JP2003322611A - 光学窓を備える測定室 - Google Patents
光学窓を備える測定室Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 入射光学窓を有する試料室を用いるエリプソ
メータ測定において、入射角を変えても正確な測定点を
確保できる測定室を提供する。 【解決手段】 本発明による光学窓を備える測定室は、
試料３を配置する試料室１と、光学窓６または７を備え
ている。光学窓支持部材４または５は、一端で前記光学
窓６または７を支持して前記試料室１に結合されてい
る。そして前記光学窓支持部材は、前記光学窓と前記試
料の測定点を結ぶ光８，９が前記光学窓６または７に垂
直になるように姿勢調節可能に構成されている。
メータ測定において、入射角を変えても正確な測定点を
確保できる測定室を提供する。 【解決手段】 本発明による光学窓を備える測定室は、
試料３を配置する試料室１と、光学窓６または７を備え
ている。光学窓支持部材４または５は、一端で前記光学
窓６または７を支持して前記試料室１に結合されてい
る。そして前記光学窓支持部材は、前記光学窓と前記試
料の測定点を結ぶ光８，９が前記光学窓６または７に垂
直になるように姿勢調節可能に構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、分光測光等に用い
られる光学窓を備える測定室、さらに詳しく言えば光学
窓の位置を調節可能にした光学窓を備える測定室に関す
る。
られる光学窓を備える測定室、さらに詳しく言えば光学
窓の位置を調節可能にした光学窓を備える測定室に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】光干渉計やエリプソメータを用いる測定
において、試料を外部の雰囲気と隔絶するために、光学
窓を有する試料室内に配置する必要がある場合がある。
図６は、従来の光学窓を有する装置の問題点を説明する
ための原理図である。試料室６１は通常真空または低温
に保たれることが多く、外部の雰囲気と内部を隔絶する
ために光学窓６６が設けられている。試料６３に入射す
る光６８は光学窓６６を介して試料に投射され、試料の
影響を受けた光６９も同様に光学窓６６を介してとりだ
される。
において、試料を外部の雰囲気と隔絶するために、光学
窓を有する試料室内に配置する必要がある場合がある。
図６は、従来の光学窓を有する装置の問題点を説明する
ための原理図である。試料室６１は通常真空または低温
に保たれることが多く、外部の雰囲気と内部を隔絶する
ために光学窓６６が設けられている。試料６３に入射す
る光６８は光学窓６６を介して試料に投射され、試料の
影響を受けた光６９も同様に光学窓６６を介してとりだ
される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】光学窓６６が光６８に
対して傾いているため、色収差の影響で試料６３上の同
一点を測定できない。また、低温クライオスタットを使
用して分光エリプソメータの測定を行なうにあたり試料
表面の測定点に入射する光の角度を変えたいという要請
がある。このような場合、光学窓６６が固定であるた
め、角度可変測定を行なうと、波長に依存して光路が変
わるという問題があり、正確な測定ができないという問
題があった。本発明の目的は前述した問題を解決するた
めに、より正確な分光測定、角度可変測定を可能にする
ことができる光学窓を有する測定室を提供することにあ
る。
対して傾いているため、色収差の影響で試料６３上の同
一点を測定できない。また、低温クライオスタットを使
用して分光エリプソメータの測定を行なうにあたり試料
表面の測定点に入射する光の角度を変えたいという要請
がある。このような場合、光学窓６６が固定であるた
め、角度可変測定を行なうと、波長に依存して光路が変
わるという問題があり、正確な測定ができないという問
題があった。本発明の目的は前述した問題を解決するた
めに、より正確な分光測定、角度可変測定を可能にする
ことができる光学窓を有する測定室を提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明による請求項１記載の光学窓を備える測定室
は、試料を配置する試料室と、光学窓と、一端に前記光
学窓を支持して前記試料室に結合されており、前記光学
窓と前記試料の測定点を結ぶ光が前記光学窓に垂直にな
るように姿勢調節可能な光学窓支持部材とを備えて構成
されている。
に本発明による請求項１記載の光学窓を備える測定室
は、試料を配置する試料室と、光学窓と、一端に前記光
学窓を支持して前記試料室に結合されており、前記光学
窓と前記試料の測定点を結ぶ光が前記光学窓に垂直にな
るように姿勢調節可能な光学窓支持部材とを備えて構成
されている。
【０００５】本発明による請求項２記載の光学窓を備え
る測定室は、請求項１記載の光学窓を備える測定室にお
いて、前記光学窓支持部材は、金属の可撓性チューブと
してある。本発明による請求項３記載の光学窓を備える
測定室は、請求項１記載の光学窓を備える測定室におい
て、前記光学窓支持部材は、光学窓を支持する光学窓筒
と、前記筒を受け入れる試料室側の受入れ筒と、前記光
学窓筒と前記受入れ筒間に設けられたシール部から構成
されている。本発明による請求項４記載の光学窓を備え
る測定室は、請求項１記載の光学窓を備える測定室にお
いて、前記光学窓支持部材は、光学窓を支持する光学窓
筒と、前記光学窓筒に設けられた円弧状の摺動板と、前
記筒を受け入れ前記摺動板を機密に案内する案内部から
構成されている。
る測定室は、請求項１記載の光学窓を備える測定室にお
いて、前記光学窓支持部材は、金属の可撓性チューブと
してある。本発明による請求項３記載の光学窓を備える
測定室は、請求項１記載の光学窓を備える測定室におい
て、前記光学窓支持部材は、光学窓を支持する光学窓筒
と、前記筒を受け入れる試料室側の受入れ筒と、前記光
学窓筒と前記受入れ筒間に設けられたシール部から構成
されている。本発明による請求項４記載の光学窓を備え
る測定室は、請求項１記載の光学窓を備える測定室にお
いて、前記光学窓支持部材は、光学窓を支持する光学窓
筒と、前記光学窓筒に設けられた円弧状の摺動板と、前
記筒を受け入れ前記摺動板を機密に案内する案内部から
構成されている。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下図面等を参照して本発明によ
る装置の実施の形態を説明する。図１は、本発明による
光学窓を備える測定室の実施例を示す略図である。試料
室１中の試料台２に、測定の対象の試料３を配置してあ
る。試料室１には入射用の光学窓６を支持する支持部材
４と、出射用の光学窓７を支持する支持部材５が設けら
れている。各支持部材４，５は試料室１に機密に固定さ
れた金属ベローにより構成されたもので、自体可撓性を
もっており、変形させた状態を維持することができる。
る装置の実施の形態を説明する。図１は、本発明による
光学窓を備える測定室の実施例を示す略図である。試料
室１中の試料台２に、測定の対象の試料３を配置してあ
る。試料室１には入射用の光学窓６を支持する支持部材
４と、出射用の光学窓７を支持する支持部材５が設けら
れている。各支持部材４，５は試料室１に機密に固定さ
れた金属ベローにより構成されたもので、自体可撓性を
もっており、変形させた状態を維持することができる。
【０００７】可撓性の支持部材４，５のそれぞれの一端
側には光学窓６，７が機密に固定されている。可撓性の
支持部材４，５は図中矢印の示す方向に変移可能であ
り、光学窓６から、入射光を、入射角度φで光８に沿っ
て試料３の中心に入射するときには、光学窓６の面が光
８に垂直になるように調節する。同様に試料３の影響、
干渉や偏光を受けた光９を図示しない検出ヘッドに入射
させる。この場合も前述と同様に光９と光学窓７の面が
直交するように支持部材５を形成する金属ベローを整え
る。
側には光学窓６，７が機密に固定されている。可撓性の
支持部材４，５は図中矢印の示す方向に変移可能であ
り、光学窓６から、入射光を、入射角度φで光８に沿っ
て試料３の中心に入射するときには、光学窓６の面が光
８に垂直になるように調節する。同様に試料３の影響、
干渉や偏光を受けた光９を図示しない検出ヘッドに入射
させる。この場合も前述と同様に光９と光学窓７の面が
直交するように支持部材５を形成する金属ベローを整え
る。
【０００８】図２は、前記実施例をゴニオメータと組み
合わせて使用する詳細例を示す図である。試料室１をゴ
ニオメータ２１と組み合わせて用いる。試料室１内の試
料３の測定点が角度の中心となる。試料室１には、フラ
ンジ４ａを介して前述した金属ベローからなる支持部材
４が機密に固定されている。同様にフランジ５ａを介し
て支持部材５が機密に固定されている。各支持部材４，
５には、光学窓６，７がそれぞれ固定されている。光学
窓６を支持する枠に複数本の支柱２４、この実施例では
４本、および光学ヘッド固定部材２５を介して光学ヘッ
ド（光源）２２が固定されている。一方光学窓７を支持
する枠には支柱２４を介して光学ヘッド（受光）取り付
け板２３が固定されている。測定にあたり入射角を一定
範囲、例えば±１０度で可変することができる。
合わせて使用する詳細例を示す図である。試料室１をゴ
ニオメータ２１と組み合わせて用いる。試料室１内の試
料３の測定点が角度の中心となる。試料室１には、フラ
ンジ４ａを介して前述した金属ベローからなる支持部材
４が機密に固定されている。同様にフランジ５ａを介し
て支持部材５が機密に固定されている。各支持部材４，
５には、光学窓６，７がそれぞれ固定されている。光学
窓６を支持する枠に複数本の支柱２４、この実施例では
４本、および光学ヘッド固定部材２５を介して光学ヘッ
ド（光源）２２が固定されている。一方光学窓７を支持
する枠には支柱２４を介して光学ヘッド（受光）取り付
け板２３が固定されている。測定にあたり入射角を一定
範囲、例えば±１０度で可変することができる。
【０００９】図３は、本発明による装置で使用する光学
窓支持部材の他の実施例を示す略図である。試料室３１
の内部には図示しない試料が配置されており、試料室３
１には、入射用の光学窓６、出射用の光学窓７を支持す
る一つの支持部材が設けられている。両者の構造は略同
一であるから一方について説明する。試料室３１には試
料室の受入れ筒３１ａが設けられており、シール部を形
成するシール部材（Ｏリング）３２を介して、光学窓支
持筒３０が挿入され支持されている。光学窓支持筒３０
には、光学窓６または７が機密に固定されている。腕３
３には調節ねじ３４が設けられており、シール部材（Ｏ
リング）３２が機密を維持できる変形の範囲内で光学窓
支持筒３０の角度を調節することができる。
窓支持部材の他の実施例を示す略図である。試料室３１
の内部には図示しない試料が配置されており、試料室３
１には、入射用の光学窓６、出射用の光学窓７を支持す
る一つの支持部材が設けられている。両者の構造は略同
一であるから一方について説明する。試料室３１には試
料室の受入れ筒３１ａが設けられており、シール部を形
成するシール部材（Ｏリング）３２を介して、光学窓支
持筒３０が挿入され支持されている。光学窓支持筒３０
には、光学窓６または７が機密に固定されている。腕３
３には調節ねじ３４が設けられており、シール部材（Ｏ
リング）３２が機密を維持できる変形の範囲内で光学窓
支持筒３０の角度を調節することができる。
【００１０】図４は、本発明による装置で使用する光学
窓支持部材のさらに他の実施例を示す略図であり支持部
材の光軸に垂直方向から見た図である。図５は前記実施
例を光軸に平行方向からみた断面図（ａ−ａ）である。
試料室４１には、試料室開口４３が一つ設けられてい
る。光学窓支持部材は、光学窓６または７を支持する光
学窓支持筒４０を備えている。この光学窓支持筒４０に
は、円弧状の摺動板４２が設けられている前記試料室開
口４３に関連して前記摺動板４２を機密に案内する案内
部材４１ａが設けられている。案内部材４１ａは試料室
４１の壁内に設けられ、前記円弧状の摺動板４２を円弧
状に案内する空間である。なお機密を維持するために、
粘性を持つグリース等の密封材料を併用する。光学窓支
持筒４０は円弧状に摺動させられて、必要な時に光学窓
６または７の面を光路に垂直に保つことができる。
窓支持部材のさらに他の実施例を示す略図であり支持部
材の光軸に垂直方向から見た図である。図５は前記実施
例を光軸に平行方向からみた断面図（ａ−ａ）である。
試料室４１には、試料室開口４３が一つ設けられてい
る。光学窓支持部材は、光学窓６または７を支持する光
学窓支持筒４０を備えている。この光学窓支持筒４０に
は、円弧状の摺動板４２が設けられている前記試料室開
口４３に関連して前記摺動板４２を機密に案内する案内
部材４１ａが設けられている。案内部材４１ａは試料室
４１の壁内に設けられ、前記円弧状の摺動板４２を円弧
状に案内する空間である。なお機密を維持するために、
粘性を持つグリース等の密封材料を併用する。光学窓支
持筒４０は円弧状に摺動させられて、必要な時に光学窓
６または７の面を光路に垂直に保つことができる。
【００１１】
【発明の効果】以上、詳しく説明したように、本発明に
よる光学窓を備える測定室では、光路が光学窓に垂直に
なるように、調節可能である。したがって、試料に対す
る入射角を変更しても試料上のビーム位置は常に同一点
に保つことができる。入射角度を変えて、分光測定を行
なっても色収差の影響がなく、サンプル上のビーム位置
を同様に常に同一点に保つことができる。
よる光学窓を備える測定室では、光路が光学窓に垂直に
なるように、調節可能である。したがって、試料に対す
る入射角を変更しても試料上のビーム位置は常に同一点
に保つことができる。入射角度を変えて、分光測定を行
なっても色収差の影響がなく、サンプル上のビーム位置
を同様に常に同一点に保つことができる。
【００１２】本発明による試料室は特に、低温状態およ
び真空状態での試料の分光エリプソメータ測定および分
光反射測定等に有効である。すなわち、低温中での試料
の測定を角度可変で行なうことが可能となった。低温ク
ライオスタット（真空チャンバ）の窓が光路に垂直にな
るように調節されているため、分光測定を行なっても色
収差の影響がなく、サンプル上のビーム位置は常に同一
点に保たれる。
び真空状態での試料の分光エリプソメータ測定および分
光反射測定等に有効である。すなわち、低温中での試料
の測定を角度可変で行なうことが可能となった。低温ク
ライオスタット（真空チャンバ）の窓が光路に垂直にな
るように調節されているため、分光測定を行なっても色
収差の影響がなく、サンプル上のビーム位置は常に同一
点に保たれる。
【００１３】（変形例）以上詳しく説明した実施例につ
いて、本発明の範囲内で種々の変形を施すことができ
る。測定の分野も、分光エリプソメータの測定のみなら
ず、反射率測定、その他に広く利用できる。またビーム
が集光されている場合、光学窓は波面を保持するようレ
ンズ形状になっている場合にも利用できる。この場合光
軸に平行な平面と光路が垂直になるように調整される。
いて、本発明の範囲内で種々の変形を施すことができ
る。測定の分野も、分光エリプソメータの測定のみなら
ず、反射率測定、その他に広く利用できる。またビーム
が集光されている場合、光学窓は波面を保持するようレ
ンズ形状になっている場合にも利用できる。この場合光
軸に平行な平面と光路が垂直になるように調整される。
【図１】本発明による光学窓を備える測定室の実施例を
示す略図である。
示す略図である。
【図２】前記実施例をゴニオメータと組み合わせて使用
する詳細例を示す図である。
する詳細例を示す図である。
【図３】本発明による装置で使用する光学窓支持部材の
他の実施例を示す略図である。
他の実施例を示す略図である。
【図４】本発明による装置で使用する光学窓支持部材の
さらに他の実施例を示す略図であり支持部材の光軸に垂
直方向から見た図である。
さらに他の実施例を示す略図であり支持部材の光軸に垂
直方向から見た図である。
【図５】図４に示した実施例を光軸に平行方向からみた
ａ−ａ断面図である。
ａ−ａ断面図である。
【図６】従来の光学窓を有する装置の問題点を説明する
ための原理図である。
ための原理図である。
１，３１，４１ 試料室
２ 試料台
３ 試料
４，５ 金属ベロー（支持部材）
６，７ 光学窓
８，９ 光
２１ ゴニオメータ
２２ 光学ヘッド（光源）
２３ 光学ヘッド（受光）取り付け板
２４ 支柱
２５ 光学ヘッド固定部材
３０，４０ 光学窓支持筒
３１ａ 試料室の受入れ筒
３２ シール部材（Ｏリング）
３３ 腕
３４ 調節ねじ
４１ａ 案内部材
４２ 摺動板
４３ 試料室開口
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G020 CB07 CD03 CD12 CD15
2G059 DD13 DD15 DD16 EE02 EE05
EE12 NN10
Claims (4)
- 【請求項１】試料を配置する試料室と、 光学窓と、 一端に前記光学窓を支持して前記試料室に結合されてお
り、前記光学窓と前記試料の測定点を結ぶ光が前記光学
窓に垂直になるように姿勢調節可能な光学窓支持部材
と、を備える光学窓を備える測定室。 - 【請求項２】前記光学窓支持部材は、金属の可撓性チュ
ーブである請求項１記載の光学窓を備える測定室。 - 【請求項３】前記光学窓支持部材は、光学窓を支持する
光学窓筒と、前記筒を受け入れる試料室側の受入れ筒
と、前記光学窓筒と前記受入れ筒間に設けられたシール
部から構成されている請求項１記載の光学窓を備える測
定室。 - 【請求項４】前記光学窓支持部材は、光学窓を支持する
光学窓筒と、前記光学窓筒に設けられた円弧状の摺動板
と、前記筒を受け入れ前記摺動板を機密に案内する案内
部から構成されている請求項１記載の光学窓を備える測
定室。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002127875A JP2003322611A (ja) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | 光学窓を備える測定室 |
| EP03008874A EP1359405A1 (en) | 2002-04-30 | 2003-04-29 | Measurement chamber with optical window |
| US10/425,759 US6961122B2 (en) | 2002-04-30 | 2003-04-29 | Measurement chamber with adjustable optical window |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002127875A JP2003322611A (ja) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | 光学窓を備える測定室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003322611A true JP2003322611A (ja) | 2003-11-14 |
Family
ID=29208191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002127875A Pending JP2003322611A (ja) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | 光学窓を備える測定室 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6961122B2 (ja) |
| EP (1) | EP1359405A1 (ja) |
| JP (1) | JP2003322611A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011069719A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Horiba Ltd | 光検出装置及び光伝送装置 |
| JP2013223908A (ja) * | 2012-04-23 | 2013-10-31 | Speedfam Co Ltd | 研磨装置の計測用窓構造 |
| JP2014142309A (ja) * | 2013-01-25 | 2014-08-07 | Canon Inc | 測定物情報取得装置とその取得方法 |
| JP2018010012A (ja) * | 2017-09-19 | 2018-01-18 | キヤノン株式会社 | 測定物情報取得装置とその取得方法 |
Families Citing this family (5)
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|---|---|---|---|---|
| US7307717B2 (en) * | 2005-09-16 | 2007-12-11 | Lockheed Martin Corporation | Optical flow cell capable of use in high temperature and high pressure environment |
| DE102007028865B3 (de) * | 2007-06-22 | 2009-01-29 | Vericold Technologies Gmbh | Tieftemperaturvorrichtung |
| US7518720B2 (en) * | 2007-08-01 | 2009-04-14 | Lockheed Martin Corporation | Optical flow cell for use in high temperature and/or high pressure environments |
| DE102015214292A1 (de) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur thermo-optischen Untersuchung von Proben |
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Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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