JP2005347215A - 透明導電膜、透明導電膜製造用焼結体ターゲット、透明導電性基材及びそれを用いた表示デバイス - Google Patents
透明導電膜、透明導電膜製造用焼結体ターゲット、透明導電性基材及びそれを用いた表示デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005347215A JP2005347215A JP2004168868A JP2004168868A JP2005347215A JP 2005347215 A JP2005347215 A JP 2005347215A JP 2004168868 A JP2004168868 A JP 2004168868A JP 2004168868 A JP2004168868 A JP 2004168868A JP 2005347215 A JP2005347215 A JP 2005347215A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent conductive
- film
- conductive film
- less
- phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/086—Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B5/00—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
- H01B5/14—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form comprising conductive layers or films on insulating-supports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3286—Gallium oxides, gallates, indium oxides, indates, thallium oxides, thallates or oxide forming salts thereof, e.g. zinc gallate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
- C04B2235/6567—Treatment time
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
- C04B2235/6583—Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures
- C04B2235/6585—Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures at an oxygen percentage above that of air
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/77—Density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12611—Oxide-containing component
- Y10T428/12618—Plural oxides
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
- Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
- Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/24992—Density or compression of components
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/269—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension including synthetic resin or polymer layer or component
Abstract
【解決手段】透明導電膜は、Ga、In及びOからなる非晶質酸化物膜であって、Gaを全金属原子に対して35原子%以上45原子%以下含有し、比抵抗が1.2×10-3Ω・cm以上8.0×10-3Ω・cm以下であり、膜厚が500nm以下であり、波長380nmにおける光透過率が45%以上である。
【選択図】なし
Description
しかし、最近、有機もしくは無機ELや電子ペーパーなど、新しい表示デバイスの開発が進むとともに、透明導電膜への要求も多様化し、通常のITO結晶膜では、もはや対応できなくなってきている。
他に、特許文献5には、四価原子のような異価ドーバントを少量ドープしたガリウム・インジウム酸化物(GaInO3)は、透明性が増し、屈折率整合が改善され、現在用いられている広禁制帯半導体と同程度の電気伝導率が実現できることが記載されている。この膜は可視光短波長域で高い光透過率を得ることができるが、前述した結晶膜に由来する膜表面の突起状組織や、曲げに対する割れ易さが欠点として残っている。また、350℃程度の高い基板温度が必要となることから、製造プロセスとしても不利である。
In2O3相(400)/β―GaInO3相(111)×100 [%]
本発明者等は、上記課題を解決するため鋭意研究した結果、透明基板上に多くの酸化物膜を形成し、その光学特性や非晶質膜の作製する容易さ等について調査を行った。その中から、Ga、InおよびOからなる非晶質酸化物膜であって、かつGaを全金属原子に対して35原子%以上45原子%以下含有し、比抵抗値が1.2×10-3Ω・cm以上8.0×10-3Ω・cm以下であり、膜厚500nm以下で、波長380nmにおける光透過率が45%以上である、曲げに対して割れにくい透明導電膜が得られることを見出し、本発明に至った。
In2O3相(400)/β―GaInO3相(111)×100 [%]
本発明の透明導電膜は、Ga、InおよびOからなる非晶質酸化物膜であって、かつGaを全金属原子に対して35原子%以上45原子%以下含有し、比抵抗値が1.2×10-3Ω・cm以上8.0×10-3Ω・cm以下であり、膜厚500nm以下で、波長380nmにおける光透過率が45%以上である透明導電膜である。
スパッタリング法を用いて本発明の透明導電膜を作製する場合、本発明の可視光短波長域で高い光透過率を有する非晶質透明導電膜を得るためには、本発明のターゲットを用いることが重要である。
In2O3相(400)/β−GaInO3相(111)×100 [%]
ここで、In2O3相は酸素欠損が導入されたものでもよく、Inの一部にGaが置換されたものでもよい。またβ―GaInO3相はGa/In原子数比が化学量論組成から多少ずれたものでもよく、酸素欠損が導入されたものでもよい。
成膜条件によってターゲット組成と非晶質組成がほぼ同等とならない場合は、この限りではない。
さらに、本発明の透明導電膜製造用焼結体ターゲット比抵抗値は、4.0×10-2Ω・cm以下であることが好ましい。
また、本発明の薄膜製造用焼結ターゲットの作製工程において、原料粉末の解砕後の平均粒径や焼結条件などによっては、GaInO3相とは異なる(Ga,In)2O3相や不可避生成相のGa2O3相が生成する場合がある。
(Ga,In)2O3相による反射(2θ=28°近傍)/(In2O3相(400) +β−GaInO3相(111))×100[%]
ここで(Ga,In)2O3相による反射(2θ=28°近傍)と記述しているが、JCPDSカード(ASTMカード)によれば、(Ga,In)2O3相の結晶構造と面指数は特定されておらず、面間隔とX線回折相対強度比のみが特定されているためである。上式で80%を超える(Ga,In)2O3相を含む薄膜製造用焼結体ターゲットを用いた場合でも、形成された非晶質透明導電膜は、可視光短波長域で高い光透過率を示す。しかし、(Ga,In)2O3単相の焼結体は5〜10Ω・cm程度の高い比抵抗を示すため、薄膜製造用焼結体ターゲット中に上式で80%を超える量の(Ga,In)2O3相が含まれると、この焼結体ターゲットを用いてスパッタリングを行った場合成膜速度が低下し、生産性が悪くなる。したがって、上式で80%以下であることが好ましい。なお、Ga2O3等未反応物などの不可避不純物については、X繰回折でピークが観測されない程度であれば含まれていても良い。
また、本発明の薄膜製造用焼結体ターゲットは、比抵抗値が4.0×10-2Ω・cm以下であることが好ましい。比抵抗値が4.0×10-2Ω・cmを超える場合、DCマグネトロンスパッタリングが可能であっても、成膜速度が低下するため、生産性が低くなる。
本発明の透明導電性基材は、ガラス板、石英板、樹脂板および樹脂フィルムから選ばれた透明基板の片面もしくは両面上に、本発明の薄膜製造用焼結体ターゲットを用いて、本発明の透明導電膜を形成してなる。
また、ガスバリア膜には、無機膜に限らず、有機膜を含んでもよい。
作製された膜の比抵抗は、三菱化学製LORESTA−IP、MCP−T250を用いて四探針法にて測定した。また、波長380nmにおける光透過率は分光光度計(日立製作所製U−4000)を用いて測定した。また、算術平均高さRaは、原子間力顕微鏡(Digital Instruments製Nanoscope III)を用いて測定した。さらに、作製された膜の結晶構造は、X線回折(理学電機工業製、CuKα線使用)から同定した。また、ICP発光分光分析法(セイコーインスツルメンツ製SPS4000使用)によって焼結体ターゲットならびに膜組成を調べた。焼結体の密度は、アルキメデス法(東洋精機製作所製高精度自働比重計使用)で測定した。
純度4NのGa2O3粉末およびIn2O3粉末を、それぞれ平均粒径3μm以下にボールミル解砕して調整した。その後、Ga/(Ga+In)で表されるGaが40原子%となるよう配合し、有機バインダ、分散剤ならびに可塑剤とともにボールミルによって48時間混合し、スラリーを作製した。続いて、得られたスラリーを、スプレードライヤーによって噴霧乾燥し、造粒粉末を作製した。
これらの焼結体のGa量、密度、比抵抗、ならびにX線回折によって得られたIn2O3相(400)/β−GaInO3相(111)ピーク強度比を図1に示した。また、図2には焼結温度1400℃で得た焼結体のX線回折パターンを示した。β−GaInO3相のピークについては面指数のみを示した。
図1に、各ターゲットで成膜した膜について、波長380nmにおける光透過率、比抵抗、ならびに算術平均高さRaの測定結果を示した。なお、ICP分析によって、膜組成とターゲット組成は、ほぼ同等であることを確認した。
膜厚が100nmならびに500nmになるよう成膜時間を調整し、実施例3と同様の方法で成膜した。図2に、各膜の波長380nmにおける光透過率、比抵抗、ならびに算術平均高さRaの測定結果を示した。なお、ICP分析によって膜組成とターゲット組成はほぼ同等であることを確認した。
Ga/(Ga+In)で表されるGaを35ならびに45原子%に変更して、実施例3と同様の条件にてターゲットを作製し、膜厚が100,200ならびに500nmになるよう時間調整して、実施例3と同様に成膜を行った。
図1に、各膜の波長380nmにおける光透過率、比抵抗、ならびに算術平均高さRaの測定結果を示した。なお、ICP分析によって、膜組成とターゲット組成は、ほぼ同等であることを確認した。
厚さ50μmのPETフィルムの片面のみ、もしくは両面に、酸化窒化シリコンを形成してなる基板を用意し、酸化窒化シリコン基板上に実施例3と同様の成膜条件で室温成膜を行い、透明導電性基材を作製した。
図4に、各基材の波長380nmにおける光透過率、比抵抗、ならびに算術平均高さRaの測定結果を示した。
厚さ188μmの片面ハードコート層付きPETフィルムの、ハードコート層とは反対の面に、表面抵抗値が400Ω/□となるように、実施例3と同様の条件で室温成膜を行い、透明導電性基材を作製した。
次に、透明ガラス基板上にも、表面抵抗値が400Ω/□となるようにGaInO膜を室温成膜して、透明導電性基材を作製した。
これら2種類の透明導電性基材をディスプレイと組合せて、抵抗式タッチパネルを作製した。
そして、視認性を調べたところ、透明導電膜にITOを用いたものと比較して、紫〜青色の色調の視認性が良好であることが確認された。
Ga/(Ga+In)で表されるGaを30および50原子%に変更して、実施例3と同じ条件で焼結体ターゲットを作製した。これらの焼結体のGa量、密度、比抵抗、ならびにX線回折によって得られたIn2O3相(400)/β−GaInO3相(111)ピーク強度比を図1に示した。これらのターゲットを用いて、実施例3と同様の成膜条件で室温成膜を行った。このとき、膜厚は100nm,200nmおよび500nmになるよう成膜時間を調整した。
図1に波長380nmにおける光透過率、比抵抗、算術平均高さRaならびにX線回折から同定された結晶構造を示した。
実施例3と同様の焼結体ターゲットを、焼結温度1100℃ならびに1200℃に変更して作製した。図1に、焼結体の密度および比抵抗を示した。なお、X線回折によって構造解析を行ったところ、焼結温度1100℃の場合、β−GaInO3相はほとんど生成せず、(Ga,In)2O3相とIn2O3相のみが生成していた。したがって、In2O3相(400)/β−GaInO3相(111)ピーク強度比を求めることができなかった。なお、In2O3相(400)のピーク強度は実施例1〜3より高く、多量のIn2O3相が生成していることが明らかであった。図1に、1200℃のIn2O3相(400)/β−GaInO3相(111)ピーク強度比のみを示した。
実施例1と同様の成膜条件でITO(10重量%SnO2)の室温成膜を行った。このとき、膜厚は200nmになるよう成膜時間を調整した。図1に比抵抗、波長380nmにおける光透過率、算術平均高さRaならびにX緑回折から同定された結晶構造を示した。
図1の実施例1〜11の結果から、Ga、InおよびOからなり、かつGa/(Ga+In)で表されるGaを35原子%以上45原子%以下含有する本発明の透明導電膜の特徴がわかる。すなわち、該膜は、算術平均高さRaが2.0nmよりも小さい、膜面が極めて平坦な非晶質膜であり、かつ波長380nmにおいて、膜厚500nm以下では50%以上、膜厚300nm以下では55%以上、さらに膜厚100nm以下では65%以上の光透過率を有し、かつ8.0×10-3Ω・cm以下の表示デバイスとして必要にして十分な比抵抗を有する。
In2O3相(400)/β−GaInO3相(111)×100 [%]
Claims (9)
- Ga、In及びOからなる非晶質酸化物膜であって、前記Gaを全金属原子に対して35原子%以上45原子%以下含有し、比抵抗が1.2×10-3Ω・cm以上8.0×10-3Ω・cm以下であり、膜厚が500nm以下であり、波長380nmにおける光透過率が45%以上であることを特徴とする透明導電膜。
- 膜厚が200nm以下で、波長200nmにおける光透過率が60%以上であることを特徴とする請求項1に記載の透明導電膜。
- 膜厚が100nm以下で、波長380nmにおける光透過率が65%以上であることを特徴とする請求項1に記載の透明導電膜。
- 算術平均高さRaが2.0nm以下であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の透明導電膜。
- Ga、In及びOからなり、前記Gaを全金属原子に対して35原子%以上45原子%以下含有し、主にβ―Ga2O3型構造のGaInO3相とビックスバイト型構造のIn2O3相から構成され、且つ下記の式で定義されるX線回折ピーク強度比が50%以上110%以下であり、密度が5.8g/cm3以上であることを特徴とする透明導電膜製造用焼結体ターゲット。
In2O3相(400)/β―GaInO3相(111)×100 [%] - 比抵抗が4.0×10-2Ω・cm以下であることを特徴とする請求項5に記載の透明導電膜製造用焼結体ターゲット。
- ガラス板、石英板、樹脂板及び樹脂フィルムの一つから選ばれた透明基板の片面若しくは両面に、請求項5または6に記載の透明導電膜製造用焼結体ターゲットを用いて、請求項1乃至4の何れか1項に記載の透明導電膜を形成してなることを特徴とする透明導電性基材。
- 樹脂板または樹脂フィルムから選ばれた透明基板の片面若しくは両面に、窒化シリコン、酸化窒化シリコンまたは酸化シリコンから選ばれた何れか1種類上のガスバリア膜と、請求項5または6に記載の透明導電膜製造用焼結体ターゲットを用いて、請求項1乃至4の何れか1項に記載の透明導電膜を順に形成してなることを特徴とする透明導電性基材。
- 請求項7または8に記載の透明導電性基材を用いた表示デバイス。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004168868A JP4539181B2 (ja) | 2004-06-07 | 2004-06-07 | 透明導電膜、透明導電膜製造用焼結体ターゲット、透明導電性基材及びそれを用いた表示デバイス |
KR1020067025724A KR101184353B1 (ko) | 2004-06-07 | 2005-06-06 | 투명도전막, 투명도전막 제조용 소결체 타겟, 투명도전성기재 및 이를 이용한 표시 디바이스 |
TW094118617A TW200614278A (en) | 2004-06-07 | 2005-06-06 | Transparent conductive film, sintered target for production of transparent conductive film, transparent conductive base material and display device utilizing the same |
CNB2005800185929A CN100547696C (zh) | 2004-06-07 | 2005-06-06 | 透明导电膜、透明导电膜制造用烧结体靶、透明导电性基材以及使用其的显示装置 |
US11/579,978 US20080032106A1 (en) | 2004-06-07 | 2005-06-06 | Transparent Conductive Film, Sintered Body Target for Transparent Conductive Film Fabrication, and Transparent Conductive Base Material and Display Device Using the Same |
PCT/JP2005/010358 WO2005122186A1 (ja) | 2004-06-07 | 2005-06-06 | 透明導電膜、透明導電膜製造用焼結体ターゲット、透明導電性基材及びそれを用いた表示デバイス |
US12/558,857 US7960033B2 (en) | 2004-06-07 | 2009-09-14 | Transparent conductive film, sintered body target for transparent conductive film fabrication, and transparent conductive base material and display device using the same |
US12/579,016 US7998603B2 (en) | 2004-06-07 | 2009-10-14 | Transparent conductive film, sintered body target for transparent conductive film fabrication, and transparent conductive base material and display device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004168868A JP4539181B2 (ja) | 2004-06-07 | 2004-06-07 | 透明導電膜、透明導電膜製造用焼結体ターゲット、透明導電性基材及びそれを用いた表示デバイス |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005347215A true JP2005347215A (ja) | 2005-12-15 |
JP2005347215A5 JP2005347215A5 (ja) | 2006-06-29 |
JP4539181B2 JP4539181B2 (ja) | 2010-09-08 |
Family
ID=35499385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004168868A Active JP4539181B2 (ja) | 2004-06-07 | 2004-06-07 | 透明導電膜、透明導電膜製造用焼結体ターゲット、透明導電性基材及びそれを用いた表示デバイス |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US20080032106A1 (ja) |
JP (1) | JP4539181B2 (ja) |
KR (1) | KR101184353B1 (ja) |
CN (1) | CN100547696C (ja) |
TW (1) | TW200614278A (ja) |
WO (1) | WO2005122186A1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007224386A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 透明導電膜製造用焼結体ターゲット及びそれを用いて製造される透明導電膜、透明導電性基材 |
JP2007277039A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 酸化物焼結体及びそれを用いた酸化物透明導電膜の製造方法 |
WO2009008297A1 (ja) | 2007-07-06 | 2009-01-15 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | 酸化物焼結体とその製造方法、ターゲット、及びそれを用いて得られる透明導電膜ならびに透明導電性基材 |
KR20110083601A (ko) | 2008-09-19 | 2011-07-20 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 산화물 소결체 및 스퍼터링 타겟 |
JP2011195963A (ja) * | 2011-06-24 | 2011-10-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 透明導電膜製造用焼結体ターゲット |
US8415198B2 (en) | 2006-08-23 | 2013-04-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Production method of thin film transistor using amorphous oxide semiconductor film |
JP5348132B2 (ja) * | 2008-04-16 | 2013-11-20 | 住友金属鉱山株式会社 | 薄膜トランジスタ型基板、薄膜トランジスタ型液晶表示装置および薄膜トランジスタ型基板の製造方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4888119B2 (ja) * | 2004-09-13 | 2012-02-29 | 住友金属鉱山株式会社 | 透明導電膜及びその製造方法、並びに透明導電性基材、発光デバイス |
JP4816116B2 (ja) * | 2006-02-08 | 2011-11-16 | 住友金属鉱山株式会社 | スパッタリングターゲット用酸化物焼結体および、それを用いて得られる酸化物膜、それを含む透明基材 |
EP2148240B1 (en) * | 2007-05-22 | 2015-02-25 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Transparent electrode |
JP5397369B2 (ja) * | 2008-03-06 | 2014-01-22 | 住友金属鉱山株式会社 | 半導体発光素子、該半導体発光素子の製造方法および該半導体発光素子を用いたランプ |
JP2012169344A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Sony Corp | 薄膜トランジスタならびに表示装置および電子機器 |
US20170077243A1 (en) * | 2014-03-14 | 2017-03-16 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Sintered oxide, sputtering target, and oxide semiconductor thin film obtained using sputtering target |
GB201705755D0 (en) | 2017-04-10 | 2017-05-24 | Norwegian Univ Of Science And Tech (Ntnu) | Nanostructure |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09259640A (ja) * | 1996-03-25 | 1997-10-03 | Uchitsugu Minami | 透明導電膜 |
JP2003335552A (ja) * | 2002-05-21 | 2003-11-25 | Asahi Glass Co Ltd | Ito膜付き基体、およびその製造方法、ならびにそれを有する有機el素子 |
JP2004050643A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 薄膜積層体 |
JP2004095240A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Mitsui Chemicals Inc | 透明電極 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5652062A (en) * | 1993-10-27 | 1997-07-29 | Lucent Technologies Inc. | Devices using transparent conductive GaInO3 films |
KR101081871B1 (ko) * | 2004-02-27 | 2011-11-09 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 투명도전막 및 그것을 이용한 투명 도전성 기재 |
JP4888119B2 (ja) * | 2004-09-13 | 2012-02-29 | 住友金属鉱山株式会社 | 透明導電膜及びその製造方法、並びに透明導電性基材、発光デバイス |
JP4816116B2 (ja) * | 2006-02-08 | 2011-11-16 | 住友金属鉱山株式会社 | スパッタリングターゲット用酸化物焼結体および、それを用いて得られる酸化物膜、それを含む透明基材 |
JP4816137B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2011-11-16 | 住友金属鉱山株式会社 | 透明導電膜及び透明導電性基材 |
-
2004
- 2004-06-07 JP JP2004168868A patent/JP4539181B2/ja active Active
-
2005
- 2005-06-06 WO PCT/JP2005/010358 patent/WO2005122186A1/ja active Application Filing
- 2005-06-06 TW TW094118617A patent/TW200614278A/zh unknown
- 2005-06-06 US US11/579,978 patent/US20080032106A1/en not_active Abandoned
- 2005-06-06 CN CNB2005800185929A patent/CN100547696C/zh active Active
- 2005-06-06 KR KR1020067025724A patent/KR101184353B1/ko active IP Right Grant
-
2009
- 2009-09-14 US US12/558,857 patent/US7960033B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-10-14 US US12/579,016 patent/US7998603B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09259640A (ja) * | 1996-03-25 | 1997-10-03 | Uchitsugu Minami | 透明導電膜 |
JP2003335552A (ja) * | 2002-05-21 | 2003-11-25 | Asahi Glass Co Ltd | Ito膜付き基体、およびその製造方法、ならびにそれを有する有機el素子 |
JP2004050643A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 薄膜積層体 |
JP2004095240A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Mitsui Chemicals Inc | 透明電極 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007224386A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 透明導電膜製造用焼結体ターゲット及びそれを用いて製造される透明導電膜、透明導電性基材 |
TWI395231B (zh) * | 2006-02-24 | 2013-05-01 | Sumitomo Metal Mining Co | A transparent conductive film for a transparent conductive film and a transparent conductive film produced by using the transparent conductive film and a transparent conductive film |
JP2007277039A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 酸化物焼結体及びそれを用いた酸化物透明導電膜の製造方法 |
US8415198B2 (en) | 2006-08-23 | 2013-04-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Production method of thin film transistor using amorphous oxide semiconductor film |
KR20150038463A (ko) * | 2007-07-06 | 2015-04-08 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 산화물 소결물체와 그 제조 방법, 타겟, 및 그것을 이용해 얻어지는 투명 도전막 및 투명 도전성 기재 |
JP2015061821A (ja) * | 2007-07-06 | 2015-04-02 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化物焼結体とその製造方法、ターゲット、及びそれを用いて得られる透明導電膜ならびに透明導電性基材 |
KR101646488B1 (ko) * | 2007-07-06 | 2016-08-08 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 산화물 소결물체와 그 제조 방법, 타겟, 및 그것을 이용해 얻어지는 투명 도전막 및 투명 도전성 기재 |
KR20100029780A (ko) * | 2007-07-06 | 2010-03-17 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 산화물 소결물체와 그 제조 방법, 타겟, 및 그것을 이용해 얻어지는 투명 도전막 및 투명 도전성 기재 |
US8440115B2 (en) | 2007-07-06 | 2013-05-14 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Oxide sintered body and production method therefor, target, and transparent conductive film and transparent conductive substrate obtained by using the same |
KR101627491B1 (ko) | 2007-07-06 | 2016-06-07 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 산화물 소결물체와 그 제조 방법, 타겟, 및 그것을 이용해 얻어지는 투명 도전막 및 투명 도전성 기재 |
JP2014005198A (ja) * | 2007-07-06 | 2014-01-16 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 酸化物焼結体とその製造方法、ターゲット、及びそれを用いて得られる透明導電膜ならびに透明導電性基材 |
EP2942337A1 (en) | 2007-07-06 | 2015-11-11 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Oxide sintered body and production method therefor, target, and transparent conductive film and transparent conductive substrate obtained by using the same |
JP2014031312A (ja) * | 2007-07-06 | 2014-02-20 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 酸化物焼結体とその製造方法、ターゲット、及びそれを用いて得られる透明導電膜ならびに透明導電性基材 |
US8801973B2 (en) | 2007-07-06 | 2014-08-12 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Oxide sintered body and production method therefor, target, and transparent conductive film and transparent conductive substrate obtained by using the same |
WO2009008297A1 (ja) | 2007-07-06 | 2009-01-15 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | 酸化物焼結体とその製造方法、ターゲット、及びそれを用いて得られる透明導電膜ならびに透明導電性基材 |
JP5348132B2 (ja) * | 2008-04-16 | 2013-11-20 | 住友金属鉱山株式会社 | 薄膜トランジスタ型基板、薄膜トランジスタ型液晶表示装置および薄膜トランジスタ型基板の製造方法 |
US8647537B2 (en) | 2008-09-19 | 2014-02-11 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Oxide sintered body and sputtering target |
US9209257B2 (en) | 2008-09-19 | 2015-12-08 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Oxide sintered body and sputtering target |
KR20110083601A (ko) | 2008-09-19 | 2011-07-20 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 산화물 소결체 및 스퍼터링 타겟 |
JP2011195963A (ja) * | 2011-06-24 | 2011-10-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 透明導電膜製造用焼結体ターゲット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7960033B2 (en) | 2011-06-14 |
US20080032106A1 (en) | 2008-02-07 |
TW200614278A (en) | 2006-05-01 |
JP4539181B2 (ja) | 2010-09-08 |
WO2005122186A1 (ja) | 2005-12-22 |
US7998603B2 (en) | 2011-08-16 |
KR101184353B1 (ko) | 2012-09-20 |
US20100038605A1 (en) | 2010-02-18 |
KR20070023720A (ko) | 2007-02-28 |
TWI376701B (ja) | 2012-11-11 |
CN1965376A (zh) | 2007-05-16 |
CN100547696C (zh) | 2009-10-07 |
US20100078192A1 (en) | 2010-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4816137B2 (ja) | 透明導電膜及び透明導電性基材 | |
KR101184353B1 (ko) | 투명도전막, 투명도전막 제조용 소결체 타겟, 투명도전성기재 및 이를 이용한 표시 디바이스 | |
JP4816116B2 (ja) | スパッタリングターゲット用酸化物焼結体および、それを用いて得られる酸化物膜、それを含む透明基材 | |
JP5776740B2 (ja) | 酸化物焼結体とその製造方法、ターゲット、及びそれを用いて得られる透明導電膜ならびに透明導電性基材 | |
JP5558420B2 (ja) | スパッタリングターゲット、透明導電性酸化物、およびスパッタリングターゲットの製造方法 | |
KR101244092B1 (ko) | 투명 도전막, 투명 전극, 및 전극 기판 및 그의 제조 방법 | |
KR20090018805A (ko) | 투명 도전막 및 그 제조 방법, 그리고 그 제조에 사용되는 스퍼터링 타깃 | |
JP5170009B2 (ja) | 酸化インジウム系スパッタリングターゲットおよびその製造方法 | |
JPWO2008111324A1 (ja) | 透明導電膜およびその製造方法、ならびにその製造に使用されるスパッタリングターゲット | |
JP4770310B2 (ja) | 透明導電膜、透明導電性基材ならびに酸化物焼結体 | |
JP2007302508A (ja) | 酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜 | |
JP5327282B2 (ja) | 透明導電膜製造用焼結体ターゲット | |
JP4687374B2 (ja) | 透明導電膜及びそれを含む透明導電性基材 | |
TWI424076B (zh) | A transparent conductive film and a transparent conductive substrate using the same | |
JP2012132089A (ja) | 酸化亜鉛系透明導電膜の形成方法、酸化亜鉛系透明導電膜および透明導電性基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060516 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100409 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100601 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100614 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4539181 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |