JP2006505953A - レーザ走査装置および熱処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1の態様は、基板の領域を熱処理する装置である。この装置は、連続放射線ビームを提供可能な連続放射線源を含み、前記連続放射線ビームは、前記基板の領域を加熱可能な第1の強度プロファイルおよび波長を有する。任意のシステムが、前記連続放射線源の下流に配置され、かつ、前記放射線ビームを受け、第2の放射線ビームを形成するように構成されている。前記第2の放射線ビームは、前記基板上に像を形成する。実施形態の一例においては、前記像は線像である。前記装置はまた、前記基板を支持するように構成されたステージを含む。前記光学系および前記ステージのうち少なくとも1つは、前記基板に関して走査方向に前記像を走査して、放射線パルスを用いて、前記領域の処理が十分である温度へと前記領域を加熱するように構成される。
以下の本発明の実施形態の詳細な説明では、本発明の説明の一部をなし、本発明を実施可能な特定の実施形態を例示する添付図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が本発明を実施できるように十分に詳細に説明されており、その他の実施形態も利用することができ、本発明の範囲から逸脱しない限りにおいて変更を加えることができることは理解されるべきである。したがって、以下の詳細な説明は本発明を限定するものとして解釈されるべきではなく、本発明の範囲は添付の請求項のみによって定義されるものである。
図1Aは、本発明のレーザ走査装置の概括的な一実施形態の模式図である。図1Aの装置10は、光軸A1に沿って連続放射線ビーム14Aを放射する連続放射線源12を含み、この連続放射線ビーム14Aは、光軸に垂直な角度で測定された出力パワーおよび強度プロファイルP1を有する。また、実施形態の一例では、放射線ビーム14Aはコリメートされている。さらに、実施形態の一例では、放射線源12はレーザであり、放射線ビーム14Aはレーザビームである。一実施形態では、放射線源12は、約9.4ミクロンから約10.8ミクロンの間の波長で動作する炭酸ガス(CO2)レーザである。CO2レーザは、非常に効率的に電気を放射線に変換し、出力ビームは通常非常にコヒーレントであるため、プロファイルP1はガウス分布(Gaussian)型である。さらに、後述するように、CO2レーザによって発生する赤外線波長は、シリコン(例えば、半導体ウエハなどのシリコン基板)を処理(例えば、加熱)するために適している。また、一実施形態では、放射線ビーム14Aは直線偏光され、基板に入射する放射線がp−偏光状態Pのみ、s−偏光状態Sのみ、または両方を含むように操作することができる。放射線源12は連続放射線ビーム14Aを放射するため、本明細書では「連続放射線源」と呼ぶ。通常、放射線ビーム14Aは、基板によって吸収され、これにより、基板を加熱することのできる波長の放射線を含む。
図1Aに示す実施形態では、放射線ビーム14AのプロファイルP1は不均一である。このような状況は、例えば、放射線源12が実質的にコヒーレントなレーザであり、平行ビームにおける最終的なエネルギー分布がガウス分布型である場合に発生する場合があり、その結果、平行ビームを基板に結像した場合に同様なエネルギー分布が生じる。用途によっては、与えられた用途において像100が基板の熱処理を行なうために適当な強度分布およびサイズを有するように、放射線ビーム14A,14Bをより均一な分布にし、かつ放射線ビーム14A,14Bの大きさを変化させることが望ましい場合がある。
図3は、図1Aの装置と同様の装置10の模式図であり、装置10は、図の上部であって基板60の上方に配置される多くの追加部材をさらに含む。これらの追加部材は、単独または様々な組み合わせにおいて、本発明の付加的な実施形態を示すために含まれる。以下の各実施形態の例によって行われる動作には、図3において導入された追加部材のいくつが必要であり、上述した実施形態で述べられた部材が述べられる実施形態でも必要であるか否かは当業者に明らかであると思われる。説明を簡単にするために、これらの実施形態のいくつかは、先に述べられた実施形態に基づくものであるため、図3は、これらの付加的な実施形態に必要な部材のすべてを含むように示されている。これらの付加的な実施形態の例について以下に説明する。
図3を参照すると、実施形態の一例では、装置10は、放射線源12の下流に配置された減衰器226を含み、減衰器の位置によって、放射線ビーム14A,ビーム14A’,またはビーム14Bを選択的に減衰させる。一実施形態では、放射線ビーム14Aは特定の方向(例えば、p,sまたはそれらの組み合わせ)に偏光され、減衰器226は偏光子227を含み、偏光子227は、放射線ビームの偏光方向に相対的に回転させることができ、これにより、ビームを減衰させる。別の実施形態では、減衰器226は、除去可能な減衰フィルター、または複数の減衰器部材を含むプログラム可能な減衰ホイールの少なくとも1つを含む。
実施形態の別例では、放射線ビーム14Aは直線偏光され、装置10は、放射線源12の下流に、直線偏光を円偏光に変換するための1/4波長板230を含む。減衰器が、基板62から反射または散乱された放射線が放射線源12に戻るのを防ぐための偏光子227を含む実施形態の一例では、1/4波長板230は減衰器226と連動して動作する。特に、戻り経路において、反射された円偏光放射線は直線偏光放射線に変換され、偏光子227によって遮られる。この構成は、入射角Φが0または0の近傍である(すなわち、法線入射またはほぼ法線入射である)場合に特に有用である。
実施形態の別例では、装置10は、軸A1に沿って放射線源12の下流に配置され、各ビームのエネルギーを監視するビームエネルギー監視システム250を含む。システム250は、ライン252を介してコントローラ70に接続され、測定された各ビームエネルギーを示す信号254をコントローラに供給する。
実施形態の別例では、装置10はフォールドミラー260を含み、フォールドミラー260は、装置をよりコンパクトにするか、または特定の装置ジオメトリーを形成する。実施形態の一例では、フォールドミラー260は移動可能であり、ビーム14A’の方向を調整する。
図3を引き続き参照すると、実施形態の別例では、装置10は、基板の表面62によって反射された放射線281を受けるように配置された反射放射線モニタ280を含む。モニタ280はライン282を介してコントローラ70に接続され、測定した反射放射線281の量を示す信号284をコントローラに供給する。
多くの熱処理では、処理される表面の最高温度または温度−時間プロファイルを知ることが有益である。例えば、接合のアニールの場合、LTP時に達する最高温度を非常に厳密に制御することが望ましい。厳密な制御は、測定された温度を使用して、連続放射線源の出力パワーを制御することにより達成される。理想的には、そのような制御システムは、走査された像の滞在時間と同等かまたはそれよりも速い応答能力を有する。
再び図3を参照すると、ある場合には、基板60は、予め規定された向きでチャック40上に配置される必要がある。例えば、基板60は結晶性(例えば、結晶性シリコンウエハ)であることができる。本発明者らは、結晶性基板を利用する熱処理用途では、処理を最適化するために、結晶軸が像100に対して選択された方向に位置合わせされているのが好ましい場合が多いことを見出した。
ビームエネルギー監視システム250を使用して放射線ビーム14A,14A’,または14Bのうち1つのエネルギーを測定し、かつ、監視システム280を使用して反射放射線281のエネルギーを測定することによって、基板60によって吸収された放射線を決定することができる。これにより、基板の表面62の反射率の変化に関わらず、基板60によって吸収される放射線を走査時に一定に維持することができる。実施形態の一例では、単位面積あたりの一定のエネルギー吸収を維持することは、連続放射線源12の出力エネルギー、基板の表面62上方における像100の走査速度、および減衰器226の減衰度のうち1以上を調節することにより達成される。
実施形態の一例では、入射角Φはブリュースター角に対応するように設定されている。ブリュースター角では、p−偏光放射線P(図3)はすべて基板60に吸収される。ブリュースター角は、放射線が入射する材料の屈折率に依存する。例えば、ブリュースター角は、室温のシリコンで波長λが10.6ミクロンの場合には73.69°である。入射放射線ビーム14Bの約30%は法線入射(Φ=0)で反射されるため、ブリュースター角またはその近傍でのp−偏光放射線を使用することによって、熱処理を行なうために必要な単位面積あたりのパワーを大きく減少させることができる。また、ブリュースター角などの比較的大きな入射角Φを使用することによって、一方向における像100の幅をcos−1φ倍または法線入射の像幅の約3.5倍に拡大することができる。像100の有効焦点深度も同様の倍率で減少する。
実施形態の一例では、像100を表面62の上方で走査して基板60を熱処理することによって、基板の表面における材料の非常にわずかな量の部分が基板の融点近くまで加熱される。したがって、基板の加熱された部分にはかなりの量の応力と歪みが生じる。状況によっては、応力によって表面62に伝播する望ましくない滑り面が発生する。
上述したように、単結晶シリコンウエハなどの結晶性基板は、参照形状64(例えば、図9に示す切込みまたはフラット)によってしばしば示される方位を有する結晶面を有する。参照形状64は、基板において、主結晶面の1つの方向に対応するエッジ63に形成されている。線像100の走査によって、走査方向470(図9)に垂直な方向474において、大きな熱勾配および応力集中が発生し、結晶性基板の構造の完全性(integrity)に悪影響を及ぼし得る。
(牛耕状(boustrophedonic)走査)
図10は、像が横断する基板上の各点において短い熱パルスを発生させる、基板の表面62上方における像100の牛耕状(すなわち、交互に前後または「X−Y」)走査パターン520を示す基板の平面図である。走査パターン520は線走査セグメント522を含む。牛耕状走査パターン520は、従来の双方向X−Yステージ46を用いて行なうことができる。しかしながら、そのようなステージは、通常は相当な大きさおよび限られた加速能力を有する。非常に短い滞在時間(すなわち、走査された像が、基板上の所与のポイント上に存在する時間)が望ましい場合、従来のステージは、加速および減速にかなりの時間を要する。また、そのようなステージに大きなスペースが必要である。例えば、100ミクロンのビーム幅で10マイクロ秒の滞在時間では、10メートル/秒(m/秒)のステージ速度が必要となる。1gまたは9.8m/s2の加速では、加速/減速に1.02秒および5.1mの移動が必要である。加速および減速のために10.2mのスペースをステージに供給することは望ましくない。
基板の表面62上の像100の走査は、静止した基板および移動する像を使用して行なってもよいし、基板を移動させて像を静止したままに維持してもよいし、あるいは、基板および像の双方を移動させることによって行なってもよい。
別の実施形態では、像100は、基板60に対してらせん状パターンで走査される。図12は、ステージ46上に位置する4つの基板60の平面図であり、ステージは、回転的および直線的に像100と相対的に移動してらせん状走査パターン604を形成することができる。回転移動は回転中心610をほぼ中心として行われる。また、ステージ46は複数の基板を支持することができ、図では説明の便宜のために4つの基板が示されている。
隣り合う経路セグメントの間隔が小さい状態で、牛耕状パターンによって基板60の上方で像100を走査すると、1つのセグメントが完了し、次の新しいセグメントが開始される走査セグメントの端部で基板が過熱されることがある。そのような場合、新しい走査経路セグメントの最初の部分は、完了直後の走査経路セグメントに起因する著しい熱勾配を含む。ビーム強度が適切に修正されない限り、この勾配によって、新しい走査によって生じる温度が上昇する。このため、走査時に基板全体で均一な最高温度を達成することが困難となる。
図14は、らせん状走査方法(曲線720)、光学的走査方法(曲線724)、および牛耕状(X−Y)走査方法(曲線726)に関する、シミュレートしたスループット(基板/時間) 対 滞在時間(秒)のプロットである。この比較は、ガウス分布型ビームを形成するために使用される連続放射線源として5kWレーザを用いる実施形態の一例を想定しており、したがって、100ミクロンのビーム幅L2を用いて、重なり合う走査経路において走査されたガウス分布型の像100が、約±2%の放射線均一性で得られる。
Claims (76)
- 基板の領域を熱処理する装置であって、
連続的な第1の放射ビームを提供可能な連続放射線源と、
前記第1の放射ビームを受けて、前記基板に像を形成する第2の放射線ビームを形成するように構成された光学系と、
前記基板を支持するように構成されたステージと、
を軸に沿って含み、
前記第1の放射ビームは、前記基板の領域を加熱可能な第1の強度プロファイルおよび波長を有し、
前記光学系および前記ステージのうち少なくとも1つは、走査方向において前記基板に関して前記像を走査して、放射線パルスを用いて、前記領域の熱処理が十分である温度へと前記領域を加熱するように構成される、装置。 - 請求項1において、
前記像は線像である、装置。 - 請求項1において、
前記光学系は、1以上の曲状ミラーを含む、装置。 - 請求項3において、
前記1以上の曲状ミラーは円錐ミラーである、装置。 - 請求項4において、
複数の円錐ミラーをさらに含み、
前記複数の円錐ミラーは、それぞれが異なる円錐角および選択的配置可能性を有し、かつ、異なる大きさの線像を形成するために前記第1の放射線ビームから除去可能である、装置。 - 請求項3において、
前記第1の放射線ビームは大きさを有し、
前記1以上の曲状ミラーは、反対出力の2以上の組の柱状放物面ミラーを含み、
前記柱状放物面ミラーは、前記第1の放射線ビーム中に配置されて、前記第1の放射線ビームの大きさおよび方向を変える、装置。 - 請求項6において、
前記組の柱状放物面ミラーは、前記第1の放射線ビームの大きさを変えるために選択的配置可能性を有し、かつ、前記第1の放射線ビームから除去可能である、装置。 - 請求項1において、
前記放射線源の下流に配置されたビームコンバータを含み、
前記ビームコンバータは、前記第1の放射線ビームを受けて、前記第1の強度プロファイルを第2の強度プロファイルへと変換する、装置。 - 請求項8において、
前記ビームコンバータおよび前記光学系は、単一のコンバータ/光学系内で結合されている、装置。 - 請求項8において、
前記第1の強度プロファイルは、ガウス分布である、装置。 - 請求項8において、
前記第2の強度プロファイルは、前記走査方向に垂直な方向において実質的に均一である、装置。 - 請求項1において、
前記連続放射線源は、レーザである、装置。 - 請求項1において、
前記レーザは、CO2レーザである、装置。 - 請求項13において、
前記波長は、約9.4μm〜約10.8μmである、装置。 - 請求項1において、
前記ステージに結合されたステージコントローラを含む、装置。 - 請求項15において、
前記放射線源、前記光学系、および前記ステージコントローラの少なくとも1つに結合されたコントローラを含む、装置。 - 請求項1において、
前記放射線源の下流に配置された調整可能な減衰器と、
前記放射線源の下流に配置された1/4波長板と、
前記放射線源の下流に配置されたフォールドミラーと、
前記ステージと連動し、かつ、前記基板を受けて、前記基板を参照位置に位置合わせするプレアライナーと、
前記ステージに隣り合うように配置され、かつ、前記基板から反射された放射線を受け取って測定するモニタと、
前記ステージに隣り合うように配置され、かつ、前記基板から放出される放射線を受け取って測定する診断システムと、
前記放射線源の下流に配置され、かつ、前記第1および第2の放射線ビームのうち一方のエネルギーを測定するビームエネルギー監視システムと、
のうち1以上を含む、装置。 - 請求項17において、
前記装置は前記フォールドミラーを含み、
前記フォールドミラーは、前記基板の上方で前記像を走査するために移動可能である、装置。 - 請求項17において、
前記装置は前記減衰器を含み、
前記減衰器は調整可能な偏光子を含む、装置。 - 請求項17において、
前記装置は前記診断システムを含み、
前記診断システムは、第1および第2の検出器を含み、
前記第1および第2の検出器はそれぞれ、前記基板から放出される前記放射線の第1および第2のスペクトルバンドを検出して、前記基板の最大温度を確定するように構成されている、装置。 - 請求項1において、
前記光学系は、前記基板の領域の上方で前記像を走査するように構成された走査ミラーを含む、装置。 - 請求項1において、
前記第1の放射線ビームは偏光されている、装置。 - 請求項22において、
前記偏光は円形である、装置。 - 請求項1において、
前記軸は、前記基板の表面の法線と入射角Φを形成し、かつ、0≦Φ<90°である、装置。 - 請求項24において、
前記入射角Φは、ブリュースター角と等しいかまたはその近傍であり、
前記第2の放射線ビームは、前記基板に関してp−偏光されている、装置。 - 請求項25において、
前記基板は単結晶半導体であり、
前記入射角Φは50°〜80°の間である、装置。 - 請求項1において、
前記基板は格子パターンを含み、
前記像は、前記格子パターンに関して45°に配向している、装置。 - 基板の1以上の領域を熱処理する方法であって、
a.前記領域を加熱可能な波長を有する連続放射線ビームを生成する工程、および
b.前記1以上の領域における各点が、前記1以上の領域それぞれを処理可能な量の熱エネルギーを受けるように、走査方向において前記1以上の領域の上方で前記放射線を走査する工程
を含む、方法。 - 請求項28において、
前記基板は単結晶であり、
前記1以上の領域の各点において、前記像がマイクロ秒からミリ秒の間の滞在時間を有するように、前記工程bが実行される、方法。 - 請求項29において、
前記1以上の領域は集積回路を含み、
前記工程bの前記放射線は、前記走査方向と垂直に、1cmまたはそれ未満の面積を有する像を形成する、方法。 - 請求項28において、
前記連続放射線ビームは、第1のプロファイルを有し、かつ、
c.前記連続放射線ビームを変更して、第2のプロファイルを形成する工程をさらに含む、方法。 - 請求項31において、
前記工程cは、前記第2のプロファイルが前記基板において実質的に均一な強度を有する像を形成するように、前記連続放射線ビームを変更する、方法。 - 請求項28において、
c.前記連続放射線ビームを減衰させて、前記1以上の領域を選択された温度に維持する工程をさらに含む、方法。 - 請求項28において、
前記連続放射線ビームは出力パワーを有し、かつ、
c.前記出力パワーを変化させて、前記1以上の領域を選択された温度に維持する工程をさらに含む、方法。 - 請求項28において、
c.線像を形成する工程をさらに含む、方法。 - 請求項35において、
d.前記線像の長寸を、入射放射線のビームおよび反射放射線のビームに関連付けられた軸によって定義された平面に相対的に位置合わせする工程をさらに含む、方法。 - 請求項35において、
d.円錐ミラーから前記放射線ビームを反射することにより、前記線像を形成する工程をさらに含む、方法。 - 請求項35において、
前記線像は長さL1および幅L2を有し、かつ、
d.少なくとも前記長さおよび前記幅を変化させる工程をさらに含む、方法。 - 請求項28において、
c.前記基板の領域から反射された放射線を測定する工程をさらに含む、方法。 - 請求項28において、
c.前記基板の領域の温度を測定する工程をさらに含む、方法。 - 請求項40において、
前記工程cはさらに、
I.2つの異なるスペクトルバンド内で前記基板から放出される放射線を測定する工程を含む、方法。 - 請求項40において、
d.各検出器アレイを用いて、異なるスペクトルバンド内で前記基板の共通領域を撮像する工程、および
e.前記検出器アレイからの各出力信号を比較して、前記共通領域における最大温度点および前記最大温度点における温度を決定する工程
をさらに含む、方法。 - 請求項28において、
前記放射線ビームは偏光されている、方法。 - 請求項43において、
c.前記放射線ビームの偏光を1/4波長回転する工程をさらに含む、方法。 - 請求項43において、
c.第1の放射線ビームを変化させて、円形に偏光した放射線のビームを形成する工程をさらに含む、方法。 - 請求項28において、
前記放射線ビームは、前記基板に関してp−偏光され、
c.ブリュースター角と等しいかまたはその近傍の角度の前記放射線ビームを前記基板に照射する工程をさらに含む、方法。 - 請求項28において、
前記基板は単結晶半導体であり、
前記放射線ビームはp−偏光され、かつ、
c.入射角Φが50°〜80°の間にて前記放射線ビームを前記基板に照射する工程をさらに含む、方法。 - 請求項28において、
前記工程bは、牛耕状パターン、らせん状パターン、および交互ラスタ状パターンのうち1つにて行なわれる、方法。 - 請求項28において、
c.第1の放射線ビームの偏光を変化させて、前記基板を選択された温度に維持する工程をさらに含む、方法。 - 請求項28において、
前記工程bを可変速度にて行ない、前記基板を選択された温度に維持する、方法。 - 請求項28において、
前記第1の放射線ビームの波長は、9.4〜10.8μmである、方法。 - 請求項28において、
前記工程bは、前記基板から反射された放射線の変化を最小限にするために、以下の工程を含む:
i.前記基板の上方で連続放射線ビームを走査する工程、
ii.連続的な第1の放射線ビームの入射角の範囲にわたって、前記反射された放射線の変化を測定して、少なくとも前記反射された放射線の量の変化が最も小さい点に相当する最適入射角を決定する工程、および
iii.前記最適入射角またはその近傍を走査して、前記1以上の領域を熱処理する工程。 - 請求項28において、
前記工程bは、前記基板上で生成された最大温度の変化を最小限にするために、以下の工程を含む:
i.前記連続放射線ビームから像を形成する工程、
i.前記基板の上方で前記像を走査する工程、
iii.入射角の範囲にわたって、各入射角に関して前記基板上の異なる位置で形成された最大温度の変化を測定して、少なくとも前記最大温度の変化量が最も小さい点に相当する最適入射角を決定する工程、および
iv.前記最適入射角またはその近傍を走査して、前記1以上の領域を熱処理する工程。 - 請求項28において、
前記基板は結晶性であり、かつ、
前記工程bは、前記基板において滑り面の形成を最小限にする方向に前記像を走査する、方法。 - 請求項54において、
前記基板は結晶軸を有し、
前記工程bは、前記結晶軸の1つに沿った方向にて前記像を走査する、方法。 - 請求項28において、
前記1以上の領域は、パターン化された形状を有し、かつ、
さらに以下の工程を含む:
c.前記連続放射線ビームを用いて線像を形成する工程、および
d.前記パターン化された形状に関する像角にて前記線像を用いて、かつ、入射角にて前記連続放射線ビームを前記基板に照射する工程。 - 請求項56において、
前記入射角および像角は、前記1以上の領域における温度変化を最小限にするために選択される、方法。 - 請求項57において、
前記基板は結晶性であり、かつ、
e.走査方向を選択して、前記基板における滑り面の形成を最小限にする、方法。 - 請求項17において、
前記診断システムは検出器を含み、
前記検出器は、前記基板に存在する前記検出器および膜に使用される波長に対してブリュースター角にて、前記加熱された基板を観察するように配置された、装置。 - 請求項59において、
前記診断システムは、0.5〜0.8μmの波長を有する放射線を受け、かつ測定する、装置。 - 請求項59において、
前記診断システムは、3〜11μmの波長を有する放射線を受け、かつ測定する、装置。 - 請求項17において、
前記診断システムは検出器アレイを含み、
前記検出器アレイは、前記基板に存在する前記検出器および膜に使用される波長に対してブリュースター角にて、前記加熱された基板を観察するように配置された、装置。 - 請求項62において、
前記診断システムは、0.5〜0.8μmの波長を有する放射線を受け、かつ測定する、装置。 - 請求項62において、
前記診断システムは、3〜11μmの波長を有する放射線を受け、かつ測定する、装置。 - 請求項1において、
前記基板上で前記放射線ビームを小さいサイズへと縮小させるビーム形成システムと、
前記基板から反射された放射線を受け、かつ測定するように配置された、前記ステージに隣り合う放射線モニタと、
1以上のチップを含む、限られた領域において、前記小さいサイズにされた放射線ビームを前記基板の上方で走査するように構成された走査システムと、
を含み、
前記放射線モニタは、前記限られた領域において、反射率の変化を示す放射線を受ける、装置。 - 請求項1において、
前記基板上で前記放射線ビームを小さいサイズへと縮小させるビーム形成システムと、
前記基板から反射される放射線を受け、かつ測定するように配置された、前記ステージに隣り合う放射線モニタと、
1以上のチップを含む、限られた領域において、前記小さいサイズにされた放射線ビームを前記基板の上方で走査するように構成された走査システムと、
を含み、
前記小さいサイズにされた放射線ビームは、前記基板上に存在する膜に対してブリュースター角にて前記基板に入射し、
前記放射線モニタは、前記限られた領域において、反射率の変化を示す放射線を受ける、装置。 - 請求項1において、
前記診断システムはさらに、
前記基板に存在する検出器および膜に使用される波長に対してブリュースター角にて、前記基板の加熱された領域を観察するように配置された検出器と、
1以上のチップを含む、限られた領域において、前記基板の上方で前記第2の放射線ビームを走査する走査システムと、
を含み、
前記基板の限られた領域の上方で、前記第2の放射線ビームが走査されると、前記検出器は、前記第2の放射線ビームによって生じた温度変化を示す放射線を受ける、装置。 - 請求項67において、
前記診断システムは、0.5〜0.8μmの波長を採用する、装置。 - 請求項67において、
前記診断システムは、3〜11μmの波長を採用する、装置。 - 請求項1において、
前記診断システムはさらに、
前記基板に存在する検出器および膜に使用される波長に対してブリュースター角にて、前記基板の加熱された領域を観察するように配置された検出器と、
1以上のチップを含む、限られた領域において、前記第2の放射線ビームの波長および前記基板上に存在する膜に対してブリュースター角にて、前記基板の上方で前記第2の放射線ビームを走査する走査システムと、
を含み、
前記走査システムが前記基板の限られた領域の上方を走査すると、前記検出器は、前記第2の放射線ビームによって生じた温度変化を示す放射線を受ける、装置。 - 請求項70において、
前記診断システムは、0.5〜0.8μmの波長を採用する、装置。 - 請求項70において、
前記診断システムは、3〜11μmの波長を採用する、装置。 - 請求項1において、
前記診断システムはさらに、
前記基板に存在する検出器および膜に使用される波長に対してブリュースター角にて、前記基板の加熱された領域を観察するように配置された検出器アレイと、
1以上のチップを含む、限られた領域において、前記基板の上方で前記第2の放射線ビームを走査する走査システムと、
を含み、
前記限られた領域の上方で、前記第2の放射線ビームが走査されると、前記検出器は、前記第2の放射線ビームによって生じた温度変化を示す放射線を受ける、装置。 - 請求項1において、
前記基板上に存在する膜に対してブリュースター角にて、前記第2の放射線ビームを前記基板に入射させるビーム位置決めシステムをさらに含み、
前記診断システムは、
前記基板に存在する検出器および前記膜に使用される波長に対してブリュースター角にて、前記基板の加熱された領域を観察するように配置された検出器アレイと、
1以上のチップを含む、限られた領域において、前記基板の上方で前記第2の放射線ビームを走査する走査システムと、
を含み、
前記基板の限られた領域の上方で、前記第2の放射線ビームが走査されると、前記検出器は、前記第2の放射線ビームによって生じた温度変化を示す放射線を受ける、装置。 - 請求項46において、
前記放射線ビームは、レーザダイオードアレイによって生じる、装置。 - 請求項75において、
前記レーザダイオードアレイからの前記放射線ビームの波長は、0.6〜1.5μmである、装置。
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