JP4878180B2 - 電磁波を用いる検査装置 - Google Patents
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- G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
Description
テラヘルツ波を用いて検体を検査するための検査装置であって、
前記検体を保持する構造を内部に有する基板と、
前記基板に設けられ、前記構造に保持された前記検体にテラヘルツ波を発信するための発信部と、
前記基板に設けられ、前記検体からのテラヘルツ波を受信するための受信部と、を備え、
前記発信部と前記受信部とが、前記基板を挟んで対向して配置され、前記基板が前記テラヘルツ波を閉じ込める効果を有する検査装置を提供するものである。
また、本発明は、
電磁波を用いて検体を検査するための検査装置であって、
前記検体を保持する構造を内部に有する基板と、
前記基板の上部に設けられ、前記構造に保持された前記検体に電磁波を発信するためのアンテナ構造を有する発信部と、
前記基板を介して前記発信部に対向して該基板の下部に設けられ、前記検体からの電磁波を受信するためのアンテナ構造を有する受信部と、を備え、
前記基板が前記電磁波を閉じ込める効果を有する検査装置を提供するものである。
図1は、本発明における検査装置の一実施例を示したものである。尚、本実施例において、検査装置の動作検証は、電磁界シミュレータを用いて計算している。
図3は、本発明における検査装置の第2の実施例を示したものである。尚、本実施例においても、検査装置の動作検証は、電磁界シミュレータを用いて計算している。図3のように、本実施例の検査装置300は、THz波発信部101、THz波受信部102、検体保持部301で構成される。図3において、上記した実施例1と、本実施例の検査装置300及び検査装置との大きな差異は、検体保持部301の内部に形成され検体104(不図示)を保持する構造が、周期的に配置され、共振構造を有していることである。
101 THz波発信部
102 THz波受信部
103、301 検体保持部(基板)
104 検体
201 発生手段
202 検出手段
203 検体挿入手段
204 検体解析部
205 データベース
401 負性抵抗素子
501 高周波回路
Claims (12)
- テラヘルツ波を用いて検体を検査するための検査装置であって、
前記検体を保持する構造を内部に有する基板と、
前記基板に設けられ、前記構造に保持された前記検体にテラヘルツ波を発信するための発信部と、
前記基板に設けられ、前記検体からのテラヘルツ波を受信するための受信部と、を備え、
前記発信部と前記受信部とが、前記基板を挟んで対向して配置され、前記基板が前記テラヘルツ波を閉じ込める効果を有することを特徴とする検査装置。 - 前記発信部あるいは前記受信部が前記基板と密着していることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記検体を保持する構造は、検体を保持する部分が周期的に設けられている構造であることを特徴とする請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記発信部あるいは前記受信部はアンテナ構造を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記アンテナ構造は、複数の導体から成り、該複数の導体間に間隙を有して対向配置したボウタイ型のアンテナであることを特徴とする請求項4に記載の検査装置。
- 前記発信部あるいは前記受信部は、負性抵抗素子を有することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記検体を保持する構造に前記検体を挿入するための検体挿入手段を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記検体挿入手段は、前記検体を前記検体保持部に噴射して挿入するためのインクジェットであることを特徴とする請求項7に記載の検査装置。
- 前記発信部から発信するテラヘルツ波を発生させるための発生手段と、
前記受信部で受信したテラヘルツ波を検出するための検出手段と、
前記検体を保持する構造に保持された検体の物理的特性を予め保持しておくデータベースと、前記検出手段によって検出されたテラヘルツ波の情報と前記データベースが保持する情報とを比較する比較部と、を有することを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の検査装置。 - 電磁波を用いて検体を検査するための検査装置であって、
前記検体を保持する構造を内部に有する基板と、
前記基板の上部に設けられ、前記構造に保持された前記検体に電磁波を発信するためのアンテナ構造を有する発信部と、
前記基板を介して前記発信部に対向して該基板の下部に設けられ、前記検体からの電磁波を受信するためのアンテナ構造を有する受信部と、を備え、
前記基板が前記電磁波を閉じ込める効果を有することを特徴とする検査装置。 - 前記発信部または前記受信部が前記基板と密着していることを特徴とする請求項10に記載の検査装置。
- 前記検体を保持する構造は、検体を保持する部分が周期的に設けられている構造であることを特徴とする請求項10または11に記載の検査装置。
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