JP2008047620A - プラズマ処理方法、及び、プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高い圧縮ストレスを有する窒化シリコン膜を成膜することのできるプラズマ処理方法、及び、プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】シリコン及び水素を含有する原料ガスと窒素ガスとのプラズマにより、処理対象の基板に対して窒化シリコン膜を成長させるプラズマ処理方法において、窒化シリコン膜を成長させている間、原料ガス中の水素と窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の前記基板に印加し、窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させた。
【選択図】図1
【解決手段】シリコン及び水素を含有する原料ガスと窒素ガスとのプラズマにより、処理対象の基板に対して窒化シリコン膜を成長させるプラズマ処理方法において、窒化シリコン膜を成長させている間、原料ガス中の水素と窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の前記基板に印加し、窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させた。
【選択図】図1
Description
本発明は、プラズマ処理方法、及び、プラズマ処理装置に関する。
従来、プラズマCVD法は、半導体製造工場において、反応容器内に収納される半導体ウェハなどの被処理基板上に絶縁膜を形成するのによく用いられている。プラズマCVD法を用いる場合、被処理基板を載置するサセプタと、反応容器を構成するフェースプレートとの間にRF電力を印加し、反応容器内にプラズマを生成させた状態にして絶縁膜形成用ガスを導入し、これにより被処理基板の表面上に絶縁膜が形成される。この方式のプラズマCVD装置は容量結合型プラズマCVD装置と呼ばれており、最も一般的なプラズマCVD装置である。このとき、絶縁膜は、膜剥がれや素子特性への影響が起こりにくいよう、200MPa以下の圧縮応力膜であることが望ましい。このような技術の一例が下記特許文献1に開示されている。
下記特許文献1では、プラズマを500W以下という低いRF電力で生成し、絶縁膜を500nm/min以下という成膜速度で形成しており、これにより形成された絶縁膜の圧縮応力は、100MPa程度となっている。トランジスタなどの素子間及び配線間の絶縁や、水分などの侵入を防止する目的で成膜を行う保護膜についても、膜の応力は200MPa以下が要求されていた。
LSIに用いられるMOS型トランジスタ(構造が金属(Metal)、酸化物(絶縁体)(Oxide)、半導体(Semiconductor) となっていることから、その三つの要素の名前をとってMOS型トランジスタと呼んでいる。)は、寸法の微細化によってトランジスタゲート部の面積が小さくなる事により寄生容量が小さくなり、これに伴い過渡応答による動作遅延が抑えられ、回路動作速度の向上につながっていた。LSI開発はより微細な素子の実現を目指して激しい競争が続いている。しかし、トランジスタ構造に用いられているゲート酸化膜は、既に物理的限界近くにまで薄膜化され、素子間及び配線間の絶縁膜も薄膜化が進んできており、LSI内部で生じるリーク電流が大幅に増大する事が消費電力の増加として問題となっている。この対策として電源電圧を低電圧化することが行われているが、単純に低電圧化するだけであれば、トランジシターの動作電流が小さくなり、動作速度の遅延を招く事となる。以上の問題点の対策の為には、小型化と共にMOS型トランジスタの動作電流を高める素子特性の改良が必要であり、この対策の一つとしてMOS型トランジスタのゲート部に歪を印加する技術が採用され始めている。これは、MOS型トランジスタの電子及び正孔の通り道であるゲート部に歪を印加する事により、電子や空孔の移動度が高まる原理を利用している。45nmノードのトランジスタに必要な応力は、2GPa〜3GPaと予想されており、この応力をMOSトランジスタのゲート部に印加する技術として、応力の高い窒化シリコン膜をMOSトランジスタに成膜する技術が開発されている。
しかしながら、上記特許文献1に開示されているように、一般的な絶縁膜の圧縮応力は100MPa程度であり、現在要求されている2〜3GPaとは程遠い値である。
このことから、本発明は、高い圧縮応力を有する窒化シリコン膜を生成することのできるプラズマ処理方法、及び、プラズマ処理装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するための第1の発明(請求項1に対応)に係るプラズマ処理方法は、
シリコン及び水素を含有する原料ガスと窒素ガスとのプラズマにより、処理対象の基板に対して窒化シリコン膜を成長させるプラズマ処理方法において、
前記窒化シリコン膜を成長させている間、前記原料ガス中の水素と前記窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の前記基板に印加し、前記窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させる
ことを特徴とする。
シリコン及び水素を含有する原料ガスと窒素ガスとのプラズマにより、処理対象の基板に対して窒化シリコン膜を成長させるプラズマ処理方法において、
前記窒化シリコン膜を成長させている間、前記原料ガス中の水素と前記窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の前記基板に印加し、前記窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させる
ことを特徴とする。
上記の課題を解決するための第2の発明(請求項2に対応)に係るプラズマ処理方法は、第1の発明に係るプラズマ処理方法において、バイアスパワーを変化させてイオンエネルギーを変化させることを特徴とする。
上記の課題を解決するための第3の発明(請求項3に対応)に係るプラズマ処理方法は、第2の発明に係るプラズマ処理方法において、RFパワーを変化させてイオンエネルギーを変化させることを特徴とする。
上記の課題を解決するための第4の発明(請求項4に対応)に係るプラズマ処理方法は、第2の発明又は第3の発明に係るプラズマ処理方法において、圧力を変化させてイオンエネルギーを変化させることを特徴とする。
上記の課題を解決するための第5の発明(請求項5に対応)に係るプラズマ処理方法は、第2の発明乃至第4の発明のいずれかに係るプラズマ処理方法において、圧力を変化させてイオンエネルギーを変化させることを特徴とする。
上記の課題を解決するための第6の発明(請求項6に対応)に係るプラズマ処理方法は 、第1の発明乃至第3の発明のいずれかに係るプラズマ処理方法において、シリコンを 含有する原料ガスの供給量に対し、窒素ガスの供給量を3倍以上とすることを特徴とす る。
上記の課題を解決するための第7の発明(請求項7に対応)に係るプラズマ処理装置は、
真空容器の内部にシリコン及び水素を含有する原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
真空容器の内部に窒素ガスを供給する窒素ガス供給手段と、
前記真空容器の内の圧力を制御する圧力制御手段と、
前記真空容器の内部に前記原料ガスと前記窒素ガスにRFパワーを印加してプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、
前記真空容器の内部の下方に、処理対象となる基板を支持する加熱機能を有する支持手段と、
前記支持手段にバイアスパワーを印加するバイアスパワー印加手段と、
前記バイアスパワー印加手段の前記バイアスパワー、前記プラズマ発生手段の前記RFパワー、前記圧力制御手段の前記圧力、及び、前記原料ガス供給手段と前記窒素ガス供給手段のガス供給量をそれぞれ制御するパラメータ制御手段と
を備え、
前記パラメータ制御手段で前記バイアスパワー、前記RFパワー、前記圧力、及び、前記ガス供給量を制御することにより、窒化シリコン膜を成長させている間、前記原料ガス中の水素と前記窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の前記基板に印加し、前記窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させる
ことを特徴とする。
真空容器の内部にシリコン及び水素を含有する原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
真空容器の内部に窒素ガスを供給する窒素ガス供給手段と、
前記真空容器の内の圧力を制御する圧力制御手段と、
前記真空容器の内部に前記原料ガスと前記窒素ガスにRFパワーを印加してプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、
前記真空容器の内部の下方に、処理対象となる基板を支持する加熱機能を有する支持手段と、
前記支持手段にバイアスパワーを印加するバイアスパワー印加手段と、
前記バイアスパワー印加手段の前記バイアスパワー、前記プラズマ発生手段の前記RFパワー、前記圧力制御手段の前記圧力、及び、前記原料ガス供給手段と前記窒素ガス供給手段のガス供給量をそれぞれ制御するパラメータ制御手段と
を備え、
前記パラメータ制御手段で前記バイアスパワー、前記RFパワー、前記圧力、及び、前記ガス供給量を制御することにより、窒化シリコン膜を成長させている間、前記原料ガス中の水素と前記窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の前記基板に印加し、前記窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させる
ことを特徴とする。
第1の発明によれば、シリコン及び水素を含有する原料ガスと窒素ガスとのプラズマにより、処理対象の基板に対して窒化シリコン膜を成長させるプラズマ処理方法において、
前記窒化シリコン膜を成長させている間、前記原料ガス中の水素と前記窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の前記基板に印加し、前記窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させることにより、窒化シリコン膜を緻密な膜とすることを可能とし、窒化シリコン膜の圧縮ストレスを飛躍的に高めることができる。
前記窒化シリコン膜を成長させている間、前記原料ガス中の水素と前記窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の前記基板に印加し、前記窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させることにより、窒化シリコン膜を緻密な膜とすることを可能とし、窒化シリコン膜の圧縮ストレスを飛躍的に高めることができる。
第2の発明によれば、第1の発明による効果に加え、バイアスパワーを変化させてイオンエネルギーを変化させることにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合量を効率良く低減させることができるため、窒化シリコン膜の圧縮ストレスを飛躍的に高めることができる。
第3の発明によれば、第2の発明による効果に加え、RFパワーを変化させてイオンエネルギーを変化させることにより、供給している窒素の分解を確実に行うことができるため、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合の量をより効率よく低減させることができる。これにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合量を効率良く低減させることができるため、窒化シリコン膜の圧縮ストレスを飛躍的に高めることができる。
第4の発明によれば、第2の発明又は第3の発明による効果に加え、圧力を変化させてイオンエネルギーを変化させることにより、バイアスパワー印加時にイオン同士の衝突が減少し、イオンを効率よく基板表面に引き込むことができるため、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合の量をより効率よく低減させることができる。これにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合量を効率良く低減させることができるため、窒化シリコン膜の圧縮ストレスを飛躍的に高めることができる。
第5の発明によれば、第2の発明乃至第4の発明のいずれかによる効果に加え、ガス供給量を変化させてイオンエネルギーを変化させることにより、シリコンと窒素が結合する確率が向上するため、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合の量をより効率よく低減させることができる。これにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合量を効率良く低減させることができるため、窒化シリコン膜の圧縮ストレスを飛躍的に高めることができる。
第6の発明によれば、真空容器の内部にシリコン及び水素を含有する原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、真空容器の内部に窒素ガスを供給する窒素ガス供給手段と、真空容器の内の圧力を制御する圧力制御手段と、真空容器の内部の原料ガスと窒素ガスにRFパワーを印加してプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、真空容器の内部の下方に、処理対象となる基板を支持する加熱機能を有する支持手段と、支持手段にバイアスパワーを印加するバイアスパワー印加手段と、バイアスパワー印加手段のバイアスパワー、プラズマ発生手段のRFパワー、圧力制御手段の圧力、及び、原料ガス供給手段と窒素ガス供給手段のガス供給量をそれぞれ制御するパラメータ制御手段とを備え、パラメータ制御手段でバイアスパワー、RFパワー、圧力、及び、ガス供給量を制御することにより、窒化シリコン膜を成長させている間、原料ガス中の水素と窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の基板に印加し、窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させることにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合の量を低減させることができる。これにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合量を効率良く低減させることができるため、窒化シリコン膜を緻密な膜とする事を可能とし、窒化シリコン膜の圧縮ストレスを飛躍的に高めることができる。
本発明に係るプラズマ処理方法、及び、プラズマ処理装置について図1から図8を用いて説明する。図1は本発明の一実施形態に係るプラズマ処理装置の構成図、図2は本発明の一実施形態に係るバイアスパワーと膜ストレスとの関係を示した図、図3はFTIR特性例を示した図、図4は本発明の一実施形態に係る膜ストレスとNH含有量の関係を示した図、図5は本発明の一実施形態に係るN2/SiH4と膜ストレスとの関係を示した図、図6は本発明の一実施形態に係る成膜圧力と膜ストレスとの関係を示した図、図7は膜中N−H結合量とSiN膜ストレスとの関係を示した図、図8は電子衝突によるCH4分子の解離性励起を示した図である。
図7にマグネトロンプラズマCVDとプラズマCVD(容量結合型プラズマCVD)における、膜中N−H結合量とSiN膜ストレスとの関係を示す。ここで横軸は膜中のN−H結合量、縦軸はSiN膜のストレスを示す。また、縦軸のSiN膜のストレスは、0より大きい値は引っ張り方向のストレスを表し、0より小さい値は圧縮方向のストレスを表している。
図7に示すように、N−H結合が増加すると膜のストレスは引っ張り方向に強くなり、逆に、N−H結合が減少すると膜のストレスは圧縮方向に強くなることが分かる。すなわち、圧縮ストレスを高めるためには、SiN膜中のN−H結合量を低減する事が非常に効果的である事が分かる。また、この傾向はマグネトロンプラズマCVDとプラズマCVD(容量結合型プラズマCVD)で同じ傾向を示しており、プラズマ処置装置の種類にかかわらないということを示唆している。
上述の膜中のN−H結合量を低減する方法には、以下の4点が考えられる。
(1)N−H結合を持たない原料ガスの選定
(2)N−H結合をできるだけ分解するプラズマパワーの印加
(3)N−H結合エネルギーと同じイオンエネルギーを有するイオンをN−H結合に衝突させ効率的にN−H結合を切断
(1)N−H結合を持たない原料ガスの選定
(2)N−H結合をできるだけ分解するプラズマパワーの印加
(3)N−H結合エネルギーと同じイオンエネルギーを有するイオンをN−H結合に衝突させ効率的にN−H結合を切断
上記の方法のうち(1)、(2)については高密度型プラズマ処理装置を用いる事により実現可能である。(1)のガスの選定は、シリコンを含む原料ガスとしてはLSIプロセスで最も実績の高いSiH4を、Nを含む原料ガスはNH3が一般的であるが、NH3はN−H結合を有するため、N2ガスを利用する事が好ましい。容量結合型のプラズマCVD装置の高周波パワー(RFパワー)は1kW以下でN2ガスを分解するにはパワー不足であるが、高密度型プラズマ処理装置は1kW以上の高周波電力を印加できるため、N2ガスを分解して用いる事ができる。
図8に電子衝突によるCH4分子の解離性励起のデータを示す。ここで、横軸は電子の衝突エネルギー、縦軸は励起される水素原子の量を示す。図8に示すように、分子の結合を切る(Hを切る)ために必要な衝突エネルギーには、最適値が存在することが分かる。図8より、この最適値はおよそ100eV付近となっていることが分かる。また、単純に衝突エネルギーが大きければより多くのHを切ることができる訳ではないということも分かる。これは衝突エネルギーが高すぎる場合は基板内部に潜り込んでしまうためであると考えられる。これがイオンの場合、過剰の衝突エネルギーは、Si−N結合まで切ってしまったり、スパッタリングによる膜の物理エッチングを引き起こしたりするなど、水素の結合を選択的に切る目的から大きく逸脱してしまう。また、過剰バイアスパワーは逆に水素イオンを引き込み、SiN膜中のN−H結合量を増大させる可能性も考えられる。
SiN膜の成膜処理中に水素を選択的に引き抜くためには、SiN膜の成膜時におけるバイアスパワーの印加による、成膜対象である基板表面へのイオン引き込みの利用が適している。高密度型プラズマ処理装置では、微細なギャップへの埋め込み性能を高めるため、成膜時にバイアス電圧を印加してエッチングを成膜と同時に実施する技術があり、高密度型プラズマ処理装置でバイアス電圧を印加することは知られている。ただし、これはSiOx成膜で使用されている技術である。
ここでもっとも重要なことは、エッチングに必要なバイアスパワーは直径200mmのウェハの場合であっても3kWに達し、衝突エネルギーについては一般的にスパッタ効率の高い200eV付近に設定される。このような条件をSiN膜の成膜に単に適用しても、図2からも明らかなように、最適なSi−HやN−H結合の減少を引き起こすことはできない。つまり、従来の高密度型プラズマCVD装置の基本仕様では、水素結合を切る目的でのバイアスパワーの適用は知られていなかった。
以下、本発明の一実施形態に係るプラズマ処理装置の構成について説明する。図1に本発明の一実施形態に係るプラズマ処理装置の構成図を示す。図1に示すように、プラズマ処理装置1は、高い真空度を維持できる真空容器10を備えている。この真空容器10は、筒状容器11の上部に天井板12を取り付けることで外気から密閉された空間を形成することができる。
真空容器10には、真空容器10の内部を真空状態に維持する真空装置13が設置されている。天井板12の上部にはプラズマ14を生成させるRFアンテナ15が設置されている。このRFアンテナ15には、整合器16を介して高周波電源であるRF電源17が接続されている。すなわち、RF電源17から供給されたRFパワーはRFアンテナ15によりプラズマ14に供給される。
筒状容器11の側壁の上部には、成膜する膜の原料となる原料ガスを真空容器10内に供給する原料ガス供給ノズル18が設置されている。本実施形態では、原料ガスとして、SiH4を供給する。さらに、筒状容器11の側壁の上部には、N2を真空容器10内に供給するN2供給ノズル19が設置されている。これにより、真空容器10の内部上方には、SiH4とN2とのプラズマ14が生成されることとなる。
筒状容器11内の下方には、成膜対象である基板20を保持するウェハ支持台21が設置されている。このウェハ支持台21は、基板20を載置する載置部22と、この載置部22を支持する支持軸23とにより構成されている。載置部22の内部には加熱のためのヒータ24が設置されている。これにより、プラズマ処理中の基板20の温度を所望の温度に制御することができる。基板がシリコンウェハの場合、熱膨張係数はSiNよりもシリコンの方が大きい為、処理中温度が高いほど常温に戻る際の収縮量の違いで圧縮側に応力が発生するが、処理温度の上限はLSIの適用部位で決まっている。例えば、配線工程の後に処理する場合、配線材料への影響を考慮して400℃以下が一般的な処理温度となっている。トランジスタの特性改善目的で成膜するトランジスタ近傍のSiN膜は400℃〜500℃が一般的である。
載置部22には、基板20に対しバイアス電圧を印加できるようにコンデンサ25及び整合器26を介してバイアス電源27が接続されている。これにより、基板20の表面にプラズマ14中からイオンを引き込むことができる。さらに、載置部22には、基板20を静電気力で保持できるように静電電源28が接続されている。静電電源28へのRF電源17やバイアス電源27のパワーが回り込まないように、ローパスフィルター(LPF)29を介して載置部22に接続している。
また、バイアス電源27のバイアスパワーと、RF電源17のRFパワーと、真空装置13の圧力と、原料ガス供給ノズル18及びN2ガス供給ノズル19のガス供給量とをそれぞれ制御することが可能なパラメータ制御装置(図示省略)が設置されている。
本実施形態においては、パラメータ制御装置によりバイアスパワー、RFパワー、圧力、及び、ガス供給量の各パラメータをそれぞれ制御することで、高い圧縮応力を有する窒化シリコン膜を生成した。以下、本実施形態に係るプラズマ処理方法について詳述する。
本実施形態に係るプラズマ処理方法では、高密度プラズマ処理装置に低出力のバイアス電源を採用し、N−H結合を切るために必要な最適バイアスを求めるべく、SiN膜の圧縮ストレスの改善実験を実施した。バイアス電源は300mm仕様の装置でも500W電源で十分となる。
図2に本発明の一実施形態に係るバイアスパワーと膜ストレスとの関係を示す。ここで、横軸をバイアスパワー(W)、縦軸を膜中ストレス(MPa)とする。また、実験は上述した本発明の一実施形態に係るプラズマ処理装置において行い、直径200mmのウェハを使用し、成膜条件は、SiH4=50sccm、N2=100sccm、RFパワー=2000W、処理温度250℃、圧力=2Pa以下とした。
図2に示すように、SiN膜の圧縮ストレスの改善実験により、膜ストレスは、僅か75Wのバイアスパワーを印加することにより、飛躍的に改善されることが確認された。さらに、バイアスパワーをより高くすると圧縮ストレスは低下してゆくことも確認された。また、バイアスパワーが45Wから140Wの間では、膜ストレスは−2000MPa以上となり、この範囲内であれば高い圧縮ストレスが得られるということが確認された。高密度プラズマ処理装置の通常の使用条件下では、バイアスパワーは500wから3000W付近に設定するため、このようなバイアス条件を見出すことは非常に困難である。
なお、印加するバイアスパワーは、ウェハの単位面積あたりのバイアスパワーが同じであればよい。換言すると、ウェハの単位面積あたりのバイアスパワーが同じになるようにバイアスパワーを印加しさえすればどのようなウェハの径であっても上記の条件を適用することが可能である。このため、直径が300mmのウェハの場合、300W程度までが有効な値であるということができる。
また、SiN膜中のN−H結合量は、FTIR(フーリエ変換赤外分光光度計)計測により求めることができる。図3にFTIR特性例を示す。図3に示すように、N−H結合のピークを確認することができる。
ここで、バイアスパワーを変更して、実際にストレス値の制御を行った際の圧縮ストレスと膜中のN−H含有量との関係を測定した。図4に本発明の一実施形態に係る膜ストレスとNH含有量の関係を示す。ここで、横軸をSiN膜のストレス(GPa)、縦軸をNH含有量(1020/cm3)とした。図4に示すように、僅か数百W以下の低いバイアス電圧を印加することにより、N−H結合量が低減し、圧縮ストレスを高めることができていることが確認された。
次に、SiH4の供給量に対するN2の供給量の比率であるガス流量比率と膜ストレスとの関係についても測定した。図5にN2/Si4と膜ストレスとの関係を示す。ここで、横軸をN2/SiH4、縦軸をSiN膜のストレス(MPa)とした。図5に示すように、N2の供給量は、SiH4の供給量に対し3倍以上の比率で添加すると良いことが分かる。
次に、成膜時の圧力と膜ストレスとの関係についても測定した。図6に本発明の一実施形態に係る成膜時の圧力と膜ストレスとの関係を示す。ここで、横軸を成膜時の圧力(mTorr)、縦軸をSiN膜のストレス(MPa)とした。図6に示すように、圧縮ストレスを高めるためには成膜時の圧力は低いほど良い。そして、SiN膜のストレスを−3000Mpa以上、すなわち、圧縮ストレスを3GPa以上とするためには、成膜時の圧力は15mTorr以下、すなわち、2Pa以下とすれば良いことが分かる。
これらのことから、高い圧縮ストレスを有するSiNを形成するための条件として、供給するガス種はSiH4とN2とし、RFパワーは2000W以上とし、バイアスパワーは45から300Wとし、N2の供給量は、SiH4の供給量に対し3倍以上の比率で添加し、圧力は2Pa以下とするとよいという結論が得られた。
このように、本実施形態に係るプラズマ処理方法によれば、シリコンを含有する原料ガスと窒素ガスとのプラズマにより、処理対象の基板に対してプラズマ処理を行うプラズマ処理方法において、窒化シリコン膜の処理時にバイアスパワーを印加し、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合量を低減させることにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合の量を低減させることができる。また、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合の量を低減させることにより、窒化シリコン膜の圧縮ストレスを飛躍的に高めることができる。
また、バイアスパワーを直径200mmあたり45Wから140Wとし、バイアスパワーを変化させてイオンエネルギーを変化させることにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合を効率よく切断することができる。これにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合の量を低減させることができるため、窒化シリコン膜の圧縮ストレスを飛躍的に高めることができる。
また、RFパワーを直径200mmあたり2kW以上とし、RFパワーを変化させてイオンエネルギーを変化させることにより、供給している窒素の分解を確実に行うことができるため、より効率よく窒化シリコン膜の膜中のN−H結合の量を低減させることができる。
また、圧力を2Pa以下とし、圧力を変化させてイオンエネルギーを変化させることにより、バイアスパワー印加時にイオン同士の衝突が減少するため、イオンを効率よく基板表面に引き込むことができ、N−H結合を効率よく切断することができる。
また、シリコンを含有する原料ガスの供給量に対し、窒素ガスの供給量を3倍以上とし、ガス供給量を変化させてイオンエネルギーを変化させることにより、シリコンと窒素が結合する確率が向上するため、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合の量を低減させることができる。
また、本実施形態に係るプラズマ処理装置によれば、真空容器10の内部にシリコン及び水素を含有する原料ガスを供給する原料ガス供給ノズル18と、真空容器10の内部に窒素ガスを供給するN2供給ノズル19と、真空容器10の内の圧力を制御する真空装置13と、真空容器10の内部の原料ガスと窒素ガスにRFパワーを印加してプラズマを発生させるRFアンテナ15、及び、RF電源17等と、真空容器10の内部の下方に、処理対象となる基板20を支持する加熱機能を有する載置部22と、載置部22にバイアスパワーを印加するバイアス電源27と、バイアス電源27のバイアスパワー、RFアンテナ15、及び、RF電源17等のRFパワー、真空装置13の圧力、及び、原料ガス供給ノズル18とN2供給ノズル19のガス供給量をそれぞれ制御するパラメータ制御装置とを備え、パラメータ制御装置でバイアスパワー、RFパワー、圧力、及び、ガス供給量を制御することにより、窒化シリコン膜を成長させている間、原料ガス中の水素と窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の基板20に印加し、窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させることにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合の量を低減させることができる。これにより、窒化シリコン膜の膜中のN−H結合量を効率良く低減させることができるため、窒化シリコン膜を緻密な膜とする事を可能とし、窒化シリコン膜の圧縮ストレスを飛躍的に高めることができる。
1 プラズマ処理装置
10 真空容器
11 筒状容器
12 天井板
13 真空装置
14 プラズマ
15 RFアンテナ
16,26 整合器
17 RF電源
18 原料ガス供給ノズル
19 N2供給ノズル
20 基板
21 ウェハ支持台
22 載置部
23 支持軸
24 ヒータ
25 コンデンサ
27 バイアス電源
28 静電電源
29 ローパスフィルター(LPF)
10 真空容器
11 筒状容器
12 天井板
13 真空装置
14 プラズマ
15 RFアンテナ
16,26 整合器
17 RF電源
18 原料ガス供給ノズル
19 N2供給ノズル
20 基板
21 ウェハ支持台
22 載置部
23 支持軸
24 ヒータ
25 コンデンサ
27 バイアス電源
28 静電電源
29 ローパスフィルター(LPF)
Claims (6)
- シリコン及び水素を含有する原料ガスと窒素ガスとのプラズマにより、処理対象の基板に対して窒化シリコン膜を成長させるプラズマ処理方法において、
前記窒化シリコン膜を成長させている間、前記原料ガス中の水素と前記窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の前記基板に照射し、前記窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させる
ことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項1に記載のプラズマ処理方法において、
処理対象の前記基板に印加するバイアスパワーを変化させてイオンエネルギーを変化させる
ことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項2に記載のプラズマ処理方法において、
プラズマを生成する為に印加するRFパワーを変化させてイオンエネルギーを変化させる
ことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項2又は請求項3に記載のプラズマ処理方法において、
圧力を変化させてイオンエネルギーを変化させる
ことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項2乃至請求項4のいずれかに記載のプラズマ処理方法において、
ガス供給量を変化させてイオンエネルギーを変化させる
ことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 真空容器の内部にシリコン及び水素を含有する原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
真空容器の内部に窒素ガスを供給する窒素ガス供給手段と、
前記真空容器の内の圧力を制御する圧力制御手段と、
前記真空容器の内部の前記原料ガスと前記窒素ガスにRFパワーを印加してプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、
前記真空容器の内部の下方に、処理対象となる基板を支持する加熱機能を有する支持手段と、
前記支持手段にバイアスパワーを印加するバイアスパワー印加手段と、
前記バイアスパワー印加手段の前記バイアスパワー、前記プラズマ発生手段の前記RFパワー、前記圧力制御手段の前記圧力、及び、前記原料ガス供給手段と前記窒素ガス供給手段のガス供給量をそれぞれ制御するパラメータ制御手段と
を備え、
前記パラメータ制御手段で前記バイアスパワー、前記RFパワー、前記圧力、及び、前記ガス供給量を制御することにより、窒化シリコン膜を成長させている間、前記原料ガス中の水素と前記窒素ガスの結合状態であるN−H結合を切断するためのイオンエネルギーを処理対象の前記基板に印加し、前記窒化シリコン膜の膜中に含まれるN−H結合量を低減させる
ことを特徴とするプラズマ処理装置。
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