JP2012026943A - 遠赤外撮像装置およびそれを用いた撮像方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】遠赤外光を試料上で横長形状あるいは複数の点が横長に並んだ形状にして試料を照明し、遠赤外光の横長方向に直角な方向に試料を移動させながら像を検出することを特徴とする。さらに、遠赤外光発光素子へフェムト秒パルス光源からのパルス状のポンプ光をあてることにより、前記遠赤外光が放射されることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
110 ポンプ光
120 プローブ光
200 撮像部
210 照射光学素子
220 遠赤外光発生素子
222,252 レンズ
230,272,274 軸はずし放物面鏡
240 試料
250 遠赤外光検出素子
254 受光面
270 円筒凹面鏡
292 シュバルツシルト光学系素子
294,610 一次元アレイ
300 光学遅延部
400 信号処理部
500 制御部
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Claims (11)
- 遠赤外光を試料へ照射し、前記試料の像を検出する遠赤外光撮像装置において、
前記遠赤外光を放射する遠赤外光発光素子と、
前記遠赤外光を前記試料上で横長形状あるいは複数の点が横長につながった形状にする照明光学系と、
前記遠赤外光の横長方向に直角な方向に前記試料を移動させながら前記像を検出する結像光学系とを備えたことを特徴とする遠赤外撮像装置。 - 請求項1の記載において、前記遠赤外光発光素子へフェムト秒パルス光源からのパルス状のポンプ光をあてることにより、前記遠赤外光が放射されることを特徴とする遠赤外撮像装置。
- 請求項2の記載において、前記遠赤外光発光素子は光伝導スイッチを含み、該光伝導スイッチの電流の流れる方向を、前記遠赤外光の長手方向に対応させることを特徴とする遠赤外撮像装置。
- 請求項1の記載において、前記遠赤外光発光素子は量子カスケードレーザであることを特徴とする遠赤外撮像装置。
- 請求項1の記載において、前記遠赤外光発光素子はショットキーバリアダイオードであることを特徴とする遠赤外撮像装置。
- 請求項1の記載において、前記結像光学系は、光伝導スイッチの一次元アレイを用いる遠赤外光検出素子を備えたことを特徴とする遠赤外撮像装置。
- 請求項1の記載において、前記結像光学系は、光伝導スイッチの一次元アレイを用いる遠赤外光検出素子を備えたことを特徴とする遠赤外撮像装置。
- 請求項1の記載において、前記結像光学系は、シュバルツシルト光学系素子を備えたことを特徴とする遠赤外撮像装置。
- 遠赤外光を試料へ照射し、前記試料の像を検出する遠赤外光撮像装置を用いた撮像方法において、
前記遠赤外光を前記試料上で横長形状あるいは複数の点が横長につながった形状にして前記試料を照明し、
前記遠赤外光の横長方向に直角な方向に前記試料を移動させながら前記像を検出することを特徴とする遠赤外撮像装置を用いた撮像方法。 - 請求項9の記載において、遠赤外光発光素子へフェムト秒パルス光源からのパルス状のポンプ光をあてることにより、前記遠赤外光が放射されることを特徴とする遠赤外撮像装置を用いた撮像方法。
- 請求項10の記載において、前記遠赤外光発光素子は光伝導スイッチを含み、該光伝導スイッチの電流の流れる方向を、前記遠赤外光の長手方向に対応させることを特徴とする遠赤外撮像装置を用いた撮像方法。
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