JP2007329285A - アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド - Google Patents
アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007329285A JP2007329285A JP2006159027A JP2006159027A JP2007329285A JP 2007329285 A JP2007329285 A JP 2007329285A JP 2006159027 A JP2006159027 A JP 2006159027A JP 2006159027 A JP2006159027 A JP 2006159027A JP 2007329285 A JP2007329285 A JP 2007329285A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- piezoelectric
- lower electrode
- film
- electrode film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one piezoelectric, electrostrictive or magnetostrictive element covered by groups H10N30/00 – H10N35/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/11—Embodiments of or processes related to ink-jet heads characterised by specific geometrical characteristics
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】基板10の一方面に設けられた下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる複数の圧電素子300を有すると共に、前記下電極60が複数の前記圧電素子300に亘って形成されており、前記下電極60の互いに隣接する前記圧電素子300の間の領域に、前記圧電素子300に設けられた領域よりも厚さが薄い薄肉部61を設けると共に、前記薄肉部61の前記圧電素子300との境界部分に凹部62を設け、該凹部62の内面及び当該凹部62の前記圧電素子300とは反対側の開口縁部を曲面状にする。
【選択図】図3
Description
かかる第1の態様では、下電極に薄肉部及び凹部を設けることによって、下電極の剛性を維持して駆動耐久性を維持しつつ、変位特性を向上することができる。また、凹部の内面及び開口縁部を曲面状に形成することで、凹部の剛性を向上して、さらに確実に駆動耐久性を向上することができる。
かかる第2の態様では、下電極の駆動耐久性を維持しつつ、圧電素子の変位特性を向上することができる。
かかる第3の態様では、大気中の水分等に起因する圧電素子の破壊を防止することができる。また、凹部の内面及び開口縁部を曲面状に設けることで、保護膜の付きまわりを向上して、さらに確実に圧電素子の破壊を防止することができる。
かかる第4の態様では、大気中の水分等に起因する圧電素子の破壊を防止することができる。
かかる第5の態様では、上電極及び下電極によって、圧電体能動部の長手方向及び短手方向の端部を規定することができ、圧電素子の高密度化を実現できる。
かかる第6の態様では、駆動耐久性を向上して信頼性を向上すると共に、液体噴射特性を向上した液体噴射ヘッドを実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、流路形成基板の平面図及び圧力発生室の長手方向の断面図であり、図3は、図2(b)のA−A′断面図及びその要部拡大断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では結晶面方位が(110)面のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。
以上、本発明の実施形態1について説明したが、本発明の基本的構成は、上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、保護膜200を複数の圧電素子300(圧電体能動部320)に亘って連続して設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、保護膜200を各圧電素子300毎に設けるようにしてもよい。
Claims (6)
- 基板の一方面に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる複数の圧電素子を有すると共に、前記下電極が複数の前記圧電素子に亘って形成されており、
前記下電極の互いに隣接する前記圧電素子の間の領域が前記圧電素子に設けられた領域よりも厚さが薄い薄肉部となっていると共に、前記薄肉部の前記圧電素子との境界部分には、凹部が設けられており、且つ該凹部の内面及び当該凹部の前記圧電素子とは反対側の開口縁部が曲面状に設けられていることを特徴とするアクチュエータ装置。 - 前記薄肉部及び前記凹部が前記圧電素子の長手方向に亘って設けられていることを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ装置。
- 前記圧電素子の少なくとも前記圧電体層の側面及び前記凹部を覆う絶縁体からなる保護膜が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のアクチュエータ装置。
- 前記保護膜が、複数の圧電素子に亘って設けられていることを特徴とする請求項3記載のアクチュエータ装置。
- 前記上電極が各圧電素子毎に独立して設けられていると共に、当該上電極の前記圧電素子の短手方向の端部が当該圧電素子の実質的な駆動部となる圧電体能動部の短手方向の端部を規定しており、且つ前記下電極の前記圧電素子の長手方向の端部が、前記圧電体能動部の長手方向の端部を規定していることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のアクチュエータ装置。
- 請求項1〜5の何れかに記載のアクチュエータ装置を液体を噴射させるための液体吐出手段として具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006159027A JP4321552B2 (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド |
US11/756,995 US7481519B2 (en) | 2006-06-07 | 2007-06-01 | Actuator device and liquid-jet head |
KR1020070054480A KR100892197B1 (ko) | 2006-06-07 | 2007-06-04 | 액추에이터 장치 및 액체 분사 헤드 |
CNB2007101099353A CN100515777C (zh) | 2006-06-07 | 2007-06-06 | 驱动装置及液体喷头 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006159027A JP4321552B2 (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007329285A true JP2007329285A (ja) | 2007-12-20 |
JP4321552B2 JP4321552B2 (ja) | 2009-08-26 |
Family
ID=38821180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006159027A Expired - Fee Related JP4321552B2 (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7481519B2 (ja) |
JP (1) | JP4321552B2 (ja) |
KR (1) | KR100892197B1 (ja) |
CN (1) | CN100515777C (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009190247A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
JP2009231405A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujifilm Corp | 圧電素子及びその製造方法 |
JP2009292003A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド、インクジェットプリンタ、液滴吐出ヘッドの製造方法およびインクジェットプリンタの製造方法 |
JP2010154734A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-07-08 | Canon Inc | 電気機械変換装置およびその製造方法 |
JP2011194783A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
JP2012056194A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 |
JP2012176578A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Seiko Epson Corp | 圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2013078219A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Mitsumi Electric Co Ltd | アクチュエータ及び光走査装置 |
JP2013243926A (ja) * | 2013-07-03 | 2013-12-05 | Mitsumi Electric Co Ltd | 圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
JP2015000560A (ja) * | 2013-06-18 | 2015-01-05 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子及びその電気機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ、画像形成装置、液滴吐出装置、並びに、ポンプ装置 |
US10000061B2 (en) | 2016-01-13 | 2018-06-19 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric device, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009220481A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2009255528A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-11-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、圧電素子及び液体噴射装置 |
JP2010137485A (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエーター装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法 |
KR101545271B1 (ko) * | 2008-12-19 | 2015-08-19 | 삼성전자주식회사 | 압전형 음향 변환기 및 이의 제조방법 |
JP5305018B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2013-10-02 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエーター装置 |
JP2011199106A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 圧電素子、圧電アクチュエーター、液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置並びに圧電素子の製造方法 |
JP2012106342A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2012206294A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
JP6399386B2 (ja) * | 2014-07-02 | 2018-10-03 | 株式会社リコー | 電気機械変換部材の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置の製造方法 |
JP6776554B2 (ja) * | 2016-03-02 | 2020-10-28 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、memsデバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP7087309B2 (ja) * | 2017-09-13 | 2022-06-21 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、圧電デバイス |
CN109515012B (zh) * | 2018-12-27 | 2023-06-09 | 杭州瓦良格智造有限公司 | 一种高温玻璃数码喷墨打印机 |
CN110798093B (zh) * | 2019-04-08 | 2022-08-23 | 浙江师范大学 | 一种直线型压电精密驱动平台 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3340043B2 (ja) | 1996-12-26 | 2002-10-28 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータとその製造方法 |
JPH11151815A (ja) | 1997-07-25 | 1999-06-08 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP3295934B2 (ja) | 1997-11-25 | 2002-06-24 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
JP3019845B1 (ja) | 1997-11-25 | 2000-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP3322310B2 (ja) | 1997-11-25 | 2002-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
JP3603931B2 (ja) | 1998-05-22 | 2004-12-22 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP3636301B2 (ja) | 2000-12-13 | 2005-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
JP3491688B2 (ja) | 2000-10-16 | 2004-01-26 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
JP2005209898A (ja) | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子、及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド |
-
2006
- 2006-06-07 JP JP2006159027A patent/JP4321552B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-06-01 US US11/756,995 patent/US7481519B2/en active Active
- 2007-06-04 KR KR1020070054480A patent/KR100892197B1/ko active IP Right Grant
- 2007-06-06 CN CNB2007101099353A patent/CN100515777C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009190247A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
JP2009231405A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujifilm Corp | 圧電素子及びその製造方法 |
JP2009292003A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド、インクジェットプリンタ、液滴吐出ヘッドの製造方法およびインクジェットプリンタの製造方法 |
JP2010154734A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-07-08 | Canon Inc | 電気機械変換装置およびその製造方法 |
JP2011194783A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
JP2012056194A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 |
US8847471B2 (en) | 2010-09-09 | 2014-09-30 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric element, piezoelectric actuator, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus |
JP2012176578A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Seiko Epson Corp | 圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2013078219A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Mitsumi Electric Co Ltd | アクチュエータ及び光走査装置 |
JP2015000560A (ja) * | 2013-06-18 | 2015-01-05 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子及びその電気機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ、画像形成装置、液滴吐出装置、並びに、ポンプ装置 |
JP2013243926A (ja) * | 2013-07-03 | 2013-12-05 | Mitsumi Electric Co Ltd | 圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
US10000061B2 (en) | 2016-01-13 | 2018-06-19 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric device, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070284967A1 (en) | 2007-12-13 |
CN101085572A (zh) | 2007-12-12 |
CN100515777C (zh) | 2009-07-22 |
KR20070117462A (ko) | 2007-12-12 |
KR100892197B1 (ko) | 2009-04-07 |
US7481519B2 (en) | 2009-01-27 |
JP4321552B2 (ja) | 2009-08-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4321552B2 (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド | |
JP2008010528A (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 | |
JP5737535B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4844717B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2007194373A (ja) | シリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5382323B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4300431B2 (ja) | アクチュエータ装置及びそれを用いた液体噴射ヘッド | |
JP2006198996A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
JP5737534B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2009081262A (ja) | アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2009166410A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
JP2007195316A (ja) | アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド | |
JP6394901B2 (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP2008119968A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2009061729A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4911301B2 (ja) | マイクロデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5019027B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5024509B2 (ja) | マイクロデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5382324B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5690476B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4475042B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2006224609A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2009029019A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2008041826A (ja) | アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド | |
JP2007335537A (ja) | 誘電体膜の製造方法及び圧電素子の製造方法並びに液体噴射ヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20081128 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20081128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090106 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090512 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090525 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4321552 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130612 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130612 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |