JP5006642B2 - テラヘルツ波発振器 - Google Patents
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Description
・物質内部の吸収スペクトルや複素誘電率を求めて分子の結合状態を調べる分光技術
・超伝導材料のキャリア濃度や移動度を評価する技術
・生体分子(DNAやたんぱく質)の解析技術
APL, Vol.58(20), P.2291, 1991 IEEE, Transactions on microwave theory and techniques, Vol.42,No.4, 1994 第53回応用物理学会関連講演会予稿集 2006 春季 No.3 23p-M-2
(2)共振する電磁波λgの位相が整合する、すなわち、位相差が略0となること。
図1乃至図3を用いて本発明に係る第1の実施例について説明する。なお、素子の詳細な寸法については各図面に記してある。
InAlAs 2.66nm
InGaAs 5.61nm
InAlAs 2.66nm
InGaAs 7.67nm
InAlAs 2.66nm
InGaAs 5.0nm
図4を用いて本発明に係る第2の実施例について説明する。なお、本実施例の素子の詳細な寸法についても図4に記してある。また、素子の上面など、部材及び材料及び構造について第1の実施例と共通する部分については、詳細な説明及び図示については割愛した。
本発明の第3の実施例を説明する。図5及び図6は、半球面、楕円球面などの曲面を有するレンズ基板501を積層した本実施例の発振器の断面図及び上面図を夫々示す。素子の部材、材料、構造などについて、第1の実施例と共通する部分については、詳細な説明及び図示については割愛する。また、レンズ基板501の寸法については図面に記載した。
101 利得部(RTD)
102、202 貫通電極
103 電磁波共振部(MSL共振器)
104 電磁波放射部(アンテナ)
106 グランド部(GND層)
107 誘電体
110、210 GND貫通電極
112、212 基板
113 シールド
194 電磁波発振部
198 給電部(DC供給部)
199 MSL型パッチアンテナ(共振構造)
500 レンズ基板を積層した発振器
501 レンズ基板
502 スペーサ部
Claims (11)
- 基板と、
前記基板の第1の面に配置された、利得部と、電磁波共振部と、電磁波放射部と、前記利得部と前記電磁波共振部と前記電磁波放射部に対して基準の電位を規定するためのグランド部とを含む電磁波発振部と、
前記基板の第1の面と反対側の第2の面に配置された電極と、
前記電極に給電するための給電部と、を備え、
前記電磁波発振部と前記電極とが、前記基板内部に設けられた貫通電極を介し前記利得部にバイアス電圧を付与するように接続されていることを特徴とするテラヘルツ波発振器。 - 基板と、利得部を含む層と、前記利得部と電気的に接続される第1の電極及び第2の電極と、を含み構成されるテラヘルツ波発振器であって、
前記第1の電極と前記第2の電極とで前記層を挟み構成され、且つ前記基板の第1の面に配置される発振部と、
前記基板における前記第1の面とは反対側の第2の面に配置される第3の電極と、
前記基板の内部を貫通し、前記第1の電極と前記第3の電極とを接続するための第1の貫通電極とを備え、
前記第3の電極から前記第1の貫通電極と前記第1の電極とを介し前記利得部にバイアス電圧を付与することにより発生されたテラヘルツ波を、前記発振部が放射するように構成されることを特徴とするテラヘルツ波発振器。 - 前記貫通電極は、前記電磁波発振部内を共振する電磁界の定在波の節となる位置に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載のテラヘルツ波発振器。
- 前記貫通電極は、内部が空洞である導波管により構成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のテラヘルツ波発振器。
- 前記基板の内部に配置される低周波シールドを備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のテラヘルツ波発振器。
- 前記第1の面に積層され、前記電磁波発振部から放射されるテラヘルツ波をビーム成形する曲面を有するレンズ基板を備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のテラヘルツ波発振器。
- 前記利得部は負性抵抗素子であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のテラヘルツ波発振器。
- 前記第1の電極あるいは前記第2の電極と、前記第1の面と、が接触して形成されることで、前記発振部が前記第1の面に配置されることを特徴とする請求項2に記載のテラヘルツ波発振器。
- 前記第2の面に配置された第4の電極と、
前記基板の内部を貫通し、前記第2の電極と前記第4の電極とを接続する第2の貫通電極と、を備えることを特徴とする請求項2または8に記載のテラヘルツ波発振器。 - 前記第4の電極が接地されることにより、前記利得部に対する基準の電位を規定することを特徴とする請求項9に記載のテラヘルツ波発振器。
- 前記発振部は、前記利得部と電気的に接続される放射部を含み、且つテラヘルツ波を前記放射部から放射するように構成されることを特徴とする請求項2及び8乃至10のいずれか1項に記載のテラヘルツ波発振器。
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