JP5019027B2 - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
かかる態様では、圧電素子毎又は複数の圧電素子群毎に保護膜の開口部の開口面積を変更することで、圧電素子毎又は複数の圧電素子群毎の変位量を均一化することができる。これにより、液体噴射ヘッドを複数組み合わせて液体噴射ヘッドユニットを製造する際に、液体噴射ヘッドの液体噴射特性を均一化することができ、液体噴射ヘッドユニットに高精度及び高品質な印刷を行わせることができる。また、液体噴射ヘッドを製造後、圧電素子の変位量に基づいてランク分けする必要がなく、ランク毎の液体噴射ヘッドの過不足が生じることがないため、歩留まりを向上することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、流路形成基板の平面図及びインクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の長手方向の断面図であり、図3は、図2のA−A′断面の要部を拡大した図である。
次いで、図6(a)に示すように、流路形成基板用ウェハ110の全面に亘って金(Au)からなるリード電極90を形成後、各圧電素子300毎にパターニングする。
次に、図7(b)に示すように、流路形成基板用ウェハ110上にマスク52を新たに形成し、所定形状にパターニングする。そして、図8に示すように、流路形成基板用ウェハ110をマスク52を介してKOH等のアルカリ溶液を用いた異方性エッチング(ウェットエッチング)することにより、圧電素子300に対応する圧力発生室12、連通部13、インク供給路14及び連通路15等を形成する。
図11は、本発明の実施形態2に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。なお、上述した実施形態1と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図12は、本発明の実施形態3に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。なお、上述した実施形態1と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1〜3では、流路形成基板用ウェハ110の流路形成基板10となる領域の少なくとも1つの圧電素子300の圧電体層70の静電容量を測定し、測定結果に基づいて各流路形成基板10の圧電素子300の群毎に圧電素子300の群に対応する圧力発生室12の幅、保護膜200の開口部201の開口面積又は耐液保護膜16の厚さを変更して形成するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、各圧電素子300の圧電体層70の静電容量を測定し、各圧電素子300毎に対応する圧力発生室12の幅、保護膜200の開口部201の開口面積又は耐液保護膜16の厚さを変更して形成するようにしてもよい。勿論、静電容量の測定は、流路形成基板10の少なくとも1つの圧電素子300毎に限定されず、例えば、任意の複数の圧電素子300の1つ以上の圧電体層70の静電容量を測定し、任意の複数の圧電素子300の群毎に圧力発生室12の幅、保護膜200の開口部201の開口面積又は耐液保護膜16の厚さを変更するようにしてもよく、勿論、任意の複数の圧電素子300の平均の静電容量を測定するようにしてもよい。
Claims (2)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられる流路形成基板の一方面側に下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成する工程と、前記圧電素子を覆う絶縁体からなる保護膜を形成すると共に該保護膜の前記上電極に相対向する領域に開口部を形成する工程と、前記圧電素子及び前記保護膜が形成された前記流路形成基板に前記圧力発生室を形成する工程とを具備し、
前記保護膜及び前記開口部を形成する工程では、前記圧電素子毎又は複数の圧電素子からなる圧電素子群毎の中から選定した少なくとも1つ毎の当該圧電体層の静電容量を測定し、測定した静電容量に基づいて前記保護膜の前記開口部の開口面積を前記圧電素子毎又は前記圧電素子群毎に変更して形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記圧電素子を形成する工程では、前記流路形成基板が複数個一体的に形成される流路形成基板用ウェハに前記圧電素子を形成すると共に、前記保護膜及び前記開口部を形成する工程では、各流路形成基板となる領域毎に選定した少なくとも1つの前記圧電体層の静電容量を測定し、測定した静電容量に基づいて前記保護膜の前記開口部の開口面積を各流路形成基板の前記圧電素子毎又は前記圧電素子群毎に変更して形成し、その後、前記流路形成基板用ウェハを前記流路形成基板毎に分割する工程をさらに有することを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
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