JP2006345003A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006254027A JP4481284B2 (ja) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | 半導体装置の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006254027A JP4481284B2 (ja) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | 半導体装置の作製方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8307443A Division JPH10135475A (ja) | 1996-10-31 | 1996-10-31 | 半導体装置およびその作製方法 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009234439A Division JP4481361B2 (ja) | 2009-10-08 | 2009-10-08 | 半導体装置 |
JP2010032871A Division JP4628485B2 (ja) | 2010-02-17 | 2010-02-17 | 薄膜トランジスタの作製方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006345003A JP2006345003A (ja) | 2006-12-21 |
JP2006345003A5 true JP2006345003A5 (hu) | 2009-11-26 |
JP4481284B2 JP4481284B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=37641657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006254027A Expired - Fee Related JP4481284B2 (ja) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | 半導体装置の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4481284B2 (hu) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100875432B1 (ko) | 2007-05-31 | 2008-12-22 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 다결정 실리콘층의 제조 방법, 이를 이용하여 형성된박막트랜지스터, 그의 제조방법 및 이를 포함하는유기전계발광표시장치 |
KR100889626B1 (ko) | 2007-08-22 | 2009-03-20 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막트랜지스터, 그의 제조방법, 이를 구비한유기전계발광표시장치, 및 그의 제조방법 |
KR100889627B1 (ko) | 2007-08-23 | 2009-03-20 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막트랜지스터, 그의 제조방법, 및 이를 구비한유기전계발광표시장치 |
JP2009260327A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-11-05 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 薄膜半導体装置およびその製造方法 |
KR100982310B1 (ko) | 2008-03-27 | 2010-09-15 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막트랜지스터, 그의 제조방법, 및 이를 포함하는유기전계발광표시장치 |
KR100989136B1 (ko) | 2008-04-11 | 2010-10-20 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막트랜지스터, 그의 제조방법, 및 이를 포함하는유기전계발광표시장치 |
KR101002666B1 (ko) | 2008-07-14 | 2010-12-21 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막트랜지스터, 그의 제조방법, 및 이를 포함하는유기전계발광표시장치 |
US8741702B2 (en) * | 2008-10-24 | 2014-06-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4788160A (en) * | 1987-03-31 | 1988-11-29 | Texas Instruments Incorporated | Process for formation of shallow silicided junctions |
JP3506445B2 (ja) * | 1992-05-12 | 2004-03-15 | 沖電気工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3152739B2 (ja) * | 1992-05-19 | 2001-04-03 | 株式会社日立製作所 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JPH0766426A (ja) * | 1993-08-27 | 1995-03-10 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JPH07135323A (ja) * | 1993-10-20 | 1995-05-23 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 薄膜状半導体集積回路およびその作製方法 |
JP2833468B2 (ja) * | 1994-02-17 | 1998-12-09 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JPH07283400A (ja) * | 1994-04-08 | 1995-10-27 | Nippon Steel Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
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2006
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