JP2011179902A - 光断層撮影装置及び光断層撮影方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】周波数可変量に依存することなく測定対象物の深さ方向の分解能を向上させることが可能な光断層撮影装置及び光断層撮影方法を提供する。
【解決手段】発光周波数fを時間とともに変化させることが可能な可変周波数光源12と、発光した光を参照光と照射光とに分岐し、測定対象物20において反射した反射光と前記参照光との干渉光を形成する干渉光学系と、前記干渉光を受光して光量信号に変換する受光素子22と、前記光量信号を時系列で数値化した光量値Iiを目的変数とし、測定対象物20において光が反射した屈折率変化位置d、光の反射率r1及び反射時の位相変化φを説明変数とした回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する回帰分析手段(制御手段90)とを備える。
【選択図】図3
【解決手段】発光周波数fを時間とともに変化させることが可能な可変周波数光源12と、発光した光を参照光と照射光とに分岐し、測定対象物20において反射した反射光と前記参照光との干渉光を形成する干渉光学系と、前記干渉光を受光して光量信号に変換する受光素子22と、前記光量信号を時系列で数値化した光量値Iiを目的変数とし、測定対象物20において光が反射した屈折率変化位置d、光の反射率r1及び反射時の位相変化φを説明変数とした回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する回帰分析手段(制御手段90)とを備える。
【選択図】図3
Description
本発明は、光断層撮影装置及び光断層撮影方法に関する。さらに詳しくは、発光周波数を時間とともに変化させて得た干渉光を測定して、測定対象物の屈折率変化位置dを測定する光断層撮影装置及び光断層撮影方法に関するものである。
生体組織や積層構造体等の測定対象を切断することなく断面撮影を行う装置として、光干渉トモグラフィ(Optical Coherence Tomography;以下、OCTと呼ぶ。)を利用した光断層撮影装置が知られている。
このOCTを利用した計測は、光源が発光した光を参照光と測定対象物への照射光とに分岐させ、測定対象物から反射した反射光と、参照光との干渉光の光量(強度)を計測することによって測定対象物の屈折率変化位置dを計測する光干渉計測の一種である。特に、測定光と参照光との光路長が光源のコヒーレンス長以内の範囲で一致したときにのみ光干渉が検出されることを利用した、測定対象物の屈折率変化位置dの計測方法である。
光源のコヒーレンス長の範囲が狭い低コヒーレント光を利用したOCTは、生体の表面近傍の断層像を十数μm程度の分解能で観察可能にすることができるので、医療計測技術として用いられている。例えばこのOCT技術は、既に眼組織の臨床観察で実用化されており、網膜はく離等の眼組織の病変の断層観察を、顕微鏡的精度で可能にしている。
近年実用化されているOCT技術を用いた光断層撮影装置としては、参照光の光路長を機械的に走査することで、参照光と測定対象物から反射した反射光との干渉光を変動させて断層撮影を行う、TD−OCT(Time Domain−OCT)によるものが知られている。また、参照光の光路長を走査する代わりに、発光する光の周波数を所定の走査レートα[Hz/s]で変化させて干渉光を変動させ、この干渉光の変動をフーリエ変換することによって得たスペクトル波形を用いて断層撮影を行う、SD−OCT(Spectral Domain−OCT)およびSS−OCT(Swept Source−OCT)等のOCT技術も知られている。
図7に、TD−OCT技術を用いた反射鏡走査型の光断層撮影装置の構成を示す。図7に示すように、反射鏡走査型の光断層撮影装置910の干渉光学系は、低コヒーレント光を発光する光源912と、光源が発光した光を参照光と測定対象物920への照射光とに分岐するビームスプリッタ914と、参照光を反射させて再びビームスプリッタ914に入射させる可動式の反射鏡916と、反射鏡916を移動させて参照光の光路長を変更する駆動装置918とを備えている。ビームスプリッタ914は、反射鏡916で反射した参照光と、測定対象物920において反射した反射光とを入射して合波することによって干渉光を形成し、受光素子922に出射する。
受光素子922は、干渉光を受光して光量信号に変換して出力する。TD−OCT技術を用いた光断層撮影装置では、駆動装置918を用いて反射鏡916を走査させることにより干渉光を変動させて、参照光の光路長から相対的な測定対象物920の屈折率変化位置dを推定することができる。また、光源912が発光する光にコヒーレント光を用い、ビームスプリッタ914から反射鏡916までの距離と、ビームスプリッタ914から測定対象物920までの距離を等しくするように測定対象物920を設置することによって、参照光の光路長と照射光及び反射光の光路長とが略等しい範囲内で干渉光を得ることができる。そして、反射鏡916を走査させることにより干渉光を変動させて、測定対象物920の屈折率変化位置dを測定することができる。
図8に、SS−OCT技術を用いた周波数走査型の光断層撮影装置の構成を示す。図8に示すように、周波数走査型の光断層撮影装置810の干渉光学系は、時間とともに発光周波数を変化させた光を発光する可変周波数光源812と、可変周波数光源812が発光した光を参照光と測定対象物820への照射光とに分岐するビームスプリッタ814と、参照光を反射させて再びビームスプリッタ814に入射させる反射鏡816とを備えている。ビームスプリッタ814は、反射鏡816で反射した参照光と、測定対象物820において反射した反射光とを入射して合波することによって干渉光を形成し、受光素子822に出射する。
受光素子822は、干渉光を受光して光量信号に変換して出力する。SS−OCT技術を用いた光断層撮影装置では、可変周波数光源812が時間tに比例して発光周波数fを変動させることにより参照光の波長を変化させて、干渉光を変動させ、測定対象物820の屈折率変化位置dを測定することができる。
特許文献1には、可変周波数光源として可変波長範囲が1533.17〜1574.14[nm]の赤外線を段階的に発光することが可能な超周期構造回折格子分布反射型半導体レーザを用い、干渉光学系としてマッハツェンダー型の干渉計を用いた光干渉トモグラフィ装置が開示されている。
特許文献1に記載されているSS−OCT技術を用いた光干渉トモグラフィ装置によれば、反射鏡の機械的な走査が不要であるので、短時間で屈折率変化位置dを推定することができるとしている。例えば、可変周波数光源が1[μs/step]毎に段階的に発光周波数fを変化させて干渉光を変動させ、この干渉光を測定することによって400[step]の周波数走査を0.4[ms]で終了することができるとしている。この場合であっても、36[μm]の静的分解能を得ることができるので、照射光を測定対象物に対して平行に移動させる機能を追加することによって、2次元の断層撮影を行うことや、動画の撮影を行うことも可能になるとしている。
図7に示したTD−OCT技術を用いた反射鏡走査型の光断層撮影装置910では、測定対象物920の深さ方向の分解能及び精度は、反射鏡916の駆動分解能や駆動精度に依存することに加えて、反射鏡916の走査を行う必要性から測定時間を短くすることが困難であるという問題がある。
他方、図8に示したSS−OCT技術を用いた周波数走査型の光断層撮影装置810や特許文献1に記載されている光干渉トモグラフィ装置では、前述のとおり測定に際して反射鏡を走査駆動する必要が無いので測定時間は短くできる。しかし、有限の時間長さにおける干渉光の変動に対して離散フーリエ変換を行ってスペクトル波形を得て断層撮影を行っている関係上、周波数可変量に依存することなく測定対象物の深さ方向の分解能を向上させるには限界がある。
近年では、長波長のテラヘルツ光を発光するレーザ技術が開拓されつつある。この、長波長のテラヘルツ光を光断層撮影装置の光源に用いる場合には、離散フーリエ変換のサンプリング時間をいっそう長くしなければならず、測定対象物の深さ方向の分解能を維持しようとすると、測定時間を長くする必要が生ずる。以下に、テラヘルツ光の特徴と、離散フーリエ変換を測定対象物の深さ方向の測定に用いた際の分解能とについて説明する。
(1)テラヘルツ光の特徴
周波数範囲が約0.1〜10[THz]の遠赤外線、若しくはサブミリ波は、一般にテラヘルツ光と呼ばれ、技術及び応用の両面で未開拓の分野として取り残されていた。しかし、近年では、フェムト秒レーザや量子カスケードレーザといったレーザ技術の進展により、取扱い容易な光源を用いたテラヘルツ光の発光が実現している。そして、TDS(Time−Domain−Spectroscopy)などをはじめとする応用に向けた解析技術が進展するにつれ、テラヘルツ光に関する研究や開発が活発化している。
周波数範囲が約0.1〜10[THz]の遠赤外線、若しくはサブミリ波は、一般にテラヘルツ光と呼ばれ、技術及び応用の両面で未開拓の分野として取り残されていた。しかし、近年では、フェムト秒レーザや量子カスケードレーザといったレーザ技術の進展により、取扱い容易な光源を用いたテラヘルツ光の発光が実現している。そして、TDS(Time−Domain−Spectroscopy)などをはじめとする応用に向けた解析技術が進展するにつれ、テラヘルツ光に関する研究や開発が活発化している。
テラヘルツ光の有用な応用例としては、超高速通信装置や、光断層撮影装置、トモグラフィによる計測装置が挙げられる。そして、これらの装置が、生物や医療へ応用されることが期待されている。
テラヘルツ光の特徴の1つは、波長域が電波と光波の中間であることから、電波の物質透過性とともに、光波の直進性を備えている点にある。例えばテラヘルツ光は、電波のように様々な物質を透過するとともに、電波帯では最も高い空間分解能が得られるという特徴を備えている。この透過性を有しながら、X線等とは異なって、被爆の恐れがないことから、テラヘルツ光は人体に安全な光断層撮影装置や分析手段としても期待されている。これに加えてテラヘルツ光は、光波のようにレンズや反射鏡による引き回しが可能であるために、光断層撮影装置用の光学系の構築が簡便である点も好ましい特徴である。
テラヘルツ光が透過する材料として、半導体、プラスチックス、紙、ゴム、ビニル、木材、繊維、セラミック、コンクリートなどを挙げることができる。可視光を光源に用いたOCTの代表的な応用例として眼底検査装置が知られている。しかし、テラヘルツ光は可視光には無い透過特性を有していることから、テラヘルツ光とOCTとを組み合わせることで、これまで光断層撮影装置を行うことができなかった多種の測定対象物の光断層撮影が可能になると期待される。
(2)離散フーリエ変換を測定対象物の深さ方向の測定に用いた際の分解能について
測定対象物20の側面図を図1に示す。図1に示すように測定対象物20の表面を原点d0として奥行き方向にz座標を取り、屈折率の異なる第1材料20aと第2材料20bとの接合面(反射界面)が屈折率変化位置z=dの位置に存在する場合を想定する。なお、原点d0は、参照光と反射光との光路長が等しくなる位置に調節しておくと、試料表面での反射光と参照光との間で干渉を生じないので、信号の解析を簡単にすることができる。
測定対象物20の側面図を図1に示す。図1に示すように測定対象物20の表面を原点d0として奥行き方向にz座標を取り、屈折率の異なる第1材料20aと第2材料20bとの接合面(反射界面)が屈折率変化位置z=dの位置に存在する場合を想定する。なお、原点d0は、参照光と反射光との光路長が等しくなる位置に調節しておくと、試料表面での反射光と参照光との間で干渉を生じないので、信号の解析を簡単にすることができる。
光断層撮影装置における可変周波数光源の発光周波数fを、時間tに対して線形にf=f0+αt(αは定数)のように時間tの1次関数として変化させた場合には、受光素子に入射する参照光の周波数は図2に示すように変化する。図2は、横軸を時間t、縦軸を可変周波数光源の発光周波数fとした場合に、時間tにおける発光周波数fの変化を表す図である。
参照光と同様に、屈折率変化位置dで反射して受光素子に入射する反射光の発光周波数fも、所定の変化率αで時間tとともに変化する。但し、反射光は、参照光に対して2dの光路差があるので、この2dの光路差を通過する時間に応じて、位相が2αd/c(cは光速)だけ常に異なることになる。
発光周波数fが同一で位相が異なる2種類の光が合波した干渉光は、位相差に応じて光量が変化して、うなりを生ずる。そして、発光周波数fを所定の変化率αで変化させた場合には、干渉光による光量変化の周波数は、上述したように2αd/cとなる。ここで、所定の変化率αと高速cとは既知の値である。したがって、受光素子で検出される干渉信号のうなりの周波数成分を抽出することによって、屈折率変化位置dを求めることができる。
なお、測定対象物の表面の原点d0における反射光は、参照光と同一の光路長を有していることから、発光周波数fを変化させた場合であっても反射光と参照光との位相は常に同一であるので、干渉信号の光量変化には寄与しない。
干渉信号の周波数成分は、受光素子が検出した光量信号を時系列で数値化した光量値Iiをフーリエ変換することにより求めることができる。しかし、光量値Iiを無限時間に亙って取得し続けることはできないので、現実には離散フーリエ変換を用いることとなる。
離散フーリエ変換では、有限の時間長さに対応するデータ列(光量値Ii)を扱うため、信号の周波数成分を無限小の分解能で特定することはできない。この、離散フーリエ変換によって求めたピーク周波数から、測定対象物の奥行き方向の情報(屈折率変化位置d)を推定するのであるが、周波数情報の分解能が有限であるために、測定対象物の奥行き方向の分解能も有限となる。
SS−OCT技術を用いた周波数走査型の光断層撮影装置における屈折率変化位置dの分解能は、以下のように見積もることができる。光断層撮影装置における解析対象の時間長さをTとすると、離散フーリエ変換における周波数の分解能は1/Tとなる。SS−OCT技術を用いた周波数走査型の光断層撮影装置においては、可変周波数光源の周波数を無限に変化させることはできず、可変周波数光源に固有の周波数可変量Δfが存在する。
図2に示すように、所定の変化率αで可変周波数光源の発光周波数を変化させた場合、周波数可変量Δf=αTとなるので、1/T=α/Δfが成立する。離散フーリエ変換により得られた周波数データのm番目(mは自然数)にピーク信号が存在していた場合、そのピークに相当する周波数はm×1/T=mα/Δf=2αd/cとなる。したがって、屈折率変化位置d=mc/(2Δf)の関係が成立することがわかる。この式から、屈折率変化位置dの分解能はc/(2Δf)を単位としており、Δfを大きくすればするほど分解能が向上して、測定対象物の奥行き方向zの位置を細かく測定することができる。
但し、可変周波数光源の発光周波数fを無限に変化させることはできないため、分解能向上には限界がある。仮に、今後活用が期待されているテラヘルツ光を用いてOCTを行うことを想定した場合、中心周波数1[THz]に対して±1%、すなわち2%p−pで発光周波数fを変化させたとすると、得られる分解能はc/(2Δf)=3×108/(2×2×1010)=7.5×10-3[m]=7.5[mm]となる。
すなわち、反射率が変化する反射界面の位置(屈折率変化位置d)が7.5[mm]以未満のいずれの位置にあったとしても、離散フーリエ変換に基づいて推定される屈折率変化位置dの位置は7.5[mm]になってしまうということである。また同様に、屈折率変化位置dが7.5〜15[mm]のいずれの位置にあったとしても、屈折率変化位置dの位置は15[mm]と推測されてしまうこととなる。
光源として可視光を用いたOCTでは、光の周波数が高い(例えば、波長600[nm]の光の周波数は5×1014[Hz]であり、2%に相当する可変周波数帯域は1013[Hz]となる。これは、テラヘルツ光に比べて2桁から3桁程度高い値である。)ので、10[μm]程度の分解能を実現することができるが、可視光に比べて周波数が低いテラヘルツ光では、分解能の低下が顕著となってしまう。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、周波数可変量に依存することなく測定対象物の深さ方向の分解能を向上させる光断層撮影装置及び光断層撮影方法を提供することにある。更に本発明の目的は、波長の長いテラヘルツ光を利用した光断層撮影装置及び光断層撮影方法の分解能を向上させることにある。
上記課題を解決するための本発明に係る光断層撮影装置は、発光周波数を時間とともに変化させることが可能な可変周波数光源と、前記可変周波数光源が発光した光を参照光と測定対象物への照射光とに分岐し、測定対象物において反射した反射光と前記参照光との干渉光を形成する干渉光学系と、前記干渉光を受光して光量信号に変換する受光素子と、前記光量信号を時系列で数値化した光量値Iiを順次出力する数値化変換器と、前記光量値Iiを目的変数とし、測定対象物において光が反射した屈折率変化位置d、光の反射率r1及び反射時の位相変化φを説明変数とした回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する回帰分析手段とを備えることを特徴とする。
前記回帰分析手段は、前記回帰分析に遺伝的アルゴリズムを用いることが好ましい。
前記可変周波数光源は、時間tの1次関数にしたがって発光周波数fを変化させ、前記回帰分析手段は、前記光量値Iiを用いて離散フーリエ変換を行って振幅の大きなピーク周波数を取得し、前記回帰分析手段は、前記ピーク周波数から屈折率変化位置dpを推定し、この屈折率変化位置dp付近を回帰分析における屈折率変化位置dの探索範囲として回帰分析を行うことが好ましい。
前記可変周波数光源は、時間tの2次関数にしたがって発光周波数fを変化させることが好ましい。
前記可変周波数光源として量子カスケードレーザと、当該量子カスケードレーザの温度を変化させる温度制御手段とを用いることが好ましい。
上記課題を解決するための本発明に係る光断層撮影方法は、可変周波数光源を用いて、時間とともに発光周波数を変化させた光を発光する工程と、干渉光学系を用いて、前記可変周波数光源が発光した光を参照光と測定対象物への照射光とに分岐し、測定対象物から反射した反射光と前記参照光との干渉光を形成する工程と、受光素子を用いて、前記干渉光を受光して光量信号に変換する工程と、数値化変換器を用いて、前記光量信号を時系列で数値化した光量値Iiを順次出力する工程と、回帰分析手段を用いて、前記光量値Iiを目的変数とし、測定対象物において光が反射した屈折率変化位置d、光の反射率r1及び反射時の位相変化φを説明変数とした回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する工程とを含むことを特徴とする。
本発明に係る光断層撮影装置及び光断層撮影方法によれば、可変周波数光源が発光した光を測定対象物に照射し、干渉光学系において参照光と反射光とを用いて干渉光を形成し、当該干渉光の光量を測定して得た光量値Iiを用いた回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定するようにしたので、周波数可変量に依存することなく測定対象物の深さ方向の分解能を向上させることができる。また、波長の長いテラヘルツ光を利用した光断層撮影装置及び光断層撮影方法の分解能を向上させることができる。
本発明に係る光断層撮影装置及び光断層撮影方法について、図面を参照して説明する。なお、本発明は下記の実施形態に限定されるものではない。
本発明に係る光断層撮影装置は、発光周波数を時間とともに変化させることが可能な可変周波数光源と、その可変周波数光源が発光した光を参照光と測定対象物への照射光とに分岐し、測定対象物において反射した反射光と前記参照光との干渉光を形成する干渉光学系と、その干渉光を受光して光量信号に変換する受光素子と、その光量信号を時系列で数値化した光量値Iiを順次出力する数値化変換器と、その光量値Iiを目的変数とし、測定対象物において光が反射した屈折率変化位置d、光の反射率r1及び反射時の位相変化φを説明変数とした回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する回帰分析手段とを備える。
また、本発明に係る光断層撮影方法は、可変周波数光源を用いて、時間とともに発光周波数を変化させた光を発光する工程と、干渉光学系を用いて、前記可変周波数光源が発光した光を参照光と測定対象物への照射光とに分岐し、測定対象物から反射した反射光と前記参照光との干渉光を形成する工程と、受光素子を用いて、前記干渉光を受光して光量信号に変換する工程と、数値化変換器を用いて、前記光量信号を時系列で数値化した光量値Iiを順次出力する工程と、回帰分析手段を用いて、前記光量値Iiを目的変数とし、測定対象物において光が反射した屈折率変化位置d、光の反射率r1及び反射時の位相変化φを説明変数とした回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する工程とを含む。
上記した光断層撮影装置の構成要素と光断層撮影方法の構成要素とは、それぞれ対応するものであり、以下では、光断層撮影装置の説明中で光断層撮影方法についても併せて説明する。
[光断層撮影装置]
(基本的な構成)
図3は、本発明に係る光断層撮影装置の実施形態を表す構成図である。図3に示すように本発明に係る光断層撮影装置10の干渉光学系は、時間とともに発光周波数を変化させた光を発光する可変周波数光源12と、可変周波数光源12が発光した光を参照光と測定対象物20への照射光とに分岐するビームスプリッタ14と、参照光を反射させて再びビームスプリッタ14に入射させる反射鏡16とを備えている。ビームスプリッタ14は、反射鏡16で反射した参照光と、測定対象物20において反射した反射光とを入射して合波することによって干渉光を形成し、受光素子22に出射する。
(基本的な構成)
図3は、本発明に係る光断層撮影装置の実施形態を表す構成図である。図3に示すように本発明に係る光断層撮影装置10の干渉光学系は、時間とともに発光周波数を変化させた光を発光する可変周波数光源12と、可変周波数光源12が発光した光を参照光と測定対象物20への照射光とに分岐するビームスプリッタ14と、参照光を反射させて再びビームスプリッタ14に入射させる反射鏡16とを備えている。ビームスプリッタ14は、反射鏡16で反射した参照光と、測定対象物20において反射した反射光とを入射して合波することによって干渉光を形成し、受光素子22に出射する。
受光素子22は、干渉光を受光して光量信号に変換して出力する。増幅器24は、受光素子22が出力した光量信号を増幅して出力する。A/D変換器等で構成される数値化変換器82は、光量信号を時系列で数値化した光量値Iiを順次出力することができる。
CPU80は、可変周波数光源12の発光制御や、光量値Iiの演算処理、光断層撮影の結果表示等の各種処理を行う。光量値Iiの演算処理に関してCPU80は、数値化変換器82が数値化した時系列の光量値Iiを順次読み込んで、離散フーリエ変換や回帰分析等の演算処理を行う。CPU80にて実行されるプログラムや、演算処理に必要な定数等は、ROM86等の記憶手段に予め記憶されているものを用いる。RAM88は、CPU80にて実行されるプログラムを展開した情報や光量値Ii、計算結果、表示に関する情報等を記憶しておくワークエリアとして機能する。
表示手段89は、CPU80の指令に基づいて、測定に関する情報や光断層撮影の結果等を表示する。CPU80や、数値化変換器82、I/O84、ROM86、RAM88、表示手段89等から構成される制御手段90は、フーリエ変換手段、回帰分析手段、及び光断層撮影装置10のコントローラとして機能させることが可能である。なお、制御手段90は、図3に示したコンピュータ型の構成に限定されるものではない。
I/O84は、CPU80の指令に基づいて可変周波数光源12の発光を制御する制御情報を、レーザ駆動部32に出力する。また、I/O84は、CPU80の指令に基づいて可変周波数光源12に対する温度制御情報を、温度制御手段33に出力する。温度制御手段33は、例えばペルチェ等の温度制御素子を備えている。
SS−OCT技術を用いた光断層撮影装置10では、例えば可変周波数光源12が時間tの1次関数として所定の変化率αで発光周波数fを変動させることにより、参照光の波長を変化させて、干渉光を変動させる。そして、測定対象物20の屈折率変化位置dを推定することができる。
(可変周波数光源の構成例)
ここで、可変周波数光源12の構成例について説明する。可視光領域の光を用いたOCTでは、白色LEDや波長可変レーザなどを光源として用いることができる。TD−OCTあるいはSD−OCTでは白色LEDが、SS−OCTでは波長可変レーザが用いられるのが一般的である。これに対し、テラヘルツ領域の発光手段としては、現状では、LEDは存在せず、また、可視域で普及しているような波長可変レーザも存在しない。現状使用できるテラヘルツ光源としては、フェムト秒レーザ励起による光スイッチ型のテラヘルツ光源、あるいは量子カスケードレーザ(QCL)が知られている。
ここで、可変周波数光源12の構成例について説明する。可視光領域の光を用いたOCTでは、白色LEDや波長可変レーザなどを光源として用いることができる。TD−OCTあるいはSD−OCTでは白色LEDが、SS−OCTでは波長可変レーザが用いられるのが一般的である。これに対し、テラヘルツ領域の発光手段としては、現状では、LEDは存在せず、また、可視域で普及しているような波長可変レーザも存在しない。現状使用できるテラヘルツ光源としては、フェムト秒レーザ励起による光スイッチ型のテラヘルツ光源、あるいは量子カスケードレーザ(QCL)が知られている。
これらのテラヘルツ光の光源のうち、光スイッチ型の光源はパルス的にしか発光しないため、連続光の発光を前提として光路差による干渉光を利用するOCTには適していない。これは、測定対象物20の任意の場所で反射した反射光と、参照光とを同時に受光素子に入射させることが難しいからである。また、光スイッチ型の光源は大型であるなど、コンパクトな光学系を実現することが難しいという問題もある。
本発明の実施形態においては、量子カスケードレーザを光源として用いる場合について説明するが、本発明は量子カスケードレーザの光源に限定するものではない。量子カスケードレーザは、温度に依存して発光波長(周波数)が変化するので、温度制御を加えることによりOCTの可変周波数光源12として用いることができる。
可変周波数光源12として量子カスケードレーザを用い、温度制御手段33にはペルチェ等の温度制御素子を用いて可変周波数光源12の温度を制御する。制御手段90が温度制御手段33に温度制御指令を逐次出力することによって、可変周波数光源12の温度を制御して可変周波数光源12が発光する発光周波数fを時間tの関数f(t)にしたがって変化させることができる。関数f(t)は、時間tの1次関数にしたがって変化させることもできるし、2次関数にしたがって変化させることもできる。
可変周波数光源12の温度を変化させると可変周波数光源12の光量(出射パワ)も変動する。しかし、光量変動はOCTを利用した計測には不都合なので、レーザ駆動部32は可変周波数光源12の駆動素子の電流設定値を変化させて光量が一定になるように制御を行う。なお、光量をモニタしながら駆動素子の電流設定値を制御することも可能であるが、現状ではテラヘルツ光の領域では可視光領域のような安価かつコンパクトで高速応答性を有する受光素子(フォトディテクタ)が無いので、事前に温度、電流、光量の関係を調べておき、フィードフォワード的に電流を制御するのが簡便である。
なお、テラヘルツ光の受光素子22としては、光スイッチ型の受光素子、ショットキーバリアダイオード(SBD)、ボロメータ型の素子を有する受光素子等を用いることができる。
(回帰分析手段)
次に、干渉光学系で得られる干渉光の光量と、光干渉により取得した時系列の光量値Iiのデータを用いて測定対象物20の屈折率変化位置dを推定する手順について説明する。
次に、干渉光学系で得られる干渉光の光量と、光干渉により取得した時系列の光量値Iiのデータを用いて測定対象物20の屈折率変化位置dを推定する手順について説明する。
先ず、図1に示した測定対象物20の屈折率変化位置dを計測する場合について説明する。干渉光学系における参照光をiref、反射光をiobjとすると、それぞれの光は次式(1)及び(2)で表される。なお、測定対象物20の表面の原点d0で反射する光は、干渉光には寄与しないので省略してある。
但し、I0:ビームスプリッタ透過直後の光の振幅、r1:屈折率変化位置dにおける反射率、φ:屈折率変化位置dにおける反射に伴い生じる位相変化、n1:測定対象物の屈折率、c:光速、である。
受光素子22で観測される干渉光Ioctは反射光と参照光との重ね合わせで表現されるので、次式(3)で表される。
但し、I0:ビームスプリッタ透過直後の光の振幅、r1:屈折率変化位置dにおける反射率、φ:屈折率変化位置dにおける反射に伴い生じる位相変化、である。
干渉光Ioctのうち、1項目は時間に依存しないDC成分を表しており、屈折率変化位置dに関する情報を全く含んでいないので、ハイパスフィルタなどで除去すればよい。これ以降は2項目のみを干渉光Ioctとして取り扱うことにする。
発光周波数fを時間tに対して所定の変化率αで線形に変化させる場合、すなわち、発光周波数f(t)=f0+αtの関係が成立する場合、干渉光Ioctの交流成分は、次式(4)で表される。
但し、I0:ビームスプリッタ透過直後の光の振幅、r1:屈折率変化位置dにおける反射率、φ:屈折率変化位置dにおける反射に伴い生じる位相変化、α:時間tに対する発光周波数fの変化率、n1:測定対象物の屈折率、c:光速、である。
上記式(4)についてフーリエ変換を行って振幅の大きなピーク周波数を取得することによって、屈折率変化位置dを推定することができるので、干渉光の光量信号を時系列に観測して得られた光量値Ii(添え字のiは離散的な時刻tに対応)に対して離散フーリエ変換を行うことで、屈折率変化位置dを推測するのが従来の手法であった。ただし、この場合には、前述のように高い分解能を実現することができない。
そこで本発明では、離散フーリエ変換に頼ることなく、上記式(4)に基づいて光量値Iiの回帰分析を行なうことにした。光量値Iiの回帰分析を行なうことによって、周波数可変量に依存せずに高い分解能を実現することができる。
回帰分析の方法について、図4を用いて説明する。図4は、回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する屈折率変化位置推定方法を表すフローチャートである。当該回帰分析は、例えば図3に示した制御手段90のCPU80が実行する。
先ず、ステップS12「時系列の光量値Iiを取得」にてCPU80は、数値化変換器82から時系列で数値化された光量値Iiを順次取得して、RAM88等の記憶手段に記憶しておく。なお、光量値Iiの観測時間長さは、発光周波数fの可変周期に取れば良い。例えば、10秒間かけて周波数を2%変化させる場合においては、10秒が基本の観測時間長さとなる。ノイズ低減のために平均化処理を行う場合には、10秒毎に計測したデータ列間で平均を取ると良い。また必要に応じて、測定対象物20の屈折率変化位置dにおける光の反射率r1及び反射時の位相変化φも、予めRAM88等の記憶手段に記憶しておく。
次に、CPU80は、ステップS14「回帰分析」にて、RAM88に記憶されている光量値Iiを目的変数とし、測定対象物において光が反射した屈折率変化位置d、光の反射率r1及び反射時の位相変化φを説明変数とした回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する処理を行う。
測定対象物20の屈折率n1が未知数の場合は、屈折率変化位置dではなくn1×dが説明変数の一つとなる。回帰分析の手法として遺伝的アルゴリズム(GA)を用いるのが好適である。なお、探索範囲を限定するために、離散フーリエ変換により振幅の大きなピーク周波数を取得し、このピーク周波数から推定される屈折率変化位置dPをd0として、屈折率変化位置dの探索範囲をd0±βに設定して精度を向上させてもよい(βは離散フーリエ変換の分解能に依存して設定する。例えば分解能が10[mm]であれば、±5[mm]に設定する。)。
次に、CPU80は、ステップS16「回帰精度評価」にて回帰分析の評価を行い、評価値が所定値に満たなかった場合には、ステップS14に戻って再度回帰分析を行う。例えば、遺伝的アルゴリズムを用いて再度回帰分析を行う場合は、初期値によって異なる推定値に収束することがあり得るために単なる再試行を行う手法を採用したり、遺伝子サイズを変更して再度計算を行う手法等を採用することができる。ステップS16の評価にて、評価値が所定の基準値以上であった場合には、次のステップS18「屈折率変化位置d推定」の処理に進み、回帰分析結果に基づいて屈折率変化位置dを推定する処理を行う。このようにして、回帰分析を用いて屈折率変化位置dを推定することができる。
以下に、光断層撮影装置10において回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する測定例について具体的に説明する。
[実施例1]
光断層撮影装置10の可変周波数光源12として、77[K]における発振周波数が1[THz]の量子カスケードレーザを用い、可変周波数光源12の温度を変化させて発光周波数fを2%(20[GHz])変化させて測定を行った。
光断層撮影装置10の可変周波数光源12として、77[K]における発振周波数が1[THz]の量子カスケードレーザを用い、可変周波数光源12の温度を変化させて発光周波数fを2%(20[GHz])変化させて測定を行った。
測定対象物20は、Si基板の上にテフロン(登録商標)樹脂を貼り付けた試料に光を照射して干渉光の計測を行った。テフロン(登録商標)樹脂の厚さが6[mm]、6.5[mm]、8[mm]、11[mm]の資料について、それぞれ屈折率変化位置dの測定を行った。
光断層撮影装置10の受光素子22には、フレームレートが10[ms]のテラヘルツカメラ(ボロメータ型のカメラ)を用いた。テラヘルツ光を用いているために、発光周波数fを2%変化させるのに要する時間は10[秒]とし、10[ms]毎に光量値Iiの時系列データを1000個取得した。
回帰分析は次表(1)に示す条件で遺伝的アルゴリズムを適用して行った。回帰分析の評価値Eは、分析に用いた光量値Iiの個数をi=N、推定された説明変数により算出される光量値Ii’として、下記式(5)により、算出した。
評価値Eに対する基準値は104とし、評価値Eが104より大きければ回帰分析を終了することとした。
図5に屈折率変化位置dの解析結果を示す。図5は、屈折率変化位置dを推定するに際し、従来の離散フーリエ変換法を用いて得た値と、本発明に係る回帰分析法を用いて得た値と、屈折率変化位置dの真値とを対比する図表である。
図5に示すように、離散フーリエ変換法を用いて推測した屈折率変化位置dの値は、位置の分解能が周波数可変量に制限されるため、屈折率変化位置dの値がステップ的にしか算出されていない。これに対し、本発明に係る回帰分析法を用いて推定した屈折率変化位置dの値は真値と一致しており、屈折率変化位置dを正確に推定できていることがわかる。本実施例では、回帰分析法を用いた場合における屈折率変化位置dの分解能は50[μm]以下であり、離散フーリエ変換法を用いた場合の分解能5[mm]に対し100倍の分解能が実現できている。
[実施例2]
次に、光断層撮影装置10の可変周波数光源12において、時間tの2次関数にしたがって発光周波数fを変化させる実施例について説明する。従来のSS−OCTでは、離散フーリエ変換を用いることが前提となっているため、上記式(3)においてf(t)−f(t−Δt)が時間に依存せず一定の値となるように、光の発光周波数fを時間tに対して線形に変化させる必要があった。
次に、光断層撮影装置10の可変周波数光源12において、時間tの2次関数にしたがって発光周波数fを変化させる実施例について説明する。従来のSS−OCTでは、離散フーリエ変換を用いることが前提となっているため、上記式(3)においてf(t)−f(t−Δt)が時間に依存せず一定の値となるように、光の発光周波数fを時間tに対して線形に変化させる必要があった。
しかしながら本発明では、得られた時系列の光量値Iiに対して回帰分析を行うので、可変周波数光源12の発光周波数fを時間tに対して線形に変化させる必要は必ずしも無く、可変周波数光源12における発光周波数fの時間依存を表す関数が解析的に表現できる限り問題はない。そこで本実施例では、上記の実施例1で用いたものと同一の干渉光学系及び測定対象物20を用い、可変周波数光源12の発光周波数fを時間tの2次関数にしたがって変化させて屈折率変化位置dの測定を行った。なお、周波数可変量は、上記の実施例1と同様に2%とした。
この測定条件で得られた光量値Iiの計測例を、図6に示す。図6は、可変周波数光源12の発光周波数fを時間tの2次関数にしたがって変化させた場合に、各時間tにおいて得られる時系列の光量値Iiの振幅を表す図表である。
図6に示すように、光量値Iiは、計測開始直後はゆるやかに周波数が変化するため、光量値Iiの値は時間tに対して緩やかに変化している。しかし、時間tの経過とともに光量値Iiの変化量が大きくなっていることが確認できる。
図6に示される光量値Iiに対して、上記の実施例1と同じ条件で遺伝的アルゴリズムにより回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定した結果、発光周波数fを時間tの2次関数にしたがって変化させた場合であっても、分解能50[μm]以下で屈折率変化位置dを推定することができることが確認できた。
本発明に係る回帰分析を用いることによって、発光周波数fを時間tの1次関数にしたがって変化させなければならないという、従来の制約から開放される。これにより、発光周波数fの変動は、時間tに対する関数を変化させながら屈折率変化位置dの計測を行うことも可能となる。例えば、発光周波数fの変動を、線形と2次関数、あるいは線形と2次と1/2次等の組み合わせにより行うことで、推定された屈折率変化位置dの信頼度を検証することができるようになる。
また、測定対象物20の厚みに応じて、発光周波数fを変動させる関数を選択することも可能である。例えば、測定対象物20が薄い場合には、より速く周波数を変化させるように発光周波数fを時間tの1/2次の関数にしたがって変動させることができる。
上記の実施例では、測定対象物の屈折率変化位置dが1箇所だけ存在する場合について説明したが、本発明は、複数の屈折率変化位置dの測定に適用することができる。その場合、光量値Iiの交流成分は、下式(6)にて表される。
但し、I0:ビームスプリッタ透過直後の光の振幅、rk、rm:各屈折率変化位置dk、dmにおける反射率、φk、φm:各屈折率変化位置dk、dmにおける反射に伴い生じる位相変化、である。
屈折率変化位置dが複数存在している場合には、式(6)に基づいて回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定すれば良い。但し、通常I0は[mW]オーダーの値であり、反射率rk、rmも1より十分に小さいので式(6)の第2項目は無視することができる。なお、屈折率変化位置dが複数ある場合には、光量値Iiの波形に変曲点がより多く表れて回帰分析の精度が高まるように、発光周波数fを時間tの2次関数で変化させると、より好適となる。
上記の説明では、本発明に係る光断層撮影装置及び光断層撮影方法における可変周波数光源として、テラヘルツ光を発光する光源を用いた実施形態について説明したが、テラヘルツ光以外にも、可視光や紫外線を用いることもできる。
10、810、910 光断層撮影装置
12、812 可変周波数光源
14、814、914 ビームスプリッタ
16、816、916 反射鏡
20、820、920 測定対象物
20a 第1材料
20b 第2材料
22、822、922 受光素子
24 増幅器
32 レーザ駆動部
33 温度制御手段
80 CPU
82 数値化変換器
84 I/O
86 ROM
88 RAM
89 表示手段
90 制御手段
912 光源
918 駆動装置
f 発光周波数
d 屈折率変化位置
d0 原点
Ii 光量値
r1 光の反射率
φ 反射時の位相変化
12、812 可変周波数光源
14、814、914 ビームスプリッタ
16、816、916 反射鏡
20、820、920 測定対象物
20a 第1材料
20b 第2材料
22、822、922 受光素子
24 増幅器
32 レーザ駆動部
33 温度制御手段
80 CPU
82 数値化変換器
84 I/O
86 ROM
88 RAM
89 表示手段
90 制御手段
912 光源
918 駆動装置
f 発光周波数
d 屈折率変化位置
d0 原点
Ii 光量値
r1 光の反射率
φ 反射時の位相変化
Claims (6)
- 光を測定対象物に照射して、光が反射した屈折率変化位置dを計測する光断層撮影装置であって、
発光周波数を時間とともに変化させることが可能な可変周波数光源と、
前記可変周波数光源が発光した光を参照光と測定対象物への照射光とに分岐し、測定対象物において反射した反射光と前記参照光との干渉光を形成する干渉光学系と、
前記干渉光を受光して光量信号に変換する受光素子と、
前記光量信号を時系列で数値化した光量値Iiを順次出力する数値化変換器と、
前記光量値Iiを目的変数とし、測定対象物において光が反射した屈折率変化位置d、光の反射率r1及び反射時の位相変化φを説明変数とした回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する回帰分析手段と、
を備えることを特徴とする光断層撮影装置。 - 前記回帰分析手段は、前記回帰分析に遺伝的アルゴリズムを用いる、請求項1に記載の光断層撮影装置。
- 前記可変周波数光源は、時間tの1次関数にしたがって発光周波数fを変化させ、
前記回帰分析手段は、前記光量値Iiを用いて離散フーリエ変換を行って振幅の大きなピーク周波数を取得し、
前記回帰分析手段は、前記ピーク周波数から屈折率変化位置dpを推定し、この屈折率変化位置dp付近を回帰分析における屈折率変化位置dの探索範囲として回帰分析を行う、請求項1又は2に記載の光断層撮影装置。 - 前記可変周波数光源は、時間tの2次関数にしたがって発光周波数fを変化させる、請求項1又は2に記載の光断層撮影装置。
- 前記可変周波数光源として量子カスケードレーザと、当該量子カスケードレーザの温度を変化させる温度制御手段とを用いる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光断層撮影装置。
- 光を測定対象物に照射して、光が反射した屈折率変化位置dを計測する光断層撮影方法であって、
可変周波数光源を用いて、時間とともに発光周波数を変化させた光を発光する工程と、
干渉光学系を用いて、前記可変周波数光源が発光した光を参照光と測定対象物への照射光とに分岐し、測定対象物から反射した反射光と前記参照光との干渉光を形成する工程と、
受光素子を用いて、前記干渉光を受光して光量信号に変換する工程と、
数値化変換器を用いて、前記光量信号を時系列で数値化した光量値Iiを順次出力する工程と、
回帰分析手段を用いて、前記光量値Iiを目的変数とし、測定対象物において光が反射した屈折率変化位置d、光の反射率r1及び反射時の位相変化φを説明変数とした回帰分析を行って屈折率変化位置dを推定する工程と、
を含むことを特徴とする光断層撮影方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010042954A JP2011179902A (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 光断層撮影装置及び光断層撮影方法 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2010
- 2010-02-26 JP JP2010042954A patent/JP2011179902A/ja not_active Withdrawn
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