JP5367298B2 - ビーム走査式画像生成装置 - Google Patents
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Description
上記式中、Fは集束レンズ30の焦点距離であり、αは方向変換鏡20によって駆動される最大ビーム張り角を意味している。ほとんどの場合に、THzビーム張り角は方向変換鏡の回転角の2倍である。
上記式中、DLとDBはそれぞれ集束レンズ30とTHzビーム302の直径である。
上記式中、λは画像生成波の波長である。同一空間分解能と走査角を維持すると共に、より大きな画像生成エリアを得るには、レンズのサイズ、その焦点距離及び、レンズ上のTHzビームの直径を拡張することが必要である。
β=(φ+Φ)/2 ……(4b)
この構成のもう一つの重要な特徴は第2のミラー上におけるビーム移動距離であり、これが第2のミラーのサイズを決定する。
ここで、θ1=θ0+β−Φである。
これは回転軸がレンズにより近づけば正であり、さもなければ負である。
OA=OB=Lが満足されれば、式(7a)は以下のように単純化することができる。
式(6)に示した時間的変化とは異なり、この場合の時間的変化は3検流計機構の構造によって決定され、しかもそれは最適化整合によって最小化されない。第1のミラーと第2のミラーとの間の距離が(第2のミラーと第3のミラーとの間と同じく)40mmであれば、20度ビームスパンに対する最大の時間的変化は5mmである(33ピコ秒の時間的変化)。
ΔOP=2Δ(1−cosΦ)=2D(1−cosΦ)(1−cosθ) ……(8b)
M1とM2間の距離が25mmで、最大走査角が+/−20°であれば、最大ビーム移動は1mm、最大光路変化は185μmである。
Claims (21)
- 連続波出力若しくはパルス出力として、コヒーレント若しくはインコヒーレントの電磁波を発生する電磁波発生源と、
前記電磁波の方向変換用光学系と、
入射ビームの角度変化を水平方向変化に角度変換する角度変換器と、
撮像対象の画像生成に用いるために、前記撮像対象の表面又は前記撮像対象の内部に前記電磁波を集束させ、且つ前記撮像対象から出射ビームとして出射する前記電磁波を集光する集束光学系と、
集光された前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
を備え、前記電磁波の周波数範囲が1GHz〜100THzの範囲に含まれ、
前記方向変換用光学系は3つの方向変換鏡を備え、前記集束光学系に向かう平行ビームとしての前記入射ビームと前記集束光学系から出射した平行ビームである前記出射ビームとの間の平行ビーム移動を補償するように、前記電磁波のビームの角度変化を前記集束光学系にもたらし、
前記角度変換はレンズ又は曲面鏡の焦点面で生じ、
前記撮像対象が前記集束光学系の焦点面の範囲内に配置され、
前記画像生成に用いられる前記電磁波は反射のスペクトル情報、又は反射方向における散乱、屈折若しくは回折のスペクトル情報を搬送する
ことを特徴とする画像生成装置。 - 前記撮像対象は前記電磁波を、前記電磁波の反射、散乱、屈折若しくは回折により放出し、かつ、該電磁波の放出により前記撮像対象が前記電磁波の発生源として機能することを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記電磁波発生源が点源であり、前記電磁波検出器が点検出器であることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記方向変換用光学系が、入射波ビームの角度変化をもたらし、かつ、単一又は多数の反射鏡を含むことを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記角度変換器が、一若しくは複数のレンズ又は一若しくは複数の曲面鏡を含むか、又は一若しくは複数のレンズと一若しくは複数の曲面鏡との組み合わせであることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記集束光学系が、一若しくは複数のレンズ又は一若しくは複数の曲面鏡を含むか、又は一若しくは複数のレンズと一若しくは複数の曲面鏡との組み合わせであることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記集束、前記集光及び前記角度変換が、同一のデバイスによって行われることを特徴とする請求項6に記載の画像生成装置。
- 前記集束光学系の光軸の方向の前記撮像対象の像を得るために、前記集束光学系が前記光軸に沿って前記撮像対象に対して相対運動することを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 大形撮像対象のエリア毎の像を得るため、前記方向変換用光学系、前記角度変換器、前記集束光学系が動くことを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- ビームスプリッタを使用して前記撮像対象からの前記電磁波がピックアップされることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記電磁波検出器前方の光学系又は光学システムが前記集束光学系であり、該集束光学系が平行化されたビームを点検出器に集束させるために使用されることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記撮像対象内に位置する箇所が、前記電磁波を反射、散乱、屈折若しくは回折をすることによりにより電磁波を放出し、該電磁波の放出により前記撮像対象内に位置する箇所が、前記電磁波の点源として機能し、該点源の放射の角度分布が画像生成のために記録されることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記方向変換用光学系が、前記3つの方向変換鏡をそれぞれ駆動する3個の検流計を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記方向変換用光学系が、前記3つの方向変換鏡をそれぞれ駆動する3個の検流計を含む検流計機構を更に備え、
該検流計機構は、前記3つの方向変換鏡の内の第1と第2の方向変換鏡を、前記電磁波ビームの照射位置が前記3つの方向変換鏡の内の第3の方向変換鏡上の単一スポットに維持させるように駆動し、
前記第3の方向変換鏡を、前記単一スポットから出発する前記電磁波ビームを別の方向に走査させるように駆動することを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。 - 前記方向変換用光学系が、前記集束光学系の焦点に対してわずかに変位していることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記方向変換鏡が互いに同期されるため、前記方向変換用光学系後方の前記電磁波ビームは固定された方向を保っていることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記電磁波の位相敏感コヒーレント検波がタイムドメインで使用されることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- スペクトル像が、前記タイムドメインでの測定によって生成されることを特徴とする請求項17に記載の画像生成装置。
- 前記電磁波が、レーザ光源の使用によって発生させられることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 集光された画像生成のための情報が、前記画像生成装置のすべての活性デバイスの制御によって処理されることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
- 前記周波数範囲は約20THzまでであることを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置。
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