JP2007184439A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】小電流動作からの逆方向動作時の逆回復電流をソフトリカバリにすると共に、大電流動作時の低順方向電圧を得ることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】N+層101上には、N+層101よりも不純物濃度の低い成長層102が形成されている。成長層102の表面領域にはP層106が形成されている。成長層102は、N層103、傾斜部104、およびN−層105を有している。N層103は一定の不純物濃度を有している。N−層105は、N層103よりも低く、一定の不純物濃度を有している。傾斜部104は、N層103と接する面から、N−層105と接する面へ向かって徐々に不純物濃度が低くなる不純物濃度勾配を有している。
【選択図】図1
【解決手段】N+層101上には、N+層101よりも不純物濃度の低い成長層102が形成されている。成長層102の表面領域にはP層106が形成されている。成長層102は、N層103、傾斜部104、およびN−層105を有している。N層103は一定の不純物濃度を有している。N−層105は、N層103よりも低く、一定の不純物濃度を有している。傾斜部104は、N層103と接する面から、N−層105と接する面へ向かって徐々に不純物濃度が低くなる不純物濃度勾配を有している。
【選択図】図1
Description
本発明は、逆回復動作時の電流特性の改善を図った半導体装置に関する。
代表的なスイッチング素子であるダイオードでは、印加電圧が順方向から逆方向に切り替えられると、一瞬逆方向に電流(逆回復電流)が流れてから、電流が消滅する。この逆回復電流の変化率(di/dt)と回路中の寄生インダクタンス(L)とによってサージ電圧(L×di/dt)が発生する。逆回復電流の変化率が大きい波形となる、いわゆるハードリカバリの場合、サージ電圧が大きくなり、素子破壊が発生する場合がある。そのため、逆回復電流の変化率が小さい波形となる、いわゆるソフトリカバリな逆回復特性が求められている。特許文献1〜3には、ソフトリカバリ化を図ったダイオードが記載されている。
特開平8−316500号公報
特開平6−314801号公報
特開昭59−29469号公報
図9は従来のダイオードの断面方向の不純物濃度分布を模式的に示している。図9(a)では、領域A1はP層、領域B1は低濃度のN−層、領域C1は高濃度のN+層である。ダイオードに順方向電圧が印加されると、領域A1および領域B1にキャリアが注入される。曲線D1aは、順方向動作時に注入された電子の濃度分布を示しており、曲線D1bは、順方向動作時に注入された正孔の濃度分布を示している。この状態でダイオードに逆方向電圧が印加されると、PN接合部から領域A1およびB1内に空乏層が広がり、順方向動作時に蓄積されたキャリアのうち正孔は、P層に接するアノード電極に掃き出され、電子は、高濃度のN層に接するカソード電極に掃き出される。N層側に広がった空乏層は、図9(a)に示される位置まで広がるが、高耐圧実現のため容易に空乏化できるように、N−層の不純物濃度は均一で低濃度となっているため、逆回復動作時に空乏層がN−層内を広がる速度が高く、急激に空乏層が形成され、逆回復電流がハードリカバリになってしまう。
図9(b)では、領域A2はP層、領域B2は低濃度のN−層、領域C2は、表面からN型不純物が拡散されて形成されたN型拡散層である。ダイオードに順方向電圧が印加されると、領域A2、領域B2、および領域C2の一部にキャリアが注入される。その状態でダイオードに逆方向電圧が印加されると、PN接合部から領域A2およびB2内に空乏層が広がる。N層側に広がった空乏層は、図9(b)に示される位置まで広がる。領域C2では、領域B2との境界から表面へ向かって徐々に不純物濃度が増加しているので、逆回復時に空乏層が領域C2内を広がる速度は、領域B2内を広がる速度よりも低く、領域C2内では徐々に空乏層が形成されるため、逆回復電流は図9(a)の場合よりもソフトリカバリになる。しかし、表面へ向かって徐々に不純物濃度が増加する領域C2が設けられているため、大電流時の実質的なドリフト層が厚くなり、順方向電圧が増大してしまう。
図9(c)では、領域A3はP層、領域B3aは低濃度のN−層、領域B3bは不純物濃度勾配を有するN層、領域C3は高濃度のN+層である。ダイオードに順方向電圧が印加されると、領域A3および領域B3a,B3bにキャリアが注入される。その状態でダイオードに逆方向電圧が印加されると、PN接合部から領域A3およびB3a内に空乏層が広がる。N層側に広がった空乏層は、図9(c)に示される位置まで広がる。領域B3bでは、領域B3aとの境界から領域C3との境界へ向かって不純物濃度が増加する不純物濃度勾配が形成されているため、逆回復電流は図9(b)の場合と同様にソフトリカバリとなる。また、領域B3bの厚さを最小限にすることで、順方向電圧の増加も抑えることができる。しかし、比較的小さい電流が流れている通電状態からの逆方向動作時には、順方向動作時に注入されたキャリアが少ないため、領域B3b内に広がった空乏層の外側で徐々にカソード電極に掃き出されるキャリアが少なくなり、その結果、ハードリカバリになってしまう。
本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであって、小電流動作からの逆方向動作時の逆回復電流をソフトリカバリにすると共に、大電流動作時の低順方向電圧を得ることができる半導体装置を提供することを目的とする。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、請求項1に記載の発明は、対向する第1および第2の主面を有する第1導電型の第1半導体層と、前記第1の主面上に形成された、前記第1半導体層よりも不純物濃度の高い第1導電型の第2半導体層と、前記第1半導体層の前記第2の主面側に形成された第2導電型の第3半導体層と、前記第2半導体層に接する第1電極層と、前記第3半導体層に接する第2電極層とを有する半導体装置において、前記第1半導体層は、前記第2半導体層に接し、一定の不純物濃度を有する第1半導体領域と、前記第3半導体層に接し、前記第1半導体領域よりも低く、一定の不純物濃度を有する第2半導体領域と、前記第1半導体領域と前記第2半導体領域とに接し、前記第1半導体領域と接する面から、前記第2半導体領域と接する面へ向かって徐々に不純物濃度が低くなる不純物濃度勾配を有する第3半導体領域とを有することを特徴とする半導体装置である。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の半導体装置において、定格電圧に相当する逆方向電圧が印加された際に、空乏層の端部が前記第3半導体領域に位置することを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の半導体装置において、前記第3半導体層の表面における不純物濃度が2×1015cm−3以上かつ2×1016cm−3以下であり、前記第3半導体層の厚さが1μm以上かつ10μm以下であることを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1〜請求項3のいずれかの項に記載の半導体装置において、前記第1半導体層、前記第2半導体層、および前記第3半導体層のうちの少なくとも1つにライフタイムキラーが導入されていることを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の半導体装置において、前記ライフタイムキラーは、白金、または粒子線照射によって形成された格子欠陥であることを特徴とする。
本発明によれば、小電流動作時でもキャリアが第1半導体領域に溜め込まれ、逆回復動作時に徐々に掃き出されるので小電流動作からの逆方向動作時の逆回復電流をソフトリカバリにすると共に、大電流動作時の低順方向電圧を得ることができるという効果が得られる。
以下、図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。図1は、本発明の一実施形態によるダイオードの断面構造を示している。また、図2は、このダイオードのA−A’断面での不純物濃度分布を示している。対向する2主面を有する高濃度のN型不純物を含むN+層101(第2半導体層)の一方の主面上には、複数の層を有し、N+層101よりも不純物濃度の低い成長層102(第1半導体層)が、エピタキシャル成長によって形成されている。成長層102は、N+層101と接する主面側から順に、N層103(第1半導体領域)、傾斜部104(第3半導体領域)、およびN−層105(第2半導体領域)を有している。
N+層101の不純物濃度は、例えば3×1019cm−3である。N層103の不純物濃度は一定であり、例えば1×1015cm−3である。N層103およびN−層105の間に形成された傾斜部104は、N層103と接する境界面から、N−層105と接する境界面へ向かって徐々に不純物濃度が低くなる不純物濃度勾配を有している。N−層105の不純物濃度は、N層103の不純物濃度よりも低く、一定であり、例えば1.5×1014cm−3である。
成長層102において、N+層101と接する主面と対向する主面の表面領域、すなわちN−層105の表面領域には、P型不純物を含むP層106(第3半導体層)が形成されている。P層106の表面不純物濃度は、例えば2×1016cm−3である。P層106上にはアノード電極107(第2電極層)が形成されている。N−層105の表面領域には、P型不純物を含むガードリング108〜110と、高濃度のN型不純物を含むチャネルストッパ111も形成されている。ガードリング110上にはフィールドプレート112が形成されている。チャネルストッパ111上には電極113が形成されている。
各電極間を埋めるように、例えばSiO2からなる絶縁膜114、および例えばPSG(Phospho Silicate Glass)からなる層間絶縁膜115が形成され、例えばPSGからなる絶縁および表面保護用の表面保護絶縁膜116が形成されている。アノード電極107、フィールドプレート112、および電極113を形成する材料は、例えばAl、Al−Si等の、三価金属を含む金属である。N+層101の他方の主面上には、例えばTi/Niからなるカソード電極117(第1電極層)が形成されている。
本実施形態によるダイオードに順方向電圧が印加されると、P層106、N層103、傾斜部104、およびN−層105にキャリアが注入される。図3の曲線Daは、順方向動作時に注入された電子の濃度分布を示しており、曲線Dbは、順方向動作時に注入された正孔の濃度分布を示している。その状態でダイオードに逆方向電圧が印加されると、PN接合部からP層106およびN−層105内に空乏層が広がる。N−層105側に広がった空乏層は、図3に示される位置まで広がる。
耐圧を確保するためのN−層105では、前述したように空乏層が広がる速度が高く、急激に空乏層が形成される。しかし、N−層105と接する境界面から、N層103と接する境界面へ向かって徐々に不純物濃度が増加する不純物濃度勾配を有する傾斜部104内では、空乏層の急激な形成が抑制される。これによって、逆回復電流はソフトリカバリとなる。また、一定の不純物濃度を有するN層103が設けられていることによって、特に小電流動作時でもキャリアがN層103内に溜め込まれ、逆回復動作時に徐々に掃き出されるので、図9(c)の場合と比べて、逆回復電流をさらにソフトリカバリとすることができる。また、N層103をなるべく薄く形成することによって、大電流時の実質的なドリフト層が厚くなることを抑制し、図9(b)の場合と比べて、大電流時の低順方向電圧特性を得ることができる。
小電流動作からの逆回復動作時に逆回復電流をソフトリカバリにするためには、空乏層の外側で徐々にキャリアが掃き出されるようにすることが必要であり、定格電圧に相当する逆方向電圧がダイオードに印加された際に、図3に示されるように空乏層の端部が傾斜部104に位置するように調整されていることが望ましい。空乏層の広がりと不純物濃度の関係は以下のようになる。逆方向電圧印加時の空乏層幅をW、P層106側の空乏層幅をXp、N−層105および傾斜部104側の空乏層幅をXn、P層106側の空乏層中の総電荷量をQpdep、N−層105および傾斜部104側の空乏層中の総電荷量をQndep、ρ(x)を空間電荷密度とすると次式が成り立つ。次式および印加電圧からXpおよびXnが決定される。
P層106の不純物濃度および厚さは、逆方向電圧印加時に空乏層が表面に到達しないようなものに設定される。また、ダイオードのビルトインポテンシャルを下げ、低順方向電圧特性を得るため、P層106の不純物濃度は2×1016cm−3以下であることが望ましい。また、アノード電極107との良好なオーミック特性を得るため、P層106の不純物濃度は2×1015cm−3以上であることが望ましい。また、P層106の厚さは1μm以上10μm以下であることが望ましい。
N+層101、成長層102、およびP層106のうちの少なくとも1つにライフタイムキラーが導入されていてもよい。これによって、逆方向動作時にキャリアの消滅を速め、逆回復時間を短くすることができる。ライフタイムキラーとして、例えば白金(Pt)を所望の層に拡散させて用いることができる。また、ヘリウムイオン等の荷電粒子線を照射することによって形成された格子欠陥をライフタイムキラーとして用いることもできる。
次に、図5〜図8を参照し、本実施形態によるダイオードの製造方法を説明する。ドーピング制御を行いながら、エピタキシャル成長によって、N+層101を構成する半導体基板上に、N層103、傾斜部104、およびN−層105を順次形成する(図5(a))。続いて、高温の酸素雰囲気中での熱酸化等によって、N−層105の表面に絶縁膜121を形成する(図5(b))。この絶縁膜121上にレジストを塗布し、写真工程(露光および現像)を経て、レジストをパターニングする。このパターニングによって、P層106およびガードリング108〜110を形成する位置にレジストの開口部が形成される。レジストをマスクとしたエッチングによって、絶縁膜121をエッチングした後、レジストを除去する(図5(c))。
続いて、高温の酸素雰囲気中での熱酸化等によって、N−層105の開口部に薄い絶縁膜122を形成し、イオン注入によって、B(ボロン)等のP型不純物をN−層105の所定の位置に注入し、注入領域123〜126を形成する(図6(a))。アニール等の熱処理を行うと、注入領域123〜126中の不純物が拡散して、P層106およびガードリング108〜110が形成される。さらに高温の酸素雰囲気中での熱酸化等によって、絶縁膜127を形成する(図6(b))。
この絶縁膜127上にレジストを塗布し、写真工程を経て、レジストをパターニングする。このパターニングによって、チャネルストッパ111を形成する位置にレジストの開口部が形成される。レジストをマスクとしたエッチングによって、絶縁膜127をエッチングした後、レジストを除去し、リンデポジション等によってN−層105の所定の位置にリン(P)等のN型不純物を拡散し、拡散領域128を形成する(図6(c))。
続いて、アニール等の熱処理を行うと、拡散領域128中の不純物が拡散して、チャネルストッパ111が形成される。さらに、高温の酸素雰囲気中での熱酸化等によって、絶縁膜114を形成した後、絶縁膜114上にPSGを堆積し、層間絶縁膜115を形成する(図7(a))。この層間絶縁膜115上にレジストを塗布し、写真工程を経て、レジストをパターニングする。このパターニングによって、各電極を形成するためのレジストの開口部が形成される。レジストをマスクとしたエッチングによって、層間絶縁膜115と絶縁膜114をエッチングした後、レジストを除去する(図7(b))。
続いて、スパッタリング等によってAl等の電極材料を堆積する。堆積したAl等の薄膜上にレジストを塗布し、写真工程を経て、レジストをパターニングする。露出した部分の電極材料を除去してからレジストを除去し、アノード電極107、フィールドプレート112、および電極113を形成する。(図7(c))。さらに、PSGを堆積して表面保護絶縁膜116を形成した後、表面保護絶縁膜116上にレジストを塗布し、写真工程を経て、レジストをパターニングする。レジストをマスクとしたエッチングによって、表面保護絶縁膜116をエッチングした後、レジストを除去する(図8(a))。続いて、N+層101の裏面に、蒸着等によってTiおよびNiをこの順で堆積し、カソード電極117を形成する(図8(b))。以上の工程によって、図1に示される構造が完成する。
以上、図面を参照して本発明の実施形態について詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
101・・・N+層、102・・・成長層、103・・・N層、104・・・傾斜部、105・・・N−層、106・・・P層、107・・・アノード電極、108,109,110・・・ガードリング、111・・・チャネルストッパ、112・・・フィールドプレート、113・・・電極、114,121,122,127・・・絶縁膜、115・・・層間絶縁膜、116・・・表面保護絶縁膜、123,124,125,126・・・注入領域、128・・・拡散領域
Claims (5)
- 対向する第1および第2の主面を有する第1導電型の第1半導体層と、
前記第1の主面上に形成された、前記第1半導体層よりも不純物濃度の高い第1導電型の第2半導体層と、
前記第1半導体層の前記第2の主面側に形成された第2導電型の第3半導体層と、
前記第2半導体層に接する第1電極層と、
前記第3半導体層に接する第2電極層と、
を有する半導体装置において、
前記第1半導体層は、
前記第2半導体層に接し、一定の不純物濃度を有する第1半導体領域と、
前記第3半導体層に接し、前記第1半導体領域よりも低く、一定の不純物濃度を有する第2半導体領域と、
前記第1半導体領域と前記第2半導体領域とに接し、前記第1半導体領域と接する面から、前記第2半導体領域と接する面へ向かって徐々に不純物濃度が低くなる不純物濃度勾配を有する第3半導体領域と、
を有することを特徴とする半導体装置。 - 定格電圧に相当する逆方向電圧が印加された際に、空乏層の端部が前記第3半導体領域に位置することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第3半導体層の表面における不純物濃度が2×1015cm−3以上かつ2×1016cm−3以下であり、前記第3半導体層の厚さが1μm以上かつ10μm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第1半導体層、前記第2半導体層、および前記第3半導体層のうちの少なくとも1つにライフタイムキラーが導入されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかの項に記載の半導体装置。
- 前記ライフタイムキラーは、白金、または粒子線照射によって形成された格子欠陥であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
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