JP2007324201A - 有機薄膜トランジスタを有する半導体装置の製造方法 - Google Patents
有機薄膜トランジスタを有する半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007324201A JP2007324201A JP2006149992A JP2006149992A JP2007324201A JP 2007324201 A JP2007324201 A JP 2007324201A JP 2006149992 A JP2006149992 A JP 2006149992A JP 2006149992 A JP2006149992 A JP 2006149992A JP 2007324201 A JP2007324201 A JP 2007324201A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manufacturing
- semiconductor device
- substrate
- insulating film
- source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having a potential-jump barrier or a surface barrier
- H10K10/80—Constructional details
- H10K10/82—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/60—Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes
- H10K71/611—Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes using printing deposition, e.g. ink jet printing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having a potential-jump barrier or a surface barrier
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
- H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
- H10K10/466—Lateral bottom-gate IGFETs comprising only a single gate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K19/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic element specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, covered by group H10K10/00
- H10K19/10—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic element specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, covered by group H10K10/00 comprising field-effect transistors
Abstract
【解決手段】本発明は、下部電極と、上部電極との位置あわせを自己整合的に行うため、印刷法を用いても位置ずれが発生しない。このため、有機半導体を用いたフレキシブル基板などの半導体装置が印刷法を用いて安価に形成できる。
【選択図】図20
Description
前記塗布法は、インクジェット法、マイクロディスペンス法、ディップ法、回転塗布法、及び転写法などが代表的な例である。本発明の目的に、諸部分の形成に、これらの内の少なくとも一つを用いるのが、実際的である。
たインクジェット印刷装置は、位置精度、描画線幅最小値共に20μmであったため、ゲート電極線幅は20μmとした。
これらの有機高分子化合物を絶縁膜として使用する場合は、感光性自己組織化膜を形成するために、絶縁膜表面に、シロキサン化合物膜やシラザン化合物膜を形成する必要があり、コスト、工程が若干増加する。
(比較例1)
露光後の有機アルカリ水溶液処理工程を、トルエン処理工程に変える他は実施例1と同様な方法で有機半導体を用いたTFT作成を行った。露光部の水の接触角が下限になるためには、トルエンに基板ごと浸し30分間の超音波洗浄が必要であった。有機アルカリ水溶液処理方法と比較して、10倍以上の時間を要した。この時点での水の接触角は、40度であった。
(比較例2)
比較例1と同様な方法により、露光部の水の接触角が40度の基板を水酸化ナトリウム1w%水溶液に1分間浸し、水での洗浄を行った。この時点で、水の接触角は、20度となった。その後の工程は、実施例1と同様な方法で有機TFTを作成したところ、トランジスタ動作しなかった。
その後、感光性自己組織化膜材料(5-methoxy-2-nitro-benzyl 4-(trimethoxysilyl) butanesulfonate)の0.1w%トルエン溶液に基板を10分間ディップし、トルエンでリンス、乾燥後、110℃で10分間焼成し感光性自己組織化膜4を形成した(上面図:図17(a)、断面図:図17(b))。パタン描画機能を持つレーザー露光機を用い、355nmの波長により、スルーホール間の露光を行った。その後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド2.38w%水溶液に基板を1分間浸し、水により洗浄を行った(上面図:図18(a)、断面図:図18(b))。露光部に、インクジェット法で銅ナノ微粒子をトルエン溶液に分散させたものをインクとしてパタンを描き、180℃10分間焼成してスルーホール間に配線28を形成した(上面図:図19(a)、断面図:図19(b))。市販されている配線基板と差異無く使用できた。
Claims (17)
- 基板上に下部電極を形成する工程と、
前記下部電極を覆うように絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に選択的にソース及びドレイン電極を形成する工程と、
前記絶縁膜上に前記ソース及びドレイン電極に狭持され、その一端が前記ソース電極に、他端が前記ドレイン電極に接するように有機半導体からなるチャネル部を選択的に形成する工程と、を備え、
前記ソース及びドレイン電極は、感光性自己組織化単分子膜を前記絶縁膜上に付着させ、前記ソース及びドレイン電極形成予定領域に露光光を照射し、前記照射後の前記感光性自己組織化単分子膜を有機アルカリ水溶液並びに水を用いてリンスし、その後に、導電性材料を含有する溶液を前記絶縁膜上に付着させて形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記感光性自己組織化単分子膜の付着の方法は、塗布法またはディップ法により行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板および前記絶縁膜が、前記露光光に対して透光性を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板と前記絶縁膜が、前記露光光に対して透光性材料からなり、前記下部電極が前記露光光に対して不透光性材料からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ソース及びドレイン電極の材料が、金属ナノ微粒子を含有する溶液を原料とすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ソース及びドレイン電極の材料が、導電性高分子を含有する溶液を原料とすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記露光光の照射は、前記基板の裏面から行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記チャネル部、前記絶縁膜、前記下部電極、前記ソース及びドレイン電極は、それぞれ印刷法により形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記露光光の照射工程並びに、前記有機アルカリ水溶液処理工程の前後における前記感光性自己組織化膜の水に対する接触角が異なることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記露光光の照射工程並びに、前記有機アルカリ水溶液処理工程後における前記感光性自己組織化膜の水に対する接触角は、その両工程を実施する前の前記接触角より小さいことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記有機半導体膜の形成は、前記ソース及びドレイン電極の形成工程後になされることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板が、フレキシブルな基板であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板は、珪素化合物からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板は、有機化合物からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板の裏面からの露光光の波長は、前記感光性自己組織化膜の光吸収帯の波長であることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記塗布法が、インクジェット法、マイクロディスペンス法、キャスト法、ディッピング法、及び転写法の群から選択された少なくとも1種類の方法であることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に、感光性自己組織化単分子膜を付着させ、所定の領域に露光光を照射する工程と、
前記照射後の前記感光性自己組織化単分子膜を有機アルカリ水溶液並びに水を用いてリンスする工程と、
導電性材料を含有する溶液を前記絶縁膜上に付着させ、前記所定の領域に導電性領域を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006149992A JP5036219B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 有機薄膜トランジスタを有する半導体装置の製造方法 |
US11/752,340 US7989143B2 (en) | 2006-05-30 | 2007-05-23 | Method of manufacturing a semiconductor device having an organic thin film transistor |
CN2007101054437A CN101083305B (zh) | 2006-05-30 | 2007-05-30 | 具有有机薄膜晶体管的半导体器件的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006149992A JP5036219B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 有機薄膜トランジスタを有する半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007324201A true JP2007324201A (ja) | 2007-12-13 |
JP5036219B2 JP5036219B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=38790739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006149992A Expired - Fee Related JP5036219B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 有機薄膜トランジスタを有する半導体装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7989143B2 (ja) |
JP (1) | JP5036219B2 (ja) |
CN (1) | CN101083305B (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008135731A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-06-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法、及び半導体装置 |
JP2008170515A (ja) * | 2007-01-09 | 2008-07-24 | Konica Minolta Holdings Inc | 表面処理材料、基板、基板表面の処理方法、薄膜トランジスタ及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2009224714A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Univ Of Tokyo | 有機薄膜トランジスタの製造方法 |
JP2009247191A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-22 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 円筒状コイル、円筒型マイクロモータ及び円筒状コイルの製造方法 |
JP2009283862A (ja) * | 2008-05-26 | 2009-12-03 | Hitachi Ltd | 薄膜トランジスタ装置およびその製造方法 |
WO2010010609A1 (ja) * | 2008-07-22 | 2010-01-28 | パイオニア株式会社 | コンタクトホールの形成方法、及び回路基板 |
JP2010157532A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
US8502203B2 (en) | 2008-02-07 | 2013-08-06 | Ricoh Company, Ltd. | Laminated structure, method of manufacturing a laminated structure, electronic element, electronic element array, image displaying medium, and image displaying device |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1434281A3 (en) * | 2002-12-26 | 2007-10-24 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Manufacturing method of thin-film transistor, thin-film transistor sheet, and electric circuit |
GB0802183D0 (en) * | 2008-02-06 | 2008-03-12 | Cambridge Display Technology O | Method of fabricating top gate organic semiconductor transistors |
JP2009200315A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2010039166A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Hitachi Ltd | 露光装置およびそれを用いたデバイスの製造方法 |
CN102456573A (zh) * | 2010-10-22 | 2012-05-16 | 元太科技工业股份有限公司 | 薄膜晶体管的制造方法 |
WO2014018021A1 (en) | 2012-07-24 | 2014-01-30 | Empire Technology Development Llc | Solution phase polydiacetylene synthesis by alkyne metathesis |
CN102881828A (zh) * | 2012-10-10 | 2013-01-16 | 上海交通大学 | 一种短沟道有机薄膜晶体管的制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003149831A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-05-21 | Seiko Epson Corp | 単分子層のパターン形成方法、パターン化単分子層を利用した導電膜パターンの形成方法、及び電気光学装置 |
JP2003321479A (ja) * | 2002-05-02 | 2003-11-11 | Japan Science & Technology Corp | 光分解性シランカップリング剤 |
WO2005024956A1 (ja) * | 2003-09-04 | 2005-03-17 | Hitachi, Ltd. | 電極基板、薄膜トランジスタ、表示装置、及びその製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59219743A (ja) * | 1983-05-28 | 1984-12-11 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ポジ型レジスト現像液 |
JP3870562B2 (ja) * | 1998-07-16 | 2007-01-17 | セイコーエプソン株式会社 | パターン形成方法、およびパターン形成基板の製造方法 |
US6403407B1 (en) * | 2000-06-02 | 2002-06-11 | International Business Machines Corporation | Method of forming fully self-aligned TFT with improved process window |
US7327582B2 (en) * | 2000-09-21 | 2008-02-05 | Ultrasource, Inc. | Integrated thin film capacitor/inductor/interconnect system and method |
US6635409B1 (en) * | 2001-07-12 | 2003-10-21 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of strengthening photoresist to prevent pattern collapse |
JP3970583B2 (ja) | 2001-11-22 | 2007-09-05 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4618990B2 (ja) | 2002-08-02 | 2011-01-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 有機薄膜トランジスタ及びその作製方法、並びに有機薄膜トランジスタを有する半導体装置 |
JP2005079560A (ja) * | 2003-09-04 | 2005-03-24 | Hitachi Ltd | 薄膜トランジスタ,表示装置、およびその製造方法 |
US7019328B2 (en) * | 2004-06-08 | 2006-03-28 | Palo Alto Research Center Incorporated | Printed transistors |
-
2006
- 2006-05-30 JP JP2006149992A patent/JP5036219B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-05-23 US US11/752,340 patent/US7989143B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-05-30 CN CN2007101054437A patent/CN101083305B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003149831A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-05-21 | Seiko Epson Corp | 単分子層のパターン形成方法、パターン化単分子層を利用した導電膜パターンの形成方法、及び電気光学装置 |
JP2003321479A (ja) * | 2002-05-02 | 2003-11-11 | Japan Science & Technology Corp | 光分解性シランカップリング剤 |
WO2005024956A1 (ja) * | 2003-09-04 | 2005-03-17 | Hitachi, Ltd. | 電極基板、薄膜トランジスタ、表示装置、及びその製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008135731A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-06-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法、及び半導体装置 |
JP2008170515A (ja) * | 2007-01-09 | 2008-07-24 | Konica Minolta Holdings Inc | 表面処理材料、基板、基板表面の処理方法、薄膜トランジスタ及び半導体デバイスの製造方法 |
US8502203B2 (en) | 2008-02-07 | 2013-08-06 | Ricoh Company, Ltd. | Laminated structure, method of manufacturing a laminated structure, electronic element, electronic element array, image displaying medium, and image displaying device |
JP2009224714A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Univ Of Tokyo | 有機薄膜トランジスタの製造方法 |
JP2009247191A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-22 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 円筒状コイル、円筒型マイクロモータ及び円筒状コイルの製造方法 |
JP2009283862A (ja) * | 2008-05-26 | 2009-12-03 | Hitachi Ltd | 薄膜トランジスタ装置およびその製造方法 |
WO2010010609A1 (ja) * | 2008-07-22 | 2010-01-28 | パイオニア株式会社 | コンタクトホールの形成方法、及び回路基板 |
JP2010157532A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101083305B (zh) | 2010-06-09 |
JP5036219B2 (ja) | 2012-09-26 |
US7989143B2 (en) | 2011-08-02 |
CN101083305A (zh) | 2007-12-05 |
US20070281384A1 (en) | 2007-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5036219B2 (ja) | 有機薄膜トランジスタを有する半導体装置の製造方法 | |
US7585713B2 (en) | Method for exposing photo-sensitive SAM film and method for manufacturing semiconductor device | |
JP2006269709A (ja) | 有機薄膜トランジスタを有する半導体装置の製造方法 | |
JP2007129007A (ja) | 有機半導体膜を有する半導体装置の製造方法 | |
US7700403B2 (en) | Manufacturing method of semiconductor device | |
EP1883973B1 (en) | Organic thin film transistor, active matrix display and fabrication method | |
WO2005024956A1 (ja) | 電極基板、薄膜トランジスタ、表示装置、及びその製造方法 | |
US20050181533A1 (en) | Method for manufacturing an electro-optical device board, optical device, electro-optical device and electronic equipment | |
JP2008066567A (ja) | 配線パターンとこれを用いた電子素子、有機半導体素子、積層配線パターンおよび積層配線基板 | |
JP4678574B2 (ja) | 積層構造体、積層構造体を用いた電子素子、電子素子アレイ及び表示装置 | |
JP5332145B2 (ja) | 積層構造体、電子素子、電子素子アレイ及び表示装置 | |
JP2006060113A5 (ja) | ||
JP2006021491A (ja) | 積層構造体、積層構造体を用いた光学素子、表示素子、演算素子及びこれらの製造方法 | |
JP4691545B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009026901A (ja) | 積層構造体、電子素子、電子素子アレイ及び表示装置 | |
JP5066848B2 (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP2010016280A (ja) | 有機tftの製造方法、及び有機tft | |
JP2010157532A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JP5458296B2 (ja) | 微細加工構造及びその加工方法並びに電子デバイス及びその製造方法 | |
JP2010039166A (ja) | 露光装置およびそれを用いたデバイスの製造方法 | |
WO2010010609A1 (ja) | コンタクトホールの形成方法、及び回路基板 | |
WO2019163529A1 (ja) | 半導体素子の製造方法、電子デバイスの製造方法、半導体素子、および、電子デバイス | |
JP2005223033A (ja) | 積層構造の形成方法及び電界効果型トランジスタの製造方法 | |
JP2006059936A (ja) | 積層構造体及びその製造方法、電子素子、表示装置 | |
JP2010021402A (ja) | 有機tft |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120413 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120626 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120703 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |