JP2007209839A - 樹脂膜形成装置、方法およびプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】樹脂の再利用が可能な樹脂膜形成装置、樹脂膜形成方法および樹脂膜形成装置を制御するための制御装置可読のプログラムを提供すること。
【解決手段】中心に孔２を有する円板状のディスク１を載置しディスク１を孔２を中心に回転させるスピンナ１６と、ディスク１の孔２の周囲に樹脂３を塗布する樹脂供給装置と、スピンナ１６に載置されたディスク１の樹脂３を硬化する光線を照射する光線照射装置であってスピンナ１６に載置されたディスク１の内周側から外周側に向けて光線の照射位置を移動しディスク１の外周に至る手前で光線の照射を停止する光線照射装置１７とを備える樹脂膜形成装置。
【選択図】図３

Description

本発明は、ディスクに樹脂膜を形成する樹脂膜形成装置、樹脂膜形成方法および樹脂膜形成装置を制御するための制御装置可読のプログラムに関する。特に、樹脂の再利用可能な樹脂膜形成装置、樹脂膜形成方法およびプログラムに関する。

光ディスクは、ＣＤ（コンパクト・ディスク）からＤＶＤ（デジタル・バーサタイル・ディスク）、更に次世代ＤＶＤへと進化し、その記録密度が向上している。これらの光ディスクでは、例えばポリカーボネート製基板の表面の螺旋形の溝に微小な凹凸を形成し、その凹凸をレーザ光線で走査することにより、記録が読み取られる。ＣＤのように１枚の基板に記録されている場合には、記録面を保護するために、記録面は樹脂でコーティングされる。また、ＤＶＤなどでは、記録密度を向上するために、記録面を有する２枚以上の基板を接着剤用の樹脂で貼り合せることで製造される。

基板表面にコーティング用あるいは接着剤用の樹脂を塗布するときには、一般に、基板の中心孔の付近に樹脂を円環状に塗布してから高速回転を行い、樹脂を展延して樹脂の膜厚を全体的に均一にしている。そして、展延した樹脂に中央側から外周側に向って順次光線を照射し、樹脂を硬化している（特許文献−１参照）。
特開平２００４−２８０９２７（第１１−１３頁、図１）

ディスクに塗布した樹脂を高速回転により展延しながら、樹脂を硬化する場合には、高速回転により樹脂を展延するときに、ディスクの外縁に達した樹脂の一部は回転により吹き飛ばされる。ここで、吹き飛ばされる樹脂が光線の照射を受けていると吸光度、粘度などの特性が変化し、樹脂の再利用が困難となり、樹脂の無駄が生ずる。そこで、本発明は、樹脂の再利用が可能な樹脂膜形成装置、樹脂膜形成方法および樹脂膜形成装置を制御するための制御装置可読のプログラムを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明に係る樹脂膜形成装置は、例えば図１および図３に示すように、中心に孔２を有する円板状のディスク１を載置し、ディスク１を孔２を中心に回転させるスピンナ１６（１６Ａ、１６Ｂ）と；ディスク１の孔２の周囲に樹脂３を塗布する樹脂供給装置１３と；スピンナ１６に載置されたディスク１の樹脂３を硬化する光線を照射する光線照射装置であって、スピンナ１６に載置されたディスク１の内周側から外周側に向けて光線の照射位置を移動し、ディスク１の外周に至る手前で光線の照射を停止する光線照射装置１７（１７Ａ、１７Ｂ）とを備える。

このように構成すると、外周に至る手前で光線の照射を停止するので、ディスクの周囲から漏れる樹脂には光線が照射されず、よって漏れた樹脂の吸光度、粘度などの特性は変化することなく、樹脂の再利用が可能となる。なお、ここでいう「樹脂を硬化する」には、樹脂を完全に硬化する場合の他、完全に硬化せずゲル状となりその後の回転の遠心力により外周に広がらない程度に硬化する場合（以下、「半硬化」という）を含む。

また、請求項２に記載の発明に係る樹脂膜形成装置では、例えば図３に示すように、請求項１に記載の樹脂膜形成装置において、光線照射装置１７は、スピンナ１６に載置されたディスク１の内周側から外周側に向けて、光線の照射位置を連続的に移動するように構成されてもよい。

このように構成すると、光線の照射位置をディスクの内周側から外周側に向けて連続的に移動するので、内側の樹脂から硬化し始め、徐々に外周側に硬化していくので、樹脂は光線の照射を受けていない樹脂だけがディスクの周囲から漏れる。

また、請求項３に記載の発明に係る樹脂膜形成装置では、例えば図３および図５に示すように、請求項１または請求項２に記載の樹脂膜形成装置において、スピンナ１６は、第１の回転速度Ｖ３でディスク１を回転させて孔２の周囲に塗布された樹脂３を展延し、その後に第１の回転速度Ｖ３より遅い第２の回転速度でディスク１を回転させ；光線照射装置１７は、スピンナ１６が第２の回転速度でディスク１を回転させているときに、光線をディスク１に照射し始めてもよい。

このように構成すると、第１の回転速度でディスクを回転させることにより樹脂を素早く展延し、ディスク上に満遍なく行き渡らせた後、第１の回転速度より遅い第２の回転速度にすることにより、樹脂がディスクの外周方向に移動する速度が遅くなり、その状態で光線を照射するので、光線を照射された樹脂が外周方向に移動することが抑えられる。

また、請求項４に記載の発明に係る樹脂膜形成装置では、例えば図２に示すように、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の樹脂膜形成装置において、樹脂供給装置により樹脂３が塗布されたディスク１に、樹脂３が塗布された面側から、ディスク１とは別のディスク１’を重ねるディスク重ね合わせ装置１４を備えてもよい。

このように構成すると、ＤＶＤなど記録密度を向上するために記録面を有する２枚以上の基板を製造することができ、その際にも記録面を有する２枚以上の基板を貼り合せるための接着剤用の樹脂について再利用可能となる。

また、請求項５に記載の発明に係る樹脂膜形成装置では、例えば図３に示すように、請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の樹脂膜形成装置において、スピンナ１６に載置されたディスク１から漏れた樹脂３を吸引する樹脂吸引装置４１〜４３を備えてもよい。ここで、「漏れた」とは、樹脂がディスクの保持から解放されることをいい、回転により樹脂が飛散すること、および、ディスクの周囲から樹脂が垂れることを含む。

このように構成すると、ディスクから漏れた樹脂を確実に回収することができ、樹脂の再利用率が向上する。

また、請求項６に記載の発明に係る樹脂膜形成装置では、例えば図１に示すように、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の樹脂膜形成装置１００において、展延され、光線照射装置１７により光線を照射された樹脂３に、再度光線を照射する硬化装置２１を備えてもよい。

このように構成すると、光線照射装置によりディスクの内周側から外周側に向けて光線の照射位置を移動し、ディスクの外周に至る手前で光線の照射を停止することにより、移動しながら照射される光線により完全に硬化していない樹脂も、また、ディスクの最外周の硬化していない樹脂も完全に硬化し、接着剤としてあるいは保護膜としての硬化樹脂となる。

前記目的を達成するために、請求項７に記載の発明に係る樹脂膜形成方法は、例えば図１０に示すように、中心に孔を有する円板状のディスクの該孔の周囲に樹脂を塗布する樹脂供給工程Ｓ１０と；樹脂供給工程Ｓ１０により樹脂を塗布されたディスクを第１の回転速度で回転させる第１回転工程Ｓ３０と；第１回転工程Ｓ３０に続いて、回転速度を低減する減速工程Ｓ４０と；減速工程Ｓ４０と同時に、あるいは、減速工程Ｓ４０に続いて、樹脂を硬化させる光線の照射位置をディスクの中心側から外周側に向けて移動しながら樹脂を硬化させる光線照射工程Ｓ５０、Ｓ６０と；光線の照射を、ディスクの外周を照射する手前で停止する光線照射停止工程Ｓ７０とを備える。

このように構成すると、樹脂を塗布された円板状のディスクを第1の回転速度で回転させて樹脂を円板上に素早く満遍なく展延し、回転速度を低減させ、光線の照射位置をディスクの中心側から外周側に向けて移動しながら樹脂を硬化させる光線を照射し、ディスクの外周を照射する手前で光線の照射を停止するので、ディスクの周囲から漏れる樹脂には光線が照射されず、よって漏れた樹脂の吸光度、粘度などの特性は変化することなく、樹脂の再利用が可能な樹脂膜形成方法となる。

また、請求項８に記載の発明に係る樹脂膜形成方法では、例えば図１０に示すように、請求項７に記載の樹脂膜形成方法において、ディスクに塗布された樹脂であって、ディスクから漏れた樹脂を回収する樹脂回収工程Ｓ８０を備えでもよい。

このように構成すると、ディスクから漏れた樹脂を回収するので、樹脂が再利用され、樹脂の無駄のない樹脂膜形成方法となる。

また、請求項９では、例えば図１０に示すように、請求項７または請求項８に記載の樹脂膜形成方法において、光線照射停止工程Ｓ７０の後に、樹脂を硬化させる光線を照射する第２の光線照射工程Ｓ１００を備えてもよい。

このように構成すると、ディスクの内周側から外周側に向けて光線の照射位置を移動し、ディスクの外周を照射する手前で光線の照射を停止することにより、移動しながら照射される光線により完全に硬化していない樹脂、また、ディスクの最外周の硬化していない樹脂をも完全に硬化させることができるので、接着剤としてあるいは保護膜としての硬化樹脂を形成する樹脂膜形成方法となる。

前記目的を達成するために、請求項１０に記載の発明に係るプログラムは、例えば図１および図１０に示すように、中心に孔を有する円板状のディスクに樹脂膜を形成する樹脂膜形成装置１００を制御するための制御装置可読のプログラムであって、ディスクの孔の周囲に樹脂を塗布する樹脂塗布ステップＳ１０と；樹脂が塗布されたディスクを載置したスピンナ１６を第１の回転速度で回転させる回転ステップＳ３０と；回転ステップＳ３０に続いて、スピンナ１６の回転速度を減速する減速ステップＳ４０と；減速ステップＳ４０に続いて、ディスクの内周側から外周側に向けて光線を照射する光線照射ステップＳ５０、Ｓ６０と；光線の照射を、ディスクの外周を照射する手前で停止する光線照射停止ステップＳ７０とを行わせる。

このように構成すると、外周に至る手前で光線の照射を停止するので、ディスクの周囲から漏れる樹脂には光線が照射されず、よって漏れた樹脂の吸光度、粘度などの特性は変化することなく、樹脂の再利用が可能となるように樹脂膜形成装置を制御するプログラムとなる。

樹脂膜形成装置が、中心に孔を有する円板状のディスクを載置しディスクを孔を中心に回転させるスピンナと、ディスクの孔の周囲に樹脂を塗布する樹脂供給装置と、スピンナに載置されたディスクの樹脂を硬化する光線を照射する光線照射装置であって、スピンナに載置されたディスクの内周側から外周側に向けて光線の照射位置を移動しディスクの外周に至る手前で光線の照射を停止する光線照射装置とを備えるので、外周に至る手前で光線の照射が停止され、ディスクの周囲から漏れる樹脂には光線が照射されず、よって漏れた樹脂の吸光度、粘度などの特性は変化することなく、樹脂の再利用が可能となる。

また、樹脂膜形成方法が、中心に孔を有する円板状のディスクの孔の周囲に樹脂を塗布する樹脂供給工程と、樹脂供給工程により樹脂を塗布されたディスクを第１の回転速度で回転させる第１回転工程と、第１回転工程に続いて回転速度を低減する減速工程と、減速工程と同時にあるいは減速工程に続いて樹脂を硬化させる光線の照射位置をディスクの中心側から外周側に向けて移動しながら樹脂を硬化させる光線照射工程と、光線の照射をディスクの外周を照射する手前で停止する光線照射停止工程とを備えるので、樹脂を塗布された円板状のディスクを第1の回転速度で回転させて樹脂を円板上に素早く満遍なく展延し、回転速度を低減させ、光線の照射位置をディスクの中心側から外周側に向けて移動しながら樹脂を硬化させる光線を照射し、ディスクの外周を照射する手前で光線の照射を停止するので、ディスクの周囲から漏れる樹脂には光線が照射されず、よって漏れた樹脂の吸光度、粘度などの特性は変化することなく、樹脂の再利用が可能な樹脂膜形成方法となる。

また、中心に孔を有する円板状のディスクに樹脂膜を形成する樹脂膜形成装置を制御するための制御装置可読のプログラムが、ディスクの孔の周囲に樹脂を塗布する樹脂塗布ステップと、樹脂が塗布されたディスクを載置したスピンナを第１の回転速度で回転させる回転ステップと、回転ステップに続いてスピンナの回転速度を減速する減速ステップと、減速ステップに続いてディスクの内周側から外周側に向けて光線を照射する光線照射ステップと、光線の照射をディスクの外周を照射する手前で停止する光線照射停止ステップとを行わせるので、外周に至る手前で光線の照射が停止され、ディスクの周囲から漏れる樹脂には光線が照射されず、よって漏れた樹脂の吸光度、粘度などの特性は変化することなく、樹脂の再利用が可能となるように樹脂膜形成装置を制御するプログラムとなる。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において、互いに同一または相当する装置には同一符号を付し、重複した説明は省略する。

先ず、図１を参照して本発明に係る樹脂膜形成装置１００について説明する。図１は、本発明に係る樹脂膜形成装置１００の構成を説明する平面図である。樹脂膜形成装置１００は、ディスク基板１（図３参照）をターンテーブル１１の受け部１１ａに載置するディスク載置アーム１０と、受け部１１ａに載置されたディスク基板１を処理工程に送るターンテーブル１１と、受け部１１ａに載置されたディスク基板１を上下反転させる反転装置１２と、ディスク基板１の孔２（図３参照）の周囲に樹脂を塗布する樹脂供給装置１３と、樹脂３を塗布されたディスク基板１にディスク基板１’（図３参照）を重ねるディスク重ね合わせ装置１４と、樹脂３が塗布されてディスク基板１、１’が重ね合わされたディスク４（図３参照)をターンテーブル１１からスピンナ１６Ａ、１６Ｂに、また、スピンナ１６Ａ、１６Ｂから受け台１８に移載する移載装置１５と、ディスク４を孔２を中心に回転するスピンナ１６Ａ、１６Ｂと、スピンナ１６Ａ、１６Ｂ上のディスク４に光線を照射する光線照射装置１７Ａ、１７Ｂとを備える。ここで、スピンナ１６Ａ、１６Ｂと光線照射装置１７Ａ、１７Ｂとが２系列備えられているのは、スピンナ１６Ａ、１６Ｂでのディスク４の回転と、光線照射装置１７Ａ、１７Ｂによる光線の照射に時間が掛かるので、２系列とし、樹脂膜形成装置１００全体としての作業効率を向上するためである。スピンナ１６Ａ、１６Ｂと光線照射装置１７Ａ、１７Ｂとは２系列でなく１系列としてもよく、あるいは３系列以上としてもよい。１系列とすれば樹脂膜形成装置１００が単純化、小型化、あるいは軽量化される。また、ディスク４の回転と、光線の照射により時間が掛かる場合には、３系列以上とすることにより、樹脂膜形成装置１００全体としての作業効率を向上することができる。なお、以降、２系列のスピンナと光線照射装置とを区別するときには、スピンナ１６Ａ、１６Ｂと光線照射装置１７Ａ、１７Ｂと記載するが、区別しないときには、スピンナ１６と光線照射装置１７と記載する。

樹脂膜形成装置１００はさらに、光線を照射されたディスク４を一時載置する受け台１８と、ディスク４を受け台１８からターンテーブル２０に、また、ターンテーブル２０からターンテーブル２２に移載する移載装置１９と、ディスク４を硬化装置２１に移動させるターンテーブル２０と、ターンテーブル２０上のディスク４に再度光線を照射し樹脂３全体を完全に硬化させる硬化装置２１と、ディスク４を反転装置２３および除電装置２４に移動するターンテーブル２２と、ディスク４を上下反転する反転装置２３と、ディスク４を除電する除電装置２４と、ディスク４をターンテーブル２２から検査装置２６にまた、検査装置２６から昇降ステージ２７に移載する移載装置２５と、ディスク４を検査する検査装置２６と、ディスク４を移載装置２８の高さにまで上昇させる昇降ステージ２７と、ディスク４を昇降ステージ２７から良品テーブル２９および不良品テーブル３０に移載する移載装置２８と、検査で良品とされたディスク４を積載する良品テーブル２９と、検査で不良品とされたディスク４を積載する不良品テーブル３０とを備える。

ディスク基板１、１’は、典型的にはポリカーボネート樹脂製の円盤であるが、材質はポリカーボネート樹脂には限られず、レーザ光線を透過する他の材質も好適に用いられる。ディスク基板１は円形の薄板で、その中心に円形の孔２が形成されている。外形は円形とするのが一般的であるが、円形でなくてもよい。ディスク基板１の寸法の一例としては、直径１２０ｍｍ、中心孔の径１５ｍｍ、厚さ０．６ｍｍであるが、寸法は用途により様々である。ディスク基板１の片面には螺旋形の溝または信号を形成する微小な凹状の溝が形成されている。ディスク基板１とディスク基板１’とはそれぞれ異なる溝が形成され、別々にターンテーブル１１の傍に仮置きされている。ディスク基板１とディスク基板１’とは交互に、ディスク載置アーム１０により、溝が形成された面を上面としてターンテーブル１１の受け部１１ａに載置される。ディスク載置アーム１０は、溝が形成された面に接触することなく、孔２を内側からあるいは外縁を外側から把持して、ディスク基板１、１’を受け部１１ａに載置する。

ターンテーブル１１は、１２台の受け部１１ａを備えている。受け台の数は１２台に限定されないが、12台であるとターンテーブル１１が30度ずつ間欠的に回転することにより、順次同じ位置となるので、好適である。受け部１１ａは、中央部が空間になっていて、その周辺が円環状に窪んで、その窪み上にディスク基板１を載置する。受け部１１ａの円環状の窪みは、ターンテーブル１１の外周側で切り開かれており、外に開いている。このように外側が開いていることにより、後述する反転装置１２のアームを受け部１１ａに載置されたディスク基板1の下面側に挿入することができる。

反転装置１２は、受け部１１ａに載置されたディスク基板1’の上下面を反転させる装置で、図３に示すように２枚のディスク基板１、１’を重ね合わせるときに溝が形成された面を内側に挟むようにするために、ターンテーブル１１の各受け部１１ａに１つおきに載置されたディスク基板１’を上下反転する。反転装置１２では、アームの先端でディスク基板１’を把持し、受け部１１ａから持ち上げた後、アームが軸周りに１８０度回転することにより、ディスク基板１’の上下面を反転し、再度受け部１１ａ上に載置する。なお、反転装置１２は、ターンテーブル１１に載置される前のディスク基板１’を上下反転するように、ターンテーブル１１とは別に設置されてもよい。

樹脂供給装置１３は、ディスク基板1の孔2の周囲に円環状に樹脂を塗布する。樹脂膜形成装置１００では、２枚のディスク基板１、１’を貼り合わせるので、樹脂としては液状の接着剤としての紫外線硬化樹脂が用いられる。樹脂供給装置１３は、樹脂を供給するノズル１３ａが孔２の周囲の円周上を移動することにより、樹脂を円環状に塗布するが、ノズル１３ａが固定されていて、ディスク基板１がゆっくりと回転してもよい。樹脂は、ディスク反転装置１２で上下面が反転されていないディスク基板１上に塗布される。すなわち、ディスク基板１の溝が形成された面に塗布される。また、樹脂供給装置１３は、ターンテーブル１１に載置される前のディスク基板１に樹脂を塗布するように、ターンテーブル１１とは別に設置されてもよい。

図２に示すように、ディスク重ね合わせ装置１４は、ディスク反転装置１２で上下面が反転されたディスク基板１’を吸着保持し、隣の受け部１１ａに載置されたディスク基板1の上に重ね合わせる装置である。図２において、（ａ）はディスク重ね合わせ装置１４の全体構成とその動きを説明する側面図で、（ｂ）は、ディスク重ね合わせ装置１４によりディスク基板１’を吸着保持している状態を説明する拡大部分断面図である。ディスク重ね合わせ装置１４は、ディスク基板１’を吸着する吸着部１４２を２つ備え、２つの吸着部１４２を懸架するアーム１４１と、アーム１４１の中心（２つの吸着部１４２の中間点）で垂下しアームを１８０度回転させるカラム１４０とを備える。カラム１４０は、不図示の固定台により、所定の２つの受け部１１ａの中間位置のターンテーブル１１上方でアーム１４１の中心を垂下し、吸着部１４２はそれぞれ受け部１１ａの直上に位置する。そこで、１つの受け部１１ａに載置されたディスク基板１’を吸着保持し、アーム１４１を１８０度回転することにより、隣の受け部１１ａ上に移動し、ディスク基板１に重ね合わせる。アーム１４１を１８０度回転させる手段は、従来の方法を用いることができる。

ここで、図２（ｂ）を参照して、ディスク基板１’を吸着保持する構成について、詳細に説明する。吸着部１４２は、ディスク基板１’を吸着する吸着面１４３を有し、吸着面１４３には、真空部１４４が設けられ、真空部１４４は真空チューブ１４６と連接し、不図示の真空装置により空気を吸引され、ディスク基板１’を吸着面１４３に吸着する。吸着面１４３は、ディスク基板１’を傷付けないよう、また、真空吸着し易いように、例えば硬質ゴムなどの比較的柔らかい素材で形成してもよい。吸着部１４２は、アーム１４１から懸架するために懸架部１４５を有している。ディスク基板１’を吸着し、また、ディスク基板１’をディスク基板１に重ね合わせるに際し、ターンテーブル１１にディスク基板１、１’を所要の高さまで持ち上げる昇降台が備えられていれば、懸架部１４５は単にアーム１４１から懸架するだけの部材でよいが、ターンテーブル１１に昇降台が備えられていないときには、懸架部１４５は、例えばソレノイドなどにより伸縮し、吸着面１４３を鉛直方向に上下移動させる構成とする。２枚のディスク基板１、１’を重ね合わせるために、ディスク反転装置１２で上下面が反転されたディスク基板１’を昇降台で持ち上げ、あるいは、懸架部１４５で吸着面１４３を下げ、吸着面１４３をディスク基板１’に当接し、吸着保持する。昇降台を下げ、あるいは、懸架部１４５を縮めて、ディスク基板１’を受け台１１ａの上方に離してから、アーム１４１を１８０度回転させてディスク基板１’を隣の受け台１１ａのディスク基板１上に移動させる。昇降台によりディスク基板１が上昇し、あるいは、懸架部１４５が伸びて吸着面１４３すなわち、ディスク基板１’を下げ、ディスク基板１’がディスク基板１と重ね合わされたならば、ディスク基板１’の吸着を解放する。ディスク基板１’の吸着を解放したならば、昇降台を下げ、あるいは、懸架部１４５を縮めて、吸着面１４３を受け台１１ａの上方に離す。一の受け台１１ａ上でディスク基板１’の吸着が行われるときに、隣の受け台１１ａでディスク基板１’のディスク基板１との重ね合わせが行われる。

これまでは、ディスク重ね合わせ装置１４が２つの吸着部１４２を備え、アーム１４１が１８０度回転することにより、隣の受け台１１ａ上に移動するものとして説明したが、ディスク重ね合わせ装置１４はアーム１４１により固定支持された吸着部１４２を一つだけ備え、ディスク基盤１’を吸着保持し、ターンテーブル１１が３０度回転し、隣のディスク基板１が吸着部１４２の直下に来たら、その位置でディスク基板１’をディスク基板１に重ね合わせるように構成してもよい。ディスク基板１’が吸着保持され持ち上げられた状態のまま、ターンテーブル１１が３０度回転し、隣の受け部１１ａに載置されていたディスク基板１の上にディスク基板１’に重ね合わせることにより、２枚のディスク基板１、１’が重ね合わせられる。このように、上から重ねるディスク基板１’を移動することなく重ね合わせると、ディスク基板１とディスク基板１’とが、回転を含めてずれることがない。一方、２つの吸着部１４２を備え、ターンテーブル１１の回転を待たずにアーム１４１を１８０度回転させてディスク基板１’を移動させ、ディスク基板１’をディスク基板１に重ね合わせると、作業時間が短縮される。なお、ディスク重ね合わせ装置１４は、図２に例示した構成には限られず、ディスク基板１’を持ち上げて、ディスク基板１の上に重ねる装置であれば他の構成でもよい。

移載装置１５は、重ね合わせられたディスク基板１、１’（樹脂３と併せて、ディスク４と称する）をターンテーブル１１の受け台１１ａからスピンナ１６Ａ、１６Ｂに移載し、また、１６Ａ、１６Ｂから受け台１８に移載する。そのために、互いに直行する３本のアームを有し、受け台１１ａからスピンナ１６Ａにディスク４を移載すると同時に、スピンナ１６Ａから受け台１８にディスク４を移載し、受け台１１ａからスピンナ１６Ｂにディスク４を移載すると同時に、スピンナ１６Ｂから受け台１８にディスク４を移載できる構造となっている。そこで、受け台１１ａ、スピンナ１６Ａ、受け台１８およびスピンナ１６Ｂとは、この順で反時計回りに円周上で互いに９０度離れた位置に配置されている。移載装置１５は２本のアームで２つのディスク４を同時に移載する構造としてもよいが、３本のアームを有することにより、ディスク４を移載するための回転角を小さくすることができる。また、４本のアームを有する構造とすれば、元の位置に戻す動作を省略できるので、さらに移載装置の回転角を小さくすることができる。

スピンナ１６は、ディスク４を高速で回転させ樹脂３をディスク４に満遍なく展延すると共に、光線照射装置１７による光線をディスク４の全周に照射させるために、ディスク４を回転する装置である。スピンナ１６には、光線照射装置１７が組まれて設置されている。

ここで、図３をも参照して、スピンナ１６と光線照射装置１７について、さらに詳しく説明する。図３は、スピンナ１６と光線照射装置１７およびスピンナ１６に載置されたディスク４から漏れた樹脂３を捕捉するコーターハウス４０、コーターハウス４０で捕捉された樹脂３を吸引する樹脂吸引装置としての吸引管４１、樹脂溜め４２、吸引装置４３並びに制御装置６０を説明する部分断面ブロック図である。図３中、１点鎖線は、制御信号の伝達経路を示す。

スピンナ１６は、ディスク４を載置し回転する受け台１６ａと、回転軸１６ｂと、回転駆動装置１６ｃとを有する。受け台１６ａは、ディスク４を載置する円形の平板と平板の中央の円柱形の突起を有し、突起はディスク基板１、１’の孔２に嵌入する。そのため、ディスク４の中心と受け台１６ａの回転中心とが一致する。突起は、孔２に嵌入しやすいよう、円柱形ではなく、先に行くほど細くなるように形成してもよい。受け台１６ａの突起の裏側に当たる鉛直下方には円柱形の回転軸１６ｂが受け台１６ａと同心に配置されている。回転軸１６ｂの他端は回転駆動装置１６ｃに接続し、回転駆動装置１６ｃの回転により受け台１６ａが突起を中心に回転する。回転駆動装置１６ｃは、例えばモータと変速機とを備え、受け台１６ａの回転速度を可変としている。変速機を備えず、インバーターモータとしてもよいし、他の機構により受け台１６ａを可変な回転速度で回転する構成であればよい。

コーターハウス４０は、受け台１６ａを囲むように形成された容器で、スピンナ１６により回転させられたディスク４から飛散した樹脂３を周囲の壁で捕捉して溜め、その他ディスク４から漏れた樹脂３を溜める。コーターハウス４０の底面には開口が設けられ、開口には、コーターハウス４０に溜められた樹脂３を吸引する管である吸引管４１が接続する。吸引管４１の他端は樹脂溜め４２に接続する。樹脂溜め４２は、密封された容器で、吸引管４１に接続する開口と、吸引装置４３に接続するための開口とを有する。その他に、樹脂溜め４２に貯留された樹脂をときどき抜き取るための抜き取り口（不図示）を有していてもよい。なお、抜き取り口は通常運転時には封止されている。吸引装置４３は、コーターハウス４０の内部から、吸引管４１、樹脂溜め４２を経て空気を吸引する装置で、典型的には、ドラフトファンが用いられる。吸引装置４３で樹脂溜め４２から吸引された空気は、大気に放出される。樹脂溜め４２から吸引装置４３に空気が吸引される位置にデミスタ（不図示）を設置してもよい。

光線照射装置１７は、ディスクに照射する光線としての紫外線をスポット状に出す照射部１７１と、照射部１７１から照射される紫外線を発生する紫外線光源１７６と、紫外線光源１７６の紫外線の発生を制御する照射制御装置１７８と、紫外線光源１７６で発生した紫外線を照射部１７１に伝達する光ファイバ１７５とを有する。照射部１７１は、ディスク４の孔２の周囲の内周側の位置Ｒ１から外周側へ向けて走行しながらディスク４の表面に紫外線を照射する。すなわち、照射部１７１が走行するので、ディスク表面上の紫外線の照射位置が移動する。しかし、外周に至る手前の位置R２でそれ以上外周側に走行することなく停止し、ディスク４への紫外線の照射は終了する。照射部１７１の走行や紫外線の照射、すなわち、紫外線光源１７６での紫外線の発生は、照射制御装置１７８で制御される。ここで、半径６０ｍｍ（直径１２０ｍｍ）のディスク基板を用いる場合には、内周側の位置Ｒ１は中心から半径１０〜２５ｍｍ（ディスク基板の半径の１６〜４２％）の範囲とし、外周に至る手前の位置Ｒ２は中心から半径４０〜５８ｍｍ（ディスク基板の半径の６６〜９７％）の範囲とするのが典型的である。

なお、スピンナ１６の回転駆動装置１６ｃが受け台１６ａを回転するタイミングと回転速度、および、光線照射装置１７がディスクに紫外線を照射するタイミングや照射部１７１の位置（走行速度を含む）、照射量などは、制御装置６０で制御され、スピンナ１６の回転と光線照射装置１７の紫外線の照射は協働して行われる。また、制御装置６０は、樹脂膜形成装置１００全体の動作を制御し、他に、例えば吸引装置４３の稼動と停止などを制御してもよい。

ここで、図４をも参照して、光線照射装置１７の照射部１７１の走行について、さらに詳しく説明する。図４は、光線照射装置１７の照射部１７１の走行を説明する斜視図である。照射部１７１は、照射アーム１７２に支持されている。照射部１７１は、光ファイバ１７５の端面としてもよいし、光ファイバ１７５の端面にレンズ機構を設けて、紫外線を絞ったり広げたりする機能を持たせてもよい。照射アーム１７２は、垂直駆動部１７３を介して旋回駆動部１７４により支持されている。垂直駆動部１７３は、鉛直方向に上下し、上昇することにより照射部１７１をディスク４から遠ざけ、ディスク４への紫外線の照射を実質的になくすことができる。ここで紫外線の照射が実質的になくなるとは、紫外線が照射されているとしても、樹脂３が硬化しない程度の弱い紫外線しか照射されないことを意味し、「照射を停止する」の概念に含まれる。旋回駆動部１７４は、照射アーム１７２を旋回することにより、照射部１７１をディスク４の中心側と外周側との間を走行させるもので、ディスク４の外周の外側まで走行するように構成されてもよいが、ディスク４の外周に至る手前で停止するように、あるいは、外周に至る手前までしか走行しないように旋回駆動部１７４の旋回が制限されるように構成されてもよい。照射部１７１と紫外線光源１７６とを接続し、紫外線光源１７６の紫外線を照射部１７１に伝達する光ケーブル１７５は柔軟な構造をしており、柔軟に変形するので、照射部１７１の走行に対しほとんど抵抗なく追随できる。

図１に戻り、樹脂膜形成装置１００の説明を続ける。受け台１８は、２つのスピンナ１６Ａ、１６Ｂで光線照射装置１７Ａ、１７Ｂから紫外線の照射を受けたディスク４を一箇所に仮置きする台である。受け台１８に一時載置されたディスク４は、移載装置１９によりターンテーブル２０に移載される。移載装置１９は、所定の角度で開いた２本のアームを有し、２本のアームを回転することによりディスク４を受け台１８からターンテーブル２０に、ターンテーブル２０から次のターンテーブル２２に同時に移載することができる。すなわち、受け台１８とターンテーブル２０のディスク４を載置・搬出する位置と、受け台２２のディスク４を載置する位置とは、移載装置１９のアームの回転中心を中心とした円弧上で等間隔に配置される。

ターンテーブル２０にはディスク４を載置する受け部が４台設けられ、ターンテーブル２０が回転することにより、受け部に載置されたディスク４が硬化装置２１に送られる。ターンテーブル２０は９０度ずつ間欠的に回転し、載置されたディスク４を硬化装置２１に送る。硬化装置２１は、ディスク４の全面に紫外線を照射し、ディスク４の樹脂３を完全に硬化させる装置である。硬化装置２１では、スピンナ１６と光線照射装置１７とで樹脂３を硬化させる場合と異なり、ディスク４を回転させることなくディスク４に紫外線を照射する。硬化装置２１には、パルス状に紫外線を発生するキセノンランプあるいは連続的に発生する紫外線発生ランプをターンテーブル２０の上面あるいは下面あるいは両面に備える。硬化装置２１で樹脂３を完全に硬化されたディスク４は、移載装置１９によりターンテーブル２２に移載される。

ターンテーブル２２は、ターンテーブル１１と同様に、ターンテーブル２２の外周側で切り開かれ、外に開いている円筒形の受け部を有している。受け部は４台設置され、９０度ずつ間欠的に回転する。ターンテーブル２２が回転することにより、ディスク４は反転装置２３および除電装置２４に順次送られる。反転装置２３は、反転装置１２と同様の構造をしており、後に行われる検査工程の関係で必要な場合に、選択的にディスク４の上下面を反転する。そのために、ターンテーブル２２の受け部も外側が開いた構造としている。除電装置２４は、イオン化した空気を吹き出し、ディスク４の表面に付着したホコリなどを除去する装置である。

ホコリなどを除去されたディスク４は、移載装置２５により、ターンテーブル２２から検査装置２６に移載される。移載装置２５は、所定の角度で開いた２本のアームを有し、２本のアームを回転することによりディスク４をターンテーブル２２から検査装置２６に、検査装置２６から次の昇降ステージ２７に同時に移載することができる。すなわち、ターンテーブル２２からディスク４を取り外す位置と、検査装置２６の位置と、昇降ステージ２７の位置とは、移載装置２５のアームの回転中心を中心とした円弧上で等間隔に配置される。

検査装置２６は、ディスク４を載置し、載置したディスク４の下面側からディスク４の検査を行う。検査は、例えば、ディスク基板１、１’の傷の有無、２枚のディスク基板１、１’の位置関係のずれ、樹脂３の一様な広がり、ディスク４のそりなどである。検査を終えたディスク４は、移載装置２５により、昇降ステージ２７に移載される。昇降ステージ２７は、これまでの工程が行われる高さと、製品を搬出する高さとの間を昇降するステージを有する。すなわち、樹脂膜形成装置１００では、製品としてのディスク４を上方から搬出し、以降の工程に送りやすくしている。昇降ステージ２７は、ディスク４を載置すると上昇し、ディスク４が移載装置２８の吸着面（不図示）に接触するまで上昇する。移載装置２８は、１本の旋回するアームを有し、アームの先端下面にはディスク４を吸着する吸着面を有する。ディスク４をアーム先端の吸着面で吸着し、そのアームを旋回することにより、ディスク４を検査の結果により、検査結果が合格のものは良品テーブル２９に、検査結果が不合格のものは不良品テーブル３０に移載する。良品テーブル２９は、８台の受け部を有し、４５度ずつ間欠的に回転して、製品としてのディスク４を１枚ずつ各受け部に載置する。不良品テーブル３０は、検査結果が不合格であり、製品として使用できないディスク４を置くスペースで、ディスク４は積み重ねられてもよく、積み重ねやすいように、ディスク４の外周を支えるガイドを設けてもよい。

続いて、樹脂膜形成装置１００を用いて樹脂膜を形成して２枚のディスク基板１、１’を貼り合わせてディスク４を製造する方法について説明する。ディスク基板１、１’は予め別に製造され、記録の溝も形成された上で、ディスク基板１およびディスク基板１’それぞれ別々に樹脂膜形成装置１００の傍に搬送され、ディスク載置アーム１０の届く範囲に、溝を形成された面を上に向けて保管される。ディスク基板１およびディスク基板１’は、ディスク載置アーム１０により交互にターンテーブル１１の受け部１１ａに順番に載置される。すなわち、ターンテーブル１１の受け部１１ａには、ディスク基板１とディスク基板１’が交互に載置される。

ターンテーブル１１は３０度ずつ間欠的に回転する。反転装置１２は、ディスク１が反転装置１２の位置にきてもディスク１を反転することはなく、ディスク１’が反転装置１２の位置にきたときだけディスク１’を上下反転する。また、樹脂供給装置１３は、ディスク１が樹脂供給装置１３の位置にきたときにディスク１の孔２の周囲に樹脂を供給する。樹脂３は、供給ノズル１３ａが孔２の周囲を一回りしつつ塗布することにより、孔２の周りに円環状に塗布される。そして、ディスク重ね合わせ装置１４において、反転装置１２により上下反転されたディスク１’が、樹脂３を塗布されたディスク１に重ね合わされ、ディスク４となる。ディスク１’が上下反転されているので、重ね合わせ装置１４でディスク１’を移動して隣の受け部１１ａ上のディスク１に重ね合わせることで、２枚のディスク１、１'の溝を形成された面同士が合わされる。そして、ディスク４は、移載装置１５によりターンテーブル１１からスピンナ１６に移載される。

スピンナ１６にディスク４が載置されると、スピンナ１６はディスク４を回転し始める。ディスク４が回転している間に、図３および図４に示すように、旋回駆動部１７４により照射アーム１７２が旋回され照射部１７１を内周側の位置Ｒ１に走行させ、また、垂直駆動部１７３により樹脂３を硬化させるのに足る照射強度の紫外線がディスク４に照射される位置まで照射部１７１が下げられる。あるいは、絞りで紫外線の照射強度を調整してもよい。しかし、紫外線の照射はまだ開始されない。なお、紫外線の照射が連続的に続けられて、垂直駆動部１７３により照射部１７１をディスク４から遠ざけておき、ディスク４への紫外線の照射を実質的になくす状態に保っていてもよい。なお、ディスク４をスピンナ１６に載置し、あるいは搬出するときには、旋回駆動部１７４により照射アーム１７２を旋回し、スピンナ１６の上部から外れた待機位置として、ディスク４の載置・搬出の障害とならないようにするのが好適である。

ここで、図５をも参照して、スピンナ１６におけるディスク４の回転と、光線照射装置１７の紫外線照射について説明する。図５は、時刻毎のスピンナ１６によるディスク４の回転速度Ｖと、光線照射装置による紫外線照射位置Ｒとの関係を表すグラフであり、横軸は時刻、縦軸はディスク４の回転速度（左側の軸）と紫外線照射位置（右側の軸）であり、太い線が回転速度Ｖを、細くマーカーの付いた線が紫外線照射位置Ｒを表す。先ず、時刻ｔ０から回転を開始して、第１の回転速度としての高速回転速度Ｖ３まで回転速度を上昇させる。高速回転速度Ｖ３は、例えば２０００〜１００００（ｍｉｎ^−１）である。そして、時刻ｔ１から時刻ｔ２まで、高速回転速度Ｖ３を維持する。高速回転速度Ｖ３を維持する時間は、典型的には数秒であるが、維持する時間がなくてもよい。この場合には、ｔ１とｔ２が同じ時刻になる。高速回転されることにより、孔２の周囲に円環状に塗布された樹脂３は、遠心力により外周方向に広がり、ディスク基板１とディスク基板１’との間に満遍なく行き渡る。ただし、樹脂３の厚さは、均一となることはほとんどなく、遠心力で外周に広がるので、外周側になればなるほど厚くなるのが一般的である。

時刻ｔ２で回転速度Ｖを下げ始め、時刻ｔ３で回転速度Ｖを低速回転速度Ｖ１とする。低速回転速度Ｖ１は、高速回転速度Ｖ３よりも低く、樹脂３が遠心力で外周に広がる速さが遅くなる回転速度であって、例えば数１００〜７０００（ｍｉｎ^−１）である。なお、第２の回転速度は、必ずしも低速回転速度Ｖ１を指すのではなく、高速回転速度Ｖ３より低減された回転速度Ｖの総てを指す。すなわち、高速回転速度Ｖ１より下げ始めた回転速度Ｖも第２の回転速度である。回転速度Ｖを下げ始めたならば、光線照射装置１７にて、内周側の位置Ｒ１から紫外線照射を始める。紫外線の照射をはじめるのは、内周側の樹脂３の厚さ、すなわち、ディスク基板１とディスク基板１’との間隔が所定の長さとなったときである。樹脂３は紫外線硬化樹脂を用いているので、紫外線の照射を受けることにより硬化し始める。樹脂３は、光線照射装置１７からの紫外線により完全に硬化してもよいし、完全に硬化せずゲル状となりその後の回転の遠心力により外周に広がらない（樹脂３の厚さが薄くならない）程度に硬化することでもよい。

低速回転速度Ｖ１で回転を維持することにより、紫外線の照射を受けた位置以外の樹脂３は遠心力により外周側に広がり続ける。硬化した位置に隣接する外周側の樹脂３の厚さが薄くなり、所定の厚さになると、旋回駆動部１７４により照射アーム１７２が旋回され照射部１７１を、すなわち紫外線を照射する位置を外周側に移動し、当該位置の樹脂３を硬化させる。このように、樹脂３の厚さが所定の厚さとなったことを確認しながら光線照射装置１７からの紫外線を照射する位置を外周側に移動することにより、樹脂３の厚さを均一にして、樹脂３を硬化することができる。実際には、樹脂３の厚さが所定の厚さとなる時刻は、樹脂３の粘度、回転速度Ｖ等により定まるので、光線照射装置１７からの紫外線を照射する位置を外周側に移動する移動速度を予め定めておくことができる。すなわち、ディスク４を回転させながら、紫外線照射位置を内周側から外周側へ連続的に移動し、その移動速度を適切に調整することにより、樹脂３の膜厚をより均一に保つことが可能となる。なお、紫外線を照射する位置を外周側に移動するのは、上述のように、旋回駆動部１７４の旋回運動により実現され、移動速度も旋回運動の速度によって調整される。

ここで、図６をも参照して、樹脂３の外周側への広がりと光線照射装置１７からの紫外線照射位置の移動との関係を説明する。図６は、ディスク４の回転による樹脂３の広がり速度と、紫外線照射位置の移動速度との関係を説明する模式図である。低速回転速度Ｖ１でディスク４を回転しても、樹脂３は遠心力により外周側に広がる。そのときの樹脂３の広がりの速度は、樹脂３の粘性や回転速度、ディスク基板１、１’の所定の間隔によっても異なるが、典型的には１〜５ｍｍ／ｓｅｃ程度である。それに対し、照射部１７１を外周側に走行する走行速度、すなわち光線照射装置１７からの紫外線を照射する位置の移動速度は、樹脂３の広がりの速度よりも速くすることが好ましく、例えば１０〜５０ｍｍ／ｓｅｃとする。そこで、図６に示すように、僅かに紫外線照射を受け、外周側に広がろうとする樹脂３は、移動する紫外線照射に追いつかれ、紫外線照射を受けて硬化する。すなわち、僅かにでも紫外線照射の影響を受けた樹脂３が外周側に広がり、ディスク４の外周から飛散することがない。

なお、外周側になると、ディスク４上の外周側の点は内周側の点より早く回転移動しており、同じ走行速度で照射部１７１を移動すると、外周側ほど紫外線の照射量が減少する。しかし、紫外線の照射量は徐々に減少するので、樹脂３の硬化の程度が急激に変化することはなく、樹脂３の厚さが不均一になる原因とはならない。すなわち、外周側でも、ゲル状となりその後の回転の遠心力により外周に広がらない程度には硬化するような紫外線の照度強度とする。あるいは、外周側となる程に照射部１７１の走行速度を遅くしてもよく、この場合には、外周側と内周側との樹脂３の硬化の程度を均一とすることができる。あるいは、紫外線の照射強度を外周となる程に強くして、同じ走行速度で照射部１７１を走行してもよい。この場合には、紫外線の照射強度を調整することにより、均一な樹脂３の硬化を得られる。また、外周になる程に樹脂３の膜厚が薄くなり易い場合には、照射部１７１の走行速度を外周側となる程に速くすることが要求される。この場合にも、紫外線の照射強度を外周になるに従って大きくすることで、樹脂３の硬化状態を調整できる。なお、紫外線の照射強度は、紫外線光源１７６での紫外線の発生量を調節しても、照射部１７１がレンズ機構を有する場合にはレンズの調節により調節しても、あるいは、垂直駆動部１７３の上下移動により調節してもよい。

図５に戻り、スピンナ１６におけるディスク４の回転と、光線照射装置１７の紫外線照射について説明を続ける。光線照射装置１７の紫外線を照射する位置Ｒは、ディスク４の外周に至る手前の位置R２で止められる。そして、その後、紫外線の照射を受けて硬化した範囲の外側、すなわち紫外線の照射を受けていない部分の樹脂３の厚さが所定の厚さになる時刻ｔ５まで低速回転速度Ｖ１での回転が持続され、時刻ｔ５でスピンナ１６の回転速度Ｖを低減し、時刻ｔ６で回転速度Ｖが０（ゼロ）となる。低速回転速度Ｖ１での回転が持続されている間は、ディスク４での外周からは遠心力により樹脂３が飛散しており、紫外線の照射をディスク４の外周まで行うと、紫外線の照射を受けつつ硬化していない樹脂３が飛散する。光線照射装置１７による紫外線の照射は、照射部１７１が位置R２に達した段階で、停止される。紫外線の照射の停止は、紫外線光源１７６での紫外線の発生を停止してもよいし、あるいは、垂直駆動部１７３により、照射部１７１をディスク４から遠ざけ、ディスク４への紫外線の照射を実質的になくすことでもよい。その後、旋回駆動部１７４の旋回により照射部１７１および照射アーム１７２は待機位置に待避される。このように、旋回駆動部１７４と垂直駆動部１７３との動きにより、紫外線照射位置の移動、ディスク４の載置・搬出の障害となる照射部１７１、照射アーム１７２の待機、あるいは、照射の開始と停止を行うことができるので、装置構成が簡単となり、また、動作時間を短くすることができる。光線照射装置１７の照射部１７１の高さを、スピンナ１６の受け台１６ａに載置された状態のディスク４の表面に紫外線を照射するのに適当な高さに予め設定しておけば、垂直駆動部１７３を動作させることなく、旋回駆動部１７４による旋回動作のみでディスク４の所定範囲の照射を実現することができるため、さらに動作時間の短縮が可能となる。

樹脂３は一度紫外線の照射を受けると、紫外線吸光度特性や粘度などが変化するので、紫外線の照射を受けた樹脂３を新しい樹脂と混ぜて再利用することは難しい。そこで、ディスク４の外周に至る僅かに手前の位置R２で紫外線照射を止め、最外周の樹脂３に紫外線を照射しないようにし、その後の回転でも照射された樹脂が飛散しないように回転を制御しているので、ディスク４から飛散した樹脂３に紫外線の照射を受けた樹脂が混入することを防ぐことができる。特に前述の通りに、僅かにでも紫外線照射の影響を受けた樹脂３が外周側に広がり、ディスク４の外周から飛散することがないので、紫外線の照射を受けた樹脂がディスク４から飛散して混入することを防止できる。

図３に示すように、ディスク４から飛散した樹脂３は、コーターハウス４０の壁面にあたり、自然落下してコーターハウス４０の底面に集まる。その際に、吸引装置４３で空気を吸引することにより、樹脂溜め４２、吸引管４１を介してコーターハウス４０から空気が吸引される。コーターハウス４０の中心部はスピンナ１６の受け台１６ａにより塞がれているので、受け台１６ａの周囲から吸引管４１に向けて空気を吸引し、すなわち、ディスク４の周囲に下方に向けての、また、コーターハウス４０の底面から吸引管４１への空気の流れが形成される。よって、ディスク４から飛散した樹脂３は、空気の流れにも押されて、吸引管４１に流れる。吸引管４１に流れた樹脂３は、樹脂溜め４２の底部に集まる。樹脂溜め４２では、上方に吸引装置４３へ連通する開口が設けられているので、空気だけが吸引装置４３に吸引される。そのため、樹脂３は樹脂溜め４２に貯留される。なお、図３では、吸引管４１が１本だけ示されているが、吸引管４１は複数本備えられ、一つの樹脂溜め４２に連通し、あるいは、複数の樹脂溜め４２に連通してもよい。特に樹脂の粘性が高い場合には、複数の吸引管４１をコーターハウス４０の底面に配置した方が、樹脂３を樹脂溜め４２に集め易い。樹脂溜め４２に集められた樹脂３は、適宜取り出され、樹脂として再利用される。

なお、図７に示すように、紫外線の照射を停止した後に、一端回転速度Ｖを中速の回転速度Ｖ２まで上昇させてから、回転を停止してもよい。図７は、図５と同様に、時刻毎のスピンナ１６によるディスク４の回転速度Ｖと、光線照射装置１７による紫外線照射位置Ｒとの関係を表すグラフであり、横軸は時刻、縦軸はディスク４の回転速度（左側の軸）と紫外線照射位置（右側の軸）であり、太い線が回転速度Ｖを、細くマーカーの付いた線が紫外線照射位置Ｒを表す。図７のように、外周に至る手前まで紫外線を照射して樹脂３を硬化させた後、時刻ｔ７で回転速度Ｖを回転速度Ｖ２まで上げることにより、硬化していない外周の樹脂３を早く薄くすることができ、作業効率が向上する。なお、回転速度Ｖ２は、硬化した樹脂が回転により飛散しないような回転速度である。特に、樹脂膜形成装置１００において、樹脂３の展延・硬化が作業工程のボトルネックとなる場合に、僅かな時間の短縮でも、樹脂膜形成装置１００全体の作業効率の向上に寄与する。また、一定の低回転速度Ｖ１で回転しながら紫外線の照射をすることなく、紫外線の照射を回転速度Ｖ３から回転速度Ｖ１まで徐々に下げる間に行い、すなわち、紫外線を照射している時間（時刻ｔ２から時刻ｔ４）をかけて回転速度を高速の回転速度Ｖ３から低速の回転速度Ｖ１まで下げるようにしてもよい。この場合には、図５あるいは図７のグラフにおいて、時刻ｔ３がなく、時刻ｔ２から時刻ｔ４にかけて回転速度がＶ３からＶ１に下げられる。回転速度の下げ方も、図５あるいは図７では時刻に対して直線的に下げているが、直線的に下げなくてもよい。また、時刻ｔ３から時刻ｔ４の間では、必ずしも一定の回転速度にする必要はなく、膜厚の状態によって、回転速度を上昇させたり、下降させたりしても構わない。この間に回転速度を上昇または下降させることによって、ディスク４の膜厚を高精度に制御することができる。

図１に戻り、樹脂膜形成装置１００による２枚のディスク基板１、１’を貼り合わせたディスク４の製造方法についての説明を続ける。ディスク４は、スピンナ１６Ａ、１６Ｂから移載装置１５により受け台１８に載置される。移載装置１５が３本のアームを有し、アームの開き角がターンテーブル１１の受け部１１ａのディスク４を搬出される位置、スピンナ１６および受け台１８によって作られる角度と一致しているので、受け部１１ａからスピンナ１６への樹脂３の展延・硬化を行う前のディスク４の移載と、スピンナ１６から受け台１８への樹脂３の展延・硬化を行った後のディスク４の移載とを同時に行うことができ、効率がよい。受け台１８に仮置きされたディスク４は、移載装置１９によりターンテーブル２０の受け部に移載される。受け台１８を介してスピンナ１６からターンテーブル２０へディスク４を移載することにより、スピンナ１６の作動とターンテーブル２０の作動との間にタイミングの差が生じても不都合なく樹脂膜形成装置１００を稼働することができるが、受け台１８および移載装置１９を備えず、移載装置１５によりスピンナ１６からターンテーブル２０へディスク４を移載してもよい。

ターンテーブル２０は、９０度ずつ間欠的に回転することにより、ディスク４を硬化装置２１に送り、また、ディスク４が載置された位置に戻す。ターンテーブル２０上の同じ位置で、ディスク４を載置・搬出するので、一つの移載装置１９にてディスク４の載置・搬出が可能となる。硬化装置２１は、ディスク４全体に紫外線を照射し、光線照射装置１７にて紫外線の照射を受けていない樹脂３、あるいは、半硬化状態であった樹脂３を完全に硬化する。ここで、完全に硬化するとは、樹脂３が固化することをいう。樹脂３が完全に硬化したディスク４は移載装置１９により、ターンテーブル２２に移載される。受け台１８、ターンテーブル２０およびターンテーブル２２の位置関係は移載装置１９の２本のアームにより作られる角度と一致しているので、移載装置１５と同様に、受け台１８からターンテーブル２０へのディスク４の移載、ターンテーブル２０からターンテーブル２２へのディスク４の移載とを同時に行うことができ、効率がよい。

ターンテーブル２２は、９０度ずつ間欠的に回転することにより、ディスク４を反転装置２３および除電装置２４に送る。反転装置２３では、後の検査のため、ディスク４に形成された膜の状態に応じてディスク４の上下面を反転する。そして、除電装置２４にてイオン化された空気がディスク４の上下面に吹き付けられ、ディスク４の表面にホコリ等が付着していても除去され、表面が清浄化される。表面が清浄化されたディスク４は、移載装置２５により、検査装置２６に移載される。検査装置２６では、ディスク４の製品としての検査を行う。例えば、ディスク基板１とディスク基板１’との位置関係のずれや傷の有無を検査する。その際に、除電装置２４にてホコリ等が除去されているので、検査においてホコリ等を傷と誤認したり、ディスク基板１、１’の位置の誤認がなく、信頼性が向上する。

検査装置２６での検査を終えたディスク４は、移載装置２５により、昇降ステージ２７に移載される。ターンテーブル２２のディスク４を搬出する位置、検査装置２６および昇降ステージ２７の位置関係も移載装置２５の２本のアームにより作られる角度と一致しているので、移載装置１５、１９と同様に、ターンテーブル２２から検査装置２６へのディスク４の移載と、検査装置２６から昇降ステージ２７へのディスク４の移載とを同時に行うことができ、効率がよい。昇降ステージ２７によりディスク４は持ち上げられ、移載装置２８のアーム先端の下面に当接し、アーム下面に設けられた吸着部により吸着保持される。移載装置２８に吸着保持されたディスク４は、検査結果に応じて、検査結果が合格の場合には良品テーブル２９に、検査結果が不合格の場合には、不良品テーブル３０に移載される。良品テーブル２９に載置されたディスク４は、良品テーブル２９から後段の工程に送られ、出荷される。また、不良品テーブル３０に載置されたディスク４は、不良品として処理される。昇降ステージ２７により良品テーブル２９あるいは不良品テーブル３０に移載されるディスク４の高さが高くなるので、ディスク４は、良品テーブル２９あるいは不良品テーブル３０上で積み重ねることができる。また、昇降ステージ２７により樹脂膜形成装置１００からディスク４の搬出位置を高くするので、後段の処理工程を行い易くすると共に、ターンテーブル１１、スピンナ１６、光線照射装置１７等、位置精度が高いことが要求される装置を低く安定よくすることができるが、良品テーブル２９、不良品テーブル３０等を同じ高さに設置して、昇降ステージ２７を備えていなくてもよい。

次に、図８を参照して、光線照射装置１７でディスク５の内周側から外周側に向けて照射位置を移動し、外周に至る手前で光線の照射を停止する別の例を説明する。図８は、図３と同様、スピンナ１６と光線照射装置１７およびスピンナ１６に載置されたディスク５から漏れた樹脂３を捕捉するコーターハウス４０、コーターハウス４０で捕捉された樹脂３を吸引する樹脂吸引装置としての吸引管４１、樹脂溜め４２、吸引装置４３並びに制御装置６０を説明する部分断面ブロック図である。図８中、１点鎖線は、制御信号の伝達経路を示す。なお、図８では、ディスク５として、１枚のディスク基板１に保護膜としての樹脂膜３を形成するだけで、２枚のディスク基板を貼り合わせるディスク４とは異なるディスク５を示しているが、ディスク５ではなく、ディスク４を用いてもよい。

図８においては、光線照射装置１７の照射部１７１からディスク５への紫外線の照射を遮断するシャッター４６がコーターハウス４０の側壁から延伸している点で、図３とは異なる。すなわち、紫外線の照射を停止する位置R２から外周側の照射部１７１の経路において、照射部１７１とディスク５との間にシャッター４６として、紫外線を遮断する板を配置する。シャッター４６を備えることにより、照射部１７１が停止せず、あるいは、上昇してディスク５から遠ざけられなくても、シャッター４６に紫外線が遮蔽されることにより、ディスク５への紫外線の照射が停止される。

なお、シャッター４６をコーターハウス４０の側壁を支点として回動可能とし、あるいは、折りたたみまたは伸縮可能とし、ディスク５の載置・搬出のときに、ディスク５の移送の障害とならない位置に待避させることが好ましい。あるいは、シャッター４６は、照射部１７１の直線あるいは円弧状の経路の直下にだけ配置すればよいので、ディスク５の載置・搬出をディスク５を傾斜させ、シャッター４６と接触しないようにして移送してもよい。

続いて、図９を参照して、光線照射装置１８０でディスク４の内周側から外周側に向けて照射位置を移動し、外周に至る手前で光線の照射を停止する別の例を説明する。図９は、スピンナ１６と光線照射装置１８０およびスピンナ１６に載置されたディスク４から漏れた樹脂３を捕捉するコーターハウス４０、コーターハウス４０で捕捉された樹脂３を吸引する樹脂吸引装置としての吸引管４１、樹脂溜め４２、吸引装置４３並びに制御装置６０を説明する部分断面ブロック図である。図９中、１点鎖線は、制御信号の伝達経路を示す。光線照射装置１８０は、照射部１７１が移動しながら紫外線を照射する構成ではなく、小さく連続的に配置された発光ダイオード（ＬＥＤ）１８１ａ、１８１ｂ、・・・が順次点灯することにより、照射位置をディスク４の内側から外側に移動する。最外周のＬＥＤ１８１ｊがディスク４の外周に至る手前までしか配置されていないので、紫外線の照射は、ディスク４の外周に至る手前で停止される。なお、図９では、ＬＥＤ１８１ａ〜１８１ｊを１０個配置したように図示しているが、より多数のＬＥＤを配置してもよい。各ＬＥＤ１８１ａ〜１８１ｊの間隔は、例えば５ｍｍ以下とし、あるいは、２ｍｍ以下とし、ディスク４の内側のＬＥＤ１８１ａから順次点灯して、連続的な照射の移動とする。紫外線の照射位置は、厳密な意味では連続的に移動してはいないが、複数のＬＥＤ１８１ａ〜１８１ｊが内周側から外周側に向けて順次発光することにより、樹脂が内周側から外周側に向けて順次硬化するので、実質的に連続的に移動することになる。ＬＥＤは、ディスク４の半径方向に直線的に配置されてもよいし、あるいは、斜めに配置しても、千鳥掛けに配置してもよく、ディスク４の半径方向に連続的に移動しながら紫外線を照射できればよい。なお、紫外線を発生するのはＬＥＤには限られず、他のランプでもよいが、ここでは、ＬＥＤとして説明する。

光線照射装置１８０では、各ＬＥＤ１８１ａ〜１８１ｊの点灯は、０ｓｅｃおきに点灯する。すなわち、内周側のＬＥＤが消灯されると同時に隣接する外周側のＬＥＤが点灯する。なお、０．１ｓｅｃ未満のような僅かな時間の点灯時間の間隔あるいは点灯時間の重複があってもよい。いずれの場合においても、樹脂３の膜厚が所定の厚さで一様となるように、内側から外側に向けて順次紫外線を照射する。ＬＥＤ１８１ａ〜１８１ｊの点灯および消灯は、ＬＥＤ制御装置１８８により制御される。ＬＥＤ制御装置１８８は、制御装置６０により制御され、スピンナ１６の回転あるいはディスク４の載置等とのタイミングを調整することが好ましい。このように、照射位置を内周側から外周側に連続的に移動するのに、ＬＥＤを内周側から外周側に向けて順次点灯・消灯する構成とする光線照射装置１８０では、機械的な可動部が減少するので、装置が単純化し、機械的故障の発生を抑えることができる。一方、光線照射装置１７のように、旋回駆動部１７４の旋回により照射アーム１７２を介して照射部１７１を走行させる構成とすると、紫外線照射位置の厳密な意味での連続移動が容易であり、また、スピンナ１６上から照射部１７１および照射アーム１７２を待避することが容易でディスク４をスピンナに載置し搬出し易い。

樹脂膜形成装置１００では、図１に示すように、ターンテーブル１１、ターンテーブル２０およびターンテーブル２２にて、ディスク４が、樹脂供給装置１３、硬化装置２１等の処理装置に送られるものとして説明したが、ターンテーブルに備えられる処理装置は、図１に示す例には限られず、また、ターンテーブルではなく、ベルトコンベア等により順次処理装置に搬送されてもよい。

また、樹脂膜形成装置１００では、間に樹脂３を挟んでディスク基板１、１’を貼り合わせるための接着剤としての樹脂膜を形成するものとして説明したが、図８に示すディスク５のように、ディスク基板１の保護膜としての樹脂膜を形成する装置として用いてもよい。あるいは、ディスク重ね合わせ装置１４等を備えず、上記で説明した樹脂の展延と硬化の手法を、保護膜を形成する装置に用いても、同様の効果が得られる。

ここで、図１０を参照して、樹脂膜の形成方法についてまとめる。図１０は、本発明に係る樹脂膜の形成方法の要部を説明するフロー図である。先ず、ディスク基板の孔の周囲に樹脂を円環状に塗布する（ステップＳ１０）。必要に応じて、樹脂が塗布されたディスク基板の樹脂が塗布された面に、ディスク基板を重ねる（ステップＳ１２）。ディスク基板は重ねずに、ステップ１２をスキップしてもよい。ディスク基板に樹脂が塗布された、あるいは、ディスク基板が重ね合わされたディスクをスピンナに載置する（ステップＳ２０）。あるいは、ディスクをスピンナに載置（ステップＳ２０）した後に、樹脂をディスクに塗布（ステップＳ１０）してもよい。

スピンナでディスクを高速回転し（ステップＳ３０）、その後に、回転速度を減速する（ステップＳ４０）。回転速度を減速したならば、あるいは回転速度を減速中に、紫外線をディスクの内周側の位置に照射し始める（ステップＳ５０）。紫外線の照射位置をディスクの内周側から外周側に向けて移動する（ステップＳ６０）。紫外線の照射位置がディスクの外周に至る手前で照射を停止する（ステップＳ７０）。ディスクを回転している間にディスクから漏れた樹脂を回収する(ステップＳ８０）。なお、図１０のフロー図では、樹脂の回収（ステップＳ８０）が紫外線の照射を停止した（ステップＳ７０）後に行われるように図示されているが、ディスクを回転している間（ステップＳ３０〜Ｓ７０）中、樹脂の回収が行われてもよい。その後、ディスクの回転を停止する（ステップＳ９０）。なお、ディスクの回転は完全に停止されなくても、遠心力により樹脂がディスクから漏れなくなる程度に減速することでもよい。そして、ディスク全面に紫外線を照射し、樹脂を完全に硬化させる（ステップＳ１００）。なお、移動しながら照射する紫外線（ステップＳ５０から７０）により、照射を受けた部分の樹脂が完全に硬化しているときには、ステップＳ１００での紫外線の照射は、硬化されていないディスクの外周近傍だけでもよい。

なお、上記の樹脂膜形成方法を、樹脂膜形成装置１００ではなく、如何なる構成の樹脂供給装置、スピンナ、紫外線照射装置に行わせてもよく、例えば、各個別の装置を用いてもよい。また、上記の樹脂膜形成方法に制御するプログラムを制御装置に組み込むことにより、樹脂膜を形成してもよい。

図１１に本発明に係る樹脂膜形成装置・方法にて形成した樹脂膜の厚さの分布と従来技術により形成した樹脂膜の厚さの分布を示す。図１１において、（ａ）は従来技術により形成した樹脂膜のディスク上の半径位置での分布を、（ｂ）は本発明により形成した樹脂膜のディスク上の半径位置での分布を表すグラフで、（ａ）、（ｂ）共に、横軸はディスク上の半径位置、縦軸は測定した樹脂膜厚さの最大値と最小値（左側の軸）と樹脂膜厚さの最大値と最小値との差（周方向の膜厚のバラツキ）である。

ここで、従来技術により形成した樹脂膜のディスク上の半径位置での分布とは、特開平２００４−２８０９２７号公報に記載のように、ディスク基板の孔の周囲に円環状に樹脂を塗布した後、高速回転により樹脂を展延し、樹脂が展延しない程度の遅い回転速度で回転させながら内周側から所定の厚さの樹脂に紫外線を照射し、再度高速回転により樹脂を展延した後、遅い回転速度で所定の厚さの樹脂に紫外線を照射し、この操作を繰返して形成した樹脂膜の同心円状の各半径位置の厚さを数点測定して求めた分布である。一方、本発明により形成した樹脂膜のディスク上の半径位置での分布とは、ディスク基板の孔の周囲に円環状に樹脂を塗布した後、高速回転により樹脂を展延し、回転速度を減速させて樹脂の展延する速度を遅めて樹脂膜の厚さが所定厚さになるのに合わせて内周側から外周側に徐々に位置を移動しながら紫外線を照射し、外周に至る手前で照射を停止して形成した樹脂膜について、同様に計測した厚さの分布である。

図１１（ａ）に示す従来技術により形成した樹脂膜の厚さの分布においても、厚さのバラツキは小さく抑えられはするものの、図１１（ｂ）に示す本発明により形成した樹脂膜の厚さの分布において、第１の回転速度による高速回転の後に、第２の回転速度による低速回転で樹脂が展延しているときに、内周から外周へと紫外線を連続的に照射しているため、更にバラツキが小さく、膜厚がより均一になっており、次世代大容量光ディスク等、より精度を要求されるディスクに適用するのに好適であることが分かる。

図１２は、樹脂の紫外線領域における吸光度特性の比較を説明するグラフで、横軸は紫外線領域での波長と、縦軸は吸光度としている。図１２において、曲線Ａは未使用の樹脂の吸光度を、曲線Ｂは本発明による樹脂膜形成においてディスクから漏れ回収された樹脂の吸光度を、曲線Ｃは硬化しない程度に紫外線を照射した後の樹脂の吸光度を表す。吸光度により紫外線硬化型樹脂の硬化反応の程度を判断することができ、紫外線硬化反応が進行すると紫外線波長領域での吸光度が変化する。曲線Ｃの紫外線を照射した樹脂の吸光度は、曲線Ａの紫外線照射前の樹脂の吸光度と比べて、吸光度が大きく変化しており、紫外線硬化反応が進んでいることが分かる。それに対して、曲線Ｂの本発明による樹脂膜形成においてディスクから漏れ回収された樹脂の吸光度は、曲線Ａの吸光度と比べて全く変化しておらず、曲線Ｂは曲線Ａと重なっている。すなわち、本発明による樹脂膜形成においてディスクから漏れ回収された樹脂は、紫外線硬化反応が全く進んでおらず、再利用が充分に可能であることがわかる。

本発明に係る樹脂膜形成装置の構成を説明する平面図である。 （ａ）はディスク重ね合わせ装置の全体構成とその動きを説明する側面図であり、（ｂ）はディスク重ね合わせ装置によりディスク基板を吸着保持している状態を説明する拡大部分断面図である。 スピンナと光線照射装置およびスピンナに載置されたディスクから漏れた樹脂を捕捉するコーターハウス、コーターハウスで捕捉された樹脂を吸引する樹脂吸引装置並びに制御装置を説明する部分断面ブロック図である。 光線照射装置の照射部の走行を説明する斜視図である。 時刻毎のスピンナによるディスクの回転速度と、光線照射装置による紫外線照射位置との関係を表すグラフである。 ディスクの回転による樹脂の広がり速度と、紫外線照射位置の移動速度との関係を説明する模式図である。 時刻毎のスピンナによるディスクの回転速度と、光線照射装置による紫外線照射位置との関係を表すグラフである。 スピンナと光線照射装置およびスピンナに載置されたディスクから漏れた樹脂を捕捉するコーターハウス、コーターハウスで捕捉された樹脂３を吸引する樹脂吸引装置並びに制御装置を説明する部分断面ブロック図である。 スピンナと光線照射装置およびスピンナに載置されたディスクから漏れた樹脂を捕捉するコーターハウス、コーターハウスで捕捉された樹脂を吸引する樹脂吸引装置並びに制御装置を説明する部分断面ブロック図である。 本発明に係る樹脂膜の形成方法の要部を説明するフロー図である。 （ａ）は従来技術により形成した樹脂膜のディスク上の半径位置での分布を表すグラフ、（ｂ）は本発明により形成した樹脂膜のディスク上の半径位置での分布を表すグラフである。 樹脂の紫外線領域における吸光度特性の比較を説明するグラフで、曲線Ａは未使用の樹脂の吸光度を、曲線Ｂは本発明による樹脂膜形成においてディスクから漏れ回収された樹脂の吸光度を、曲線Ｃは硬化しない程度に紫外線を照射した後の樹脂の吸光度を表す。

符号の説明

１、１’ ディスク基板
２ 孔
３ 樹脂
４、５ 光ディスク
１０ ディスク載置アーム
１１ ターンテーブル
１１ａ、ｂ 受け部
１２ 反転装置
１３ 樹脂供給装置
１３ａ 供給ノズル
１４ ディスク重ね合わせ装置
１５ 移載装置
１６（１６Ａ、１６Ｂ） スピンナ
１６ａ 受け台
１６ｂ 回転軸
１６ｃ 回転駆動装置
１７（１７Ａ、１７Ｂ） 光線照射装置
１８ 受け台
１９ 移載装置
２０ ターンテーブル
２１ 硬化装置
２２ ターンテーブル
２３ 反転装置
２４ 除電装置
２５ 移載装置
２６ 検査装置
２７ 昇降ステージ
２８ 移載装置
２９ 良品テーブル
３０ 不良品テーブル
４０ コーターハウス
４１ 吸引管
４２ 樹脂溜め
４３ 吸引装置
４６ シャッター
６０ 制御装置
１１１ ディスク受け台
１１２ 突起
１１３ 切欠き
１４０ カラム
１４１ アーム
１４２ 吸着部
１４３ 吸着面
１４４ 真空部
１４５ 懸架部
１４６ 真空チューブ
１７１ 照射部
１７２ 照射アーム
１７３ 垂直駆動部
１７４ 旋回駆動部
１７５ 光ファイバ
１７６ 紫外線光源
１７８ 照射制御装置
１８０ 光線照射装置
１８１ ＬＥＤ
１８８ ＬＥＤ制御装置
Ｒ１ 紫外線の照射を開始するディスク内周側の位置
Ｒ２ 紫外線の照射を停止するディスク外周側の位置
Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３ ディスクの回転速度

Claims (10)

1. 中心に孔を有する円板状のディスクを載置し、該ディスクを前記孔を中心に回転させるスピンナと；
   前記ディスクの前記孔の周囲に樹脂を塗布する樹脂供給装置と；
   前記スピンナに載置されたディスクの前記樹脂を硬化する光線を照射する光線照射装置であって、前記スピンナに載置されたディスクの内周側から外周側に向けて前記光線の照射位置を移動し、前記ディスクの外周に至る手前で前記光線の照射を停止する光線照射装置とを備える；
   樹脂膜形成装置。
2. 前記光線照射装置は、前記スピンナに載置されたディスクの内周側から外周側に向けて、前記光線の照射位置を連続的に移動する；
   請求項１に記載の樹脂膜形成装置。
3. 前記スピンナは、第１の回転速度で前記ディスクを回転させて前記孔の周囲に塗布された前記樹脂を展延し、その後に前記第１の回転速度より遅い第２の回転速度で前記ディスクを回転させ；
   前記光線照射装置は、前記スピンナが前記第２の回転速度で前記ディスクを回転させているときに、前記光線を前記ディスクに照射し始める；
   請求項１または請求項２に記載の樹脂膜形成装置。
4. 前記樹脂供給装置により前記樹脂が塗布されたディスクに、前記樹脂が塗布された面側から、前記ディスクとは別のディスクを重ねるディスク重ね合わせ装置を備える；
   請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の樹脂膜形成装置。
5. 前記スピンナに載置されたディスクから漏れた前記樹脂を吸引する樹脂吸引装置を備える；
   請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の樹脂膜形成装置。
6. 前記展延され、前記光線照射装置により光線を照射された樹脂に、再度光線を照射する硬化装置を備える；
   請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の樹脂膜形成装置。
7. 中心に孔を有する円板状のディスクの該孔の周囲に樹脂を塗布する樹脂供給工程と；
   前記樹脂供給工程により前記樹脂を塗布された前記ディスクを第１の回転速度で回転させる第１回転工程と；
   前記第１回転工程に続いて、回転速度を低減する減速工程と；
   前記減速工程と同時に、あるいは、前記減速工程に続いて、前記樹脂を硬化させる光線の照射位置を前記ディスクの中心側から外周側に向けて移動しながら、前記樹脂を硬化させる光線照射工程と；
   前記光線の照射を、前記ディスクの外周を照射する手前で停止する光線照射停止工程とを備える；
   樹脂膜形成方法。
8. 前記ディスクに塗布された前記樹脂であって、前記ディスクから漏れた樹脂を回収する樹脂回収工程を備える；
   請求項７に記載の樹脂膜形成方法。
9. 前記光線照射停止工程の後に、前記樹脂を硬化させる光線を照射する第２の光線照射工程を備える；
   請求項７または請求項８に記載の樹脂膜形成方法。
10. 中心に孔を有する円板状のディスクに樹脂膜を形成する樹脂膜形成装置を制御するための制御装置可読のプログラムであって、
    前記ディスクの前記孔の周囲に樹脂を塗布する樹脂塗布ステップと；
    前記樹脂が塗布された前記ディスクを載置した前記スピンナを第１の回転速度で回転させる回転ステップと；
    前記回転ステップに続いて、前記スピンナの回転速度を減速する減速ステップと；
    前記減速ステップに続いて、前記ディスクの内周側から外周側に向けて光線を照射する光線照射ステップと；
    前記光線の照射を、前記ディスクの外周を照射する手前で停止する光線照射停止ステップと；
    プログラム。
    

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