가지는 바(정현파 전압), 이하에서는 제1 압전 세라믹(120)에 형성되는 전극(122)을 제1 전극(122)이라 칭하고, 제2 압전 세라믹(130)에 형성되는 전극(132)을 제2 전극(132)이라 칭하기로 한다.
제1,2 압전 세라믹(120,130)은 전계 인가시에 기계적 변형을 수반하는 압전 물질로 형성될 수 있으며, 예컨대 PbZrO3, PbTiO3, KNbO3, NaNbO3, BiTiO3, NaTiO3 또는 BaTiO3을 포함할 수 있다. 다만, 제1,2 압전 세라믹(120,130)이 상기 나열된 물질로 한정되는 것은 아니다.
접지전극(121,131) 및 제1,2 전극(122,132)은 은(Ag), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 구리(Cu), 니켈(Ni) 또는 이들의 합금을 포함하여 형성될 수 있으며, 추가적으로 하소 세라믹 분말을 함유할 수 있다. 예를 들어 접지전극(121,131) 및 제1,2 전극(122,132)은 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 상부면 및 하부면에 금속 페이스트를 도포함으로써 형성할 수 있다.
본 명세서에 첨부된 도면에서는 제1 압전 세라믹(120) 및 제2 압전 세라믹(130)의 상부면에 접지전극(121,131)이 각각 형성되고, 제1 압전 세라믹(120)의 하부면에는 제1 전극(122)이, 제2 압전 세라믹(130)의 하부면에는 제2 전극(132)이 형성된 형태가 도시되어 있다. 이 때, 접지전극(121,131) 및 제1,2 전극(122,132)의 위치는 서로 바뀔 수도 있으나, 설명의 편의를 위해서 본 명세서에 첨부된 도면에 도시된 형태를 중심으로 설명하도록 한다.
제1 전극(122)과 제2 전극(132)에는 위상 차가 90°인 정현파 신호 전압이 각각 인가될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(122)에는 사인(Sine) 신호 전압이 인가되고, 제2 전극(132)에는 코사인(Cosine) 신호 전압이 인가될 수 있다. 그리고 상기 전압 인가에 의해 제1,2 압전 세라믹(120,130)이 종방향 진동 또는 횡방향 진동을 일으키게 되므로, 압전 리니어 액추에이터(100)의 탄성체(110)의 중앙부(110a)에는 상기 종방향 진동 및 횡방향 진동의 결합에 의해 타원 운동이 구현될 수 있다.
제1,2 압전 세라믹(110,120)은 전기적 분극 방향과 기계적 변위 방향이 수평하거나 수직일 수 있다. 예컨대, 전계 방향이 지면을 기준으로 수직 방향이라고 할 때에, 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 전기적 분극 방향(a)은 상기 전계 방향과 동일하고 기계적 변형 방향 역시 전기적 분극 방향(a)과 수평(평행)한 방향으로 형성될 수 있다(이와 같이 Z축 방향 분극 및 Z축 방향 변위를 가지는 압전 세라믹을 33모드로 칭하기도 함.)
또는, 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 전기적 분극 방향(a)은 상기 전계 방향과 동일하고 기계적 변형 방향(b)은 전기적 분극 방향(a)과 수직 방향으로 형성될 수도 있다(이와 같이 Z축 방향 분극 및 X축 방향 변위를 가지는 압전 세라믹을 31모드로 칭하기도 함).
한편, 도 3에서는 제1,2 압전 세라믹(110,120)이 두께 방향으로 분극되고 분극 방향(a)을 동일하게 아래 방향으로 표시하고 있으나, 분극 방향(a)은 이에 한정되지 않고 윗 방향으로 형성되거나 양자가 서로 다르게 형성하는 것도 가능하다. 또한, 제1,2 압전 세라믹(110,120)은 복수개의 압전 세라믹이 횡방향으로 결합되어 형성될 수 있으며, 이 때, 각각의 압전 세라믹의 분극 방향을 서로 달리하는 것도 가능하다.
상기와 같은 제1,2 압전 세라믹(120,130)에 전압이 인가되면 압전 세라믹의 두께 및 길이 방향으로 팽창 변형 또는 수축 변형을 일으키게 된다(종방향 진동 또는 횡방향 진동). 그리고 제1,2 압전 세라믹(120,130)에는 상술한 것과 같이 위상 차가 90°인 정현파 신호 전압이 인가되므로, 상기 위상 차이에 의하여 제1 압전 세라믹(120)과 제2 압전 세라믹(130)이 전압 인가에 따라 순차적으로 종방향 진동 또는 횡방향 진동을 하게 됨으로써, 제1,2 압전 세라믹(120,130)을 양측에 연결하고 있는 탄성체(110)의 중앙부(110a)가 상기 종방향 진동 및 횡방향 진동의 결합에 의해 타원 운동을 하게 된다. 따라서, 일자형의 압전 리니어 액추에이터(100)에 있어 탄성체(110)의 중앙부(110a)에 접촉하는 접촉체가 중앙부(110a)의 운동에 의해 이동될 수 있다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 일자형 압전 리니어 액추에이터(100)를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 일자형 압전 리니어 액추에이터(100)를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 압전 리니어 액추에이터(100)의 다른 실시예들은 전술한 실시예와 비교하여 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 형태에 차이가 있으며, 이하에서는 상기 차이를 중심으로 설명하도록 한다.
본 실시예에서의 압전 리니어 액추에이터(100)는 제1,2 압전 세라믹(120,130)과 탄성체(110)의 연결면이 탄성체(110)의 하부면을 기준으로 소정 정도의 기울기를 갖도록 형성된다.
이 때, 제1,2 압전 세라믹(120,130)은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 단면이 평행사변형 모양을 가지도록 지면으로부터 소정 각도 기울어진 채로 탄성체(110)에 결합할 수 있으며, 도 4에 도시된 것처럼 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 상부면이 서로 접하도록 배치되거나(이 경우에 탄성체(110)의 중앙부분의 단면은 도 4에서와 같이 삼각형 형태가 됨), 도 5에 도시된 것처럼 제1,2 압전 세라믹(120,130)이 기울어진 채로 탄성체(110)의 중앙부(110a)를 기준으로 소정 간격 이격되도록 배치될 수 있다.
한편, 도 4에서는 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 분극 방향(a)을 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 두께 방향을 따라 지면으로부터 소정 각도 기울어진 채로 윗 방향으로 형성된 경우를 도시하였고, 도 5에서는 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 분극 방향(a)을 도 4에 도시된 것과 반대되는 방향으로 도시하였으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
도 6은 도 5의 압전 리니어 액추에이터(100)에 정현파 신호 전압이 인가되었을 경우의 변형 상태를 시뮬레이션한 이미지이다.
도 6을 참조하면, 제1 압전 세라믹(120)에는 사인(Sine) 신호 전압이 인가되고, 제2 압전 세라믹(130)에는 코사인(Cosine) 신호 전압이 인가된다(그 역도 가능함). 이 때, 제1 압전 세라믹(120)에는 사인(Sine) 신호 전압에 따라 (+), (+), (-), (-) 전압이 인가되고, 제2 압전 세라믹(130)에는 코사인(Cosine) 신호 전압에 따라 (+), (-), (-), (+) 전압이 인가된다. 따라서 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 분극 방향에 따라 상기 인가되는 전압에 의해 제1,2 압전 세라믹(120,130)이 도 6에 나타난 이미지와 같이 종방향 진동 또는 횡방향 진동을 하게 되고, 탄성체(110)의 중앙부(110a)는 제1,2 압전 세라믹(120,130)의 종방향 진동 및 횡방향 진동의 결합에 따라 타원 운동을 하게 된다.
상술한 바와 같이 압전 리니어 액추에이터(100)를 일자형으로 구현하는 경우에는 종래 L자형과 같이 모서리에 스트레스가 집중되는 형태가 아니므로(도 1 참조) 공정시의 소자의 정밀도 및 내구성이 저하되는 문제가 발생하지 않으며, 적층형의 소자 구현시에 있어도 하나의 플레이트에서 생산될 수 있는 베이스 수량이 늘어나게 되므로 공정 효율성을 증진시킬 수 있다는 장점이 있다. 그러면서도 종래 L자형과 마찬가지로 탄성체 중앙부에 타원 운동을 유도함으로써 접촉체를 이동시키는 것이 가능하다.
이와 같은 일자형 압전 리니어 액추에이터는 단판형 또는 복수개가 적층되는 적층형으로 형성될 수 있으며, 초음파 모터(ultrasonic motor)나 카메라 렌즈의 광학 줌(zoom), 오토 포커싱 등에 활용될 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
10: L자형 초음파 모터 소자(L자형 베이스)
11: 크랙 12: 플레이트
100: 압전 리니어 액추에이터 110: 탄성체
110a: 중앙부 120: 제1 압전 세라믹
121, 131: 접지전극 122: 제1 전극
130: 제2 압전 세라믹 132: 제2 전극

Claims (5)

  1. 탄성체와, 상기 탄성체의 일측에 연결되는 제1 압전 세라믹과, 상기 탄성체의 중앙부를 기준으로 상기 제1 압전 세라믹과 대칭되도록 상기 탄성체의 타측에 연결되는 제2 압전 세라믹을 포함하고,
    상기 제1 압전 세라믹 및 제2 압전 세라믹에는 위상 차가 90°인 정현파 신호 전압이 각각 인가되는 일자형 압전 리니어 액추에이터.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1,2 압전 세라믹과 상기 탄성체의 연결면은 상기 탄성체의 하부면을 기준으로 소정 정도의 기울기를 갖는 일자형 압전 리니어 액추에이터.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1,2 압전 세라믹은 두께 방향으로 분극되고, 분극 방향이 동일한 일자형 압전 리니어 액추에이터.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 압전 세라믹에는 제1 전극이 형성되고, 상기 제2 압전 세라믹에는 제2 전극이 형성되고, 상기 제1 전극에는 사인(Sine) 신호 전압이 인가되고, 상기 제2 전극에는 코사인(Cosine) 신호 전압이 인가되는 일자형 압전 리니어 액추에이터.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 따른 일자형 압전 리니어 액추에이터가 복수개적층되어 형성되는 압전 리니어 액추에이터.
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CN110190776A (zh) * 2019-06-27 2019-08-30 华侨大学 压电作动器

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110190776A (zh) * 2019-06-27 2019-08-30 华侨大学 压电作动器
CN110190776B (zh) * 2019-06-27 2024-02-27 华侨大学 压电作动器

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