JP2007315958A - 加速度センサおよび加速度センサの製造方法 - Google Patents
加速度センサおよび加速度センサの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】加速度センサC1は、圧電素子2と、圧電素子2の表面に形成された第1,第2外部電極4,5とを備える。圧電素子2は、第1〜第3圧電体層24,18,34を有している。第1圧電体層24の第1領域24aは、圧電素子2の積層方向に対して垂直な方向に分極されている。第2圧電体層18の第2領域18aは、圧電素子2の積層方向に分極されている。第3圧電体層34の第3領域34aは、圧電素子2の積層方向に分極されると共に、第2領域18aの分極を打ち消す方向に分極されている。更に、第3領域34aは、第2領域18aと比べて圧電素子2の積層方向から付与される荷重が小さくなるように構成されている。
【選択図】図2
Description
Claims (8)
- 圧電素子と、前記圧電素子の表面に沿って形成された外部電極と、を備える加速度センサであって、
前記圧電素子は、
第1圧電体層、第2圧電体層、および第3圧電体層と、
前記第1、第2、および第3圧電体層それぞれを挟むように形成されて前記外部電極に接続される内部電極と、
を有し、
前記第1圧電体層において、当該第1圧電体層を挟む前記内部電極と重なる第1領域は、前記圧電素子の積層方向に対して垂直な方向に分極されており、
前記第2圧電体層において、当該第2圧電体層を挟む前記内部電極と重なる第2領域は、前記圧電素子の積層方向に分極されており、
前記第3圧電体層において、当該第3圧電体層を挟む前記内部電極と重なる第3領域は、前記第2領域の分極を打ち消す方向に分極されており、
前記第3領域に付与される荷重が前記第2領域に付与される荷重と比べて小さいことを特徴とする加速度センサ。 - 前記第3領域と前記内部電極との接触面積は、前記第2領域と前記内部電極との接触面積と略同一であることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。
- 前記圧電素子は基体部とおもり部とを更に有しており、前記第1、第2、および第3圧電体層および前記おもり部は前記基体部上に形成され、前記第1および第2圧電体層は前記基体部と前記おもり部との間に形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の加速度センサ。
- 前記圧電素子の積層方向に対して垂直な方向から見て、前記第2圧電体層は前記第3圧電体層よりも前記基体部側に位置していることを特徴とする請求項3に記載の加速度センサ。
- 前記圧電素子の積層方向に対して垂直な方向から見て、前記第2圧電体層は前記第1圧電体層よりも前記基体部側に位置していることを特徴とする請求項3又は4に記載の加速度センサ。
- 前記圧電素子の積層方向から見て、前記第1圧電体層と前記基体部との間に位置する層の大きさが前記基体部の大きさよりも小さいことを特徴とする請求項3〜5のいずれか一項に記載の加速度センサ。
- 前記圧電素子の積層方向から見て、前記第1圧電体層の大きさが前記基体部の大きさよりも小さいことを特徴とする請求項3〜6のいずれか一項に記載の加速度センサ。
- 圧電素子と、前記圧電素子の表面に沿って形成された外部電極と、を備える加速度センサの製造方法であって、
層が延びる方向に分極された第1圧電体層と、前記第1圧電体層を挟むように位置する一対の内部電極と、を有する第1部材を形成する第1工程と、
層の厚み方向に分極された第2圧電体層と、前記第2圧電体層を挟むように位置する一対の内部電極と、を有する第2部材を形成する第2工程と、
層の厚み方向に分極された第3圧電体層と、前記第3圧電体層を挟むように位置する一対の内部電極と、を有する第3部材を形成する第3工程と、
前記第1部材が前記第2部材と前記第3部材との間に位置するように前記第1、第2、および第3部材を積層して前記圧電素子を形成する第4工程と、
前記圧電素子の表面に、前記第1、第2、および第3部材の内部電極と接続される前記外部電極を形成する第5工程と、
を有し、
前記第3工程では、
前記第3圧電体層と当該第3圧電体層を挟んで重なる前記内部電極との接触面積が、前記第2圧電体層と当該第2圧電体層を挟んで重なる前記内部電極との接触面積と略同一になるように前記内部電極を配置し、
前記第4工程では、
前記第1部材から見て前記第2圧電体層の分極方向と前記第3圧電体層の分極方向とが同一となるように前記第2部材および前記第3部材を配置する、
ことを特徴とする加速度センサの製造方法。
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