JP2007304596A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101230315B1 (ko) * 2006-02-08 2013-02-06 삼성디스플레이 주식회사 표시장치용 몰드와 이를 이용한 표시장치의 제조방법
US7835001B2 (en) * 2006-05-24 2010-11-16 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Method of aligning a substrate, mask to be aligned with the same, and flat panel display apparatus using the same
KR101358255B1 (ko) * 2006-06-27 2014-02-05 엘지디스플레이 주식회사 광경화 타입 소수성 몰드 및 그 제조방법
KR100832298B1 (ko) * 2006-06-29 2008-05-26 엘지디스플레이 주식회사 패턴 형성용 레지스트와 이를 이용한 소프트몰드 제조방법
KR101255508B1 (ko) * 2006-06-30 2013-04-16 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 디스플레이 및 이의 얼라인 키의 제조 방법
KR101434451B1 (ko) * 2007-03-13 2014-08-27 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법
KR20080088238A (ko) * 2007-03-29 2008-10-02 삼성전자주식회사 패턴 형성용 몰드, 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법
KR101381252B1 (ko) * 2007-06-05 2014-04-04 삼성디스플레이 주식회사 임프린트 장치, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 박막패터닝 방법
KR101367305B1 (ko) * 2008-02-15 2014-02-27 삼성디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법
KR101510883B1 (ko) * 2008-06-05 2015-04-10 엘지디스플레이 주식회사 유기 박막트랜지스터와 그 제조방법
KR101603314B1 (ko) * 2008-09-11 2016-03-15 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
NL2004932A (en) * 2009-07-27 2011-01-31 Asml Netherlands Bv Imprint lithography template.
KR101105410B1 (ko) * 2009-08-20 2012-01-17 주식회사 디엠에스 임프린트 장치
JP5732631B2 (ja) * 2009-09-18 2015-06-10 ボンドテック株式会社 接合装置および接合方法
WO2011043295A1 (ja) 2009-10-07 2011-04-14 ソニーケミカル＆インフォメーションデバイス株式会社 接着装置、板状接着体の製造方法
KR101675843B1 (ko) * 2010-05-04 2016-11-30 엘지디스플레이 주식회사 평판 표시 소자 및 그 제조 방법
KR101726634B1 (ko) * 2010-12-08 2017-04-13 엘지디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법
WO2013164881A1 (ja) * 2012-05-01 2013-11-07 信越エンジニアリング株式会社 表示装置の製造方法及びその製造装置
KR102038693B1 (ko) * 2013-04-15 2019-10-31 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
CN103354206B (zh) 2013-06-27 2017-03-15 北京京东方光电科技有限公司 过孔制作方法、显示面板制作方法及显示面板
CN205318071U (zh) * 2016-01-27 2016-06-15 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及显示装置
KR102437180B1 (ko) * 2017-12-06 2022-08-26 엘지디스플레이 주식회사 투명 유기발광 다이오드 표시장치
TWM561222U (zh) * 2018-01-24 2018-06-01 凌巨科技股份有限公司 具有共用閘極的畫素結構
JP2019179716A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 大日本印刷株式会社 有機エレクトロルミネッセンス表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、およびナノインプリント用モールド
CN109178516B (zh) * 2018-07-25 2020-11-24 京东方科技集团股份有限公司 背膜去除方法及装置、显示装置
CN109728054A (zh) * 2019-01-02 2019-05-07 京东方科技集团股份有限公司 显示面板及其制备方法、显示装置
KR102732418B1 (ko) * 2019-10-08 2024-11-20 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 방법, 및 표시 장치의 제조 장치
KR102520642B1 (ko) * 2020-12-29 2023-04-11 주식회사 기가레인 패턴 정렬 가능한 전사 장치
KR102543024B1 (ko) * 2021-12-31 2023-06-13 (주)애니캐스팅 마이크로 렌즈 어레이 성형장치

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61166518A (ja) * 1985-01-18 1986-07-28 Seiko Epson Corp 液晶表示体駆動用回路基板の検査方法
JPH0792696A (ja) 1993-09-24 1995-04-07 Sony Corp 画像認識自動アライメント方法
US5772905A (en) 1995-11-15 1998-06-30 Regents Of The University Of Minnesota Nanoimprint lithography
US6309580B1 (en) 1995-11-15 2001-10-30 Regents Of The University Of Minnesota Release surfaces, particularly for use in nanoimprint lithography
JP2000323461A (ja) 1999-05-11 2000-11-24 Nec Corp 微細パターン形成装置、その製造方法、および形成方法
CN100504598C (zh) 2000-07-16 2009-06-24 得克萨斯州大学系统董事会 用于平版印刷工艺中的高分辨率重叠对齐方法和系统
US7635262B2 (en) * 2000-07-18 2009-12-22 Princeton University Lithographic apparatus for fluid pressure imprint lithography
EP2306242A3 (en) 2000-10-12 2011-11-02 Board of Regents, The University of Texas System Method of forming a pattern on a substrate
US6955767B2 (en) 2001-03-22 2005-10-18 Hewlett-Packard Development Company, Lp. Scanning probe based lithographic alignment
US20050064344A1 (en) * 2003-09-18 2005-03-24 University Of Texas System Board Of Regents Imprint lithography templates having alignment marks
JP2003086537A (ja) 2001-09-13 2003-03-20 Tdk Corp 構造体を用いた薄膜パターン製造方法および構造体
KR100437799B1 (ko) * 2002-04-08 2004-06-30 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널 제작을 위한 잉크젯 얼라인 장치
US7077992B2 (en) * 2002-07-11 2006-07-18 Molecular Imprints, Inc. Step and repeat imprint lithography processes
MY144124A (en) 2002-07-11 2011-08-15 Molecular Imprints Inc Step and repeat imprint lithography systems
US7754131B2 (en) 2002-08-27 2010-07-13 Obducat Ab Device for transferring a pattern to an object
AU2003266662A1 (en) 2002-11-13 2004-06-03 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Aligning method and aligning device in proximity exposure
AU2003284410A1 (en) * 2002-11-19 2004-06-15 Ishikawa Seisakusho, Ltd. Pixel control element selection transfer method, pixel control element mounting device used for pixel control element selection transfer method, wiring formation method after pixel control element transfer, and planar display substrate
JP2004259985A (ja) 2003-02-26 2004-09-16 Sony Corp レジストパターン形成装置およびその形成方法、および、当該方法を用いた半導体装置の製造方法
JP2005031662A (ja) 2003-07-09 2005-02-03 Samsung Electronics Co Ltd アレー基板及びこれの製造方法と、これを有する液晶表示装置
JP2005100584A (ja) 2003-08-28 2005-04-14 Tdk Corp ディスク基板のインプリント方法、インプリント装置及びディスク状記録媒体の製造方法
JP4438355B2 (ja) 2003-09-01 2010-03-24 オムロン株式会社 マイクロ凹凸パターンを有する樹脂薄膜を備えた光学素子の製造方法
JP2005101201A (ja) 2003-09-24 2005-04-14 Canon Inc ナノインプリント装置
JP4478424B2 (ja) 2003-09-29 2010-06-09 キヤノン株式会社 微細加工装置およびデバイスの製造方法
JP2005116978A (ja) 2003-10-10 2005-04-28 Sumitomo Heavy Ind Ltd ナノインプリント装置及び方法
KR101117437B1 (ko) * 2003-12-27 2012-02-29 엘지디스플레이 주식회사 평판표시소자의 제조방법 및 장치
US7686606B2 (en) 2004-01-20 2010-03-30 Wd Media, Inc. Imprint embossing alignment system
JP4247146B2 (ja) 2004-03-24 2009-04-02 國煌 謝 電気光学素子の製造に用いられるマイクロスタンピング方法
JP4954498B2 (ja) 2004-06-01 2012-06-13 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
JP4574240B2 (ja) * 2004-06-11 2010-11-04 キヤノン株式会社 加工装置、加工方法、デバイス製造方法
JP4937500B2 (ja) 2004-06-15 2012-05-23 大日本印刷株式会社 インプリント方法
JP2006165371A (ja) * 2004-12-09 2006-06-22 Canon Inc 転写装置およびデバイス製造方法
US7363854B2 (en) * 2004-12-16 2008-04-29 Asml Holding N.V. System and method for patterning both sides of a substrate utilizing imprint lithography
JP4290177B2 (ja) * 2005-06-08 2009-07-01 キヤノン株式会社 モールド、アライメント方法、パターン形成装置、パターン転写装置、及びチップの製造方法
JP4736821B2 (ja) * 2006-01-24 2011-07-27 株式会社日立製作所 パターン形成方法およびパターン形成装置
KR20070105040A (ko) 2006-04-25 2007-10-30 엘지.필립스 엘시디 주식회사 레지스트 조성물, 이를 이용한 레지스트 패턴 형성방법 및이를 이용하여 제조된 어레이 기판
US7835001B2 (en) * 2006-05-24 2010-11-16 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Method of aligning a substrate, mask to be aligned with the same, and flat panel display apparatus using the same

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