JP2004095240A - 透明電極 - Google Patents
透明電極 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004095240A JP2004095240A JP2002252205A JP2002252205A JP2004095240A JP 2004095240 A JP2004095240 A JP 2004095240A JP 2002252205 A JP2002252205 A JP 2002252205A JP 2002252205 A JP2002252205 A JP 2002252205A JP 2004095240 A JP2004095240 A JP 2004095240A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- transparent
- film layer
- layer
- silver
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Abstract
【解決課題】電流を流しても、前述した銀の凝集に由来すると考えられる点状の欠陥を生じない、有機エレクトロルミネッセンス素子等の表示素子に用いる透明電極として実用的なものを提供することにある。
【解決方法】水素原子を1.0×1020〜1.0×1023(at/cm3)の割合で含有する高屈折率透明薄膜層(a)及び金属薄膜層(b)を透明基体(A)上に積層してなることを特徴とする透明電極を使用する。
【選択図】 なし
【解決方法】水素原子を1.0×1020〜1.0×1023(at/cm3)の割合で含有する高屈折率透明薄膜層(a)及び金属薄膜層(b)を透明基体(A)上に積層してなることを特徴とする透明電極を使用する。
【選択図】 なし
Description
【0001】
【従来の技術】
透明導電性薄膜は、透明であるにもかかわらず導電性を有する薄膜であり、その代表例は、インジウムとスズとの酸化物(ITO)からなる薄膜である。その用途は幅広い。主な用途は、表示パネルの透明電極用や電磁波遮断用である。
表示パネルの透明電極用途としては、液晶ディスプレイ(LCD)、エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル(PDP)等に現在、広く用いられている。
【0002】
最近、表示パネルの大型化及び小型携帯化ニーズが非常に高まっている。これを実現するためには、表示素子の低消費電力化が必要である。この目的のためには、可視光線透過率を維持しつつ、抵抗値が低い透明導電性薄膜の開発が有効である。特に最近開発されつつある、有機エレクトロルミネッセンス素子に関しては、自発光タイプであり、小型携帯端末向けに有用であるが、電流駆動で消費電力が大きいため、透明導電性薄膜の低抵抗化への期待は大きい。また、現在、市場に広まりつつあるプラズマディスプレイパネル(PDP)や次世代のディスプレイとして開発されつつあるフィールドエミッションディスプレイ(FED)に関しても、それらが高消費電力な構造であるため、低抵抗透明導電性薄膜開発に対する期待は大きい。
【0003】
低抵抗透明導電性薄膜の開発にあたっては、金属薄膜層、特に純物質中で最も比抵抗が小さい銀を用いた金属薄膜層の利用が有効である。さらに透過率上昇及び金属薄膜層の安定性向上の目的で、金属薄膜層を透明高屈折率薄膜層で挟み込み透明導電性薄膜積層体を形成することが非常に効果的である。この透明導電性薄膜積層体は、各薄膜層の材料や膜厚を選ぶことによって、用途に応じて最適な光学特性及び電気特性を持つように設計することができる。
金属薄膜層材料としてその比抵抗の低さ故に好適に用いられる銀は、反面原子の凝集を生じやすいという面を持つ。銀薄膜中の銀原子が凝集すると銀白色の点を生じ、本来持つ高透明性や、低抵抗性を失ってしまう。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
電流を流しても、前述した銀の凝集に由来すると考えられる点状の欠陥を生じない、有機エレクトロルミネッセンス素子等の表示素子に用いる透明電極として実用的なものを提供することにある。
【0005】
【発明を解決するための手段】
本発明者らは上記の課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、透明導電性薄膜積層体の透明酸化物層に水素を含有させることにより、課題の解決に到ることを見出し、本発明に到った。
【0006】
本発明は、以下の事項によって特定される。
(1) 水素原子を1.0×1020〜1.0×1023(at/cm3)の割合で含有する高屈折率透明薄膜層(a)及び金属薄膜層(b)を透明基体(A)上に積層してなることを特徴とする透明電極。
(2) 水素原子を1.0×1020〜1.0×1023(at/cm3)の割合で含有する高屈折率透明薄膜層(a)、金属薄膜層(b)、透明基体(A)をA/b/a、A/a/b/a、A/b/a/b/a又はA/a/b/a/b/aの順に積層してなる(1)に記載の透明電極。
(3)透明酸化物層(a)が、酸化インジウム、酸化スズ又は酸化チタンを主成分とすることを特徴とする(1)又は(2)に記載の透明電極。
(4) 金属薄膜層(b)が銀又は銀合金からなることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の透明電極。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明における透明導電性薄膜積層体は、透明酸化物層に水素原子を含有することを特徴とするするものであり、それを透明電極として用いた有機エレクトロルミネッセンス素子に代表される表示素子は良好な発光特性を示す。
(構成)
本発明における、透明導電性薄膜積層体の構成は、透明基体(A)、透明高屈折率薄膜層(a)、銀または銀合金からなる金属薄膜層(b)とすると、A/b/a、A/a/b/a、A/b/a/b/a、A/a/b/a/b/a、A/b/a/b/a/b/a、A/a/b/a/b/a/b/の中から選ばれるいずれかである構成が好ましい。
【0008】
なお、各層の間には、様々な機能層を含んでいても構わない。機能層としては密着層、ガスバリヤー層、耐環境性向上のための層等が挙げられる。
(透明基体A)
本発明における透明基体(A)としては、ガラス板及び高分子成形体を用いることができる。
【0009】
本発明に用いられる透明高分子成形基体としては、主にフィルム状態及び板の状態のものが使用され、透明性に優れ、用途に応じた十分な機械的強度を持つものであることが好ましい。ここで、透明性に優れるとは、使用される状態での厚さにおいて、視感透過率が、40%以上であることを指す。また、透明高分子成形基体の主面と反対面には、反射防止層や防眩層が形成されていても構わない。
【0010】
フィルム状態の透明基体としては、高分子フィルムが好適に用いられる。具体的に例示すると、ポリイミド、ポリスルフォン(PSF)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリメチレンメタクリレート(PMMA)、ポリカーボネート(PC)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリプロピレン(PP)、トリアセチルセルロース(TAC)等が挙げられる。中でもポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリイミドは、特に好適に用いられる。
フィルムの厚さに特に制限はない。通常は、20〜500μm程度である。
【0011】
板状の透明基体としては、高分子成形体及びガラス成形体等が挙げられる。透明高分子成形体は、ガラスに比較して、軽い、割れにくい等の理由でより好適に用いられる。好ましい材料を例示すれば、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)を始めとするアクリル樹脂、ポリカーボネイト樹脂等が挙げられるが、これらの樹脂に特定されるわけではない。中でもPMMAは、その広い波長領域での高透明性と機械的強度の高さから好適に使用することができる。
透明高分子成形体には、表面の硬度または密着性を増す等の理由でハードコート層が設けられることが多い。
【0012】
ガラス成形体としては、表面の反り、傷などがほとんどなく、熱安定性に優れるものが一般的に使われている。アクティブマトリックス駆動方式向けでは、ガラスからのアルカリ溶出があるとアクティブ素子性能に大きく影響する懸念があるので、無アルカリガラス(白板ガラス)が用いられている。単純マトリクス駆動方式向けでは、安価なソーダライムのガラス(青板ガラス)を用いることができる。ガラス板の製造方法は、フロート法、ダウンロード法、フュージョン法などがある。無アルカリガラスは、ダウンロード法またはフュージョン法を用いて作製され、ソーダライムガラスは、フロート法を用いて作製される。
板状透明基体の厚さに特に制限はなく、十分な機械的強度と、たわまずに平面性を維持する剛性が得られれば良い。通常は、0.3〜10mm程度である。
【0013】
また、透明基体の表面にはガスバリヤー性を向上させるための層や耐溶剤性を向上させるための層が形成されていても構わない。ガスバリヤー性を向上させる目的では、無機材料として、シリコン系酸化物、シリコン系窒化物、有機材料としてエチレンビニル酢酸化合物(EVA)、ポリビニル酢酸化合物(PVA)などが一般的に使用されているが、これに限定されるわけではない。耐溶剤性を向上させる目的では、一般的なハードコート層を用いることが多い。また、透明基体の表面には反射防止層や防眩層が形成されていても構わない。
(透明高屈折率薄膜層a)
透明高屈折率薄膜層(a)に用いられる材料としては、できるだけ透明性に優れたものであることが好ましい。ここで透明性に優れるとは、膜厚100nm程度の薄膜を形成したときに、その薄膜の視感透過率が60%以上であることを指す。また、高屈折率材料とは、550nmの光に対する屈折率が、1.4以上の材料である。これらには、用途に応じて不純物を混入させても良い。
【0014】
透明高屈折率薄膜層用に好適に用いることができる材料を例示すると、インジウムとスズとの酸化物(ITO)、カドミウムとスズとの酸化物(CTO)、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化亜鉛(ZnO3)、亜鉛とアルミニウムとの酸化物(AZO)、酸化マグネシウム(MgO)、酸化トリウム(ThO2)、酸化スズ(SnO2)、酸化ランタン(LaO2)、酸化シリコン(SiO2)、酸化インジウム(In2O3)、酸化ニオブ(Nb2O3)、酸化アンチモン(Sb2O3)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化セシウム(CeO2)、酸化チタン(TiO2)、酸化ビスマス(Bi2O3)等である。
また、透明高屈折率硫化物を用いても良い。具体的に例示すると、硫化亜鉛(ZnS)、硫化カドミウム(CdS)、硫化アンチモン(Sb2S3)等があげられる。
【0015】
透明高屈折率薄膜材料としては、ITOが特に好ましい。ITOは、導電性を持つ上に、可視領域における屈折率が、2.0程度と高く、さらに可視領域にほとんど吸収を持たない。
用いるITO中に含まれるスズの割合に特に制限はない。通常は、0〜50重量%である。
【0016】
本発明における透明電極には、少なくとも二つの透明高屈折率薄膜層(a)が存在するのが好ましく、最表面に位置する透明高屈折率薄膜層(a)は、素子を作製した時、例えば有機エレクトロルミネッセンス素子を作製した時は、直接有機層と接しているため、その電気抵抗の大きさが、発光輝度を左右する。このため、最表面に位置する透明高屈折率薄膜層(a)に用いられる材料は、比抵抗が低いものが好ましい。通常はITOが好適に用いられる。この最表面に位置する透明高屈折率薄膜層(a)の好ましい比抵抗は1×10−6(Ω・cm)以上、1×10−3(Ω・cm)以下である。またより好ましくは1××10−6(Ω・cm)以上、1×10−4(Ω・cm)以下、さらにより好ましくは1×10−6(Ω・cm)以上、1×10−5(Ω・cm)以下である。
【0017】
透明高屈折率薄膜層の厚さに関しては、透明電極全体の透過性及び電気伝導性を考慮して決定される。通常は、0.5〜100nm程度である。
本発明において少なくとも一つの透明高屈折率薄膜層(a)は、水素原子を含有する。
本発明者らは、透明高屈折率薄膜層(a)に水素原子を含有させることによって、透明導電性薄膜積層体の電流に対する耐久性を大幅に向上させることができることを見出した。
複数の透明高屈折率薄膜層(a)を有する透明導電性薄膜積層体の場合、製法上、後に該透明高屈折率薄膜層上に金属薄膜層(b)が形成されるような透明高屈折率薄膜層(a)が水素原子を含有するものであることが効果的である。
例えば断面の構成が、透明基体(A)/透明高屈折率薄膜層(a1)/金属薄膜層(b)/透明高屈折率薄膜層(a2)である透明導電性薄膜積層体の場合、まず透明基体(A)上に透明高屈折率薄膜層(a1)を積層し、その上に金属薄膜層(b)、さらにその上に透明高屈折率薄膜層(a2)を積層する。この場合、いずれか一つの透明高屈折率薄膜層のみに水素原子を含有させる場合は、透明高屈折率薄膜層(a1)を選択することが好ましい。
但し、金属薄膜層(b)上に後から形成される透明導電性薄膜積層体(a2)に水素原子を含有させることによっても電流に対する耐久性は向上する。すなわち透明高屈折率薄膜層(a2)に水素原子を含有させてもよい。また、その上に後に金属薄膜層(b)を形成する透明高屈折率薄膜層(a1)及び金属薄膜層(b)上に形成する透明高屈折率薄膜層(a2)両者に水素原子を含有させても良い。この場合、各透明高屈折率薄膜層に水素原子を含有させた効果が相乗効果を生み出すので、電流に対する耐久性を向上させる上で最も効果的である。
【0018】
透明高屈折率薄膜層に水素原子を含有させる手法に特に制限はない。
通常は適当な水素ガス雰囲気中において該透明高屈折率薄膜層を成膜することにより、水素原子を含有した透明高屈折率薄膜層を形成することができる。
例えば、スパッタリング法によって透明高屈折率薄膜層を形成する場合は、成膜ガスとしてアルゴン、また必要に応じて反応性ガス雰囲気中において成膜が行われるが、このガスに適当な量の水素原子を混合することによって、水素原子を含有する透明高屈折率薄膜層を形成することができる。例えば、水素原子を含有するインジウムとスズとの酸化物薄膜を形成する場合は、ターゲットとしてインジウムとスズとの酸化物を用い、アルゴン、酸素、水素混合ガス雰囲気中でスパッタリングを実施すればよい。
【0019】
透明高屈折率薄膜層(a)における水素原子含有割合は、高すぎると透明導電性薄膜積層体の透過率の低下を引き起こす場合がある。その一方で低すぎると透明導電性薄膜積層体の電流に対する耐久性を向上させる効果が十分に現れない場合がある。
透明高屈折率薄膜層(a)の水素原子含有割合は、透明導電性薄膜積層体の透過率及び必要な電流に対する耐久性を考慮した上で決定される。水素原子含有割合が高すぎると作成する透明導電性薄膜積層体の透過率が低くなり好ましくない場合がある。また低すぎると電流に対する耐久性を十分に得ることができないため好ましくない場合がある。
透明高屈折率薄膜層(a)の水素原子含有割合は、通常は1.0×1019〜1.0×1024(at/cm3)である。
好ましくは 1.0×1020〜1.0×1023(at/cm3) 、さらに好ましくは 1.0×1021〜1.0×1022(at/cm3)である。
なお、透明高屈折率薄膜層(a)の水素含有量は以下の手法によって決定する。水素原子を含有した透明高屈折薄膜の標準試料を用意する。標準試料は水素原子含有量がことなるものを複数用意する。各標準試料の水素原子含有量を昇温脱離ガス質量分析法を用いて測定する。また各標準試料をSIMS分析し、水素原子によるピーク強度を調べる。
上記の結果を元にSIMS測定により得られる強度と水素原子含有量との相関式を得る。
続いて測定サンプルをSIMS測定し、水素原子ピーク強度を調べる。その後、標準試料を用いて作成した、SIMS強度と水素原子含有量の相関式より、サンプル中の水素原子含有量を読み取る。
【0020】
(金属薄膜層b)
本発明における金属薄膜層bとしては、銀または銀合金からなる金属薄膜層が好適に用いられる。銀は、比抵抗が、1.59×10−6(Ω・cm)であり、あらゆる材料の中で最も電気伝導性に優れる上に、薄膜の可視光線透過率が優れるために本発明において好適に用いられる。但し、銀は、薄膜とした時に安定性を欠き、凝集するという問題を持っている。銀を用いて本発明における透明導電性薄膜積層体を作製し、さらにそれを用いて有機エレクトロルミネッセンス素子を作製し、発光試験を実施すると、発光部分において、透明電極の劣化が原因と推定される、点状の非発光部分が容易に生じてしまう。
この為、安定性を増すために、銀の合金が用いられる場合が多い。銀の合金に用いられる銀以外の金属を具体的に例示すると金、銅、パラジウム、白金、インジウム、ネオジウム等である。中でも銀と金の合金及び銀とパラジウムと銅の合金及び銀とネオジウムと金の合金が好適に用いられる。合金中の銀以外の金属の量は、用途に応じて決定される。少なすぎると安定性の効果が得られず、多すぎると光学特性、電気特性が低下するので好ましくない傾向にある。
【0021】
例えば、銀と金の合金における好ましい金含有量は、3〜20重量%であり、好ましく5.5〜15重量%、さらにより好ましくは10〜15重量%である。銀とパラジウムと銅の合金におけるパラジウム及び銅の好ましい含有量は0.3〜2重量%であり、より好ましくは0.5〜2重量%、さらにより好ましくは1.0〜1.5重量%である。
さらに銀とネオジムウと金の合金におけるネオジムウと金の好ましい含有量は、ネオジムウが0.1at%以上、1.0at%以下、金が0.3at%以上、2at%以下である。なお、さらに好ましくはネオジウムが0.4at%以上、1.0at%以下、金が0.3at%以上、0.9at%以下である。さらにより好ましいネオジウムと金の含有量はネオジウムが0.4at%以上、0.7at%以下であり、金が0.3at%以上、0.6at%以下である。
これらの銀合金を用いて透明導電性薄膜積層体を作製し、それを透明電極として有機エレクトロルミネッセンス素子とし、発光試験を実施すると、純銀を用いた場合に比較して、非発光部分が生じにくくなる。
【0022】
銀または銀合金からなる金属薄膜層の厚さに関しては、用いる材料、用途に応じて、透明電極全体の電流を流した場合の耐久性、光透過性及び電気伝導性を考慮して決定される。例えば、金を5重量%含有する銀合金を材料とし、有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極として用いる場合は、電流を流した場合の耐久性を充分に得るためには、その銀合金金属薄膜層の厚みは、少なくとも9〜20nmであり、より好ましくは10〜20nm、さらに好ましくは11〜20nmである。前述の厚み以下では、有機エレクトロルミネッセンス素子を作製し、発光試験を実施すると、発光部分において、透明電極の劣化が原因と推定される、点状の非発光部分が生じてしまう場合がある。それに対して、本発明の厚みの範囲内においては、前述のような問題が生じることなく、実用的な透明電極が得られる。
(薄膜形成方法)
透明高屈折率薄膜層、銀または銀合金薄膜層の形成には、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の従来公知の手法によればよい。
透明高屈折率薄膜層の形成には、イオンプレーディング法またはスパッタリング法が好適に用いられる。イオンプレーティング法では、反応ガスプラズマ中で所望の金属または焼結体を抵抗加熱したり、電子ビームにより加熱したりすることにより真空蒸着を行う。スパッタリング法では、ターゲットに所望の金属または焼結体を使用し、スパッタリングガスにアルゴン、ネオン等の不活性ガスを用い、反応に必要なガスを加えて、スパッタリングを行う。例えば、ITO薄膜を形成する場合には、スパッタリングターゲットにインジウムとスズとの酸化物を用いて、酸素ガス中で直流マグネトロンスパッタリングを行う。
【0023】
金属薄膜層には、真空蒸着法またはスパッタリング法が、好適に用いられる。真空蒸着法では、所望の金属を蒸着源として使用し、抵抗加熱、電子ビーム加熱等により、加熱蒸着させることで、簡便に金属薄膜を形成することができる。また、スパッタリング法を用いる場合は、ターゲットに所望の金属材料を用いて、スパッタリングガスにアルゴン、ネオン等の不活性ガスを使用し、直流スパッタリング法や高周波スパッタリング法を用いて金属薄膜を形成することができる。成膜速度を上昇させるために、直流マグネトロンスパッタリング法や高周波マグネトロンスパッタリング法が用いられることも多い。
【0024】
(構成、組成の評価)
上記の方法により作製した、透明導電性薄膜積層体の薄膜層表面の原子組成は、オージェ電子分光法(AES)、蛍光X線法(XRF)、X線マイクロアナライシス法(XMA)、荷電粒子励起X線分析法(RBS)、X線光電子分光法(XPS)、真空紫外光電子分光法(UPS)、赤外吸収分光法(IR)、ラマン分光法、2次イオン質量分析法(SIMS)、低エネルギーイオン散乱分光法(ISS)等により測定できる。また、膜中の原子組成及び膜厚は、オージェ電子分光法(AES)や2次イオン質量分析(SIMS)を深さ方向に実施することによって調べることができる。
【0025】
(耐電流試験)
本発明における耐電流試験は、以下に述べる手法で実施される。
寸法50mm×50mmの透明基体(A)を用意する。透明基体(A)面上に1つの辺と平行になるように幅3mmの、透明導電性薄膜積層体を形成する。透明導電性薄膜積層体は、長辺50mm、短辺3mmの長方形となる。透明導電性薄膜上、2短辺付近、端部から3mm離れた部分までを覆うように導箔テープを貼りつけ、2つの外部取りだし電極とする。
2つの外部取り出し電極間に直流電圧を印加し、所望の電流を1分間流す。その後、透明導電性薄膜の様子を光学顕微鏡によって観察する。観察倍率は3000倍とする。観察の結果、表面に直径0.1μm以上の点状模様が観察される場合がある。該透明導電性薄膜積層体を有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極として用い、通電発光させる場合に、前述の点状模様が、非発光部分の発生と相関関係がある。すなわち該試験を実施した結果、流す電流が小さいにもかかわらず、通電後、表面に模様が観察される透明導電性薄膜積層体は、有機エレクトロルミネッセンス素子は、通電発光させた場合に容易に非発光部分を生じてしまい、実用的なものではない。それに対して、該試験において流す電流値が大きくても、通電後に表面に模様が観察されることのない透明導電性薄膜積層体は、有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極として用いた場合に、非発光部分を生じにくく、実用的なものである。試験に用いる好適な電流値は.0.2Aである。また対象とする有機エレクトロルミネッセンス素子が、より大きな電流を流して用いられると想定される場合は、より高い電流値で判定を行うことが好ましい。例えば、0.25Aを閾値にすればよい。さらに高い電流値を閾値にすることが好ましい場合は、例えば0.3Aを閾値にすればよい。
なお、前述した閾値が、高ければ高いほど、その透明導電性薄膜は、耐電流特性に優れ、素子にし、発光させた時に発光不良欠陥を生じにくいものとなる。
【0026】
(素子評価)
透明電極の発光特性評価を行うためには、実際にその透明電極を用いて発光素子を作成し、調べればよい。
有機エレクトロルミネッセンス用に用いる透明電極の発光特性評価を行うためには、評価したい透明電極を用いて有機エレクトロルミネッセンス素子を作成し、評価を行えばよい。
有機エレクトロルミネッセンス素子の作成手法は、透明電極の透明導電性薄膜上に正孔輸送層、発光層及び陰極を透明電極/正孔輸送層/発光層/陰極の構成で積層して得られる。
【0027】
正孔輸送層に用いられる材料は、例えば、ジアミン系の有機化合物が正孔輸送能に優れるため好適に用いられる。中でも特にN,N‘−ジフェニル−N,N’−(3−メチルフェニル)−1,1‘−ビフェニル−4,4’−ジアミン(略称TPD)が正孔輸送能に優れ、広く正孔輸送材として使われている。
発光層に用いられる材料は、例えば、4―(ジシアノメチレン)―2―メチル−6―(4―ジメチルアミノスチリル)―4H―ピラン(略称:DCM1)のような赤色発光色素を含有した、N―ビニルカルバゾール(略称:PVK)、アルミニウムキノリノール錯体(8―ハイドロキシキノリン アルミニウム)(略称Alq3)、1,2,3,4,5−ペンタフェニル−1,3−シクロペンタジエン(略称:PPCP)、2−(4−ビフェニリル−)−5−(4−t−ブチルフェニイル)−1,3,4−オキサジアゾール(略称PBD)、N、N‘−ビス(2,5−t−ブチルフェニル)−3,4,9,10−ペリレンジカルボキシイミド(略称BPPC)等である。
【0028】
これら正孔輸送層、発光層の形成には、従来公知の真空蒸着法やイオン化蒸着法等の物理気相成長法や、適当な溶媒に所望の材料を分散させ、スピンコート等の手法で塗布した後、乾燥させる湿式法等によればよい。
正孔輸送層及び発光層の厚さは、それぞれ通常30〜200nmである。
陰極に用いられる材料は、マグネシウムと銀の合金、マグネシウムとアルミニウムの合金等である。
これら陰極の形成には、従来公知の真空蒸着法やスパッタリング法等の物理成膜法を用いればよい。
陰極の厚さは、通常5〜500nm程度である。
また、発光効率をさらに向上させるために発光層と陰極との間に適当な電子輸送層を挿入してもよい。
上記の手法により作製した有機エレクトロルミネッセンス素子を発光させ、その発光状態により合否を判断する。10Vの電圧をかけて駆動し、発光状態を肉眼で観察する。非発光部分が観察される場合は不合格であり、観察されない場合は合格である。
【0029】
【実施例】
(実施例1)
(透明導電性薄膜積層体の作製)
透明基体(A)としてガラス板[コーニング社製、型番7059、大きさ50mm×50mm、厚さ1.1mm]を用意した。
マスクとしてカプトンテープを用い、透明基体(A)の一辺に平行になるように幅3mm、長さ50mmの透明導電性薄膜を形成した。試料は同条件で複数用意し、耐電流試験、および有機エレクトロルミネッセンス評価試験用にそれぞれ別の試料を用いた。成膜は、下記に示した条件で実施した。
直流マグネトロンスパッタリング法を用いて、透明高分子成形基体(A)上に、インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層(a)、銀と金の合金薄膜層(b)をA/a[厚さ40nm]/b[厚さ10nm]/a[厚さ40nm]なる順に積層し、透明電極を形成した。インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層は、透明高屈折率薄膜層を、銀と金の合金薄膜層は、金属薄膜層を構成する。インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層の形成には、ターゲットとして、酸化インジウムー酸化スズ焼結体[In2O3:SnO2=90:10(重量比)]、スパッタリングガスとしてアルゴン・酸素・水素混合ガス(全圧266mPa、酸素分圧8mPa、水素分圧1mPa)を用いた。また、銀と金の合金薄膜層の形成には、ターゲットとして銀と金の合金[Ag:Au=95:5(重量比)]を用い、スパッタガスにはアルゴンガス(全圧266mPa)を用いた。形成した透明導電性薄膜の断面図を図1に示した。
なお、本実施例において記載されている薄膜層の膜厚は、その薄膜を同条件で成膜した試料において、触針膜厚計を用いて測定した値より、得られる値である。ところで触針膜厚計では40nm以下の膜厚に関しては、装置の精度限界に達し、正確に膜厚を評価することができない。このため、通常は40nm以上の膜厚、好ましくは100nm以上の膜厚になるように成膜し、その値を正確に読み取る。膜厚は、成膜時間と比例関係にあるので、この正確に求めた膜厚と時間を元に、試料中の各薄膜の膜厚を決定する。
以上により作製されたものを試料▲1▼とした。
続いて、インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層(a)のスパッタリングガス中の水素ガス分圧を変化させた試料を用意した。
水素ガス分圧が2mPaのものを試料▲2▼、5mPaのものを試料▲3▼、7mPaのものを試料▲4▼、10mPaのものを試料▲5▼、100mPaのものを試料▲6▼、105mPaのもの試料▲7▼とした。
【0030】
(特性評価)
得られたサンプルの電気特性及び光学特性は以下の通りであった。
有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極の特性としては、面抵抗10Ω/□以下、視感平均透過率80%以上であることが望ましいとされている。本実施例において作製された試料▲1▼〜▲6▼は、この条件を満たしているものであることが確認された。
【0031】
(耐電流試験)
先に作製した試料▲1▼を用いた。
透明導電性薄膜上、2短辺付近、端部から3mm離れた部分までを覆うように導箔テープを貼りつけ、2つの外部取りだし電極とする。
2つの外部取り出し電極間に直流電圧を印加し、所望の電流を1分間流す。その後、透明導電性薄膜の様子を光学顕微鏡によって観察する。観察倍率は3000倍とする。流す電流の大きさを変化させて再評価したい場合は、電流値を変化させ、1分間流す。
なお、合否判定のための電流値の閾値は、0.2Aとし、通電後に直径0.1μm以上の点状の模様を生じた場合は不合格、生じなかった場合は合格とした。
なお、流す電流の大きさは0.15A、0.2A、0.25A、0.3Aと変化させ、どの電流値の場合に点状模様が生じるかどうか調べた。
【0032】
(有機エレクトロルミネッセンス素子評価試験)
続いて、得られた透明電極を用いて、有機エレクトロルミネッセンス素子を作製し、発光試験を実施した。
透明電極上に5mm×5mmの寸法で正方形状に有機薄膜層を形成し、その後透明電極と直交するように幅3mmの陰極を形成した。透明電極、有機薄膜層、陰極の位置関係は図2に記載した通りである。
有機薄膜層及び陰極は、以下の通り形成した。 まず、透明電極の透明導電性薄膜上に真空加熱蒸着法を用いて、正孔輸送層としてN,N‘−ジフェニル−N,N’−(3−メチルフェニル)−1,1‘−ビフェニル−4,4’−ジアミン(略称:TPD)層[50nm]を形成した。続いてその上に真空加熱蒸着法を用いて発光層として8−ハイドロキシキノリンアルミニウム(略称:Alq3)層[50nm]を形成した。さらにその上に真空加熱蒸着法を用いて、陰極としてマグネシウム層[2nm]を形成した。形成した有機エレクトロルミネッセンス素子の断面図を図3に示した。
有機エレクトロルミネッセンス素子の陽極と陰極との間に10Vの直流電圧を印加し、点灯させ、発光の様子を肉眼で観察した。
結果を表2に示した。
インジウムとスズとの酸化物層の水素原子含有割合が、1.0×1019(at/cm3)である透明導電性薄膜層は、耐電流試験に合格するものではないが、1.0×1020(at/cm3)以上の場合は、合格するものであった。さらにインジウムとスズとの酸化物層の水素ガス含有割合が1.0×1020(at/cm3)以上である透明導電性薄膜を透明電極として、有機エレクトロルミネッセンス試験を実施すると、この試験に合格するものであった。
【0033】
【表1】
【0034】
【表2】
【0035】
【発明の効果】
本発明は、高屈折率薄膜層の水素原子含有割合を制限することによって、透明導電性薄膜積層体の電流に対する耐久性を向上させることができ、さらには有機エレクトロルミネッセンス素子として用いた時に、非発光不要を生じることがない実用的な有機エレクトロルミネセンス素子が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】透明導電性薄膜積層体の一例を示す断面図
【図2】有機エレクトロルミネッセンス素子の一例を示す平面図
【図3】有機エレクトロルミネッセンス素子の一例を示す断面図
【符号の説明】
10 透明基体
20 高屈折率薄膜層
30 銀または銀合金薄膜層
40 透明導電性薄膜層
50 有機薄膜層
60 陰極
70 正孔輸送層
80 発光層
【従来の技術】
透明導電性薄膜は、透明であるにもかかわらず導電性を有する薄膜であり、その代表例は、インジウムとスズとの酸化物(ITO)からなる薄膜である。その用途は幅広い。主な用途は、表示パネルの透明電極用や電磁波遮断用である。
表示パネルの透明電極用途としては、液晶ディスプレイ(LCD)、エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル(PDP)等に現在、広く用いられている。
【0002】
最近、表示パネルの大型化及び小型携帯化ニーズが非常に高まっている。これを実現するためには、表示素子の低消費電力化が必要である。この目的のためには、可視光線透過率を維持しつつ、抵抗値が低い透明導電性薄膜の開発が有効である。特に最近開発されつつある、有機エレクトロルミネッセンス素子に関しては、自発光タイプであり、小型携帯端末向けに有用であるが、電流駆動で消費電力が大きいため、透明導電性薄膜の低抵抗化への期待は大きい。また、現在、市場に広まりつつあるプラズマディスプレイパネル(PDP)や次世代のディスプレイとして開発されつつあるフィールドエミッションディスプレイ(FED)に関しても、それらが高消費電力な構造であるため、低抵抗透明導電性薄膜開発に対する期待は大きい。
【0003】
低抵抗透明導電性薄膜の開発にあたっては、金属薄膜層、特に純物質中で最も比抵抗が小さい銀を用いた金属薄膜層の利用が有効である。さらに透過率上昇及び金属薄膜層の安定性向上の目的で、金属薄膜層を透明高屈折率薄膜層で挟み込み透明導電性薄膜積層体を形成することが非常に効果的である。この透明導電性薄膜積層体は、各薄膜層の材料や膜厚を選ぶことによって、用途に応じて最適な光学特性及び電気特性を持つように設計することができる。
金属薄膜層材料としてその比抵抗の低さ故に好適に用いられる銀は、反面原子の凝集を生じやすいという面を持つ。銀薄膜中の銀原子が凝集すると銀白色の点を生じ、本来持つ高透明性や、低抵抗性を失ってしまう。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
電流を流しても、前述した銀の凝集に由来すると考えられる点状の欠陥を生じない、有機エレクトロルミネッセンス素子等の表示素子に用いる透明電極として実用的なものを提供することにある。
【0005】
【発明を解決するための手段】
本発明者らは上記の課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、透明導電性薄膜積層体の透明酸化物層に水素を含有させることにより、課題の解決に到ることを見出し、本発明に到った。
【0006】
本発明は、以下の事項によって特定される。
(1) 水素原子を1.0×1020〜1.0×1023(at/cm3)の割合で含有する高屈折率透明薄膜層(a)及び金属薄膜層(b)を透明基体(A)上に積層してなることを特徴とする透明電極。
(2) 水素原子を1.0×1020〜1.0×1023(at/cm3)の割合で含有する高屈折率透明薄膜層(a)、金属薄膜層(b)、透明基体(A)をA/b/a、A/a/b/a、A/b/a/b/a又はA/a/b/a/b/aの順に積層してなる(1)に記載の透明電極。
(3)透明酸化物層(a)が、酸化インジウム、酸化スズ又は酸化チタンを主成分とすることを特徴とする(1)又は(2)に記載の透明電極。
(4) 金属薄膜層(b)が銀又は銀合金からなることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の透明電極。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明における透明導電性薄膜積層体は、透明酸化物層に水素原子を含有することを特徴とするするものであり、それを透明電極として用いた有機エレクトロルミネッセンス素子に代表される表示素子は良好な発光特性を示す。
(構成)
本発明における、透明導電性薄膜積層体の構成は、透明基体(A)、透明高屈折率薄膜層(a)、銀または銀合金からなる金属薄膜層(b)とすると、A/b/a、A/a/b/a、A/b/a/b/a、A/a/b/a/b/a、A/b/a/b/a/b/a、A/a/b/a/b/a/b/の中から選ばれるいずれかである構成が好ましい。
【0008】
なお、各層の間には、様々な機能層を含んでいても構わない。機能層としては密着層、ガスバリヤー層、耐環境性向上のための層等が挙げられる。
(透明基体A)
本発明における透明基体(A)としては、ガラス板及び高分子成形体を用いることができる。
【0009】
本発明に用いられる透明高分子成形基体としては、主にフィルム状態及び板の状態のものが使用され、透明性に優れ、用途に応じた十分な機械的強度を持つものであることが好ましい。ここで、透明性に優れるとは、使用される状態での厚さにおいて、視感透過率が、40%以上であることを指す。また、透明高分子成形基体の主面と反対面には、反射防止層や防眩層が形成されていても構わない。
【0010】
フィルム状態の透明基体としては、高分子フィルムが好適に用いられる。具体的に例示すると、ポリイミド、ポリスルフォン(PSF)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリメチレンメタクリレート(PMMA)、ポリカーボネート(PC)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリプロピレン(PP)、トリアセチルセルロース(TAC)等が挙げられる。中でもポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリイミドは、特に好適に用いられる。
フィルムの厚さに特に制限はない。通常は、20〜500μm程度である。
【0011】
板状の透明基体としては、高分子成形体及びガラス成形体等が挙げられる。透明高分子成形体は、ガラスに比較して、軽い、割れにくい等の理由でより好適に用いられる。好ましい材料を例示すれば、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)を始めとするアクリル樹脂、ポリカーボネイト樹脂等が挙げられるが、これらの樹脂に特定されるわけではない。中でもPMMAは、その広い波長領域での高透明性と機械的強度の高さから好適に使用することができる。
透明高分子成形体には、表面の硬度または密着性を増す等の理由でハードコート層が設けられることが多い。
【0012】
ガラス成形体としては、表面の反り、傷などがほとんどなく、熱安定性に優れるものが一般的に使われている。アクティブマトリックス駆動方式向けでは、ガラスからのアルカリ溶出があるとアクティブ素子性能に大きく影響する懸念があるので、無アルカリガラス(白板ガラス)が用いられている。単純マトリクス駆動方式向けでは、安価なソーダライムのガラス(青板ガラス)を用いることができる。ガラス板の製造方法は、フロート法、ダウンロード法、フュージョン法などがある。無アルカリガラスは、ダウンロード法またはフュージョン法を用いて作製され、ソーダライムガラスは、フロート法を用いて作製される。
板状透明基体の厚さに特に制限はなく、十分な機械的強度と、たわまずに平面性を維持する剛性が得られれば良い。通常は、0.3〜10mm程度である。
【0013】
また、透明基体の表面にはガスバリヤー性を向上させるための層や耐溶剤性を向上させるための層が形成されていても構わない。ガスバリヤー性を向上させる目的では、無機材料として、シリコン系酸化物、シリコン系窒化物、有機材料としてエチレンビニル酢酸化合物(EVA)、ポリビニル酢酸化合物(PVA)などが一般的に使用されているが、これに限定されるわけではない。耐溶剤性を向上させる目的では、一般的なハードコート層を用いることが多い。また、透明基体の表面には反射防止層や防眩層が形成されていても構わない。
(透明高屈折率薄膜層a)
透明高屈折率薄膜層(a)に用いられる材料としては、できるだけ透明性に優れたものであることが好ましい。ここで透明性に優れるとは、膜厚100nm程度の薄膜を形成したときに、その薄膜の視感透過率が60%以上であることを指す。また、高屈折率材料とは、550nmの光に対する屈折率が、1.4以上の材料である。これらには、用途に応じて不純物を混入させても良い。
【0014】
透明高屈折率薄膜層用に好適に用いることができる材料を例示すると、インジウムとスズとの酸化物(ITO)、カドミウムとスズとの酸化物(CTO)、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化亜鉛(ZnO3)、亜鉛とアルミニウムとの酸化物(AZO)、酸化マグネシウム(MgO)、酸化トリウム(ThO2)、酸化スズ(SnO2)、酸化ランタン(LaO2)、酸化シリコン(SiO2)、酸化インジウム(In2O3)、酸化ニオブ(Nb2O3)、酸化アンチモン(Sb2O3)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化セシウム(CeO2)、酸化チタン(TiO2)、酸化ビスマス(Bi2O3)等である。
また、透明高屈折率硫化物を用いても良い。具体的に例示すると、硫化亜鉛(ZnS)、硫化カドミウム(CdS)、硫化アンチモン(Sb2S3)等があげられる。
【0015】
透明高屈折率薄膜材料としては、ITOが特に好ましい。ITOは、導電性を持つ上に、可視領域における屈折率が、2.0程度と高く、さらに可視領域にほとんど吸収を持たない。
用いるITO中に含まれるスズの割合に特に制限はない。通常は、0〜50重量%である。
【0016】
本発明における透明電極には、少なくとも二つの透明高屈折率薄膜層(a)が存在するのが好ましく、最表面に位置する透明高屈折率薄膜層(a)は、素子を作製した時、例えば有機エレクトロルミネッセンス素子を作製した時は、直接有機層と接しているため、その電気抵抗の大きさが、発光輝度を左右する。このため、最表面に位置する透明高屈折率薄膜層(a)に用いられる材料は、比抵抗が低いものが好ましい。通常はITOが好適に用いられる。この最表面に位置する透明高屈折率薄膜層(a)の好ましい比抵抗は1×10−6(Ω・cm)以上、1×10−3(Ω・cm)以下である。またより好ましくは1××10−6(Ω・cm)以上、1×10−4(Ω・cm)以下、さらにより好ましくは1×10−6(Ω・cm)以上、1×10−5(Ω・cm)以下である。
【0017】
透明高屈折率薄膜層の厚さに関しては、透明電極全体の透過性及び電気伝導性を考慮して決定される。通常は、0.5〜100nm程度である。
本発明において少なくとも一つの透明高屈折率薄膜層(a)は、水素原子を含有する。
本発明者らは、透明高屈折率薄膜層(a)に水素原子を含有させることによって、透明導電性薄膜積層体の電流に対する耐久性を大幅に向上させることができることを見出した。
複数の透明高屈折率薄膜層(a)を有する透明導電性薄膜積層体の場合、製法上、後に該透明高屈折率薄膜層上に金属薄膜層(b)が形成されるような透明高屈折率薄膜層(a)が水素原子を含有するものであることが効果的である。
例えば断面の構成が、透明基体(A)/透明高屈折率薄膜層(a1)/金属薄膜層(b)/透明高屈折率薄膜層(a2)である透明導電性薄膜積層体の場合、まず透明基体(A)上に透明高屈折率薄膜層(a1)を積層し、その上に金属薄膜層(b)、さらにその上に透明高屈折率薄膜層(a2)を積層する。この場合、いずれか一つの透明高屈折率薄膜層のみに水素原子を含有させる場合は、透明高屈折率薄膜層(a1)を選択することが好ましい。
但し、金属薄膜層(b)上に後から形成される透明導電性薄膜積層体(a2)に水素原子を含有させることによっても電流に対する耐久性は向上する。すなわち透明高屈折率薄膜層(a2)に水素原子を含有させてもよい。また、その上に後に金属薄膜層(b)を形成する透明高屈折率薄膜層(a1)及び金属薄膜層(b)上に形成する透明高屈折率薄膜層(a2)両者に水素原子を含有させても良い。この場合、各透明高屈折率薄膜層に水素原子を含有させた効果が相乗効果を生み出すので、電流に対する耐久性を向上させる上で最も効果的である。
【0018】
透明高屈折率薄膜層に水素原子を含有させる手法に特に制限はない。
通常は適当な水素ガス雰囲気中において該透明高屈折率薄膜層を成膜することにより、水素原子を含有した透明高屈折率薄膜層を形成することができる。
例えば、スパッタリング法によって透明高屈折率薄膜層を形成する場合は、成膜ガスとしてアルゴン、また必要に応じて反応性ガス雰囲気中において成膜が行われるが、このガスに適当な量の水素原子を混合することによって、水素原子を含有する透明高屈折率薄膜層を形成することができる。例えば、水素原子を含有するインジウムとスズとの酸化物薄膜を形成する場合は、ターゲットとしてインジウムとスズとの酸化物を用い、アルゴン、酸素、水素混合ガス雰囲気中でスパッタリングを実施すればよい。
【0019】
透明高屈折率薄膜層(a)における水素原子含有割合は、高すぎると透明導電性薄膜積層体の透過率の低下を引き起こす場合がある。その一方で低すぎると透明導電性薄膜積層体の電流に対する耐久性を向上させる効果が十分に現れない場合がある。
透明高屈折率薄膜層(a)の水素原子含有割合は、透明導電性薄膜積層体の透過率及び必要な電流に対する耐久性を考慮した上で決定される。水素原子含有割合が高すぎると作成する透明導電性薄膜積層体の透過率が低くなり好ましくない場合がある。また低すぎると電流に対する耐久性を十分に得ることができないため好ましくない場合がある。
透明高屈折率薄膜層(a)の水素原子含有割合は、通常は1.0×1019〜1.0×1024(at/cm3)である。
好ましくは 1.0×1020〜1.0×1023(at/cm3) 、さらに好ましくは 1.0×1021〜1.0×1022(at/cm3)である。
なお、透明高屈折率薄膜層(a)の水素含有量は以下の手法によって決定する。水素原子を含有した透明高屈折薄膜の標準試料を用意する。標準試料は水素原子含有量がことなるものを複数用意する。各標準試料の水素原子含有量を昇温脱離ガス質量分析法を用いて測定する。また各標準試料をSIMS分析し、水素原子によるピーク強度を調べる。
上記の結果を元にSIMS測定により得られる強度と水素原子含有量との相関式を得る。
続いて測定サンプルをSIMS測定し、水素原子ピーク強度を調べる。その後、標準試料を用いて作成した、SIMS強度と水素原子含有量の相関式より、サンプル中の水素原子含有量を読み取る。
【0020】
(金属薄膜層b)
本発明における金属薄膜層bとしては、銀または銀合金からなる金属薄膜層が好適に用いられる。銀は、比抵抗が、1.59×10−6(Ω・cm)であり、あらゆる材料の中で最も電気伝導性に優れる上に、薄膜の可視光線透過率が優れるために本発明において好適に用いられる。但し、銀は、薄膜とした時に安定性を欠き、凝集するという問題を持っている。銀を用いて本発明における透明導電性薄膜積層体を作製し、さらにそれを用いて有機エレクトロルミネッセンス素子を作製し、発光試験を実施すると、発光部分において、透明電極の劣化が原因と推定される、点状の非発光部分が容易に生じてしまう。
この為、安定性を増すために、銀の合金が用いられる場合が多い。銀の合金に用いられる銀以外の金属を具体的に例示すると金、銅、パラジウム、白金、インジウム、ネオジウム等である。中でも銀と金の合金及び銀とパラジウムと銅の合金及び銀とネオジウムと金の合金が好適に用いられる。合金中の銀以外の金属の量は、用途に応じて決定される。少なすぎると安定性の効果が得られず、多すぎると光学特性、電気特性が低下するので好ましくない傾向にある。
【0021】
例えば、銀と金の合金における好ましい金含有量は、3〜20重量%であり、好ましく5.5〜15重量%、さらにより好ましくは10〜15重量%である。銀とパラジウムと銅の合金におけるパラジウム及び銅の好ましい含有量は0.3〜2重量%であり、より好ましくは0.5〜2重量%、さらにより好ましくは1.0〜1.5重量%である。
さらに銀とネオジムウと金の合金におけるネオジムウと金の好ましい含有量は、ネオジムウが0.1at%以上、1.0at%以下、金が0.3at%以上、2at%以下である。なお、さらに好ましくはネオジウムが0.4at%以上、1.0at%以下、金が0.3at%以上、0.9at%以下である。さらにより好ましいネオジウムと金の含有量はネオジウムが0.4at%以上、0.7at%以下であり、金が0.3at%以上、0.6at%以下である。
これらの銀合金を用いて透明導電性薄膜積層体を作製し、それを透明電極として有機エレクトロルミネッセンス素子とし、発光試験を実施すると、純銀を用いた場合に比較して、非発光部分が生じにくくなる。
【0022】
銀または銀合金からなる金属薄膜層の厚さに関しては、用いる材料、用途に応じて、透明電極全体の電流を流した場合の耐久性、光透過性及び電気伝導性を考慮して決定される。例えば、金を5重量%含有する銀合金を材料とし、有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極として用いる場合は、電流を流した場合の耐久性を充分に得るためには、その銀合金金属薄膜層の厚みは、少なくとも9〜20nmであり、より好ましくは10〜20nm、さらに好ましくは11〜20nmである。前述の厚み以下では、有機エレクトロルミネッセンス素子を作製し、発光試験を実施すると、発光部分において、透明電極の劣化が原因と推定される、点状の非発光部分が生じてしまう場合がある。それに対して、本発明の厚みの範囲内においては、前述のような問題が生じることなく、実用的な透明電極が得られる。
(薄膜形成方法)
透明高屈折率薄膜層、銀または銀合金薄膜層の形成には、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の従来公知の手法によればよい。
透明高屈折率薄膜層の形成には、イオンプレーディング法またはスパッタリング法が好適に用いられる。イオンプレーティング法では、反応ガスプラズマ中で所望の金属または焼結体を抵抗加熱したり、電子ビームにより加熱したりすることにより真空蒸着を行う。スパッタリング法では、ターゲットに所望の金属または焼結体を使用し、スパッタリングガスにアルゴン、ネオン等の不活性ガスを用い、反応に必要なガスを加えて、スパッタリングを行う。例えば、ITO薄膜を形成する場合には、スパッタリングターゲットにインジウムとスズとの酸化物を用いて、酸素ガス中で直流マグネトロンスパッタリングを行う。
【0023】
金属薄膜層には、真空蒸着法またはスパッタリング法が、好適に用いられる。真空蒸着法では、所望の金属を蒸着源として使用し、抵抗加熱、電子ビーム加熱等により、加熱蒸着させることで、簡便に金属薄膜を形成することができる。また、スパッタリング法を用いる場合は、ターゲットに所望の金属材料を用いて、スパッタリングガスにアルゴン、ネオン等の不活性ガスを使用し、直流スパッタリング法や高周波スパッタリング法を用いて金属薄膜を形成することができる。成膜速度を上昇させるために、直流マグネトロンスパッタリング法や高周波マグネトロンスパッタリング法が用いられることも多い。
【0024】
(構成、組成の評価)
上記の方法により作製した、透明導電性薄膜積層体の薄膜層表面の原子組成は、オージェ電子分光法(AES)、蛍光X線法(XRF)、X線マイクロアナライシス法(XMA)、荷電粒子励起X線分析法(RBS)、X線光電子分光法(XPS)、真空紫外光電子分光法(UPS)、赤外吸収分光法(IR)、ラマン分光法、2次イオン質量分析法(SIMS)、低エネルギーイオン散乱分光法(ISS)等により測定できる。また、膜中の原子組成及び膜厚は、オージェ電子分光法(AES)や2次イオン質量分析(SIMS)を深さ方向に実施することによって調べることができる。
【0025】
(耐電流試験)
本発明における耐電流試験は、以下に述べる手法で実施される。
寸法50mm×50mmの透明基体(A)を用意する。透明基体(A)面上に1つの辺と平行になるように幅3mmの、透明導電性薄膜積層体を形成する。透明導電性薄膜積層体は、長辺50mm、短辺3mmの長方形となる。透明導電性薄膜上、2短辺付近、端部から3mm離れた部分までを覆うように導箔テープを貼りつけ、2つの外部取りだし電極とする。
2つの外部取り出し電極間に直流電圧を印加し、所望の電流を1分間流す。その後、透明導電性薄膜の様子を光学顕微鏡によって観察する。観察倍率は3000倍とする。観察の結果、表面に直径0.1μm以上の点状模様が観察される場合がある。該透明導電性薄膜積層体を有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極として用い、通電発光させる場合に、前述の点状模様が、非発光部分の発生と相関関係がある。すなわち該試験を実施した結果、流す電流が小さいにもかかわらず、通電後、表面に模様が観察される透明導電性薄膜積層体は、有機エレクトロルミネッセンス素子は、通電発光させた場合に容易に非発光部分を生じてしまい、実用的なものではない。それに対して、該試験において流す電流値が大きくても、通電後に表面に模様が観察されることのない透明導電性薄膜積層体は、有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極として用いた場合に、非発光部分を生じにくく、実用的なものである。試験に用いる好適な電流値は.0.2Aである。また対象とする有機エレクトロルミネッセンス素子が、より大きな電流を流して用いられると想定される場合は、より高い電流値で判定を行うことが好ましい。例えば、0.25Aを閾値にすればよい。さらに高い電流値を閾値にすることが好ましい場合は、例えば0.3Aを閾値にすればよい。
なお、前述した閾値が、高ければ高いほど、その透明導電性薄膜は、耐電流特性に優れ、素子にし、発光させた時に発光不良欠陥を生じにくいものとなる。
【0026】
(素子評価)
透明電極の発光特性評価を行うためには、実際にその透明電極を用いて発光素子を作成し、調べればよい。
有機エレクトロルミネッセンス用に用いる透明電極の発光特性評価を行うためには、評価したい透明電極を用いて有機エレクトロルミネッセンス素子を作成し、評価を行えばよい。
有機エレクトロルミネッセンス素子の作成手法は、透明電極の透明導電性薄膜上に正孔輸送層、発光層及び陰極を透明電極/正孔輸送層/発光層/陰極の構成で積層して得られる。
【0027】
正孔輸送層に用いられる材料は、例えば、ジアミン系の有機化合物が正孔輸送能に優れるため好適に用いられる。中でも特にN,N‘−ジフェニル−N,N’−(3−メチルフェニル)−1,1‘−ビフェニル−4,4’−ジアミン(略称TPD)が正孔輸送能に優れ、広く正孔輸送材として使われている。
発光層に用いられる材料は、例えば、4―(ジシアノメチレン)―2―メチル−6―(4―ジメチルアミノスチリル)―4H―ピラン(略称:DCM1)のような赤色発光色素を含有した、N―ビニルカルバゾール(略称:PVK)、アルミニウムキノリノール錯体(8―ハイドロキシキノリン アルミニウム)(略称Alq3)、1,2,3,4,5−ペンタフェニル−1,3−シクロペンタジエン(略称:PPCP)、2−(4−ビフェニリル−)−5−(4−t−ブチルフェニイル)−1,3,4−オキサジアゾール(略称PBD)、N、N‘−ビス(2,5−t−ブチルフェニル)−3,4,9,10−ペリレンジカルボキシイミド(略称BPPC)等である。
【0028】
これら正孔輸送層、発光層の形成には、従来公知の真空蒸着法やイオン化蒸着法等の物理気相成長法や、適当な溶媒に所望の材料を分散させ、スピンコート等の手法で塗布した後、乾燥させる湿式法等によればよい。
正孔輸送層及び発光層の厚さは、それぞれ通常30〜200nmである。
陰極に用いられる材料は、マグネシウムと銀の合金、マグネシウムとアルミニウムの合金等である。
これら陰極の形成には、従来公知の真空蒸着法やスパッタリング法等の物理成膜法を用いればよい。
陰極の厚さは、通常5〜500nm程度である。
また、発光効率をさらに向上させるために発光層と陰極との間に適当な電子輸送層を挿入してもよい。
上記の手法により作製した有機エレクトロルミネッセンス素子を発光させ、その発光状態により合否を判断する。10Vの電圧をかけて駆動し、発光状態を肉眼で観察する。非発光部分が観察される場合は不合格であり、観察されない場合は合格である。
【0029】
【実施例】
(実施例1)
(透明導電性薄膜積層体の作製)
透明基体(A)としてガラス板[コーニング社製、型番7059、大きさ50mm×50mm、厚さ1.1mm]を用意した。
マスクとしてカプトンテープを用い、透明基体(A)の一辺に平行になるように幅3mm、長さ50mmの透明導電性薄膜を形成した。試料は同条件で複数用意し、耐電流試験、および有機エレクトロルミネッセンス評価試験用にそれぞれ別の試料を用いた。成膜は、下記に示した条件で実施した。
直流マグネトロンスパッタリング法を用いて、透明高分子成形基体(A)上に、インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層(a)、銀と金の合金薄膜層(b)をA/a[厚さ40nm]/b[厚さ10nm]/a[厚さ40nm]なる順に積層し、透明電極を形成した。インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層は、透明高屈折率薄膜層を、銀と金の合金薄膜層は、金属薄膜層を構成する。インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層の形成には、ターゲットとして、酸化インジウムー酸化スズ焼結体[In2O3:SnO2=90:10(重量比)]、スパッタリングガスとしてアルゴン・酸素・水素混合ガス(全圧266mPa、酸素分圧8mPa、水素分圧1mPa)を用いた。また、銀と金の合金薄膜層の形成には、ターゲットとして銀と金の合金[Ag:Au=95:5(重量比)]を用い、スパッタガスにはアルゴンガス(全圧266mPa)を用いた。形成した透明導電性薄膜の断面図を図1に示した。
なお、本実施例において記載されている薄膜層の膜厚は、その薄膜を同条件で成膜した試料において、触針膜厚計を用いて測定した値より、得られる値である。ところで触針膜厚計では40nm以下の膜厚に関しては、装置の精度限界に達し、正確に膜厚を評価することができない。このため、通常は40nm以上の膜厚、好ましくは100nm以上の膜厚になるように成膜し、その値を正確に読み取る。膜厚は、成膜時間と比例関係にあるので、この正確に求めた膜厚と時間を元に、試料中の各薄膜の膜厚を決定する。
以上により作製されたものを試料▲1▼とした。
続いて、インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層(a)のスパッタリングガス中の水素ガス分圧を変化させた試料を用意した。
水素ガス分圧が2mPaのものを試料▲2▼、5mPaのものを試料▲3▼、7mPaのものを試料▲4▼、10mPaのものを試料▲5▼、100mPaのものを試料▲6▼、105mPaのもの試料▲7▼とした。
【0030】
(特性評価)
得られたサンプルの電気特性及び光学特性は以下の通りであった。
有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極の特性としては、面抵抗10Ω/□以下、視感平均透過率80%以上であることが望ましいとされている。本実施例において作製された試料▲1▼〜▲6▼は、この条件を満たしているものであることが確認された。
【0031】
(耐電流試験)
先に作製した試料▲1▼を用いた。
透明導電性薄膜上、2短辺付近、端部から3mm離れた部分までを覆うように導箔テープを貼りつけ、2つの外部取りだし電極とする。
2つの外部取り出し電極間に直流電圧を印加し、所望の電流を1分間流す。その後、透明導電性薄膜の様子を光学顕微鏡によって観察する。観察倍率は3000倍とする。流す電流の大きさを変化させて再評価したい場合は、電流値を変化させ、1分間流す。
なお、合否判定のための電流値の閾値は、0.2Aとし、通電後に直径0.1μm以上の点状の模様を生じた場合は不合格、生じなかった場合は合格とした。
なお、流す電流の大きさは0.15A、0.2A、0.25A、0.3Aと変化させ、どの電流値の場合に点状模様が生じるかどうか調べた。
【0032】
(有機エレクトロルミネッセンス素子評価試験)
続いて、得られた透明電極を用いて、有機エレクトロルミネッセンス素子を作製し、発光試験を実施した。
透明電極上に5mm×5mmの寸法で正方形状に有機薄膜層を形成し、その後透明電極と直交するように幅3mmの陰極を形成した。透明電極、有機薄膜層、陰極の位置関係は図2に記載した通りである。
有機薄膜層及び陰極は、以下の通り形成した。 まず、透明電極の透明導電性薄膜上に真空加熱蒸着法を用いて、正孔輸送層としてN,N‘−ジフェニル−N,N’−(3−メチルフェニル)−1,1‘−ビフェニル−4,4’−ジアミン(略称:TPD)層[50nm]を形成した。続いてその上に真空加熱蒸着法を用いて発光層として8−ハイドロキシキノリンアルミニウム(略称:Alq3)層[50nm]を形成した。さらにその上に真空加熱蒸着法を用いて、陰極としてマグネシウム層[2nm]を形成した。形成した有機エレクトロルミネッセンス素子の断面図を図3に示した。
有機エレクトロルミネッセンス素子の陽極と陰極との間に10Vの直流電圧を印加し、点灯させ、発光の様子を肉眼で観察した。
結果を表2に示した。
インジウムとスズとの酸化物層の水素原子含有割合が、1.0×1019(at/cm3)である透明導電性薄膜層は、耐電流試験に合格するものではないが、1.0×1020(at/cm3)以上の場合は、合格するものであった。さらにインジウムとスズとの酸化物層の水素ガス含有割合が1.0×1020(at/cm3)以上である透明導電性薄膜を透明電極として、有機エレクトロルミネッセンス試験を実施すると、この試験に合格するものであった。
【0033】
【表1】
【0034】
【表2】
【0035】
【発明の効果】
本発明は、高屈折率薄膜層の水素原子含有割合を制限することによって、透明導電性薄膜積層体の電流に対する耐久性を向上させることができ、さらには有機エレクトロルミネッセンス素子として用いた時に、非発光不要を生じることがない実用的な有機エレクトロルミネセンス素子が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】透明導電性薄膜積層体の一例を示す断面図
【図2】有機エレクトロルミネッセンス素子の一例を示す平面図
【図3】有機エレクトロルミネッセンス素子の一例を示す断面図
【符号の説明】
10 透明基体
20 高屈折率薄膜層
30 銀または銀合金薄膜層
40 透明導電性薄膜層
50 有機薄膜層
60 陰極
70 正孔輸送層
80 発光層
Claims (5)
- 水素原子を1.0×1020〜1.0×1023(at/cm3)の割合で含有する高屈折率透明薄膜層(a)及び金属薄膜層(b)を透明基体(A)上に積層してなることを特徴とする透明電極。
- 水素原子を1.0×1020〜1.0×1023(at/cm3)の割合で含有する高屈折率透明薄膜層(a)、金属薄膜層(b)、透明基体(A)をA/b/a、A/a/b/a、A/b/a/b/a又はA/a/b/a/b/aの順に積層してなる請求項1に記載の透明電極。
- 透明酸化物層(a)が、酸化インジウム、酸化スズ又は酸化チタンを主成分とすることを特徴とする請求項1又は2に記載の透明電極。
- 金属薄膜層(b)が銀又は銀合金からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の透明電極。
- 請求項1〜4いずれかに記載の透明電極をもちいることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002252205A JP2004095240A (ja) | 2002-08-30 | 2002-08-30 | 透明電極 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002252205A JP2004095240A (ja) | 2002-08-30 | 2002-08-30 | 透明電極 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004095240A true JP2004095240A (ja) | 2004-03-25 |
Family
ID=32058539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002252205A Pending JP2004095240A (ja) | 2002-08-30 | 2002-08-30 | 透明電極 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004095240A (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005347215A (ja) * | 2004-06-07 | 2005-12-15 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 透明導電膜、透明導電膜製造用焼結体ターゲット、透明導電性基材及びそれを用いた表示デバイス |
JP2006024554A (ja) * | 2004-06-11 | 2006-01-26 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光素子、発光装置およびその作製方法 |
WO2008114620A1 (ja) | 2007-03-19 | 2008-09-25 | Asahi Glass Company, Limited | 導電体の製造方法 |
WO2008146693A1 (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 酸化物透明導電膜、およびそれを用いた光電変換素子、光検出素子 |
WO2009028569A1 (ja) | 2007-08-29 | 2009-03-05 | Asahi Glass Company, Limited | 導電体層の製造方法 |
WO2009119273A1 (ja) | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 旭硝子株式会社 | 導電体およびその製造方法 |
US7858206B2 (en) | 2004-08-13 | 2010-12-28 | Kanagawa Academy Of Science And Technology | Transparent conductor, transparent electrode, solar cell, light emitting device and display panel |
US7968216B2 (en) | 2005-01-08 | 2011-06-28 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Internal gear pump |
US8034646B2 (en) | 2004-06-11 | 2011-10-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting element, light emitting device and semiconductor device |
JP2014512642A (ja) * | 2011-03-30 | 2014-05-22 | オーシャンズ キング ライティング サイエンスアンドテクノロジー カンパニー リミテッド | フレキシブル有機エレクトロルミネッセンスデバイス及びその製造方法 |
WO2014109264A1 (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-17 | コニカミノルタ株式会社 | タッチパネル用透明電極、タッチパネル、表示装置、およびタッチパネル用透明電極の製造方法 |
WO2015033853A1 (ja) * | 2013-09-05 | 2015-03-12 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
JP7509852B2 (ja) | 2022-11-10 | 2024-07-02 | 日東電工株式会社 | 透明導電性フィルム |
-
2002
- 2002-08-30 JP JP2002252205A patent/JP2004095240A/ja active Pending
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005347215A (ja) * | 2004-06-07 | 2005-12-15 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 透明導電膜、透明導電膜製造用焼結体ターゲット、透明導電性基材及びそれを用いた表示デバイス |
JP4539181B2 (ja) * | 2004-06-07 | 2010-09-08 | 住友金属鉱山株式会社 | 透明導電膜、透明導電膜製造用焼結体ターゲット、透明導電性基材及びそれを用いた表示デバイス |
JP2006024554A (ja) * | 2004-06-11 | 2006-01-26 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光素子、発光装置およびその作製方法 |
US8502233B2 (en) | 2004-06-11 | 2013-08-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting element, light emitting device and semiconductor device |
US8034646B2 (en) | 2004-06-11 | 2011-10-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting element, light emitting device and semiconductor device |
JP4741286B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2011-08-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置及びその作製方法 |
US7858206B2 (en) | 2004-08-13 | 2010-12-28 | Kanagawa Academy Of Science And Technology | Transparent conductor, transparent electrode, solar cell, light emitting device and display panel |
US7968216B2 (en) | 2005-01-08 | 2011-06-28 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Internal gear pump |
WO2008114620A1 (ja) | 2007-03-19 | 2008-09-25 | Asahi Glass Company, Limited | 導電体の製造方法 |
WO2008146693A1 (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 酸化物透明導電膜、およびそれを用いた光電変換素子、光検出素子 |
JP5229919B2 (ja) * | 2007-05-23 | 2013-07-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 酸化物透明導電膜を用いた光電変換素子及び光検出素子 |
WO2009028569A1 (ja) | 2007-08-29 | 2009-03-05 | Asahi Glass Company, Limited | 導電体層の製造方法 |
JP5296691B2 (ja) * | 2007-08-29 | 2013-09-25 | 旭硝子株式会社 | 導電体層の製造方法 |
WO2009119273A1 (ja) | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 旭硝子株式会社 | 導電体およびその製造方法 |
JP2014512642A (ja) * | 2011-03-30 | 2014-05-22 | オーシャンズ キング ライティング サイエンスアンドテクノロジー カンパニー リミテッド | フレキシブル有機エレクトロルミネッセンスデバイス及びその製造方法 |
WO2014109264A1 (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-17 | コニカミノルタ株式会社 | タッチパネル用透明電極、タッチパネル、表示装置、およびタッチパネル用透明電極の製造方法 |
WO2015033853A1 (ja) * | 2013-09-05 | 2015-03-12 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
JPWO2015033853A1 (ja) * | 2013-09-05 | 2017-03-02 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
JP7509852B2 (ja) | 2022-11-10 | 2024-07-02 | 日東電工株式会社 | 透明導電性フィルム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2002015623A (ja) | 透明電極 | |
JP2002313139A (ja) | 透明導電性薄膜積層体 | |
JP4468546B2 (ja) | 透明電極 | |
JP2004095240A (ja) | 透明電極 | |
JP4730300B2 (ja) | 透明導電膜及びそれを用いた透明導電性基材 | |
JP3862466B2 (ja) | 透明電極 | |
JP5872064B2 (ja) | 電気的特性に優れた透明導電性フィルム及びこれを用いたタッチパネル | |
JP2008153211A (ja) | バリア性フィルム基板およびその製造方法 | |
US11227999B2 (en) | Array substrate having a layer of magnetic material, display panel having the same and manufacturing method the same thereof | |
TW200527970A (en) | Electrode for organic light emitting device and organic light emitting device comprising the same | |
WO2005099315A1 (ja) | エレクトロルミネッセンス素子 | |
CN104465995A (zh) | 有机电致发光装置及其制备方法 | |
JP2001052529A (ja) | 透明導電性薄膜積層体 | |
EP1536493A2 (en) | Light emitting device and method for producing the device | |
JP2004342375A (ja) | 発光体 | |
TWI295233B (en) | Laminate and uses thereof | |
JP2004296140A (ja) | 透明導電性薄膜積層体 | |
JP2002343150A (ja) | 透明導電性フィルム及びその製造方法 | |
JP2003225964A (ja) | 透明導電性薄膜積層体およびその用途 | |
JP2004139780A (ja) | 有機電界発光装置用電極基板および有機電界発光装置およびその装置の製造方法 | |
CN102195004A (zh) | 有机电致发光元件和具有其的发光装置 | |
TW200302493A (en) | Transparent conductive film, its manufacturing method, and electroluminescent light-emitting device | |
JP2008243759A (ja) | 透明電極及びその製造方法 | |
JP2007039781A (ja) | スパッタリングターゲット、その製造方法、反射膜、及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
Lu et al. | Effects of ultra-thin Al2O3-doped ZnO film as anode buffer layer grown by thermal evaporation for organic light-emitting diodes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040707 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060404 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060801 |