KR20090051920A - 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자 - Google Patents
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 87
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 84
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 10
- 241000361919 Metaphire sieboldi Species 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020698 PbZrO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
Claims (8)
- 복수 개의 적층된 압전체 시트;상기 복수 개의 압전체 시트에 상기 압전체 시트의 길이 방향으로 순차적으로 형성된 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부를 포함하여 이루어지며,상기 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부는 인가되는 전압에 따라 상기 압전체 시트의 길이 방향 및 적층 방향으로 팽창 또는 수축되는 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
- 제1항에 있어서,상기 제1 변위 팽창/수축부 및 제3 변위 팽창/수축부는 상기 적층된 압전체 시트 상에 접지 전극과 제1 전극이 층별로 교대로 형성되어 있고, 상기 제2 변위 팽창/수축부 및 제4 변위 팽창/수축부는 상기 적층된 압전체 시트 상에 접지 전극과 제2 전극이 층별로 교대로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
- 제2항에 있어서,상기 제1 전극 및 제2 전극에는 위상 차가 90°나는 정현파 신호 전압이 각 각 인가되는 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
- 제3항에 있어서,상기 제1 전극에는 사인(Sine) 신호 전압이 인가되고, 상기 제2 전극에는 코사인(Cosine) 신호 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
- 제1항에 있어서,상기 제1 내지 제4 변위 팽창/수축부의 각 압전체 시트는 적층이 됨에 따라 분극 방향이 바뀌는 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
- 제5항에 있어서,상기 제1 변위 팽창/수축부와 제4 변위 팽창/수축부의 각 압전체 시트는 동일한 층에서 분극 방향이 서로 같은 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
- 제5항에 있어서,상기 제2 변위 팽창/수축부와 제3 변위 팽창/수축부의 각 압전체 시트는 동일한 층에서 분극 방향이 서로 같은 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
- 제6항 또는 제7항에 있어서,상기 제1 변위 팽창/수축부 및 제4 변위 팽창/수축부의 각 압전체 시트는 상기 제2 변위 팽창/수축부 및 제3 변위 팽창/수축부의 각 압전체 시트와 동일한 층에서 분극 방향이 서로 반대인 것을 특징으로 하는 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070118379A KR100924096B1 (ko) | 2007-11-20 | 2007-11-20 | 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070118379A KR100924096B1 (ko) | 2007-11-20 | 2007-11-20 | 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090051920A true KR20090051920A (ko) | 2009-05-25 |
KR100924096B1 KR100924096B1 (ko) | 2009-11-02 |
Family
ID=40859835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070118379A KR100924096B1 (ko) | 2007-11-20 | 2007-11-20 | 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100924096B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101561540B1 (ko) | 2013-06-18 | 2015-10-19 | 전자부품연구원 | 압전 리니어 액추에이터 |
KR101641649B1 (ko) | 2014-06-24 | 2016-07-22 | 전자부품연구원 | 압전 액츄에이터 및 이를 포함하는 전자기기 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0555795U (ja) * | 1991-12-18 | 1993-07-23 | 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ | リニアアクチュエータ |
RU2156535C2 (ru) * | 1996-06-05 | 2000-09-20 | Окатов Юрий Владимирович | Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель |
JPH10323064A (ja) | 1997-05-13 | 1998-12-04 | Hioki Ee Corp | 微小位置決めアクチュエータ |
KR20070102769A (ko) * | 2006-04-17 | 2007-10-22 | 엘지전자 주식회사 | 초소형 압전 리니어 모터 |
-
2007
- 2007-11-20 KR KR1020070118379A patent/KR100924096B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100924096B1 (ko) | 2009-11-02 |
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Legal Events
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A201 | Request for examination | ||
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E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130621 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140708 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150626 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161018 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181008 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191001 Year of fee payment: 11 |