JP2014142309A - 測定物情報取得装置とその取得方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電磁波パルスにより測定物108の物性或いは構造の情報を取得する装置は、測定物に照射する電磁波パルスを発生する発生部101と、測定物からの電磁波パルスを検出する検出部102を有する。発生部から検出部に至る電磁波パルスの伝搬経路の少なくとも一部を内包する筐体106が設けられる。筐体の一部に配置された測定窓を移動することで電磁波パルスの伝搬距離を変化させる測定窓部107も設けられる。測定物は、測定窓部を挟んで、筐体の中の電磁波パルスの伝搬経路とは反対側に配置される。
【選択図】 図1
Description
(実施形態1)
本発明の思想を実施し得る形態について、図面を参照して説明する。図1を用いて本実施形態における測定物の物性或いは構造を取得する装置の構成を説明する。本装置は、テラヘルツ波パルスを扱う部分として、テラヘルツ波パルスT1を発生する発生部101と測定物108からのテラヘルツ波パルスT2を検出する検出部102を有する。
Spectroscopy method)を用いて時間波形が取得される。この時間波形を取得するために、装置は次の構成を少なくとも有する。装置は、テラヘルツ波パルスを発生、検出するために用いる励起光を出力する光源103を有する。装置は、光源103から検出部102に至る励起光L2の光路長を調整する遅延光学部104を有する。装置は、遅延光学部104で定義される励起光L2の光路長の変化と検出部102の出力を参照して、テラヘルツ波パルスT2の時間波形を取得する波形取得部109を有する。また、装置は、発生部101からテラヘルツ波パルスT1を発生させるために用いる駆動部105を有する。駆動部105は、電圧または電流源である。ロックインアンプを用いた変復調技術で検出部102からの信号を検出する場合、駆動部105は信号を変調する機能を有していてもよい。これまで述べた装置の各部の構成は、結果的にテラヘルツ波パルスT2の時間波形が取得できる構成であればよい。例えば、本出願人による特許出願の特願2012-047462に各部の構成の詳細が記載されている。尚、図1において、Mは反射ミラーであり、B.S.はビームスプリッタである。
図2は、測定窓部107の一実施形態を説明する図である。図2(a)は測定窓部107の斜視図、図2(b)は図2(a)に示した測定窓部107のAA’部分の断面図である。図2に示すように、測定窓部107は、筐体106の一部に形成される。そして、測定窓部107は、測定窓201、測定窓筐体202、封止部204、アクチュエータ205で構成される。測定窓201は、測定窓部107において測定物108を支持し、テラヘルツ波パルスT1が測定物108に入射する部分である。また、測定窓201は、筐体106で調整された雰囲気の変動を抑制するための蓋の役目も果たす。測定物108は測定窓201と密着することで、測定物108と測定窓201の界面が測定窓201の形状に沿って整形される。言い換えると、測定物108の形状を、測定に適した形に再整形することができる。その結果、測定物108の形状に由来するテラヘルツ波パルスの散乱や干渉を抑制し、測定精度を改善することができる。
測定物108の物性を取得する手法として、伝達行列を用いてテラヘルツ波パルスの応答を演算により再構成する手法がある(例えば、Proceedings of SPIE, Vol.5692,241-254 (2005)参照)。本実施形態における測定物情報取得装置は、実施形態1の装置について、伝達行列を用いて測定物108の物性を取得する装置に適用したものである。尚、これまでの説明と共通する部分の説明は省略する。
本発明の思想を実施し得る他の形態について、図面を参照して説明する。具体的には、測定窓部107の変形例である。これまでの説明と共通する部分の説明は省略する。
本発明の思想を実施し得る他の形態について、図面を参照して説明する。具体的には、これまで説明した測定窓部107の機構を発生部101や検出部102に適用している。尚、これまでの説明と共通する部分の説明は省略する。
本発明の思想を実施し得る他の形態について、図面を参照して説明する。具体的には、実施形態1で説明した装置の変形例であり、本装置をプローブ化した形態を開示するものである。すなわち、本実施形態は、測定物を測定するためのプローブであり電磁波パルスを導波させる導波部をさらに有し、プローブは、その端部に前記測定窓部を備えている。尚、これまでの説明と共通する部分の説明は省略する。
Claims (10)
- 電磁波パルスにより測定物の物性或いは構造の情報を取得する装置であって、
測定物に照射する電磁波パルスを発生する発生部と、
測定物からの前記電磁波パルスを検出する検出部と、
前記発生部から前記検出部に至る電磁波パルスの伝搬経路の少なくとも一部を内包する筐体と、
前記筐体の一部に配置された測定窓を移動することで前記電磁波パルスの伝搬距離を変化させる測定窓部と、
を有し、
測定物は、前記測定窓を挟んで、前記筐体の中の前記電磁波パルスの伝搬経路とは反対側に配置される、
ことを特徴とする測定物情報取得装置。 - 前記発生部と前記検出部のいずれか一方または両方は、前記筐体に対し、前記筐体の中の前記電磁波パルスの伝搬経路とは反対側に配置される、
ことを特徴とする請求項1に記載の測定物情報取得装置。 - 前記測定窓部は、前記測定窓の傾きを調整する傾斜調整機構を有する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の測定物情報取得装置。 - 前記検出部の出力を参照し、前記電磁波パルスの時間波形を取得する波形取得部と、
電磁波パルスの焦点位置と前記測定窓部との相対的な位置を監視する相対位置監視部と、
前記電磁波パルスの伝搬経路に存在する光学系の配置の変化に起因する前記電磁波パルスの二次的な伝搬距離の、前記相対的な位置に対する変化の算出に用いる情報を出力する伝搬距離データベースと、
物質の識別名と該物質の物性の情報が記憶される物性データベースと、
前記測定窓部からの電磁波パルスの前記波形取得部で取得される参照波形と、前記電磁波パルスの二次的な伝搬距離の変化と、前記物性データベースに格納された物性の情報を用いて、測定物からの電磁波パルスの測定波形に近似した再構成波形を構築する波形再構築部と、
をさらに有する、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の測定物情報取得装置。 - 前記測定物を測定するためのプローブであり、前記電磁波パルスを導波させる導波部をさらに有し、
前記プローブは、前記プローブの端部に前記測定窓部を備えている、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の測定物情報取得装置。 - 前記電磁波パルスは、0.03THz以上30THz以下の範囲のうちの任意の周波数帯域の成分を有するテラヘルツ波パルスである、
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の測定物情報取得装置。 - 電磁波パルスにより、電磁波パルスの伝搬経路の少なくとも一部を内包する筐体に移動可能に配置された測定窓に配置された測定物の物性或いは構造の情報を取得する方法であって、
電磁波パルスを発生するステップと、
前記電磁波パルスで照射された前記測定窓からの電磁波パルスの参照波形を取得するステップと、
前記電磁波パルスで照射された前記測定物からの電磁波パルスの測定波形を取得するステップと、
物性データベースより、再構成波形の構築に用いる物質の物性の情報を取得するステップと、
前記電磁波パルスの焦点位置と前記測定窓との相対的な位置の情報より前記電磁波パルスの二次的な伝搬距離の変化を算出するステップと、
前記測定波形を比較対象とし、前記参照波形と前記二次的な伝搬距離の変化と前記物性の情報を用いて前記再構成波形を構築し最適化するステップと、
を有する、
ことを特徴とする測定物情報取得方法。 - 前記再構成波形の構築に用いた物性値と、前記物性データベースに格納された物質の物性の情報を比較して、前記測定物を構成する物質を決定する、
ことを特徴とする請求項7に記載の測定物情報取得方法。 - 前記電磁波パルスは、0.03THz以上30THz以下の範囲のうちの任意の周波数帯域の成分を有するテラヘルツ波パルスである、
ことを特徴とする請求項7または8に記載の測定物情報取得方法。 - コンピュータに、
請求項7から9のいずれか1項に記載の測定物情報取得方法の各ステップを実行させることを特徴とするプログラム。
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