JP2007218661A - 対象物の情報を検出する検出装置 - Google Patents
対象物の情報を検出する検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007218661A JP2007218661A JP2006037765A JP2006037765A JP2007218661A JP 2007218661 A JP2007218661 A JP 2007218661A JP 2006037765 A JP2006037765 A JP 2006037765A JP 2006037765 A JP2006037765 A JP 2006037765A JP 2007218661 A JP2007218661 A JP 2007218661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electromagnetic wave
- thz
- information
- image
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N22/00—Investigating or analysing materials by the use of microwaves or radio waves, i.e. electromagnetic waves with a wavelength of one millimetre or more
Abstract
【解決手段】検出装置は、照射手段1、3、4、5、6と検出手段2と情報取得手段を有する。照射手段は、30GHz乃至30THzの周波数領域の少なくとも一部の周波数成分を含み且つ振幅変化が10−11秒以上の時間でしか起こらないか若しくは振幅が時間的に一定である電磁波を矩形状ビームとして対象物9に照射する。検出手段は、対象物9と電磁波が相互作用することで対象物9を透過若しくは反射した電磁波を検出する。情報取得手段は、検出手段2で検出した電磁波の情報を用いて、対象物9の情報を取得する。
【選択図】図1
Description
以下に、図1、図2を用いて本発明の実施例1を説明する。本発明による第1の実施例は、検体の透過イメージングを行うものである。実施例1では、S/N向上のために、THz発生器1から出力された電磁波を短冊状に整形して、1次元の画像をTHz検出器2で取得する。そして、ガルバノミラー10を図1の回転方向で動かしながら、短冊状ビームを検体9上でスキャンして画像合成を行うことで検体9の2次元画像を得る。この基本構成は上記実施形態で述べたものと同じである。
本発明の実施例2を説明する。本発明による第2の実施例は、図3に示した様に検体58からの反射THz波を検出してイメージングするものである。THz波の照射系は実施例1とほぼ同じで、反射波は、検出しやすい様に検体58には基本的に斜め入射される。ここでは、照射系は、THz発生器50、2つの放物面鏡52、53、シリンドリカルレンズ54、シリンドリカルレンズ55を含み、シリンドリカルレンズ54からの集光ビームはガルバノミラー59で反射される。検体58からの反射THz波は、シリンドリカルレンズ56及び反射ミラー57により実施例1と同様のアレイTHz検出器51に入射させられて、画像取得が行われる。
本発明の実施例3を説明する。本発明の第3の実施例は、検体中のTHz波の透過率、反射率分布だけでなく、検体中の誘電率の違いによる位相変化分布も検出して、物体の種類についても或る程度判定可能にするものである。図6に、遅延光学系を用いてこれを実現する光学系について示す。検体94に対する透過光学系は、実施例1と同様である。すなわち、照射系は、THz発生器80、2つの放物面鏡82、83、シリンドリカルレンズ85、シリンドリカルレンズ86を含み、シリンドリカルレンズ85からの集光ビームはガルバノミラー93で反射される。検体94からの透過THz波はシリンドリカルレンズ87及び反射ミラー88により実施例1と同様のアレイTHz検出器81に入射させられて、画像取得が行われる。
本発明の実施例4を説明する。本発明による第4の実施例は、実施例3と同じ効果を達成するもので、すなわち位相変化分布も検出するものである。ただし、本実施例では、図7に示す様にマイケルソン干渉計120を構成する。この場合も、透過光学系については図1の実施例1と同様である。勿論、反射光学系についても同様に構成できることは言うまでもない。本実施例の照射系は、THz発生器100、2つの放物面鏡102、103、シリンドリカルレンズ104、シリンドリカルレンズ105を含み、シリンドリカルレンズ104からの集光ビームはガルバノミラー114で反射される。検体113からの透過THz波はシリンドリカルレンズ106を通って反射ミラー107により反射される。
2、51、81、101‥検出手段(THz検出器)
3、4、52、53、82、83、102、103‥照射手段(放物面鏡)
5、6、23、24、26、54、55、85、86、104、105‥照射手段(シリンドリカルレンズ)
9、58、66、94、113‥対象物(検体、物体)
10、25、93、114‥相対位置変化手段(ガルバノミラー)
20、64、69、70‥電磁波(テラヘルツ波)
21、22‥照射手段(フライアイレンズ)
65‥相対位置変化手段(ベルトコンベア)
90‥遅延光学系
120‥マイケルソン干渉計
Claims (12)
- 対象物の情報を検出するための検出装置であって、
30GHz乃至30THzの周波数領域の少なくとも一部の周波数成分を含み且つ振幅変化が10−11秒以上の時間でしか起こらないか若しくは振幅が時間的に一定である電磁波を矩形状ビームとして前記対象物に照射する照射手段と、
前記対象物と前記電磁波が相互作用することで前記対象物を透過若しくは反射した電磁波を検出する検出手段と、
前記検出手段で検出した電磁波の情報を用いて、前記対象物の情報を取得する情報取得手段と、
を有することを特徴とする検出装置。 - 前記照射手段は、
30GHz乃至30THzの周波数領域の少なくとも一部の周波数成分を含み且つ振幅変化が10−11秒以上の時間でしか起こらないか若しくは振幅が時間的に一定である電磁波を発生する発生手段と、
前記発生手段が出射する電磁波を、その空間的な強度分布を異なる空間的な強度分布にして、前記矩形状ビームに変換する変換手段と、
を含むことを特徴とする請求項1記載の検出装置。 - 前記検出手段は、前記対象物を透過若しくは反射した電磁波を複数の画素で検出するアレイ型検出器であることを特徴とする請求項1または2記載の検出装置。
- 前記情報取得手段は、
前記対象物に照射される矩形状ビームと前記対象物の相対位置を変化させる相対位置変化手段と、
前記相対位置変化手段により相対位置を変化させながら、逐次、前記検出手段で検出した電磁波の情報を用いて前記矩形状ビームの空間強度分布に対応した画像を合成し、前記相対位置の変化領域に対応する前記対象物の画像を取得する画像取得手段と、
を含むことを特徴とする請求項1、2または3記載の検出装置。 - 前記変換手段は、空間的な強度分布を短冊状のビームに変換する手段であり、前記画像取得手段は、短冊状ビームの空間強度分布に対応した1次元画像を合成して2次元画像を取得することを特徴とする請求項4記載の検出装置。
- 前記変換手段は、シリンドリカルレンズ及びフライアイレンズを含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の検出装置。
- 前記検出手段は、前記対象物と相互作用した電磁波と、相互作用させない電磁波を、夫々の伝搬による時間遅延を調整して合波したものを検出する手段であり、前記情報取得手段は、前記対象物と相互作用した電磁波の位相変化分布を画像として取得することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の検出装置。
- 前記検出手段は、前記対象物と相互作用した電磁波を、2つの異なる伝搬距離を経て合波させ、両者の電磁波間の伝搬距離を調整して合波したものを検出する手段であり、前記情報取得手段は、前記対象物と相互作用した電磁波の位相変化分布を画像として取得することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の検出装置。
- 前記発生手段は、30GHz乃至30THzの周波数領域の何れかの単一周波数で発振するコヒーレント光源であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の検出装置。
- 前記相対位置変化手段は、前記照射手段において電磁波の反射方向を変化させる可動ミラーを含むことを特徴とする請求項4乃至9のいずれかに記載の検出装置
- 前記相対位置変化手段は、前記対象物を1軸方向に移動させる手段を含み、これによって照射される電磁波と対象物の相対位置を変化させて対象物の状態を検査することを特徴とする請求項4乃至9のいずれかに記載の検出装置。
- 対象物の情報を検出するための検出方法であって、
30GHz乃至30THzの周波数領域の少なくとも一部の周波数成分を含み且つ振幅変化が10−11秒以上の時間でしか起こらないか若しくは振幅が時間的に一定である電磁波を矩形状ビームとして前記対象物に照射するステップと、
前記対象物と前記電磁波が相互作用することで前記対象物を透過若しくは反射した電磁波を検出するステップと、
前記検出ステップで検出した電磁波の情報を用いて、前記対象物の情報を取得するステップと、
を含むことを特徴とする検出方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006037765A JP4773839B2 (ja) | 2006-02-15 | 2006-02-15 | 対象物の情報を検出する検出装置 |
US11/703,122 US7683778B2 (en) | 2006-02-15 | 2007-02-07 | Apparatus for detecting information on object |
US12/703,639 US20100140481A1 (en) | 2006-02-15 | 2010-02-10 | Apparatus for detecting information on object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006037765A JP4773839B2 (ja) | 2006-02-15 | 2006-02-15 | 対象物の情報を検出する検出装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007218661A true JP2007218661A (ja) | 2007-08-30 |
JP2007218661A5 JP2007218661A5 (ja) | 2009-03-26 |
JP4773839B2 JP4773839B2 (ja) | 2011-09-14 |
Family
ID=38428190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006037765A Active JP4773839B2 (ja) | 2006-02-15 | 2006-02-15 | 対象物の情報を検出する検出装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7683778B2 (ja) |
JP (1) | JP4773839B2 (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008032394A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Canon Inc | シート状媒体に画像形成する画像形成装置、及び画像形成方法 |
JP2009198278A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Ibaraki Univ | テラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析方法およびテラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析装置 |
JP2010151562A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Hikari Physics Kenkyusho:Kk | 遠赤外分光分析装置 |
JP2011226918A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Hamamatsu Photonics Kk | テラヘルツ波発生装置 |
WO2012014727A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 遠赤外撮像装置およびそれを用いた撮像方法 |
JP2013217824A (ja) * | 2012-04-11 | 2013-10-24 | Seiko Epson Corp | テラヘルツカメラ及び電子機器 |
JP2014141296A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-08-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 収容体、積層体、収容体の真贋判定方法および積層体の真贋判定方法 |
JP2014182077A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Jasco Corp | 赤外分光測定装置および測定方法 |
JP2015004619A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社 日立産業制御ソリューションズ | テラヘルツ波を用いた異物検査装置及びその方法 |
JP2015087270A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | アンリツ株式会社 | THz帯検査装置およびTHz帯を用いた検査方法 |
JP2016080452A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | ローレル精機株式会社 | THz帯を用いた検査装置 |
US10203278B2 (en) | 2014-02-14 | 2019-02-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Far-infrared imaging device and far-infrared imaging method |
WO2021070428A1 (ja) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮影装置 |
US11600055B2 (en) | 2020-04-07 | 2023-03-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus, method, and storage medium |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9909986B2 (en) | 2003-10-15 | 2018-03-06 | Applied Research And Photonics, Inc. | Thickness determination and layer characterization using terahertz scanning reflectometry |
US8620132B2 (en) * | 2006-09-27 | 2013-12-31 | Anis Rahman | Terahertz scanning reflectometer |
US8759778B2 (en) * | 2007-09-27 | 2014-06-24 | Anis Rahman | Terahertz time domain and frequency domain spectroscopy |
JP4217646B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2009-02-04 | キヤノン株式会社 | 認証方法及び認証装置 |
JP4390147B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2009-12-24 | キヤノン株式会社 | 周波数可変発振器 |
JP4250603B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2009-04-08 | キヤノン株式会社 | テラヘルツ波の発生素子、及びその製造方法 |
JP2006275910A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Canon Inc | 位置センシング装置及び位置センシング方法 |
JP4402026B2 (ja) | 2005-08-30 | 2010-01-20 | キヤノン株式会社 | センシング装置 |
JP5132146B2 (ja) * | 2006-03-17 | 2013-01-30 | キヤノン株式会社 | 分析方法、分析装置、及び検体保持部材 |
JP4481946B2 (ja) | 2006-03-17 | 2010-06-16 | キヤノン株式会社 | 検出素子及び画像形成装置 |
JP4898472B2 (ja) * | 2006-04-11 | 2012-03-14 | キヤノン株式会社 | 検査装置 |
JP4709059B2 (ja) | 2006-04-28 | 2011-06-22 | キヤノン株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
JP5006642B2 (ja) | 2006-05-31 | 2012-08-22 | キヤノン株式会社 | テラヘルツ波発振器 |
JP5196750B2 (ja) | 2006-08-25 | 2013-05-15 | キヤノン株式会社 | 発振素子 |
JP4873746B2 (ja) * | 2006-12-21 | 2012-02-08 | キヤノン株式会社 | 発振素子 |
JP5144175B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2013-02-13 | キヤノン株式会社 | 電磁波を用いる検査装置及び検査方法 |
US7869036B2 (en) * | 2007-08-31 | 2011-01-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Analysis apparatus for analyzing a specimen by obtaining electromagnetic spectrum information |
JP5354971B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2013-11-27 | キヤノン株式会社 | イメージング方法及び装置 |
JP4807707B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2011-11-02 | キヤノン株式会社 | 波形情報取得装置 |
WO2009081569A1 (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-02 | Panasonic Corporation | 超音波診断装置 |
CN101251492B (zh) * | 2008-01-02 | 2011-06-22 | 阮双琛 | 一种连续波太赫兹实时成像装置及其方法 |
JP4834718B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2011-12-14 | キヤノン株式会社 | パルスレーザ装置、テラヘルツ発生装置、テラヘルツ計測装置及びテラヘルツトモグラフィー装置 |
JP5357531B2 (ja) * | 2008-02-05 | 2013-12-04 | キヤノン株式会社 | 情報取得装置及び情報取得方法 |
JP2009300108A (ja) * | 2008-06-10 | 2009-12-24 | Sony Corp | テラヘルツ分光装置 |
FR2938065B1 (fr) * | 2008-11-05 | 2012-05-25 | I2S | Procede de numerisation de livres en trois dimensions par ondes terahertz. |
CN101566589B (zh) * | 2008-12-15 | 2011-08-10 | 深圳先进技术研究院 | 太赫兹成像装置和太赫兹成像方法 |
JP5665305B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2015-02-04 | キヤノン株式会社 | 分析装置 |
JP5612842B2 (ja) | 2009-09-07 | 2014-10-22 | キヤノン株式会社 | 発振器 |
JP2012185151A (ja) * | 2011-02-17 | 2012-09-27 | Arkray Inc | テラヘルツ波の特性測定方法、物質検出方法、測定用具、テラヘルツ波の特性測定装置、及び物質検出装置 |
US20140198195A1 (en) * | 2013-01-17 | 2014-07-17 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Terahertz health checker |
CN103199409B (zh) * | 2013-04-03 | 2015-11-18 | 上海理工大学 | 透射反射型一体式太赫兹波产生装置及调整方法 |
CA2930466C (en) * | 2013-11-15 | 2022-04-05 | Picometrix, Llc | System for determining at least one property of a sheet dielectric sample using terahertz radiation |
JP6418542B2 (ja) * | 2013-12-10 | 2018-11-07 | 株式会社Screenホールディングス | 検査装置および検査方法 |
DE102014212633B4 (de) * | 2014-06-30 | 2017-03-09 | Inoex Gmbh | Messvorrichtung und Verfahren zur Vermessung von Prüfobjekten |
WO2016084322A1 (en) | 2014-11-28 | 2016-06-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Measuring apparatus and method for measuring terahertz pulses |
CN104597605A (zh) * | 2015-01-27 | 2015-05-06 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种降低qcl太赫兹源衍射效应及发散角的光束整形方法 |
KR102328368B1 (ko) * | 2015-10-29 | 2021-11-18 | 한국식품연구원 | 전자기파 검출 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치 |
CN108444938B (zh) * | 2018-02-28 | 2020-11-03 | 首都师范大学 | 太赫兹成像固体火箭发动机界面脱粘缺陷检测方法及系统 |
IT201900007698A1 (it) * | 2019-05-31 | 2020-12-01 | Luca Mucchi | Apparato e metodo di acquisizione ed elaborazione di immagini per determinare una proprietà fisica di un prodotto |
CN110530525B (zh) * | 2019-09-23 | 2021-03-12 | 河南师范大学 | 一种基于反射法的方向发射率测量装置及测量方法 |
EP3848710B1 (en) * | 2020-01-10 | 2023-07-12 | F. Hoffmann-La Roche AG | Method and laboratory system to process a laboratory carrier based on a feature of a test liquid in the laboratory carrier |
US11460399B2 (en) * | 2020-04-13 | 2022-10-04 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | Spectrally selective pyroelectric detection device and associated method of use |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09129573A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-05-16 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザーアニール方法およびレーザーアニール装置 |
JP2003098078A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 試料濃度測定装置 |
JP2003254856A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Tokyo Gas Co Ltd | 光学式ガス漏洩検知器及びガス漏洩検知車両 |
JP2005195377A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Semiconductor Res Found | 電磁波発生照射方法及び装置 |
JP2005326721A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
WO2005119214A1 (en) * | 2004-05-26 | 2005-12-15 | Picometrix, Llc. | Terahertz imaging in reflection and transmission mode for luggage and personnel inspection |
Family Cites Families (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3210159B2 (ja) | 1993-12-10 | 2001-09-17 | キヤノン株式会社 | 半導体レーザ、光源装置、光通信システム及び光通信方法 |
JPH07307530A (ja) | 1994-03-17 | 1995-11-21 | Canon Inc | 偏波変調可能な半導体レーザ |
US5659560A (en) | 1994-05-12 | 1997-08-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for driving oscillation polarization selective light source, and optical communication system using the same |
US6059873A (en) * | 1994-05-30 | 2000-05-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Optical processing method with control of the illumination energy of laser light |
US5710430A (en) | 1995-02-15 | 1998-01-20 | Lucent Technologies Inc. | Method and apparatus for terahertz imaging |
US5764670A (en) | 1995-02-27 | 1998-06-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor laser apparatus requiring no external modulator, method of driving semiconductor laser device, and optical communication system using the semiconductor laser apparatus |
US6524977B1 (en) * | 1995-07-25 | 2003-02-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of laser annealing using linear beam having quasi-trapezoidal energy profile for increased depth of focus |
US5789750A (en) | 1996-09-09 | 1998-08-04 | Lucent Technologies Inc. | Optical system employing terahertz radiation |
JPH10164437A (ja) * | 1996-11-26 | 1998-06-19 | Canon Inc | 放射線撮像装置及び放射線撮像素子の駆動方法 |
AU777135B2 (en) * | 1999-02-23 | 2004-10-07 | Teraview Limited | Method and apparatus for terahertz imaging |
JP2001042170A (ja) | 1999-07-28 | 2001-02-16 | Canon Inc | 光配線装置、その駆動方法およびそれを用いた電子機器 |
US6777684B1 (en) * | 1999-08-23 | 2004-08-17 | Rose Research L.L.C. | Systems and methods for millimeter and sub-millimeter wave imaging |
GB2396695B (en) * | 2001-01-16 | 2005-05-04 | Teraview Ltd | Apparatus and method for investigating a sample |
JP2004085359A (ja) | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Tochigi Nikon Corp | テラヘルツパルス光計測装置 |
US7119339B2 (en) * | 2002-11-13 | 2006-10-10 | Rensselaer Polytechnic Institute | Transmission mode terahertz computed tomography |
US6909094B2 (en) * | 2003-02-12 | 2005-06-21 | Philip Norris Usa Inc. | System and method for terahertz imaging using a single terahertz detector |
KR100787988B1 (ko) | 2003-06-25 | 2007-12-24 | 캐논 가부시끼가이샤 | 고주파 전기 신호 제어 장치 및 센싱 시스템 |
JP4533044B2 (ja) | 2003-08-27 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | センサ |
JP4136858B2 (ja) | 2003-09-12 | 2008-08-20 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置、及び情報入力装置 |
JP2005157601A (ja) | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Canon Inc | 電磁波による積層状物体計数装置及び計数方法 |
US6992616B2 (en) * | 2003-12-05 | 2006-01-31 | Safeview, Inc. | Millimeter-wave active imaging system |
JP4217646B2 (ja) | 2004-03-26 | 2009-02-04 | キヤノン株式会社 | 認証方法及び認証装置 |
US7205926B2 (en) * | 2004-04-14 | 2007-04-17 | Safeview, Inc. | Multi-source surveillance system |
JP4250573B2 (ja) | 2004-07-16 | 2009-04-08 | キヤノン株式会社 | 素子 |
JP4546326B2 (ja) | 2004-07-30 | 2010-09-15 | キヤノン株式会社 | センシング装置 |
JP5129443B2 (ja) * | 2004-08-25 | 2013-01-30 | 三星電子株式会社 | ミリ波及びサブミリ波用電磁波を生成する量子井戸共鳴トンネルジェネレータを安定化するマイクロストリップ |
US7310407B2 (en) * | 2004-09-03 | 2007-12-18 | Juni Jack E | Nuclear medical imaging device |
US7345279B2 (en) * | 2005-09-20 | 2008-03-18 | Coherent, Inc. | Identification of hidden objects by terahertz heterodyne laser imaging |
US20070257194A1 (en) * | 2005-03-22 | 2007-11-08 | Mueller Eric R | Terahertz heterodyne tomographic imaging system |
JP4390147B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2009-12-24 | キヤノン株式会社 | 周波数可変発振器 |
JP4250603B2 (ja) | 2005-03-28 | 2009-04-08 | キヤノン株式会社 | テラヘルツ波の発生素子、及びその製造方法 |
JP2006275910A (ja) | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Canon Inc | 位置センシング装置及び位置センシング方法 |
JP4402026B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2010-01-20 | キヤノン株式会社 | センシング装置 |
JP4481946B2 (ja) | 2006-03-17 | 2010-06-16 | キヤノン株式会社 | 検出素子及び画像形成装置 |
JP5132146B2 (ja) | 2006-03-17 | 2013-01-30 | キヤノン株式会社 | 分析方法、分析装置、及び検体保持部材 |
JP4898472B2 (ja) | 2006-04-11 | 2012-03-14 | キヤノン株式会社 | 検査装置 |
JP4709059B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2011-06-22 | キヤノン株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
JP5006642B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2012-08-22 | キヤノン株式会社 | テラヘルツ波発振器 |
JP5196750B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2013-05-15 | キヤノン株式会社 | 発振素子 |
-
2006
- 2006-02-15 JP JP2006037765A patent/JP4773839B2/ja active Active
-
2007
- 2007-02-07 US US11/703,122 patent/US7683778B2/en active Active
-
2010
- 2010-02-10 US US12/703,639 patent/US20100140481A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09129573A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-05-16 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザーアニール方法およびレーザーアニール装置 |
JP2003098078A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 試料濃度測定装置 |
JP2003254856A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Tokyo Gas Co Ltd | 光学式ガス漏洩検知器及びガス漏洩検知車両 |
JP2005195377A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Semiconductor Res Found | 電磁波発生照射方法及び装置 |
JP2005326721A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
WO2005119214A1 (en) * | 2004-05-26 | 2005-12-15 | Picometrix, Llc. | Terahertz imaging in reflection and transmission mode for luggage and personnel inspection |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008032394A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Canon Inc | シート状媒体に画像形成する画像形成装置、及び画像形成方法 |
JP2009198278A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Ibaraki Univ | テラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析方法およびテラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析装置 |
JP2010151562A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Hikari Physics Kenkyusho:Kk | 遠赤外分光分析装置 |
JP2011226918A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Hamamatsu Photonics Kk | テラヘルツ波発生装置 |
WO2012014727A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 遠赤外撮像装置およびそれを用いた撮像方法 |
JP2012026943A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 遠赤外撮像装置およびそれを用いた撮像方法 |
JP2013217824A (ja) * | 2012-04-11 | 2013-10-24 | Seiko Epson Corp | テラヘルツカメラ及び電子機器 |
JP2014141296A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-08-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 収容体、積層体、収容体の真贋判定方法および積層体の真贋判定方法 |
JP2014182077A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Jasco Corp | 赤外分光測定装置および測定方法 |
JP2015004619A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社 日立産業制御ソリューションズ | テラヘルツ波を用いた異物検査装置及びその方法 |
JP2015087270A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | アンリツ株式会社 | THz帯検査装置およびTHz帯を用いた検査方法 |
US10203278B2 (en) | 2014-02-14 | 2019-02-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Far-infrared imaging device and far-infrared imaging method |
US10613026B2 (en) | 2014-02-14 | 2020-04-07 | Hitachi High-Technologies Corporation | Far-infrared imaging device and far-infrared imaging method |
JP2016080452A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | ローレル精機株式会社 | THz帯を用いた検査装置 |
WO2021070428A1 (ja) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮影装置 |
US11600055B2 (en) | 2020-04-07 | 2023-03-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus, method, and storage medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4773839B2 (ja) | 2011-09-14 |
US7683778B2 (en) | 2010-03-23 |
US20070195921A1 (en) | 2007-08-23 |
US20100140481A1 (en) | 2010-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4773839B2 (ja) | 対象物の情報を検出する検出装置 | |
JP4963640B2 (ja) | 物体情報取得装置及び方法 | |
US8440971B2 (en) | Examining apparatus | |
JP5037929B2 (ja) | テラヘルツ波を用いた対象物の情報取得装置及び方法 | |
JP5367298B2 (ja) | ビーム走査式画像生成装置 | |
KR101365261B1 (ko) | 테라파를 이용한 물체 검사 장치 | |
JP5031330B2 (ja) | 検体分析装置、及び検体分析方法 | |
KR20150088206A (ko) | 반도체 칩 표면검사 장치 및 이를 이용한 반도체 칩의 표면검사 방법 | |
JP2007218661A5 (ja) | ||
JP6605603B2 (ja) | 遠赤外分光装置 | |
JP2011202972A (ja) | イメージング装置 | |
EP3206014A1 (en) | Optical response measuring device and optical response measuring method | |
JP2012026943A (ja) | 遠赤外撮像装置およびそれを用いた撮像方法 | |
US7212288B2 (en) | Position modulated optical reflectance measurement system for semiconductor metrology | |
JP2008008862A (ja) | 電磁波測定装置 | |
US10021277B2 (en) | Terahertz imaging device, and method of eliminating interference patterns from terahertz image | |
JP2008277565A (ja) | テラヘルツ波発生装置 | |
JP2001066375A (ja) | サブテラヘルツ電磁波を用いた粉粒体中異物検査装置およびその検査方法 | |
JP2016186424A (ja) | 情報取得装置及び固定具 | |
JP2004085359A (ja) | テラヘルツパルス光計測装置 | |
JP2005317669A (ja) | テラヘルツ波発生装置及びそれを用いた計測装置 | |
CN105074430A (zh) | 成像系统 | |
JP6061197B2 (ja) | テラヘルツ波を用いた異物検査装置及びその方法 | |
Kaname et al. | 600-GHz-band terahertz imaging system using frequency-independent concave mirror | |
Pradarutti et al. | Terahertz imaging for styrofoam inspection |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090209 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110621 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110624 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140701 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4773839 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |