JP2006300925A - 電磁波を用いる検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 71
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 24
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 15
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 12
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 33
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 6
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000012306 spectroscopic technique Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
【解決手段】 検査装置100は、検体104を保持する構造を内包する基板103と、アンテナ構造を有する電磁波発信部101と、アンテナ構造を有する電磁波受信部102とを有する。基板103に対して、電磁波発信部101と電磁波受信部102が密着して配置されている。
【選択図】 図1
Description
検体を保持する構造を内包する基板と、
前記検体に電磁波を照射するためのアンテナ構造を有する電磁波発信部と、
前記電磁波を受信するためのアンテナ構造を有する電磁波受信部とを有し、
前記基板に対して、前記電磁波発信部と前記電磁波受信部が密着して配置されている検査装置を提供するものである。
図1は、本発明における検査装置の一実施例を示したものである。尚、本実施例において、検査装置の動作検証は、電磁界シミュレータを用いて計算している。
図3は、本発明における検査装置の第2の実施例を示したものである。尚、本実施例においても、検査装置の動作検証は、電磁界シミュレータを用いて計算している。図3のように、本実施例の検査装置300は、THz波発信部101、THz波受信部102、検体保持部301で構成される。図3において、上記した実施例1と、本実施例の検査装置300及び検査装置との大きな差異は、検体保持部301の内部に形成され検体104(不図示)を保持する構造が、周期的に配置され、共振構造を有していることである。
101 THz波発信部
102 THz波受信部
103、301 検体保持部(基板)
104 検体
201 発生手段
202 検出手段
203 検体挿入手段
204 検体解析部
205 データベース
401 負性抵抗素子
501 高周波回路
Claims (10)
- 検体を保持する構造を内包する基板と、
検体に電磁波を照射するためのアンテナ構造を有する電磁波発信部と、
前記電磁波を受信するためのアンテナ構造を有する電磁波受信部とを有し、
前記基板に対して、前記電磁波発信部と前記電磁波受信部が密着して配置されていることを特徴とする検査装置。 - 前記電磁波発信部より発生した電磁波が、前記基板内を伝搬し、電磁波の伝搬経路中に検体が存在し、前記電磁波受信部が、検体の存在によって変化した電磁波を受信するように構成されたことを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記検体を保持する構造は、検体を保持する部分が周期的に配置されている構造である請求項1に記載の検査装置。
- 前記電磁波発信部と前記電磁波受信部の少なくとも一方は負性抵抗素子を有している請求項1記載の検査装置。
- 前記電磁波発信部と前記電磁波受信部の少なくとも一方は、電磁波を伝搬させる導波路を介して、高周波回路に接続されている請求項1記載の検査装置。
- 前記電磁波発信部と前記電磁波受信部は、共通の構造であり、電磁波を発信する機能と電磁波を受信する機能を兼ね備えている請求項1記載の検査装置。
- 前記電磁波はテラヘルツ波である請求項1記載の検査装置。
- 前記電磁波発信部よりテラヘルツ波を発生させるための発生手段と、前記電磁波受信部により前記基板内を伝搬して来た電磁波を検出させるための検出手段と、検体の物理的特性を予め保持しておくデータベースと、
前記検出手段によって検出された電磁波の情報と前記データベースの保持情報を照合して検体を検査する解析部を有する請求項1記載の検査装置。 - 前記発生手段が、レーザ発振器である請求項8記載の検査装置。
- 前記電磁波発信部と前記電磁波受信部が、基板の厚さ方向上に形成されていることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006056493A JP4878180B2 (ja) | 2005-03-24 | 2006-03-02 | 電磁波を用いる検査装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005087326 | 2005-03-24 | ||
JP2005087326 | 2005-03-24 | ||
JP2006056493A JP4878180B2 (ja) | 2005-03-24 | 2006-03-02 | 電磁波を用いる検査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006300925A true JP2006300925A (ja) | 2006-11-02 |
JP2006300925A5 JP2006300925A5 (ja) | 2009-12-17 |
JP4878180B2 JP4878180B2 (ja) | 2012-02-15 |
Family
ID=36607347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006056493A Expired - Fee Related JP4878180B2 (ja) | 2005-03-24 | 2006-03-02 | 電磁波を用いる検査装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7633299B2 (ja) |
EP (1) | EP1864111B1 (ja) |
JP (1) | JP4878180B2 (ja) |
AT (1) | ATE441847T1 (ja) |
DE (1) | DE602006008908D1 (ja) |
WO (1) | WO2006101252A1 (ja) |
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- 2006-03-22 DE DE200660008908 patent/DE602006008908D1/de active Active
- 2006-03-22 US US10/587,262 patent/US7633299B2/en not_active Expired - Fee Related
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US9797778B2 (en) | 2013-05-02 | 2017-10-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Active terahertz imager |
JP2015087163A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | パイオニア株式会社 | テラヘルツ波計測装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE602006008908D1 (de) | 2009-10-15 |
US20090009190A1 (en) | 2009-01-08 |
US7633299B2 (en) | 2009-12-15 |
EP1864111B1 (en) | 2009-09-02 |
JP4878180B2 (ja) | 2012-02-15 |
WO2006101252A1 (en) | 2006-09-28 |
ATE441847T1 (de) | 2009-09-15 |
EP1864111A1 (en) | 2007-12-12 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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