JP2007103897A - 電界効果トランジスタおよびその製造方法 - Google Patents
電界効果トランジスタおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007103897A JP2007103897A JP2006032652A JP2006032652A JP2007103897A JP 2007103897 A JP2007103897 A JP 2007103897A JP 2006032652 A JP2006032652 A JP 2006032652A JP 2006032652 A JP2006032652 A JP 2006032652A JP 2007103897 A JP2007103897 A JP 2007103897A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- field effect
- effect transistor
- channel
- region
- source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- 238000002353 field-effect transistor method Methods 0.000 title 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims abstract description 170
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 73
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 88
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 55
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 31
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 8
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000005204 segregation Methods 0.000 abstract description 94
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 abstract description 26
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 abstract description 17
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- 229910006137 NiGe Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 245
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 125
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 86
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 54
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 52
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 39
- 230000008569 process Effects 0.000 description 35
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 27
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 25
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 24
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 22
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 21
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 20
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 15
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 13
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 12
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 12
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 12
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 11
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 10
- -1 hafnium aluminate Chemical class 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 6
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 5
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003855 HfAlO Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004143 HfON Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004129 HfSiO Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910006501 ZrSiO Inorganic materials 0.000 description 2
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DDHRUTNUHBNAHW-UHFFFAOYSA-N cobalt germanium Chemical compound [Co].[Ge] DDHRUTNUHBNAHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- SCCCLDWUZODEKG-UHFFFAOYSA-N germanide Chemical compound [GeH3-] SCCCLDWUZODEKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- TXFYZJQDQJUDED-UHFFFAOYSA-N germanium nickel Chemical compound [Ni].[Ge] TXFYZJQDQJUDED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CKSRCDNUMJATGA-UHFFFAOYSA-N germanium platinum Chemical compound [Ge].[Pt] CKSRCDNUMJATGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZPPUVHMHXRANPA-UHFFFAOYSA-N germanium titanium Chemical compound [Ti].[Ge] ZPPUVHMHXRANPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- PCLURTMBFDTLSK-UHFFFAOYSA-N nickel platinum Chemical compound [Ni].[Pt] PCLURTMBFDTLSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
- ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N zirconium nitride Chemical compound [Zr]#N ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7839—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with Schottky drain or source contact
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/22—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities
- H01L21/225—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities using diffusion into or out of a solid from or into a solid phase, e.g. a doped oxide layer
- H01L21/2251—Diffusion into or out of group IV semiconductors
- H01L21/2254—Diffusion into or out of group IV semiconductors from or through or into an applied layer, e.g. photoresist, nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/283—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current
- H01L21/285—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation
- H01L21/28506—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation of conductive layers
- H01L21/28512—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation of conductive layers on semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System
- H01L21/28518—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation of conductive layers on semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System the conductive layers comprising silicides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/8238—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS
- H01L21/823807—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS with a particular manufacturing method of the channel structures, e.g. channel implants, halo or pocket implants, or channel materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/8238—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS
- H01L21/823814—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS with a particular manufacturing method of the source or drain structures, e.g. specific source or drain implants or silicided source or drain structures or raised source or drain structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/47—Schottky barrier electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66568—Lateral single gate silicon transistors
- H01L29/66643—Lateral single gate silicon transistors with source or drain regions formed by a Schottky barrier or a conductor-insulator-semiconductor structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7842—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate means for exerting mechanical stress on the crystal lattice of the channel region, e.g. using a flexible substrate
- H01L29/7843—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate means for exerting mechanical stress on the crystal lattice of the channel region, e.g. using a flexible substrate the means being an applied insulating layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7842—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate means for exerting mechanical stress on the crystal lattice of the channel region, e.g. using a flexible substrate
- H01L29/7848—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate means for exerting mechanical stress on the crystal lattice of the channel region, e.g. using a flexible substrate the means being located in the source/drain region, e.g. SiGe source and drain
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1203—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body the substrate comprising an insulating body on a semiconductor body, e.g. SOI
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic System
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/665—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET using self aligned silicidation, i.e. salicide
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78684—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film having a semiconductor body comprising semiconductor materials of Group IV not being silicon, or alloys including an element of the group IV, e.g. Ge, SiN alloys, SiC alloys
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S438/00—Semiconductor device manufacturing: process
- Y10S438/933—Germanium or silicon or Ge-Si on III-V
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S438/00—Semiconductor device manufacturing: process
- Y10S438/938—Lattice strain control or utilization
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
【解決手段】nMOSFET10とpMOSFET20が共にGeチャネルを有しており、それらのソース・ドレイン領域がNiGe層15,25によって形成されている。nMOSFET10のソース・ドレイン接合が形成するショットキー障壁は、As,Sb,S等の原子をNiGe層15の形成時に偏析させた高濃度で極薄の偏析層16によって変調する。これにより、nMOSFET10、pMOSFET20それぞれに適したショットキー障壁高さを実現することが可能になり、高速のCMOSFET1が得られる。
【選択図】図3
Description
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、チャネル材料にGeやSiGeを用いた高速の電界効果トランジスタおよびその製造方法を提供することを目的とする。
ここでは、nチャネル型MOSFET(nMOSFET)とpチャネル型MOSFET(pMOSFET)が共にGeチャネルを有しており、かつ、各MOSFETのソース・ドレイン領域に金属間化合物を用いたCMOSFETを例にして説明する。
真空準位を基準としたとき、図1(A)に示すように、Geは伝導帯(EC)が4.0eV、バンドギャップ(Eg)が0.66eVである。それに対し、例えば、ニッケル(Ni)はその仕事関数(φm,vac Ni)が4.5eV、白金(Pt)はその仕事関数(φm,vac Pt)が5.3eVである。特にPtの仕事関数は、Geバンドギャップを超える大きさになる。このように仕事関数が大きく異なるNiやPtを用いた場合でも、接合界面の準位は、ある準位、すなわち図1(A),(B)に示すような電荷中性点(Charge Neutrality Level)ECNLにピニングされるようになる。Geの場合、ECNLは、概ねその価電子帯(EV)より0.06eV〜0.1eV程度だけ高い位置になる。なお、図1中、EFはGeのフェルミ準位、Φbは電子に対するショットキー障壁高さを表している。
図3に示すCMOSFET1は、Ge基板2を用いてnMOSFET10とpMOSFET20が形成されている。nMOSFET10とpMOSFET20は、STI(Shallow Trench Isolation)3によって素子分離されている。
偏析層にP,As,Sb等のV族の不純物原子を用いた場合には、図4に示すようなメカニズムでショットキー障壁高さが変調される。すなわち、まず、ショットキー接合界面の偏析層に導入されたV族の不純物原子は、電子を放出した後は、プラスイオンとなって接合界面近傍領域に固定される。その際、金属間化合物側には電子が多く存在しているため、その電子と偏析層側のプラスイオンとがクーロン力によって引き合う、いわゆる鏡像力(Image force)が発生する。この鏡像力は、概ね、V族の不純物原子が金属間化合物の極近くに高濃度で存在するほど強くなる。金属間化合物の極近くに偏析層を形成して鏡像力を発生させることにより、金属間化合物とGeとの接合によって生じるショットキー障壁高さ(偏析層を形成しないときのショットキー障壁高さ(Φb))に比べ、擬似的に低減された実効的なショットキー障壁高さ(Φbeff)が得られるようになる。それにより、その接合界面を通過するトンネル電流が増加するようになる。
図6はAs不純物原子偏析層の形成例を示す図、図7はSb不純物原子偏析層の形成例を示す図、図8はS原子偏析層の形成例を示す図である。なお、図6から図8において、横軸はGe基板にNiGe層を形成したときのNiGe層側からの深さ(nm)を表し、縦軸はAs,SbまたはSの濃度(atom/cm3)を表している。
図9はAs,Sb注入量とショットキー障壁高さの関係を示す図、図10はS注入量とショットキー障壁高さの関係を示す図である。なお、図9および図10において、横軸はAs,SbまたはSの注入量(×1014cm−2)を表し、縦軸はショットキー障壁高さ(eV)を表している。また、図9および図10には、Geのバンドギャップも併せて図示している。
以上説明したように、上記構成を有するCMOSFET1は、nMOSFET10、pMOSFET20共にチャネル領域をGeで構成し、さらに、nMOSFET10のNiGe層15とGe基板2との接合界面に所定の原子の偏析層16を形成するようにした。それにより、nMOSFET10、pMOSFET20それぞれに適したショットキー障壁高さを実現することが可能になり、高速のCMOSFET1が形成可能になる。
この図11に示すCMOSFET1aは、NiGe層15とGe基板2との接合界面に偏析層16が形成されたnMOSFET10を有すると共に、NiGe層25とGe基板2との接合界面に偏析層16aが形成されたpMOSFET20aを有している点で、上記CMOSFET1と相違する。pMOSFET20aの偏析層16aは、NiGe層25とGe基板2との接合界面に、B,Al,Ga等のほか、S,Se,Te等を、高濃度かつ薄く偏析させることによって形成する。
図12は素子分離層およびウェル形成工程の断面模式図、図13はゲート電極およびサイドウォール形成工程の断面模式図、図14はnMOSFETのソース・ドレイン領域へのイオン注入工程の断面模式図、図15はpMOSFETのソース・ドレイン領域へのイオン注入工程の断面模式図、図16はNi堆積工程の断面模式図である。
図21に示すCMOSFET30には、Si基板等の支持基板31a上にSiO2等の絶縁膜31bを介して薄いGe層31cが形成されているGOI基板31が用いられている。GOI基板31は、例えば、SOI(Silicon On Insulator)基板上に形成したSiGe層を酸化してGe組成を増大させる、いわゆる酸化濃縮法等によって形成することが可能である。なお、GOI基板31のGe層31cは、形成するCMOSFET30の要求特性等に応じ、その膜厚が選択される。
図21に示したCMOSFET30を形成する場合には、まず、例えば膜厚約30nmのGe層31cを形成したGOI基板31を用意した後、そのGe層31cにSTI32を形成し、閾値調整のためにチャネル領域へのイオン注入を行い、常法に従ってゲート絶縁膜41,51、ゲート電極42,52およびサイドウォール43,53を形成する。
図23はGOI基板を用いたときの素子分離層およびウェル形成工程の断面模式図、図24はGOI基板を用いたときのゲート電極およびサイドウォール形成工程の断面模式図、図25はGOI基板を用いたときのnMOSFETのソース・ドレイン領域へのイオン注入工程の断面模式図、図26はGOI基板を用いたときのpMOSFETのソース・ドレイン領域へのイオン注入工程の断面模式図、図27はGOI基板を用いたときのNi堆積工程の断面模式図である。
図32はひずみ印加型CMOSFETの構成例を示す図である。なお、図32において、図11に示した要素と同一の要素については同一の符号を付し、その説明の詳細は省略する。
nチャネル型電界効果トランジスタとpチャネル型電界効果トランジスタが共に、SixGe1−x(0≦x<1)のチャネル領域と、Geを含む金属間化合物によって形成されたソース・ドレイン領域と、を有することを特徴とする電界効果トランジスタ。
(付記4) 前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に引っ張り応力が印加され、前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に圧縮応力が印加されていることを特徴とする付記2記載の電界効果トランジスタ。
前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第2の接合界面に、前記第2の接合が形成するショットキー障壁高さを変調させる第2の所定の原子を含んだ第2の層と、
を有することを特徴とする付記1記載の電界効果トランジスタ。
前記第2の層に含まれる前記第2の所定の原子は、III族原子、VI族原子、またはIII族原子とVI族原子であることを特徴とする付記5記載の電界効果トランジスタ。
SixGe1−x(0≦x<1)のチャネル領域と、
Geを含む金属間化合物によって形成されたソース・ドレイン領域と、
前記チャネル領域と前記ソース・ドレイン領域との接合界面に形成され、前記接合が形成するショットキー障壁高さを変調させる所定の原子を含んだ層と、
を有することを特徴とする電界効果トランジスタ。
nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域およびpチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域が形成されるSixGe1−x(0≦x<1)の上の、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域が形成される領域および前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域が形成される領域をそれぞれ挟んで、金属膜を形成する工程と、
熱処理を行い、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域が形成される領域の両側および前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域が形成される領域の両側にそれぞれ、Geを含む金属間化合物のソース・ドレイン領域を形成する工程と、
を有することを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成するSixGe1−x(0≦x<1)に所定の原子を注入する工程を有し、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成する工程においては、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域と共に、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との接合界面に前記所定の原子を含んだ層を形成することを特徴とする付記10記載の電界効果トランジスタの製造方法。
前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に引っ張り応力を印加するための第1の膜を形成する工程と、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に圧縮応力を印加するための第2の膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする付記11記載の電界効果トランジスタの製造方法。
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成するSixGe1−x(0≦x<1)に第1の所定の原子を注入する工程と、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成するSixGe1−x(0≦x<1)に第2の所定の原子を注入する工程と、
を有し、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域および前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成する工程においては、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域と共に、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第1の接合界面に前記第1の所定の原子を含んだ第1の層を形成し、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域と共に、前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第2の接合界面に前記第2の所定の原子を含んだ第2の層を形成する、
ことを特徴とする付記10記載の電界効果トランジスタの製造方法。
前記第2の層に含まれる前記第2の所定の原子は、III族原子、VI族原子、またはIII族原子とVI族原子であることを特徴とする付記14記載の電界効果トランジスタの製造方法。
前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に引っ張り応力を印加するための第1の膜を形成する工程と、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に圧縮応力を印加するための第2の膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする付記14記載の電界効果トランジスタの製造方法。
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域に所定の原子を注入する工程と、
前記所定の原子を拡散させ、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との接合界面に前記所定の原子を含んだ層を形成する工程と、
を有することを特徴とする付記10記載の電界効果トランジスタの製造方法。
前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に引っ張り応力を印加するための第1の膜を形成する工程と、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に圧縮応力を印加するための第2の膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする付記17記載の電界効果トランジスタの製造方法。
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域に第1の所定の原子を注入する工程と、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域に第2の所定の原子を注入する工程と、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域および前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域にそれぞれ注入された前記第1,第2の所定の原子を拡散させて、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第1の接合界面に前記第1の所定の原子を含んだ第1の層を形成し、前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第2の接合界面に前記第2の所定の原子を含んだ第2の層を形成する工程と、
を有することを特徴とする付記10記載の電界効果トランジスタの製造方法。
前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に引っ張り応力を印加するための第1の膜を形成する工程と、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に圧縮応力を印加するための第2の膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする付記19記載の電界効果トランジスタの製造方法。
2 Ge基板
3,32 STI
10,40 nMOSFET
11 pウェル
12,22,41,51 ゲート絶縁膜
13,23,42,52 ゲート電極
14,24,43,53 サイドウォール
15,25,44,54 NiGe層
16,16a,45,45a 偏析層
20,20a,50,50a pMOSFET
21 nウェル
31 GOI基板
31a 支持基板
31b 絶縁膜
31c Ge層
60,61,70,71,82,83 レジスト
62,72 Ni膜
80 第1のSiN膜
81 第2のSiN膜
160,160a,450,450a 注入領域
Claims (10)
- 相補型の電界効果トランジスタにおいて、
nチャネル型電界効果トランジスタとpチャネル型電界効果トランジスタが共に、SixGe1−x(0≦x<1)のチャネル領域と、Geを含む金属間化合物によって形成されたソース・ドレイン領域と、を有することを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との接合界面に、前記接合が形成するショットキー障壁高さを変調させる所定の原子を含んだ層を有することを特徴とする請求項1記載の電界効果トランジスタ。
- 前記層に含まれる前記所定の原子は、V族原子、VI族原子、またはV族原子とVI族原子であることを特徴とする請求項2記載の電界効果トランジスタ。
- 前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第1の接合界面に、前記第1の接合が形成するショットキー障壁高さを変調させる第1の所定の原子を含んだ第1の層と、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第2の接合界面に、前記第2の接合が形成するショットキー障壁高さを変調させる第2の所定の原子を含んだ第2の層と、
を有することを特徴とする請求項1記載の電界効果トランジスタ。 - 前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域および前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域は、支持基板上に絶縁膜を介して形成されたSixGe1−x層(0≦x<1)に形成されていることを特徴とする請求項1記載の電界効果トランジスタ。
- 相補型の電界効果トランジスタの製造方法において、
nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域およびpチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域が形成されるSixGe1−x(0≦x<1)の上の、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域が形成される領域および前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域が形成される領域をそれぞれ挟んで、金属膜を形成する工程と、
熱処理を行い、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域が形成される領域の両側および前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域が形成される領域の両側にそれぞれ、Geを含む金属間化合物のソース・ドレイン領域を形成する工程と、
を有することを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記金属膜を形成する工程の前に、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成するSixGe1−x(0≦x<1)に所定の原子を注入する工程を有し、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成する工程においては、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域と共に、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との接合界面に前記所定の原子を含んだ層を形成することを特徴とする請求項6記載の電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記金属膜を形成する工程の前に、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成するSixGe1−x(0≦x<1)に第1の所定の原子を注入する工程と、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成するSixGe1−x(0≦x<1)に第2の所定の原子を注入する工程と、
を有し、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域および前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成する工程においては、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域と共に、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第1の接合界面に前記第1の所定の原子を含んだ第1の層を形成し、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域と共に、前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第2の接合界面に前記第2の所定の原子を含んだ第2の層を形成する、
ことを特徴とする請求項6記載の電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域および前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成する工程後に、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域に所定の原子を注入する工程と、
前記所定の原子を拡散させ、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との接合界面に前記所定の原子を含んだ層を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項6記載の電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域および前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域を形成する工程後に、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域に第1の所定の原子を注入する工程と、
前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域に第2の所定の原子を注入する工程と、
前記nチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域および前記pチャネル型電界効果トランジスタのソース・ドレイン領域にそれぞれ注入された前記第1,第2の所定の原子を拡散させて、前記nチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第1の接合界面に前記第1の所定の原子を含んだ第1の層を形成し、前記pチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域とソース・ドレイン領域との第2の接合界面に前記第2の所定の原子を含んだ第2の層を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項6記載の電界効果トランジスタの製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006032652A JP4940682B2 (ja) | 2005-09-09 | 2006-02-09 | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
EP06252151A EP1763084A3 (en) | 2005-09-09 | 2006-04-20 | Field-effect transistor and method for fabricating the same |
US11/415,199 US7825493B2 (en) | 2005-09-09 | 2006-05-02 | Field-effect transistor and method for fabricating the same |
US12/917,381 US8187957B2 (en) | 2005-09-09 | 2010-11-01 | Field-effect transistor and method for fabricating the same |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005262725 | 2005-09-09 | ||
JP2005262725 | 2005-09-09 | ||
JP2006032652A JP4940682B2 (ja) | 2005-09-09 | 2006-02-09 | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007103897A true JP2007103897A (ja) | 2007-04-19 |
JP4940682B2 JP4940682B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=37067424
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006032652A Expired - Fee Related JP4940682B2 (ja) | 2005-09-09 | 2006-02-09 | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7825493B2 (ja) |
EP (1) | EP1763084A3 (ja) |
JP (1) | JP4940682B2 (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009032840A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2009031502A1 (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-12 | The University Of Tokyo | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009060110A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | ゲルマナイド成長の改良方法およびそれにより得られたデバイス |
JP2010109122A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Toshiba Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2011519152A (ja) * | 2008-04-11 | 2011-06-30 | サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェサイアンティフィク(セエヌエールエス) | 相補型p、及びnMOSFETトランジスタの製造方法、このトランジスタを包含する電子デバイス、及び少なくとも1つのこのデバイスを包含するプロセッサ |
JP2011181617A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2012169212A1 (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | 住友化学株式会社 | 半導体デバイス、半導体基板、半導体基板の製造方法および半導体デバイスの製造方法 |
WO2012169209A1 (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | 住友化学株式会社 | 半導体デバイス、半導体基板、半導体基板の製造方法および半導体デバイスの製造方法 |
WO2012169210A1 (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | 住友化学株式会社 | 半導体デバイス、半導体基板、半導体基板の製造方法および半導体デバイスの製造方法 |
US8338247B2 (en) | 2009-03-10 | 2012-12-25 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing same |
WO2013105331A1 (ja) * | 2012-01-11 | 2013-07-18 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2013145412A1 (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2013161331A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 相補型半導体装置及びその製造方法 |
WO2015029270A1 (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | 株式会社 東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4410222B2 (ja) * | 2006-06-21 | 2010-02-03 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
US8354344B2 (en) | 2007-08-31 | 2013-01-15 | Imec | Methods for forming metal-germanide layers and devices obtained thereby |
JP5317483B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2013-10-16 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
KR101408875B1 (ko) | 2008-04-18 | 2014-06-17 | 삼성전자주식회사 | 게르마늄 응축을 이용한 cmos 트랜지스터 및 그제조방법 |
DE102009010883B4 (de) * | 2009-02-27 | 2011-05-26 | Amd Fab 36 Limited Liability Company & Co. Kg | Einstellen eines nicht-Siliziumanteils in einer Halbleiterlegierung während der FET-Transistorherstellung mittels eines Zwischenoxidationsprozesses |
US8124513B2 (en) * | 2009-03-18 | 2012-02-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Germanium field effect transistors and fabrication thereof |
US8178430B2 (en) | 2009-04-08 | 2012-05-15 | International Business Machines Corporation | N-type carrier enhancement in semiconductors |
US8680629B2 (en) * | 2009-06-03 | 2014-03-25 | International Business Machines Corporation | Control of flatband voltages and threshold voltages in high-k metal gate stacks and structures for CMOS devices |
US8274116B2 (en) * | 2009-11-16 | 2012-09-25 | International Business Machines Corporation | Control of threshold voltages in high-k metal gate stack and structures for CMOS devices |
CN102194748B (zh) * | 2010-03-15 | 2014-04-16 | 北京大学 | 半导体器件及其制造方法 |
JP2012204595A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | 電界効果トランジスタ |
CN102227001B (zh) | 2011-06-23 | 2013-03-06 | 北京大学 | 一种锗基nmos器件及其制备方法 |
KR20140097453A (ko) * | 2011-12-19 | 2014-08-06 | 인텔 코오퍼레이션 | 금속성 소스 및 드레인 영역들을 갖는 반도체 장치 |
EP2704199B1 (en) | 2012-09-03 | 2020-01-01 | IMEC vzw | Method of manufacturing a semiconductor device |
US9576949B2 (en) * | 2012-09-05 | 2017-02-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Diode formed of PMOSFET and schottky diodes |
US9224657B2 (en) * | 2013-08-06 | 2015-12-29 | Texas Instruments Incorporated | Hard mask for source/drain epitaxy control |
FR3011382B1 (fr) * | 2013-09-27 | 2019-03-29 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de realisation d'un circuit integre |
US9553031B1 (en) * | 2016-04-01 | 2017-01-24 | Lam Research Corporation | Method for integrating germanides in high performance integrated circuits |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003318189A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-11-07 | Taiwan National Chiao Tung Univ | モスフェット及びその製造方法 |
JP2004327777A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Fujitsu Ltd | ショットキーソース・ドレイン構造を有する電界効果トランジスタの製造方法 |
JP2005079277A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Toshiba Corp | 電界効果トランジスタ |
JP2005101588A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-04-14 | Toshiba Corp | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
JP2005209782A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2005217391A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-08-11 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 高移動度ヘテロ接合相補型電界効果トランジスタおよびその方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5266813A (en) * | 1992-01-24 | 1993-11-30 | International Business Machines Corporation | Isolation technique for silicon germanium devices |
KR100767950B1 (ko) * | 2000-11-22 | 2007-10-18 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
US6844227B2 (en) * | 2000-12-26 | 2005-01-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor devices and method for manufacturing the same |
US6621131B2 (en) | 2001-11-01 | 2003-09-16 | Intel Corporation | Semiconductor transistor having a stressed channel |
US6812086B2 (en) * | 2002-07-16 | 2004-11-02 | Intel Corporation | Method of making a semiconductor transistor |
DE10334353A1 (de) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Verfahren zur Herstellung eines Kontaktes und elektronisches Bauelement, umfassend derartige Kontakte |
US7053400B2 (en) * | 2004-05-05 | 2006-05-30 | Advanced Micro Devices, Inc. | Semiconductor device based on Si-Ge with high stress liner for enhanced channel carrier mobility |
-
2006
- 2006-02-09 JP JP2006032652A patent/JP4940682B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-20 EP EP06252151A patent/EP1763084A3/en not_active Ceased
- 2006-05-02 US US11/415,199 patent/US7825493B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-11-01 US US12/917,381 patent/US8187957B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003318189A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-11-07 | Taiwan National Chiao Tung Univ | モスフェット及びその製造方法 |
JP2004327777A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Fujitsu Ltd | ショットキーソース・ドレイン構造を有する電界効果トランジスタの製造方法 |
JP2005079277A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Toshiba Corp | 電界効果トランジスタ |
JP2005101588A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-04-14 | Toshiba Corp | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
JP2005217391A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-08-11 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 高移動度ヘテロ接合相補型電界効果トランジスタおよびその方法 |
JP2005209782A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009032840A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009060110A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | ゲルマナイド成長の改良方法およびそれにより得られたデバイス |
WO2009031502A1 (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-12 | The University Of Tokyo | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009059996A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Univ Of Tokyo | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2011519152A (ja) * | 2008-04-11 | 2011-06-30 | サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェサイアンティフィク(セエヌエールエス) | 相補型p、及びnMOSFETトランジスタの製造方法、このトランジスタを包含する電子デバイス、及び少なくとも1つのこのデバイスを包含するプロセッサ |
JP2010109122A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Toshiba Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US8816448B2 (en) | 2008-10-30 | 2014-08-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
US8338247B2 (en) | 2009-03-10 | 2012-12-25 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing same |
JP2011181617A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2012169209A1 (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | 住友化学株式会社 | 半導体デバイス、半導体基板、半導体基板の製造方法および半導体デバイスの製造方法 |
WO2012169210A1 (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | 住友化学株式会社 | 半導体デバイス、半導体基板、半導体基板の製造方法および半導体デバイスの製造方法 |
WO2012169212A1 (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | 住友化学株式会社 | 半導体デバイス、半導体基板、半導体基板の製造方法および半導体デバイスの製造方法 |
WO2013105331A1 (ja) * | 2012-01-11 | 2013-07-18 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2013145412A1 (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2013206940A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2013161331A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 相補型半導体装置及びその製造方法 |
WO2015029270A1 (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | 株式会社 東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1763084A3 (en) | 2009-07-01 |
EP1763084A2 (en) | 2007-03-14 |
US8187957B2 (en) | 2012-05-29 |
US7825493B2 (en) | 2010-11-02 |
US20110045663A1 (en) | 2011-02-24 |
US20070057347A1 (en) | 2007-03-15 |
JP4940682B2 (ja) | 2012-05-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4940682B2 (ja) | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 | |
US7655516B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
US10395993B2 (en) | Methods and structure to form high K metal gate stack with single work-function metal | |
KR102084657B1 (ko) | 트랜지스터의 문턱전압조절을 위한 방법 및 게이트구조물 | |
US7968397B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
US7387956B2 (en) | Refractory metal-based electrodes for work function setting in semiconductor devices | |
JP5178152B2 (ja) | 相補型半導体装置及びその製造方法 | |
US9384986B2 (en) | Dual-metal gate CMOS devices and method for manufacturing the same | |
US8159035B2 (en) | Metal gates of PMOS devices having high work functions | |
US7291526B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacture thereof | |
US20060263961A1 (en) | Method for Forming Dual Fully Silicided Gates and Devices with Dual Fully Silicided Gates | |
JP4939960B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US10680108B2 (en) | Field-effect transistor comprising germanium and manufacturing method thereof | |
JP5221112B2 (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JPH098297A (ja) | 半導体装置、その製造方法及び電界効果トランジスタ | |
JP5367340B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
US5296387A (en) | Method of providing lower contact resistance in MOS transistor structures | |
US9029225B2 (en) | Method for manufacturing N-type MOSFET | |
JP2004247341A (ja) | 半導体装置 | |
JP4828982B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009049093A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080605 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20090121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101102 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120131 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |