JP5612842B2 - 発振器 - Google Patents
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Description
例えば、前記共振器の一部は前記負性抵抗素子の2つの電極を兼ねており、前記容量部は前記電極に電気的に並列に接続される。そして、前記容量部の容量Cは、次の様に設定される。すなわち、これに接続される電源バイアス回路の全抵抗値RとCで決まるカットオフ周波数f=1/(2πCR)が、電源バイアス回路と負性抵抗素子とで形成されるループ帰還回路の基本共振周波数よりも小さくなる様に設定される(後述の実施形態参照)。また、容量部と負性抵抗素子は、電気的長さで当該発振器の発振波長である前記共振周波数のおよそ1/4隔てて線路で接続することができる(後述の実施形態1参照)。また、容量部は、負性抵抗素子と並列に接続した容量の異なる2つ以上の複数の容量部からなり、負性抵抗素子から離れるほど容量部の容量が大きくなる様に構成することができる(後述の実施形態参照)。
(実施形態1)
本発明による実施形態1は、RTD素子と大容量のコンデンサを同一基板上で集積化した構造を有する。図1はその構造を示しており、(a)は斜視図、(b)は(a)におけるA-A’断面図である。図1において、4はポスト状のRTD素子であって、InP基板1上に結晶成長により形成したInGaAs/AlAs或いはInGaAs/InAlAs量子井戸17、2つのコンタクト層15、16及びスペーサ層(不図示)などを含むエピタキシャル層から成る。これには、GaAs基板上のAlGaAs/GaAs、GaN基板上のAlGaN/InGaNなどのIII-V族化合物半導体、Si基板上のSi/SiGeなどのIV族半導体、更にはII-VI族半導体などで構成した負性抵抗素子なども同様に適用できる。
f=1/(C1・Rs・2π) (1)
すなわち、Rs≒10Ωであるとして、1pFの容量C1と10ΩのRsで、カットオフ周波数は(1)式よりおよそ16GHzとなる。従来は、このカットオフ周波数以下で寄生発振が起きるため、抵抗素子もしくはダイオード素子によって損失量を増やしていた。これが、図2の点線26で描いた特性であり、こうした素子をRTD素子からλ/4の位置に備えることで発振ポイント20では損失のない窓領域を形成し、発振を得ていた。
f=c0/λ=c0/(2L√εeff) (2)
例えばL=1mの2本のリード線で接続したとすると、εeff=1と仮定して、約150MHzとなる。この結果、第2容量部12により、バイアス回路に起因する寄生発振は抑圧できることになる。なお、第2容量部における高域カットオフは、MIM(Metal-Insulator-Metal)構造の場合、容量素子を構成する誘電体などで決まるが、数10GHz程度まで誘電率の大きな変化がない様な誘電体材料であればよい。
実施形態1における素子構成の具体的な実施例を述べる。本実施例では、RTD素子は、InP基板上に形成した、第1障壁層AlAs(1.3nm)、第1量子井戸層InGaAs(7.6nm)、第2障壁層InAlAs(2.6nm)、第2量子井戸層InGaAs(5.6nm)、第3障壁層AlAs(1.3nm)の3重障壁量子井戸構造を用いた。ここで、AlAs以外はInP基板に格子整合した組成比となっている。一方、AlAsは歪み層になるが、厚さは臨界膜厚以下になっている。この3重障壁量子井戸構造の上下両方に、ノンドープInGaAsからなるスペーサ層、n型InGaAs電気接点層、n+InGaAsコンタクト層を持たせている。RTD素子ポストは直径が約2μmの円形状であり、この場合、フォトンアシストトンネル現象により電流密度がJp=280kA/cm2、ピークバレイ比が3、微分負性抵抗が約−22Ωの電流電圧特性が得られる。パッチアンテナの電極5は150μm×150μmの正方形パターンを有し、その中心から電極6から離れる方向に並行に40μm移動した位置にポストがあり、パッチアンテナ共振器とRTD素子がインピーダンスマッチングする様に作製されている。この場合の発振周波数は、アンテナサイズがλ/2にほぼ相当することから、約530GHzとなる。
本発明による実施形態2は、図3の様に第2容量部を別のチップとして同一マウント上に実装する構造を有する。図3において、30は、チップ実装のためのサブキャリアである。サブキャリア30としては、Si基板、Al2O3、AlNなどのセラミック基板、プラスティック基板などの表面にAuなどの導電層31をコーティングしたもの、或いは金属板などの材料を選択できる。37はRTD素子チップであり、実施形態1の第1容量部に相当する部分までワンチップ化したものである。パッチアンテナ33及び電極34が線路39によって接続されている。ただし、第1容量部に相当する部分の容量は、実施形態1よりは大きくする必要がある。RTD素子の一方のコンタクトはサブキャリアの導電層31と接続され、他方はAuワイヤボンディング35で第2容量部となるチップコンデンサ38の1つの電極36と接続されている。図3ではワイヤボンディング35が1本であるが、必要に応じて複数本を打ってもよい。チップコンデンサ38のもう一方の電極は導電性を持ってサブキャリアの導電層31と接続されている。ワイヤボンディング35で接続される長さにより、第1容量部と第2容量部の不連続により発生する図2の周波数帯域における共振点21が決まるが、この共振点よりも第1容量部の容量のカットオフ周波数が小さくなる様にする必要がある。この為に、上述した様に、第1容量部の部分の容量を、実施形態1よりは大きくしている。
本発明による実施形態3は、図4に示す様にRTD素子でもストライプ状の共振器を持つ発振器にしたものである。RTD素子を構成する結晶構造は、実施形態1の実施例で述べた様な半導体、例えばInP基板上にエピタキシャル成長したInGaAs/AlAs多重量子井戸を含む層46及びコンタクト層としてのn+InGaAs47、48から成る。この様なストライプ構造にする場合に、テラヘルツ帯では誘電体導波路で構成することが難しく、一般には上下を金属で挟んだダブルプラズモン導波路が好適に用いられる。そのため、図4の基板49はエピタキシャル成長基板ではなく、エピタキシャル薄膜46〜48を保持する基板である。GaAsやInPが、エピタキシャル薄膜と膨張係数の近い材料として好適に用いられる。Siやセラミック等の基板でもよい。基板49の表面には、金属膜43、例えばTi/Au薄膜が形成されていて、エピタキシャル成長膜とはAu-Auの金属接合で接着され(不図示)、エピタキシャル成長膜の成長の際に用いたInP基板はエッチング等で除去している。
Claims (7)
- 負性抵抗素子と共振器を備える発振器であって、
電源バイアス回路に対して前記負性抵抗素子と電気的に並列に接続された容量部を備え、
前記共振器の一部は、前記負性抵抗素子の2つの電極を兼ねており、
Cが前記容量部の容量であり、Rが前記電源バイアス回路の全抵抗値であって、カットオフ周波数fがf=1/(2πCR)の関係を満たすとしたとき、前記容量部の容量は、前記カットオフ周波数が前記電源バイアス回路と前記負性抵抗素子とで形成されるループ帰還回路の基本共振周波数よりも小さくなる様に設定され、
該発振器は、30GHz以上30THz以下の電磁波を発振することを特徴とする発振器。 - 前記容量部と前記負性抵抗素子は、電気的長さで当該発振器の発振波長である前記共振周波数の1/4隔てて線路で接続されていることを特徴とする請求項1に記載の発振器。
- 前記容量部は、前記負性抵抗素子と並列に接続した容量の異なる2つ以上の複数の容量部からなり、前記負性抵抗素子より離れるほど容量部の容量が大きくなることを特徴とする請求項1に記載の発振器。
- 前記複数の容量部のうち前記負性抵抗素子に最も近い容量部と前記負性抵抗素子が、電気的長さで当該発振器の発振波長である前記共振周波数の1/4隔てて線路で接続されていることを特徴とする請求項3に記載の発振器。
- 前記複数の容量部は、同一基板上に集積化されていることを特徴とする請求項3または4に記載の発振器。
- 前記電源バイアス回路の全抵抗値は前記負性抵抗素子の負性抵抗値の絶対値よりも小さいことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の発振器。
- 前記電源バイアス回路による寄生発振は抑圧され、前記負性抵抗素子と前記共振器による前記電磁波の発振は許容されることを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載の発振器。
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