JP2006324504A - 太陽電池 - Google Patents

太陽電池 Download PDF

Info

Publication number
JP2006324504A
JP2006324504A JP2005146845A JP2005146845A JP2006324504A JP 2006324504 A JP2006324504 A JP 2006324504A JP 2005146845 A JP2005146845 A JP 2005146845A JP 2005146845 A JP2005146845 A JP 2005146845A JP 2006324504 A JP2006324504 A JP 2006324504A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
solar cell
substrate
finger electrode
finger
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005146845A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5301758B2 (ja
Inventor
Satoyuki Ikushima
聡之 生島
Naoki Ishikawa
直揮 石川
Hiroyuki Otsuka
寛之 大塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd, Shin Etsu Handotai Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP2005146845A priority Critical patent/JP5301758B2/ja
Publication of JP2006324504A publication Critical patent/JP2006324504A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5301758B2 publication Critical patent/JP5301758B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

【課題】基板表面の電極による太陽光の遮蔽が小さく高効率であり、酸浸漬等による電極剥がれを防止できて生産歩留まりの高い太陽電池を提供する。
【解決手段】PN接合が形成された半導体基板1と、半導体基板1の少なくとも片面上に櫛歯状に形成されたフィンガー電極2と、フィンガー電極2に接続するバスバー電極3を具備する太陽電池であって、フィンガー電極2が、少なくとも、バスバー電極3と接続する電極幅が一定の定幅部4と、定幅部4に接続する定幅部4よりも幅が広い幅広部5とを有するものであることを特徴とする太陽電池。
【選択図】 図1

Description

本発明は、少なくとも、PN接合が形成された半導体基板と、該半導体基板の少なくとも片面上に櫛歯状に形成されたフィンガー電極と、該フィンガー電極に接続するバスバー電極を具備する太陽電池であって、特に、フィンガー電極が、電極と基板との間の接触抵抗が低く、太陽光の遮蔽が小さい高効率の太陽電池に関する。
太陽電池には、一般的に、PN接合が形成された半導体基板の受光面上に、該半導体基板から電力を取り出すための櫛歯状のフィンガー電極と、該フィンガー電極に接続して電力を取り出すバスバー電極とが形成される。
高効率の太陽電池を得るために、基板の受光面上に形成されるフィンガー電極には、(1)基板から電力を取り出す際の障害となる、電極と基板との間の接触抵抗を低くすることと、(2)電極内の抵抗を低くして抵抗損失を減らすことと、(3)電極幅を細くして、基板に入射する太陽光の遮蔽を小さくすることが求められる。
その一方で、細いフィンガー電極を形成した場合には、電極と基板との接触面積が減少して、電極と基板の接着強度が低下してしまうという問題がある。
また、フィンガー電極は、基板上に導電性ペーストをスクリーン印刷して焼成することによって低コストで形成することができるが、この導電性ペーストで形成されたフィンガー電極と基板との接触抵抗は、一般的に、真空蒸着等で作製された場合に比べて大きい。そのため、導電性ペーストによって形成されたフィンガー電極と基板との接触抵抗を下げるために、電極形成後の太陽電池をフッ化水素酸等の酸に浸漬する方法がある(特許文献1、2参照)。
この方法における接触抵抗低減の原理は、明らかではないが次のような仮説が考えられている。
焼成後の導電性ペーストは、主に金属粒子とガラスフリットから構成され、内部に空孔を持つ多孔質の状態となっている。このガラスフリットは、金属粒子間や金属と基板間の接触を保つ接着剤としての役割を持つ。
しかし、一方でこのガラスフリットは不導体のために接触部分において接触抵抗の増大を引き起こしてもいる。
そこで、酸によってこの基板と電極界面付近におけるガラスフリットを溶解して除去することで、基板と電極内の金属粒子との接触点が増加するために、接触抵抗が低減すると言われている。
このように、酸浸漬によれば接触抵抗が低減できるが、接着剤としてのガラスフリットを溶解して除去することにもなるので、電極と基板との接着強度が低下して、基板からフィンガー電極の剥がれを誘発する。そのため、接触抵抗の低減幅が大きいものを安定的に得ることが困難であり、生産歩留まりが低いという問題がある。
また、電極と基板とは熱収縮率が相違するので、焼成後の電極と基板の間ではせん断もしくは引っ張りの応力が生じており、これによっても電極剥がれを助長している。
さらに効率向上の要求から、従来より細いフィンガー電極を形成することが求められており、電極と基板との接触面積が減少し、接触強度が低下して、一層剥がれが生じ易いという問題がある。
また、電極を剥がれにくくするために、基板表面にリアクティブイオンエッチング法で微細な突起を多数形成することで下地の基板の表面積を増加させる方法がある(特許文献3参照)が、線幅が150μm以下のフィンガー電極の剥がれを防止するためには不十分であった。
特開昭59−129477号公報 特開平9−213979号公報 特開2000−332279号公報
そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、基板表面の電極による太陽光の遮蔽が小さく高効率であり、酸浸漬等による電極剥がれを防止できて生産歩留まりの高い太陽電池を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明によれば、少なくとも、PN接合が形成された半導体基板と、該半導体基板の少なくとも片面上に櫛歯状に形成されたフィンガー電極と、該フィンガー電極に接続するバスバー電極を具備する太陽電池であって、前記フィンガー電極が、少なくとも、前記バスバー電極と接続する電極幅が一定の定幅部と、該定幅部に接続する該定幅部よりも幅が広い幅広部とを有するものであることを特徴とする太陽電池が提供される(請求項1)。
このように、フィンガー電極が、バスバー電極と接続する電極幅が一定の定幅部と、該定幅部よりも幅が広い幅広部とを有するものとすることにより、該幅広部における電極と基板との接触面積が他の箇所に比べて増加するため、接着強度が向上し、これにより、電極と基板との界面に印加されるせん断力や引っ張り応力に対する耐性が向上し、酸浸漬等による電極剥がれを防止できて、高効率の太陽電池の生産歩留まりを向上させることができる。また、幅広となるのは一部であるため、遮蔽による効率低下もほとんどなく、むしろ接触抵抗の低下等により効率を向上させることができる。
このとき、前記幅広部が、前記フィンガー電極の先端部に形成されたものであることが好ましい(請求項2)。
フィンガー電極の先端部は、特にフッ化水素酸等の酸の浸透量・浸透速度が大きいため非常に剥がれ易い。そのため、このように前記幅広部をフィンガー電極の先端部に形成することにより、電極剥がれを効果的に防止することができる。また、フィンガー電極の先端部は、基板からの電流が集中するため、このように前記幅広部を先端部に形成することにより、基板から集中する電流への抵抗を大きく低減することができ、より効果的に高効率の太陽電池の生産歩留まりを向上させることができる。
また、前記幅広部が、前記フィンガー電極の先端から2mmの範囲に形成されたものであることが好ましい(請求項3)。
このように幅広部を、特に剥がれ易い電極の先端から2mmの範囲に形成することにより電極剥がれを確実に防止することができる。また、先端から2mmの範囲に前記幅広部を形成することで、前記バスバー電極と接続する電極幅が一定の定幅部を長くして電極が太陽光を遮る面積を小さくすることができ、さらに高効率の太陽電池の生産歩留まりを向上させることができる。
さらに、前記幅広部の形状が、円状、楕円状、液滴状、多角形のいずれかの形状であることが好ましい(請求項4)。
このように幅広部の形状が、円状、楕円状、液滴状のいずれかの形状であることにより、酸浸漬の際に酸が集中的に作用する鋭角的な箇所がなく、剥がれ現象の開始点をなくすことができて、効果的に電極剥がれを防止することができる。また、前記幅広部の形状を多角形としてもよく、多角形状であれば形成し易く、かつ容易に、幅広部における電極と基板との接触面積を大きくすることができるため、効果的に電極剥がれを防止することができる。
また、前記バスバー電極と接続する定幅部の幅が、10〜150μmであることが好ましい(請求項5)。
このように定幅部の幅が10〜150μmであることにより、電極剥がれを防止できる程度に十分に広い基板との接触面積を有し、かつ、太陽光の遮断が十分に小さく狭い電極面積を有するものとなる。
さらに、前記幅広部が、最大で定幅部の1.1〜3.0倍の幅を有するものであることが好ましい(請求項6)。
このように幅広部が最大で定幅部の1.1〜3.0倍の幅を有するものとすることにより、幅広部における電極と基板との接触面積を大きくすることができて、かつ、電極が太陽光を遮る面積を小さく抑えることができるため、効果的に電極剥がれを防止することができるとともに発電効率を下げることもない。
また、前記フィンガー電極は、導電性ペーストが印刷され焼成されたものであることが好ましい(請求項7)。
このようにフィンガー電極を、導電性ペーストが印刷され焼成されたものとすることにより、低コストで、高効率の太陽電池の生産歩留まりを向上させることができる。また、導電性ペーストを用いてフィンガー電極を作製したときに剥がれの問題を生じやすいので、本発明が特に有効である。
さらに、前記半導体基板は、ガリウムをドープしたp型単結晶シリコン基板であることが好ましい(請求項8)。
このように半導体基板を、ガリウムをドープしたp型単結晶シリコン基板とすることにより、光劣化を生じることのない光電変換効率が非常に高い実用的な太陽電池とすることができる。
このように、本発明により、酸浸漬等による電極剥がれを防止できて、基板表面の電極による太陽光の遮蔽が小さく高効率である太陽電池の生産歩留まりを向上することが可能となった。特に、フッ化水素酸等の酸の浸透量・浸透速度が大きいために非常に剥がれ易いフィンガー電極の先端部からの電極剥がれを効果的に防止することができる。
PN接合が形成された半導体基板の受光面上に、導電性ペーストが櫛歯状に印刷され焼成されることにより電極が形成された太陽電池は、フィンガー電極と半導体基板との接触抵抗を下げるために酸浸漬が行われるが、酸浸漬された場合、電極と基板の接着強度が低下するため、基板からの電極の剥がれを誘発して、接触抵抗の低減幅が大きいものを安定的に得ることは困難であり、生産歩留まりが低いという問題があった。
これに対して、電極と基板との接触面積を大きくすることが考えられるが、単に大きくしたのでは光を遮蔽してしまい太陽電池の変換効率を低下させてしまう。
そこで、本発明者等は、鋭意研究を重ね、少なくとも、PN接合が形成された半導体基板と、該半導体基板の少なくとも片面上に櫛歯状に形成されたフィンガー電極と、該フィンガー電極に接続するバスバー電極を具備する太陽電池であって、前記フィンガー電極が、少なくとも、前記バスバー電極と接続する電極幅が一定の定幅部と、該定幅部に接続する該定幅部よりも幅が広い幅広部とを有する太陽電池とすることにより、該幅広部における電極と基板との接触面積が他の箇所に比べて増加して接着強度が向上し、電極と基板との界面に印加されるせん断力や引っ張り応力に対する耐性が向上して、酸浸漬等による電極剥がれを防止できて、かつ、定幅部を設けることで幅広部は一部とすることによって、遮光を最小限にとどめ、高効率の太陽電池の生産歩留まりを向上させることができることを見出した。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図1〜図3は、本発明に係る太陽電池の一例であって、フィンガー電極の先端部に幅広部が形成されたものの図である。
本発明は、PN接合が形成された半導体基板1と、半導体基板1の少なくとも片面上に櫛歯状に形成されたフィンガー電極2と、フィンガー電極2に接続するバスバー電極3を具備する太陽電池であって、フィンガー電極2が、少なくとも、バスバー電極3と接続する電極幅が一定の定幅部4と、定幅部4に接続する定幅部4よりも幅が広い幅広部5とを有する太陽電池である。
半導体基板1は、ガリウムをドープしたp型単結晶シリコン基板であることが好ましく、これにより、製造する太陽電池が光劣化を生じない光電変換効率の非常に高い実用的なものとなる。まず、半導体基板からエッチングによりダメージ層を除去した後、反射防止のためのテクスチャ構造を形成した半導体基板にPN接合を形成することが好ましい。
PN接合の形成は、受光面側にリンなどのn型不純物を熱拡散によって行うのが好ましいが、塗布拡散もしくはイオン注入法によって行ってもよい。ここで、太陽光反射防止と表面保護のために、プラズマCVD法またはPVD法等によって、窒化膜を受光面上に形成することが好ましい。
フィンガー電極2は、PN接合が形成された半導体基板1の受光面上に、導電性ペーストを櫛歯状にスクリーン印刷して焼成されることにより形成されることが好ましい。これにより、低コストで高効率の太陽電池を生産することができる。
バスバー電極3は、櫛歯状のフィンガー電極2の根元に接続するように形成されることが好ましい。さらに、バスバー電極3もフィンガー電極2と同様に半導体基板1の受光面上に、導電性ペーストをスクリーン印刷して焼成されることにより形成されることが好ましく、フィンガー電極2と一体的に同時に印刷され焼成されることにより形成されると、製造コストを抑制できるので、さらに好ましい。
定幅部4は、バスバー電極3と接続するフィンガー電極2の電極幅が一定の部分であるが、その幅が10〜150μmであることにより、電極剥がれを防止できる程度に十分に広い基板との接触面積を有し、かつ、太陽光の遮断が十分に小さく狭い電極面積を有するものとなる。さらに、定幅部4の幅は、50〜120μmであればより好ましく、80〜100μmであればさらに好ましい。
幅広部5は、フィンガー電極2の定幅部4に接続して定幅部4よりも幅が広い部分であり、定幅部4等の他の箇所に比べて基板との接触面積が増加するため、接着強度が向上する。これにより、電極と基板との界面に印加されるせん断力や引っ張り応力に対する耐性が向上し、酸浸漬等による電極剥がれを防止できて、高効率の太陽電池の生産歩留まりを向上させることができる。
フィンガー電極2の先端部は、特にフッ化水素酸等の酸の浸透量・浸透速度が大きいため非常に剥がれ易い。そのため、このように幅広部5を先端部に形成することにより、電極剥がれを効果的に防止することができる。
また、フィンガー電極2の先端部は、基板からの電流が集中するため、このように前記幅広部を先端部に形成することにより、基板から集中する電流への抵抗を大きく低減することができ、より効果的に高効率の太陽電池の生産歩留まりを向上させることができる。
さらに、フィンガー電極2の先端から2mmの範囲は、特に剥がれ易いため、この範囲に幅広部5を形成することにより、電極剥がれをより確実に防止することができる。また、先端から2mmの範囲に幅広部5を形成することで、バスバー電極3と接続する電極幅が一定の定幅部4を長くして電極が太陽光を遮る面積を小さくすることができ、さらに高効率の太陽電池の生産歩留まりを向上させることができる。
また、まれにフィンガー電極2の先端部以外の場所、例えば中央部付近で電極が剥がれて浮いてくる場合があるため、幅広部5は、フィンガー電極2の先端部以外の場所に形成されてもよい。さらにこの場合、より確実に電極剥がれを防止するために、幅広部5は、先端部および、先端部以外の所望場所の両方に形成されてもよい。
幅広部5の形状が、図1や図2のように、楕円状、液滴状、あるいは円状のいずれかの形状であることにより、基板との接触面積を広くしつつ、酸浸漬の際に酸が集中的に作用する鋭角的な箇所がなく、剥がれ現象の開始点をなくすことができて、効果的に電極剥がれを防止することができる。
円状の形状とすれば、最も滑らかな曲線となって剥がれ現象の開始点を効果的になくすことができる。また、図1のように、楕円状の形状にした場合、幅をとることなく効果的に基板との接触面積を広げることができる。さらに、図2のように、液滴状の形状とした場合、剥がれやすい先端により近い位置で基板との接触面積を広げることができる。
また、図3のように幅広部5の形状を多角形としてもよく、これにより、幅広部5における電極と基板との接触面積を確実に大きくすることができるため、効果的に電極剥がれを防止することができる。
なお、導電性ペーストを多角形の形状にスクリーン印刷する際、にじみや版の開口形状のダレによって、印刷形状の角部に丸みが生じるが、酸が集中して電極剥がれの原因となる鋭角的部分を解消することにもなるので、好ましい。
幅広部5は、最大で定幅部4の1.1〜3.0倍の幅を有するものとすることが好ましい。これにより、幅広部5によって電極と基板との接触面積を大きくして電極剥がれを防止しつつも、電極が太陽光を遮る面積を小さく抑えることができるため、高効率の太陽電池の生産歩留まりをより効果的に向上させることができる。
以上のような本発明の太陽電池の製造では、フィンガー電極を形成後に電極と基板との接触抵抗を下げるために、酸浸漬を行う。太陽電池の酸浸漬は、0.1〜10体積%のフッ化水素酸等の酸を含む水溶液に浸漬させることによって行うと、電極内に十分な量の酸を確実に浸漬させることができるため好ましい。浸漬時間としては、1秒から5分間程度が好ましい。
基板を浸漬させる酸としては、フッ化水素酸、臭化水素酸、DL−リンゴ酸、ステアリン酸、アジピン酸、サリチル酸、クエン酸、および乳酸などが電極腐食の問題を生じることなく優れた電気的特性を得ることができるので好ましい。特に、フッ化水素酸であれば、非常に優れた電気的特性を得ることができるのでさらに好ましく、また、臭化水素酸やDL−リンゴ酸であれば、高い電極強度を得ることができるので好ましい。
次に、半導体基板に付着した酸を水で洗い流す。ここでは、洗浄効果を高めるために揺動し、若しくは、超音波を印加しながら水洗するのが好ましい。そして、最後に半導体基板を乾燥させることにより、高効率の太陽電池を得ることができる。乾燥方法には、放置や温風、IPA乾燥などを用いてもよい。
本発明の太陽電池は、このような酸浸漬を行う際に生じる電極剥がれを防止できて、特にフィンガー電極の定幅部が狭く、その先端に幅広部を設けることで電極による太陽光の遮蔽が小さくて高効率である太陽電池の生産歩留まりを向上することが可能となった。特に、フッ化水素酸等の酸の浸透量・浸透速度が大きいために非常に剥がれ易いフィンガー電極の先端部からの電極剥がれを効果的に防止することができる。
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
(実施例、比較例)
III族元素のガリウムを不純物元素とするp型単結晶太陽電池用シリコン基板(100mm角、面方位{100}、基板厚300μm、抵抗率0.5Ωcm)を、水酸化カリウム水溶液によりエッチングしてダメージ層を取り除いた。
さらにIPAを混入した水酸化カリウム水溶液により、反射防止構造であるテクスチャ構造を形成した後、受光面側にPOCl液体ソースを利用した熱拡散によってV族元素のリンを不純物としたn領域を受光面に作製することにより、PN接合を形成した。
そして、太陽光反射防止と表面保護をかねてプラズマCVD法によって膜厚70nmの窒化膜を受光面上に形成した。
さらに、受光面と反対側の裏面に対して、アルミニウム粒子を含む導電性ペーストを全面に印刷した後、受光面に対し、銀粒子を含む導電性ペーストをフィンガー電極とバスバー電極を形成するためにスクリーン印刷した。
ここで、フィンガー電極の先端部に円状の幅広部を形成した。その大きさは、円の直径(幅広部の最大幅)が、300μm(実施例1)、150μm(実施例2)、110μm(実施例3)の3種類である。フィンガー電極の定幅部の幅は100μmとした。
また、比較のために、幅広部を形成せず、幅が100μmの定幅部のみのフィンガー電極を形成したものを用意した(比較例1)。
次に、基板を700℃で3分間焼成した。
最後に、太陽電池を濃度1%のフッ化水素酸に60秒間浸漬した後、純水でフッ化水素酸を洗い流し、太陽電池を乾燥させた。そして、ソーラシミュレータ(光強度:1kW/m、スペクトル:AM1.5グローバル)を用いて、作製した太陽電池の出力特性を測定した。得られた出力特性および、酸浸漬後のフィンガー電極の剥がれ発生確率を、表1に示す。
Figure 2006324504
以上の結果から、フィンガー電極の先端部に円状の幅広部を形成することで、剥がれの発生確率は大幅に低下した。特に、円の直径(幅広部の最大幅)が300μmの実施例1の場合は、剥がれが全く発生しなかった。
また、本発明によってフィンガー電極の剥がれが防止されるため、直列抵抗が低く、フィルファクタが増加した。その結果、太陽電池の変換効率を高くすることができた。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
例えば、上記ではフィンガー電極およびバスバー電極を導電性ペーストを用いてスクリーン印刷で形成する場合を例として説明したが、本発明はこれには限られず、フィンガー電極の先端で剥がれが生じやすいのは、真空蒸着等で形成した場合等でも同じであり、本発明を適用することによって、剥がれの発生率を低減できることは言うまでもない。
また、上記では、受光面側にだけフィンガー電極を形成する場合につき説明したが、両面に形成してもよく、本発明は受光面のみならず、裏面のフィンガー電極に適用してもよいし、効果を奏する。
本発明に係る太陽電池の一例であって、フィンガー電極の先端部に楕円状の幅広部が形成されたものの図である。 本発明に係る太陽電池の一例であって、フィンガー電極の先端部に液滴状の幅広部が形成されたものの図である。 本発明に係る太陽電池の一例であって、フィンガー電極の先端部に四角形状の幅広部が形成されたものの図である。
符号の説明
1…半導体基板、 2…フィンガー電極、 3…バスバー電極、
4…定幅部、 5…幅広部。

Claims (8)

  1. 少なくとも、PN接合が形成された半導体基板と、該半導体基板の少なくとも片面上に櫛歯状に形成されたフィンガー電極と、該フィンガー電極に接続するバスバー電極を具備する太陽電池であって、前記フィンガー電極が、少なくとも、前記バスバー電極と接続する電極幅が一定の定幅部と、該定幅部に接続する該定幅部よりも幅が広い幅広部とを有するものであることを特徴とする太陽電池。
  2. 前記幅広部が、前記フィンガー電極の先端部に形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池。
  3. 前記幅広部が、前記フィンガー電極の先端から2mmの範囲に形成されたものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の太陽電池。
  4. 前記幅広部の形状が、円状、楕円状、液滴状、多角形のいずれかの形状であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の太陽電池。
  5. 前記バスバー電極と接続する定幅部の幅が、10〜150μmであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の太陽電池。
  6. 前記幅広部が、最大で定幅部の1.1〜3.0倍の幅を有するものであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の太陽電池。
  7. 前記フィンガー電極は、導電性ペーストが印刷され焼成されたものであることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の太陽電池。
  8. 前記半導体基板は、ガリウムをドープしたp型単結晶シリコン基板であることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の太陽電池。
JP2005146845A 2005-05-19 2005-05-19 太陽電池 Active JP5301758B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005146845A JP5301758B2 (ja) 2005-05-19 2005-05-19 太陽電池

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005146845A JP5301758B2 (ja) 2005-05-19 2005-05-19 太陽電池

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006324504A true JP2006324504A (ja) 2006-11-30
JP5301758B2 JP5301758B2 (ja) 2013-09-25

Family

ID=37543955

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005146845A Active JP5301758B2 (ja) 2005-05-19 2005-05-19 太陽電池

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5301758B2 (ja)

Cited By (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009295715A (ja) * 2008-06-04 2009-12-17 Sharp Corp 光電変換装置およびその製造方法
KR100953618B1 (ko) * 2008-01-11 2010-04-20 삼성에스디아이 주식회사 태양 전지
JP2010186864A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 太陽電池の製造方法及び太陽電池
WO2012026358A1 (ja) * 2010-08-24 2012-03-01 三洋電機株式会社 太陽電池及びその製造方法
WO2013099039A1 (ja) * 2011-12-29 2013-07-04 三洋電機株式会社 太陽電池及びその製造方法
WO2013140615A1 (ja) * 2012-03-23 2013-09-26 三洋電機株式会社 太陽電池
WO2014069118A1 (ja) 2012-11-01 2014-05-08 信越化学工業株式会社 太陽電池及び太陽電池モジュール
EP2587546A3 (en) * 2011-10-27 2014-06-04 Motech Industries Inc. Solar cell and solar cell module
JP2014107403A (ja) * 2012-11-27 2014-06-09 Kaneka Corp 太陽電池およびその製造方法、ならびに太陽電池モジュール
CN104781936A (zh) * 2012-10-04 2015-07-15 喜瑞能源公司 具有电镀的金属格栅的光伏器件
JP2015130405A (ja) * 2014-01-07 2015-07-16 三菱電機株式会社 光起電力装置の製造方法
JP2015528645A (ja) * 2012-09-17 2015-09-28 アイメック・ヴェーゼットウェーImec Vzw めっき金属層のシリコンへの接着の改良方法
US9761744B2 (en) 2015-10-22 2017-09-12 Tesla, Inc. System and method for manufacturing photovoltaic structures with a metal seed layer
US9773928B2 (en) 2010-09-10 2017-09-26 Tesla, Inc. Solar cell with electroplated metal grid
US9800053B2 (en) 2010-10-08 2017-10-24 Tesla, Inc. Solar panels with integrated cell-level MPPT devices
US9842956B2 (en) 2015-12-21 2017-12-12 Tesla, Inc. System and method for mass-production of high-efficiency photovoltaic structures
US9865754B2 (en) 2012-10-10 2018-01-09 Tesla, Inc. Hole collectors for silicon photovoltaic cells
US9887306B2 (en) 2011-06-02 2018-02-06 Tesla, Inc. Tunneling-junction solar cell with copper grid for concentrated photovoltaic application
US9899546B2 (en) 2014-12-05 2018-02-20 Tesla, Inc. Photovoltaic cells with electrodes adapted to house conductive paste
US9947822B2 (en) 2015-02-02 2018-04-17 Tesla, Inc. Bifacial photovoltaic module using heterojunction solar cells
DE112016003818T5 (de) 2015-09-18 2018-05-24 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Photovoltaikerzeugungssystem und Verfahren zur Verwendung desselben
US10074755B2 (en) 2013-01-11 2018-09-11 Tesla, Inc. High efficiency solar panel
US10084107B2 (en) 2010-06-09 2018-09-25 Tesla, Inc. Transparent conducting oxide for photovoltaic devices
US10084099B2 (en) 2009-11-12 2018-09-25 Tesla, Inc. Aluminum grid as backside conductor on epitaxial silicon thin film solar cells
US10115838B2 (en) 2016-04-19 2018-10-30 Tesla, Inc. Photovoltaic structures with interlocking busbars
US10115839B2 (en) 2013-01-11 2018-10-30 Tesla, Inc. Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes
US10164127B2 (en) 2013-01-11 2018-12-25 Tesla, Inc. Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes
US10309012B2 (en) 2014-07-03 2019-06-04 Tesla, Inc. Wafer carrier for reducing contamination from carbon particles and outgassing
US10672919B2 (en) 2017-09-19 2020-06-02 Tesla, Inc. Moisture-resistant solar cells for solar roof tiles
US11190128B2 (en) 2018-02-27 2021-11-30 Tesla, Inc. Parallel-connected solar roof tile modules
WO2022255337A1 (ja) * 2021-05-31 2022-12-08 出光興産株式会社 光電変換素子、太陽電池モジュール及びパドル

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57117661U (ja) * 1981-01-12 1982-07-21
JPS59129477A (ja) * 1983-01-14 1984-07-25 Nec Corp 太陽電池素子の製造方法
JPH09213979A (ja) * 1996-02-07 1997-08-15 Sharp Corp 太陽電池セルおよびその製造方法
JP2000164902A (ja) * 1998-11-27 2000-06-16 Kyocera Corp 太陽電池
JP2005123447A (ja) * 2003-10-17 2005-05-12 Shin Etsu Handotai Co Ltd 太陽電池及びその製造方法
JP2005136148A (ja) * 2003-10-30 2005-05-26 Kyocera Corp 太陽電池素子および太陽電池素子の製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57117661U (ja) * 1981-01-12 1982-07-21
JPS59129477A (ja) * 1983-01-14 1984-07-25 Nec Corp 太陽電池素子の製造方法
JPH09213979A (ja) * 1996-02-07 1997-08-15 Sharp Corp 太陽電池セルおよびその製造方法
JP2000164902A (ja) * 1998-11-27 2000-06-16 Kyocera Corp 太陽電池
JP2005123447A (ja) * 2003-10-17 2005-05-12 Shin Etsu Handotai Co Ltd 太陽電池及びその製造方法
JP2005136148A (ja) * 2003-10-30 2005-05-26 Kyocera Corp 太陽電池素子および太陽電池素子の製造方法

Cited By (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100953618B1 (ko) * 2008-01-11 2010-04-20 삼성에스디아이 주식회사 태양 전지
US8399760B2 (en) 2008-01-11 2013-03-19 Samsung Sdi Co., Ltd. Solar cell having improved electrode structure reducing shading loss
JP2009295715A (ja) * 2008-06-04 2009-12-17 Sharp Corp 光電変換装置およびその製造方法
JP2010186864A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 太陽電池の製造方法及び太陽電池
US10084099B2 (en) 2009-11-12 2018-09-25 Tesla, Inc. Aluminum grid as backside conductor on epitaxial silicon thin film solar cells
US10084107B2 (en) 2010-06-09 2018-09-25 Tesla, Inc. Transparent conducting oxide for photovoltaic devices
JP5974300B2 (ja) * 2010-08-24 2016-08-23 パナソニックIpマネジメント株式会社 太陽電池及びその製造方法
WO2012026358A1 (ja) * 2010-08-24 2012-03-01 三洋電機株式会社 太陽電池及びその製造方法
US9773928B2 (en) 2010-09-10 2017-09-26 Tesla, Inc. Solar cell with electroplated metal grid
US9800053B2 (en) 2010-10-08 2017-10-24 Tesla, Inc. Solar panels with integrated cell-level MPPT devices
US9887306B2 (en) 2011-06-02 2018-02-06 Tesla, Inc. Tunneling-junction solar cell with copper grid for concentrated photovoltaic application
EP2587546A3 (en) * 2011-10-27 2014-06-04 Motech Industries Inc. Solar cell and solar cell module
JPWO2013099039A1 (ja) * 2011-12-29 2015-04-30 三洋電機株式会社 太陽電池及びその製造方法
WO2013099039A1 (ja) * 2011-12-29 2013-07-04 三洋電機株式会社 太陽電池及びその製造方法
JPWO2013140615A1 (ja) * 2012-03-23 2015-08-03 パナソニックIpマネジメント株式会社 太陽電池
CN104205351B (zh) * 2012-03-23 2016-10-12 松下知识产权经营株式会社 太阳电池
WO2013140615A1 (ja) * 2012-03-23 2013-09-26 三洋電機株式会社 太陽電池
CN104205351A (zh) * 2012-03-23 2014-12-10 三洋电机株式会社 太阳电池
DE112012006078B4 (de) 2012-03-23 2019-07-04 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Solarzelle
JP2015528645A (ja) * 2012-09-17 2015-09-28 アイメック・ヴェーゼットウェーImec Vzw めっき金属層のシリコンへの接着の改良方法
JP2015532535A (ja) * 2012-10-04 2015-11-09 シレボ, インコーポレイテッド 電気めっき金属グリッドを用いた光起電力装置
EP2904643B1 (en) * 2012-10-04 2018-12-05 SolarCity Corporation Solar cell with electroplated metal grid
CN104781936A (zh) * 2012-10-04 2015-07-15 喜瑞能源公司 具有电镀的金属格栅的光伏器件
US9865754B2 (en) 2012-10-10 2018-01-09 Tesla, Inc. Hole collectors for silicon photovoltaic cells
KR20150080920A (ko) 2012-11-01 2015-07-10 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 태양전지 및 태양전지 모듈
WO2014069118A1 (ja) 2012-11-01 2014-05-08 信越化学工業株式会社 太陽電池及び太陽電池モジュール
KR20200031700A (ko) 2012-11-01 2020-03-24 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 태양전지 및 태양전지 모듈
JP2014107403A (ja) * 2012-11-27 2014-06-09 Kaneka Corp 太陽電池およびその製造方法、ならびに太陽電池モジュール
US10074755B2 (en) 2013-01-11 2018-09-11 Tesla, Inc. High efficiency solar panel
US10164127B2 (en) 2013-01-11 2018-12-25 Tesla, Inc. Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes
US10115839B2 (en) 2013-01-11 2018-10-30 Tesla, Inc. Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes
JP2015130405A (ja) * 2014-01-07 2015-07-16 三菱電機株式会社 光起電力装置の製造方法
US10309012B2 (en) 2014-07-03 2019-06-04 Tesla, Inc. Wafer carrier for reducing contamination from carbon particles and outgassing
US9899546B2 (en) 2014-12-05 2018-02-20 Tesla, Inc. Photovoltaic cells with electrodes adapted to house conductive paste
US9947822B2 (en) 2015-02-02 2018-04-17 Tesla, Inc. Bifacial photovoltaic module using heterojunction solar cells
DE112016003818T5 (de) 2015-09-18 2018-05-24 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Photovoltaikerzeugungssystem und Verfahren zur Verwendung desselben
US10686082B2 (en) 2015-09-18 2020-06-16 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Photovoltaic generation system and method for using the same
US10181536B2 (en) 2015-10-22 2019-01-15 Tesla, Inc. System and method for manufacturing photovoltaic structures with a metal seed layer
US9761744B2 (en) 2015-10-22 2017-09-12 Tesla, Inc. System and method for manufacturing photovoltaic structures with a metal seed layer
US9842956B2 (en) 2015-12-21 2017-12-12 Tesla, Inc. System and method for mass-production of high-efficiency photovoltaic structures
US10115838B2 (en) 2016-04-19 2018-10-30 Tesla, Inc. Photovoltaic structures with interlocking busbars
US10672919B2 (en) 2017-09-19 2020-06-02 Tesla, Inc. Moisture-resistant solar cells for solar roof tiles
US11190128B2 (en) 2018-02-27 2021-11-30 Tesla, Inc. Parallel-connected solar roof tile modules
WO2022255337A1 (ja) * 2021-05-31 2022-12-08 出光興産株式会社 光電変換素子、太陽電池モジュール及びパドル

Also Published As

Publication number Publication date
JP5301758B2 (ja) 2013-09-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5301758B2 (ja) 太陽電池
TWI845484B (zh) 具p-型導電性的指叉式背接觸式太陽能電池及其製造方法和光伏打模組
JP5449849B2 (ja) 太陽電池およびその製造方法
TWI649883B (zh) Solar battery unit and method of manufacturing solar battery unit
JP2006339342A (ja) 太陽電池および太陽電池の製造方法
JP2009135338A (ja) 太陽電池及び太陽電池の製造方法
CN105247686A (zh) 太阳能电池单元及其制造方法、太阳能电池模块
JP2007214372A (ja) 太陽電池およびその製造方法
JP2007266262A (ja) インターコネクタ付き太陽電池、太陽電池モジュールおよび太陽電池モジュールの製造方法
JP5460860B2 (ja) 太陽電池素子およびその製造方法
CN104704639B (zh) 太阳能电池单元的制造方法
US11658251B2 (en) Solar cell, solar cell manufacturing system, and solar cell manufacturing method
TWI611589B (zh) 太陽電池及太陽電池模組
AU2011304166B2 (en) Solar cell and manufacturing method thereof
JP5375414B2 (ja) 太陽電池及びその製造方法
JP6741626B2 (ja) 高効率裏面電極型太陽電池及びその製造方法
JP4808994B2 (ja) 太陽電池の製造方法
JP4212292B2 (ja) 太陽電池及びその製造方法
JP2007266649A (ja) 太陽電池素子の製造方法
JP2002270864A (ja) 太陽電池及びその製造方法
JP2014127567A (ja) 太陽電池の製造方法
JP2011187906A (ja) 太陽電池素子およびその製造方法
JP5316491B2 (ja) 太陽電池の製造方法
JP5848417B1 (ja) 太陽電池及び太陽電池の製造方法
JP2015130405A (ja) 光起電力装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080402

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100428

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100518

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100708

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110419

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110617

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120313

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120507

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121218

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130129

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130604

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130620

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5301758

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250