JP2008027476A - 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ、磁気ディスクドライブ装置及び薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下部シールド層、上部シールド層並びに下部シールド層及び上部シールド層間に形成されたMR層を有するMR読出しヘッド素子を少なくとも含む薄膜磁気ヘッドであって、上部シールド層のABSに現れる形状が、トラック幅方向端の上側角部において鈍角形状又は丸みを帯びた形状を有する。
【選択図】図6
Description
10a 端縁部
20 磁気ディスク
21 スピンドルモータ
22 アセンブリキャリッジ装置
23 記録再生制御回路
24 駆動アーム
25 ボイスコイルモータ(VCM)
26 ピボットベアリング軸
27 HGA
30 サスペンション
31 薄膜磁気ヘッド
32 ロードビーム
33 フレクシャ
34 ベースプレート
35 配線部材
40 MR読出しヘッド素子
41 インダクティブ書込みヘッド素子
42 磁気ヘッド素子
43、44 信号端子電極
45 ABS
46 素子形成面
50 スライダ基板
51 下地絶縁層
52′ 下部シールド層用の膜
52a 下側角部
53 下部反強磁性層
54 TMR積層体
55、58、71、74、75 絶縁層
56 上部シールド層
56′ 上部シールド層用の膜
56a 上側角部
57 シールド中間絶縁層
59 バッキングコイル層
60 バッキングコイル絶縁層
61 主磁極層
62 絶縁ギャップ層
63 書込みコイル層
64 書込みコイル絶縁層
65 補助磁極層
66 保護層
67、69、70、73、76 レジストマスク
68 磁区制御層
71′、74′、75′ 絶縁層用の膜
71a、75a 凹部
72 電極膜
Claims (13)
- 下部シールド層、上部シールド層並びに該下部シールド層及び該上部シールド層間に形成された磁気抵抗効果層を有する磁気抵抗効果読出しヘッド素子を少なくとも含む薄膜磁気ヘッドであって、前記上部シールド層の浮上面に現れる形状が、トラック幅方向端の上側角部において鈍角形状又は丸みを帯びた形状を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
- 下部シールド層、上部シールド層並びに該下部シールド層及び該上部シールド層間に形成された磁気抵抗効果層を有する磁気抵抗効果読出しヘッド素子を少なくとも含む薄膜磁気ヘッドであって、前記下部シールド層の浮上面に現れる形状が、トラック幅方向端の下側角部において鈍角形状又は丸みを帯びた形状を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
- 下部シールド層、上部シールド層並びに該下部シールド層及び該上部シールド層間に形成された磁気抵抗効果層を有する磁気抵抗効果読出しヘッド素子を少なくとも含む薄膜磁気ヘッドであって、前記上部シールド層及び前記下部シールド層の両方を合わせて浮上面に現れる形状が、トラック幅方向端の上側角部及び下側角部においてそれぞれ鈍角形状又は丸みを帯びた形状を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
- 前記磁気抵抗効果読出しヘッド素子上に形成されたインダクティブ書込みヘッド素子をさらに含んでいることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記インダクティブ書込みヘッド素子が、垂直磁気記録型書込みヘッド素子であることを特徴とする請求項4に記載の薄膜磁気ヘッド。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッドと、該薄膜磁気ヘッドを支持する支持機構とを備えていることを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。
- 少なくとも1つの磁気ディスクと、少なくとも1つの請求項6に記載の磁気ヘッドアセンブリとを備えていることを特徴とする磁気ディスクドライブ装置。
- 下部シールド層、上部シールド層並びに該下部シールド層及び該上部シールド層間に形成された磁気抵抗効果層を有する磁気抵抗効果読出しヘッド素子を少なくとも含む薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、上部シールド層用のレジストマスクを形成する工程と、該形成したレジストマスク上から上部シールド層用の膜を成膜する工程と、前記レジストマスクをリフトオフすることにより、浮上面に現れる形状がトラック幅方向端の上側角部において鈍角形状又は丸みを帯びた形状を有する前記上部シールド層を形成する工程とを備えていることを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
- 絶縁層上に下部シールド層用のレジストマスクを形成する工程と、該形成したレジストマスク上からウェットエッチングすることにより前記絶縁層の一部を除去する工程と、前記レジストマスクを除去した後、上部シールド層用の膜を成膜する工程と、成膜した上部シールド層用の膜の上面を平坦化することにより、浮上面に現れる形状がトラック幅方向端の下側角部において鈍角形状又は丸みを帯びた形状を有する前記下部シールド層を形成する工程とをさらに備えていることを特徴とする請求項8に記載の製造方法。
- 絶縁層上に下部シールド層用のレジストマスクを形成する工程と、該形成したレジストマスクを用いてめっきすることにより、前記下部シールド層を形成する工程とをさらに備えていることを特徴とする請求項8に記載の製造方法。
- 前記レジストマスクを形成する前にめっき用の電極膜を形成する工程をさらに備えていることを特徴とする請求項10に記載の製造方法。
- 絶縁層上に下部シールド層用の第1のレジストマスクを形成する工程と、該形成した第1のレジストマスク上からミリングして前記絶縁層の一部を除去する工程と、前記第1のレジストマスクを除去した後、下部シールド層用の第2のレジストマスクを形成する工程と、該形成した第2のレジストマスクを用いてめっきすることにより、浮上面に現れる形状がトラック幅方向端の下側角部において鈍角形状又は丸みを帯びた形状を有する前記下部シールド層を形成する工程とをさらに備えていることを特徴とする請求項8に記載の製造方法。
- 前記第2のレジストマスクを形成する前にめっき用の電極膜を形成する工程をさらに備えていることを特徴とする請求項12に記載の製造方法。
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