JP2007277039A - 酸化物焼結体及びそれを用いた酸化物透明導電膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主としてガリウムおよびインジウムおよび酸素からなる酸化物焼結体、あるいは、主としてガリウムおよび酸素からなる酸化物焼結体であり、ガリウムが全金属原子に対して35原子%〜100原子%の割合で含まれ、金属相が含まれず、密度が3.4g/cm3以上5.5g/cm3以下である酸化物焼結体とする。
【選択図】なし
Description
透明導電膜には、アンチモンやフッ素がドーピングされた酸化錫(SnO2)膜、アルミニウムやガリウムがドーピングされた酸化亜鉛(ZnO)膜、錫がドーピングされた酸化インジウム(In2O3)膜などが広範に利用されている。特に、錫がドーピングされた酸化インジウム膜、すなわちIn2O3−Sn系膜は、ITO(Indium Tin Oxide)膜と称され、低抵抗の透明導電膜が容易に得られることから、LCDをはじめとして、種々のデバイスに広く用いられている最も主流な材料である。ITO膜は、スパッタリング法や真空蒸着法で室温で基板上に成膜すると、膜厚200nmで表面抵抗25Ω/□程度(比抵抗で約5×10-4Ωcm)の導電膜が得られる。
したがって、表面抵抗が低いだけでなく、可視光短波長域や近紫外域でも高い光透過率を示す積層構造の透明導電膜の開発が期待されていた。
一般に、イオンプレーティングや高密度プラズマアシスト蒸着法は、高品質の膜を高速成膜することができて、生産性に優れていることが利点である。しかし、Ga2O3−In2O3系及びGa2O3の酸化物薄膜の製造に関しては、スパッタリング法での実例は示されているが、イオンプレーティングや高密度プラズマアシスト蒸着法などの各種真空蒸着法での成膜の実例はない。
本発明の酸化物焼結体を用いて得られる膜は、単膜として、あるいは、金属薄膜との積層膜として、液晶ディスプレイ(LCD)素子や太陽電池の透明電極だけでなく、特に、青色の発色を重要視する有機あるいは無機エレクトロルミネッセンス(EL)素子などの広範囲な次世代の表示デバイスや、青色や近紫外の発光ダイオード(LED)などの発光デバイスの透明電極に用いることができるため、工業上極めて価値が高い。
本発明者等は、電子ビーム蒸着法やイオンプレーティング法や高密度プラズマアシスト蒸着法などの各種真空蒸着法に用いる蒸着源タブレットとして、高強度の電子ビームを投入しても該タブレットに割れやクラックの発生がなく、成膜を中断することなしに、安定に成膜することができる蒸着源タブレットを得ることを目的に、ガリウムとインジウムを含む酸化物(Ga−In−O)を主として含有した酸化物焼結体タブレット(以下、GIO系酸化物焼結体タブレットと記す場合がある)、ガリウムの酸化物を主として含有した酸化物焼結体タブレット(以下、GO酸化物焼結体と記す場合がある)を様々な製造条件にて作製して、種々の密度の蒸着用タブレットを作製し、研究開発を鋭意進めた。
また、GIO系及びGOの酸化物焼結体タブレットの平均結晶粒径が所定の大きさ以下であり、比抵抗が所定の値以下であると、長時間安定して高い電子ビームを投入することが可能であり、高速成膜が持続できることも見出し、本発明に至った。
本発明に係るGIO系またはGOの酸化物焼結体は、ガリウムが全金属原子数に対して35原子%以上100原子%以下の割合で含有し、密度が3.4g/cm3以上5.5g/cm3以下であることを特徴としている。
1)ホットプレス焼結法
GIO系酸化物焼結体のホットプレス焼結法による製造においては、平均粒径が1μm以下のIn2O3粉末、および平均粒径が1μm以下のGa2O3粉末を原料粉末とし、In2O3粉末とGa2O3粉末を、所定の組成になるような割合で調合する。これらの原料を乾式ボールミル、Vブレンダーなどで均一に混合し、カーボン容器中に給粉してホットプレス法により焼結する。焼結温度は700〜1000℃、圧力は2.45MPa〜29.40MPa(25kgf/cm2〜300kgf/cm2)、焼結時間は1〜10時間程度とすればよい。ホットプレス中の雰囲気はArガス等の不活性ガス中または真空中が好ましい。
GIO系酸化物焼結体の常圧焼結法による製造においては、平均粒径が1μm以下のIn2O3粉末、および平均粒径が1μm以下のGa2O3粉末を原料粉末とし、In2O3粉末とGa2O3粉末を、所定の組成になるような割合で調合する。これらの原料を樹脂製ポットに入れ、湿式ボールミル等で混合する。この際、混合用ボールとしては、硬質ZrO2ボールを用いればよい。混合後、スラリーを取り出し、濾過、乾燥、造粒を行う。その後、該造粒物に、冷間静水圧プレスで9.8MPa(0.1ton/cm2)〜294MPa(3ton/cm2)程度の圧力をかけて成形する。次に、得られた成形体を、焼結炉内の大気に酸素を導入した雰囲気で、1000℃〜1250℃で1〜10時間程度かけて焼結する(常圧焼結法)。この際、炉内の均熱を悪化させないように、約1℃/分で昇温し、焼結後の冷却の際は、酸素導入を止め、1000℃までを約10℃/分で降温することが好ましい。また、焼結炉内に導入する酸素量は、炉内容積0.1m3当たり3〜8リットル/分の割合で流すことが好ましい。導入量を低下させるとGa2O3、In2O3の揮発が激しくなり、所定組成の焼結体を得ることが難しくなる。導入量を増加させると炉内の均熱を悪化させる。
本発明に係る酸化物焼結体を用い、電子ビーム蒸着法やイオンプレーティング法や高密度プラズマアシスト蒸着法などの真空蒸着法で、上記のような手順で酸化物透明導電膜を作製すると、低抵抗で可視域から近赤外域までの透過率が大きい酸化物透明導電膜を得ることができる。
(実施例1〜6)<ホットプレス法によるGIO系酸化物焼結体タブレット(3.4〜5.5g/cm3)の作製>
平均粒径が1μm以下のIn2O3粉末、および平均粒径が1μm以下のGa2O3粉末を原料粉末とし、In2O3粉末とGa2O3粉末を、Ga/(Ga+In)の原子数比で48原子%となるような割合で調合した。これらの原料を乾式ボールミルで均一に混合し、カーボン製容器(寸法:40mmΦ×50mm)中に給粉して各条件でホットプレス法を用いて焼結した。焼結温度は700〜900℃、圧力は2.45MPa(25kgf/cm2)〜29.40MPa(300kgf/cm2)の範囲から選択し、焼結時間は1時間で一定とした。雰囲気は不活性ガス(Arガス)中で行った。
また、酸化物焼結体の電子ビーム照射面に対し、四端針法抵抗率計ロレスタEP(ダイアインスツルメンツ社製、MCP−T360型)で電子ビーム照射面である円形面の表面抵抗を測定して比抵抗を算出したところ、0.9kΩcm以下であった。また、全ての酸化物焼結体に対してICP発光分析法で組成分析を行ったところ、仕込み組成(原料粉末の調合割合に基づく組成)を有することがわかった。
実施例1〜6のタブレットについて、各々20個ずつ、上記の条件で耐久試験を行ったが、全て割れやクラックは発生しなかった。このようなタブレットを用いることで、安定に高速成膜を行うことができることが確認された。
また、膜の10μm×10μmの領域における中心線平均表面粗さ(Ra)を原子間力顕微鏡(デジタルインスツルメンツ社製、NS−III、D5000システム)で測定した。膜の結晶性はCuKα線を用いたX線回折測定で測定した。膜の組成はICP発光分析法で測定した。
焼結温度を700℃、焼結時間を0.5時間、焼結圧力を4.91MPaとした以外は、実施例1と同じ条件でホットプレス焼結法で酸化物焼結体タブレットを作製したところ、密度は3.1g/cm3であった。測定結果を表1に示す。
さらに、実施例1と同様に酸化物焼結体タブレットの耐久試験を実施した。20個のタブレットについて試験を行ったところ、全て、割れてしまった。
このようなタブレットを用いたのでは、安定に高速成膜を行うことができない。測定結果を表1に示す。
焼結温度を900℃、焼結時間を4時間、焼結圧力を29.40MPaとした以外は、実施例1と同じ条件でホットプレス焼結法で酸化物焼結体タブレットを作製したところ、密度は5.7g/cm3であった。測定結果を表1に示す。
酸化物焼結体の破断面の走査型電子顕微鏡(日立製作所社製、S−800)による観察から、酸化物焼結体中の100個の結晶粒径の平均値を求めたところ、4μmであった。
また、酸化物焼結体の電子ビーム照射面に対し、四端針法抵抗率計ロレスタEP(ダイアインスツルメンツ社製、MCP−T360型)で電子ビーム照射面である円形面の表面抵抗を測定して比抵抗を算出したところ、0.9kΩcm以下であった。また、全ての酸化物焼結体に対してICP発光分析法で組成分析を行ったところ、仕込み組成(原料粉末の調合割合に基づく組成)を有することがわかった。
さらに、実施例1と同様に酸化物焼結体タブレットの耐久試験を実施した。20個のタブレットについて試験を行ったところ、7個にクラックが入っていた。このようなタブレットを用いたのでは、安定に高速成膜を行うことができない。測定結果を表1に示す。
焼結温度を1030℃、焼結時間を1時間、焼結圧力を14.70MPaとした以外は、実施例1と同じ条件でホットプレス焼結法で酸化物焼結体タブレットを作製したところ、密度は5.4g/cm3であった。測定結果を表1に示す。
酸化物焼結体の破断面の走査型電子顕微鏡(日立製作所社製、S−800)による観察から、酸化物焼結体中の100個の結晶粒径の平均値を求めたところ、8μmであった。
また、酸化物焼結体の電子ビーム照射面に対し、四端針法抵抗率計ロレスタEP(ダイアインスツルメンツ社製、MCP−T360型)で電子ビーム照射面である円形面の表面抵抗を測定して比抵抗を算出したところ、0.6kΩcm以下であった。また全ての酸化物焼結体に対してICP発光分析法で組成分析を行ったところ、仕込み組成(原料粉末の調合割合に基づく組成)を有することがわかった。
さらに、実施例1と同様に酸化物焼結体タブレットの耐久試験を実施した。20個のタブレットについて試験を行ったところ、15個にクラックが入っていた。このようなタブレットを用いたのでは、安定に高速成膜を行うことができない。測定結果を表1に示す。
平均粒径が1μm以下のIn2O3粉末、および平均粒径が1μm以下のGa2O3粉末を原料粉末とし、In2O3粉末とGa2O3粉末を、Gaが全金属原子に対して46原子%となるような割合で調合し、樹脂製ポットに入れ、湿式ボールミルで混合した。この際、硬質ZrO2ボールを用い、混合時間を18時間とした。混合後、スラリーを取り出し、濾過、乾燥、造粒した。
造粒物に、冷間静水圧プレスで294MPa(3ton/cm2)の圧力を掛けて成形した。
次に、成形体を次のように焼結した。焼結炉内の大気に、炉内容積0.1m3当たり5リットル/分の割合の酸素を導入する雰囲気で、1000〜1250℃で2時間焼結した(常圧焼結法)。この際、1℃/分で昇温し、焼結後の冷却の際は、酸素導入を止め、900℃までを10℃/分で降温した。
各酸化物焼結体の破断面の走査型電子顕微鏡(日立製作所社製、S−800)による観察から、酸化物焼結体中の100個の結晶粒径の平均値を求めたところ、2〜7μmであった。また、酸化物焼結体の電子ビーム照射面に対し、四端針法抵抗率計ロレスタEP(ダイアインスツルメンツ社製、MCP−T360型)で電子ビーム照射面である円形面の表面抵抗を測定して比抵抗を算出したところ、0.9kΩcm以下であった。また、全ての酸化物焼結体に対してICP発光分析法で組成分析を行ったところ、仕込み組成(原料粉末の調合割合に基づく組成)を有することがわかった。
焼結温度を950℃とした以外は、実施例7と全く同様の手順・条件で、Ga/(Ga+In)が46原子%の酸化物焼結体を常圧焼結法で製造した。
得られた酸化物焼結体を、実施例と同様の条件で評価したところ、密度は3.2g/cm3であった。測定結果を表2に示す。
酸化物焼結体の破断面の走査型電子顕微鏡(日立製作所社製、S−800)による観察から、酸化物焼結体中の100個の結晶粒径の平均値を求めたところ、いずれも2〜8μmであった。また、酸化物焼結体の電子ビーム照射面に対し、四端針法抵抗率計ロレスタEP(ダイアインスツルメンツ社製、MCP−T360型)で電子ビーム照射面である円形面の表面抵抗を測定して比抵抗を算出したところ、1kΩcmであった。また、全ての酸化物焼結体に対してICP発光分析法で組成分析を行ったところ、仕込み組成(原料粉末の調合割合に基づく組成)を有することがわかった。
焼結温度を1300℃とした以外は、実施例7と全く同様の手順・条件で、Ga/(Ga+In)が46原子%の酸化物焼結体を常圧焼結法で製造した。
得られた酸化物焼結体を、実施例と同様の条件で評価したところ、密度は5.8g/cm3であった。測定結果を表2に示す。
酸化物焼結体の破断面の走査型電子顕微鏡(日立製作所社製、S−800)による観察から、酸化物焼結体中の100個の結晶粒径の平均値を求めたところ、いずれも8μmであった。
また、酸化物焼結体の電子ビーム照射面に対し、四端針法抵抗率計ロレスタEP(ダイアインスツルメンツ社製、MCP−T360型)で電子ビーム照射面である円形面の表面抵抗を測定して比抵抗を算出したところ、0.7kΩcmであった。また、全ての酸化物焼結体に対してICP発光分析法で組成分析を行ったところ、仕込み組成(原料粉末の調合割合に基づく組成)を有することがわかった。
平均粒径が約10μmのIn2O3粉末を用いた以外は実施例10と同様の条件で酸化物焼結体タブレットを作製したところ、密度は4.5g/cm3であった。また、酸化物焼結体の電子ビーム照射面に対し、四端針法抵抗率計ロレスタEP(ダイアインスツルメンツ社製、MCP−T360型)で電子ビーム照射面である円形面の表面抵抗を測定して比抵抗を算出したところ、0.9kΩcm以下であった。
また、酸化物焼結体の組成分布を調査するため、破断面についてEPMAによる面分析を行ったところ、各結晶粒内で各構成金属元素は均一に分布していた。また、全ての酸化物焼結体に対してICP発光分析法で組成分析を行ったところ、仕込み組成(原料粉末の調合割合に基づく組成)を有することがわかった。
焼結体の破断面の走査型電子顕微鏡(日立製作所社製、S−800)による観察から、焼結体中の100個の結晶粒径の平均値を求めたところ、25μmと実施例1〜9のもの(10μm以下)と比べて大きかった。
焼結体作製時、常圧焼結後の冷却の際に焼結炉内に導入していた酸素を止めずに5リットル/分の割合で酸素導入したまま降温した以外は、実施例10と同様の条件で酸化物焼結体タブレットを作製したところ、得られた酸化物焼結体タブレットの密度は4.7g/cm3であった。
得られた酸化物焼結体を乳鉢で粉砕して、CuKα線を用いた粉末X線回折測定、透過型電子顕微鏡と電子線回折測定を用いて、含まれる相の同定を行ったところ、β−Ga2O3型構造を有する酸化ガリウムインジウム結晶相(β−GaInO3相)、(Ga,In)2O3結晶相で構成されていた。
また、酸化物焼結体の組成分布を調査するため、破断面についてEPMAによる面分析を行ったところ、各結晶粒内で各構成金属元素は均一に分布していた。また、全ての酸化物焼結体に対してICP発光分析法で組成分析を行ったところ、仕込み組成(原料粉末の調合割合に基づく組成)を有することがわかった。
Ga/(Ga+In)で示した酸化物焼結体中のGa原子数量が35原子%(実施例12)、65原子%(実施例13)、80原子%(実施例14)、95原子%(実施例15)の酸化物焼結体について、実施例7〜8で記した製造条件で製造して評価したが、実施例7〜8と全く同様の結果であった。即ち、ビックスバイト型構造の酸化インジウム相(In2O3相)、α−Ga2O3型構造或いはβ−Ga2O3型構造の酸化ガリウム相(Ga2O3型構造)、β−Ga2O3型構造を有する酸化ガリウムインジウム相(β−GaInO3相)、もしくは(Ga,In)2O3相のうちから選ばれる一つ以上の相によって構成されているが金属相が含まれない、焼結体密度が3.4〜5.5g/cm3の酸化物焼結体が得られた。これらの酸化物焼結体から、同様の耐久試験で割れが生じないタブレットが得られることが確認された。
得られた酸化物透明導電膜について実施例1〜6と同様の方法で評価した。
Ga/(Ga+In)で示した酸化物焼結体中のGa原子数量が35原子%(比較例8)、65原子%(比較例9)、80原子%(比較例10)、95原子%(比較例11)の酸化物焼結体について、比較例4〜7で記した製造条件で製造して評価したが、比較例4〜7と全く同様の結果であった。つまり、焼結体密度が3.4g/cm3より少ない酸化物焼結体、5.5g/cm3より多い酸化物焼結体、或いは、焼結体の結晶粒径の平均値が10μmを超えた酸化物焼結体、比抵抗が1kΩcmを超えた酸化物焼結体が得られて、同様の耐久試験で割れてしまう耐久性に劣ったタブレットしか得られなかった。
原料粉末に平均粒径が1μm以下のGa2O3粉末を用いたことと、乾式ボールミルによる混合工程を行わなかったこと以外は、実施例1〜6と同様の条件でホットプレス法で酸化ガリウム焼結体を製造した。
酸化物焼結体の破断面の走査型電子顕微鏡(日立製作所社製、S−800)による観察から、酸化物焼結体中の100個の結晶粒径の平均値を求めたところ、いずれも4〜9μmであった。また、酸化物焼結体の電子ビーム照射面に対し、四端針法抵抗率計ロレスタEP(ダイアインスツルメンツ社製、MCP−T360型)で電子ビーム照射面である円形面の表面抵抗を測定して比抵抗を算出したところ、0.9kΩcm以下であった。また、全ての酸化物焼結体に対してICP発光分析法で組成分析を行ったところ、Ga以外の金属元素は含まれていないことを確認した。
また、膜の10μm×10μmの領域における中心線平均表面粗さ(Ra)を原子間力顕微鏡(デジタルインスツルメンツ社製、NS−III、D5000システム)で測定した。膜の結晶性はCuKα線を用いたX線回折測定、透過型電子顕微鏡と電子線回折測定を用いて、含まれる相の同定で測定した。膜の組成はICP発光分析法で測定した。
焼結温度を700℃、焼結時間を0.5時間、焼結圧力を4.91MPaとした以外は、実施例16と同じ条件でホットプレス焼結法で酸化物焼結体タブレットを作製したところ、密度は3.0g/cm3であった。測定結果を表3に示す。
また、酸化物焼結体の破断面の走査型電子顕微鏡(日立製作所社製、S−800)による観察から、酸化物焼結体中の100個の結晶粒径の平均値を求めたところ、いずれも4〜9μmであった。
焼結温度を900℃、焼結時間を3時間、焼結圧力を29.40MPaとした以外は、実施例16と同じ条件でホットプレス焼結法で酸化物焼結体タブレットを作製したところ、密度は5.8g/cm3であった。測定結果を表3に示す。
焼結温度を1050℃、焼結時間を1時間、焼結圧力を14.70MPaとした以外は、実施例16と同じ条件でホットプレス焼結法で酸化物焼結体タブレットを作製したところ、密度は5.2g/cm3であった。測定結果を表3に示す。
実施例1〜21、比較例1〜12の酸化物焼結体タブレットを用いて、プラズマガンを用いた高密度プラズマアシスト蒸着法(HDPE法)による成膜を行い、酸化物焼結体タブレットとしての耐久性を調べた。その結果、実施例1〜21、比較例1〜12で得られた結果と同様の傾向を示しており、密度が3.4〜5.5g/cm3の酸化物焼結体タブレットを使用することで、割れやクラックの発生しない蒸着用タブレットが得られることがわかった。さらに、酸化物焼結体中に金属相が含まれないこと、酸化物焼結体の結晶粒径の平均値が10μm以下であること、さらに比抵抗が1kΩcm以下であることも、割れやクラックが生じずに安定に成膜するのに重要であることが確認された。
Claims (5)
- 主としてガリウムおよびインジウムおよび酸素からなるか、あるいは、主としてガリウムおよび酸素からなる酸化物焼結体であって、ガリウムが全金属原子に対して35原子%以上100原子%以下の割合で含まれ、密度が3.4g/cm3以上5.5g/cm3以下であって、金属インジウム、金属ガリウム、或いはこれらの固溶体の金属相が含まれていないことを特徴とする酸化物焼結体。
- 主としてガリウムおよびインジウムおよび酸素からなるか、あるいは、主としてガリウムおよび酸素からなる酸化物焼結体が、ビックスバイト型構造の酸化インジウム相(In2O3相)、α−Ga2O3型構造或いはβ−Ga2O3型構造の酸化ガリウム相(Ga2O3型構造)、β−Ga2O3型構造を有する酸化ガリウムインジウム相(β−GaInO3相)、(Ga,In)2O3相、もしくはこれらの化合物に酸素欠損が存在する化合物相のうちから選ばれる一つ以上の相によって構成されていることを特徴とする請求項1に記載の酸化物焼結体。
- 前記酸化物焼結体の結晶粒径の平均値が10μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の酸化物焼結体。
- 比抵抗が1kΩcm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の酸化物焼結体。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の酸化物焼結体を用いて真空蒸着法で製造することを特徴とする酸化物透明導電膜の製造方法。
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