JPH09213979A - 太陽電池セルおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 焼成された電極のハンダ被覆を必要とするこ
となくその電極を化学処理することによって高出力の太
陽電池セルを提供する。 【解決手段】 太陽電池セルの製造方法は、光電変換作
用を生じる結晶型半導体基板の表面上に金属ペーストを
スクリーン印刷して焼成することによって電極を形成
し、臭化水素酸，フッ化水素酸，ＤＬ−リンゴ酸，ステ
アリン酸，アジピン酸，サリチル酸，クエン酸，および
乳酸から選択された少なくとも１つを含む薬液によって
電極を化学処理する工程を含んでいる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は多結晶または単結晶
の太陽電池セルとその製造方法に関し、特に、太陽電池
セルの金属電極とその形成方法における改善に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】図８および図９は、従来の太陽電池セル
の製造工程を説明するための概略的な断面図である。

【０００３】まず、図８（Ａ）において、ミラー指数
（１００）の結晶面に平行な主面を有しかつ約０．４ｍ
ｍの厚さを有するｐ型シリコン基板１が用意される。こ
のシリコン基板１は数％の水酸化ナトリウムとイソプロ
ピルアルコールを含む約８０℃の水溶液中で約３０分間
エッチング処理され、基板表面の歪みが除去されるとと
もに、基板１の主面は図８（Ａ）中の丸印１Ａ内で拡大
されて示されているようなピラミッド状の凹凸形状にさ
れる。このエッチングはテクスチャーエッチングと呼ば
れ、ピラミッド状の凹凸形状１Ａは、基板１の主面にお
ける光反射を減少させて基板１内へ光を取入れる効率を
改善するものである。

【０００４】図８（Ｂ）においては、約１０００℃にお
ける約３０分間の熱処理によって、ｎ型不純物（一般に
はリン）を基板１から拡散させてｎ⁺ 層２を形成し、そ
れによって、ｐ型基板１とｎ⁺ 層２との間にｐｎ接合が
形成される。

【０００５】図８（Ｃ）において、公知のスプレー方法
を利用して、基板１の受光面となる前面上に金属酸化物
からなる反射防止膜３が形成される。

【０００６】図８（Ｄ）において、反射防止膜３を耐酸
テープ（図示せず）で覆った後に、フッ酸と硝酸の混合
液で約３０秒間エッチングすることによって、ｎ⁺ 拡散
層２のうちで基板１の背面と側面に形成された不要な部
分が除去される。

【０００７】図９（Ａ）において、銀ペーストとアルミ
ペーストを基板１の背面にスクリーン印刷して７００℃
〜８００℃で焼成することによって、背面銀電極４と背
面アルミ電極５が形成される。このとき同時に、ｐ⁺ 層
６が形成され、これはキャリアを効率的に収集するよう
に働く。

【０００８】図９（Ｂ）において、銀ペーストを反射防
止膜３上にスクリーン印刷して７００℃〜７５０℃で焼
成し、前面銀電極７が形成される。この焼成の間、銀ペ
ーストは反射防止膜３と反応して貫通し、ｎ⁺ 層２と接
合する。

【０００９】最後に図９（Ｃ）において、フラックスが
塗布された基板１が約１９０℃に加熱された銀入りハン
ダ（ＱＱＳ５７１Ｓｎ６２等）内に約３０秒間浸漬され
て、前面銀電極７上の前面電極ハンダ層８と背面銀電極
４上の背面電極ハンダ層９が形成される。その後、キシ
レン，トルエン，アセトン等の有機溶剤によって残留す
るフラックスを洗浄除去し、これによって太陽電池セル
が完成する。

【００１０】図１０（Ａ）と（Ｂ）は、こうして完成し
た太陽電池セルの前面と背面をそれぞれ示している。太
陽電池セルの前面においては、前面銀電極７の主電極部
とグリッド電極部のそれぞれを覆う主電極部ハンダ層８
ａとグリッド電極部ハンダ層８ｂとが観察される。ま
た、太陽電池セルの背面においては、背面アルミ電極５
の開口部に設けられた背面銀電極４を覆う背面電極ハン
ダ層９が観察される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】図８および図９に示さ
れているような製造方法によって得られる従来の太陽電
池セルにおいては、銀電極部、特に前面銀電極７がハン
ダで被覆されているので電気的特性に優れているが、前
面電極ハンダ層８を前面銀電極７上に均一に形成するた
めのハンダ温度やハンダ層から基板１を引出す速度の制
御が難しい。すなわち、場合によっては前面電極ハンダ
層８が前面銀電極７上に均一に形成されず、前面電極ハ
ンダ層８の被覆状態を各太陽電池セルごとに観察して不
具合の場合には補修する必要がある。また、銀電極上に
ハンダ層を被覆する工程においては基板１が急激に加熱
および冷却されるので、熱応力によって基板１が割れや
すく、太陽電池セルの歩留りが低下する原因となる。さ
らに、一般に用いられる６−４ハンダに基板１を浸漬す
れば、銀電極７がハンダ中に徐々に溶け込み、銀電極が
細い場合には消失する場合もあるので、銀を数％含む高
価なハンダ（ＱＱＳ５７１Ｓｎ６２等）が主として用い
られている。

【００１２】以上のような先行技術に鑑み、本発明は、
金属電極を化学処理することによりその金属電極をハン
ダで被覆する必要性を除去し、ハンダ被覆層を含まなく
ても高性能でかつ信頼性の高い太陽電池セルを提供する
ことを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の１つの態様によ
れば、太陽電池セルは、光電変換作用を生じる結晶型半
導体基板と、その半導体基板の表面上に金属ペーストを
スクリーン印刷して焼成することによって形成された電
極とを含み、その電極は臭化水素酸，フッ化水素酸，Ｄ
Ｌ−リンゴ酸，ステアリン酸，アジピン酸，サリチル
酸，クエン酸，および乳酸から選択された少なくとも１
つを含む薬液によって化学処理された表面を有すること
を特徴としている。

【００１４】この太陽電池セルにおいては、電極が適切
な薬液によって化学処理された表面を有しているので、
その電極はハンダで被覆される必要がなく、しかも高性
能で信頼性の高い出力特性を発揮することができる。

【００１５】本発明のもう１つの態様によれば、太陽電
池セルの製造方法は、光電変換作用を生じる結晶型半導
体基板を形成し、その半導体基板の表面上に金属ペース
トをスクリーン印刷して焼成することによって電極を形
成し、臭化水素酸，フッ化水素酸，ＤＬ−リンゴ酸，ス
テアリン酸，アジピン酸，サリチル酸，クエン酸，およ
び乳酸から選択された少なくとも１つを含む薬液によっ
て電極の表面を化学処理する工程を含むことを特徴とし
ている。

【００１６】この太陽電池セルの製造方法においては、
電極が適切な薬液によって化学処理されるので、電極を
ハンダによって被覆する工程を排除することができ、ハ
ンダ被覆工程における熱応力による太陽電池セルの損傷
やハンダ被覆の不具合などを心配する必要がなくなる。

【００１７】

【発明の実施の形態】従来、太陽電池セルの銀電極をハ
ンダで被覆する理由として、たとえば次の３つの理由
（Ａ１）〜（Ａ３）がある。

【００１８】（Ａ１） 銀電極をハンダで覆うことによ
って、銀電極の変色が軽減され得る。すなわち、ハンダ
が被覆されていない銀電極は、太陽電池セルが複数のセ
ルを含むモジュールに組立てられた後においても、透過
してきた水分によって変色することがある。

【００１９】（Ａ２） 複数の太陽電池セルを含むモジ
ュールを組立てる際には、セルとセルを接続するための
インタコネクタをハンダごてで接続する必要がある。こ
のとき、銀電極上にハンダが被覆されていれば、フラッ
クスを使用することなくハンダ付けが可能となるので、
インタコネクタの接続作業が簡単になる。

【００２０】（Ａ３） 銀電極がハンダで覆われること
によってその直列抵抗が低減し、太陽電池セルの効率が
高められる。

【００２１】ところで、最近では微細な前面電極を形成
することが太陽電池セルの高効率化のための必須の条件
となっており、また、スクリーン製版や電極印刷技術の
進歩によって５０〜１００ミクロンの細い幅を有する微
細電極も容易に形成され得るようになった。このような
微細電極では若干変色したとしても太陽電池セルの外観
を損なわない程度であり、電極の変色が太陽電池セルの
電気的特性の長期安定性に及ぼす影響が軽微であること
から、現在では上記理由（Ａ１）に関してハンダを被覆
しなくても問題にはならなくなってきている。さらに、
太陽電池セルの受光面側にある前面電極の主電極部は、
モジュールの組立の際にはインタコネクタが接続される
ので、外部から見えなくなる。

【００２２】さらにまた、インタコネクタを太陽電池セ
ルにハンダごてで接続する場合にも、非塩素系のフラッ
クスをインタコネクタの必要な箇所のみに限定使用して
（図２（Ａ）参照）フラックスの使用量を減らして用い
ることにより、簡易洗浄や無洗浄化が可能となるので、
上述の理由（Ａ２）についても問題にならなくなってき
ている。

【００２３】このような状況からして、電極をハンダで
被覆しなくても高効率の太陽電池セルが得られるなら
ば、ハンダ被覆の工程を省略できかつ歩留りも向上して
廉価な太陽電池セルを提供できることになる。

【００２４】しかし、銀電極をハンダで被覆することを
単に省略するだけでは、前述の理由（Ａ３）に関する問
題が生じる。

【００２５】このことに関連して、図１１は、従来の太
陽電池セルの図９（Ｂ）の製造段階における出力特性を
表わしている。図１１において、横軸は出力電圧（Ｖ）
を表わし、縦軸は出力電流（Ａ）を表わしている。図１
１に示された出力は、銀電極がハンダで被覆された図９
（Ｃ）のセルの出力と比べて４８％程度低いものであ
る。これは、ハンダが細いグリッド状前面電極（幅５０
〜１００μｍ）に被覆されていないのでグリッド電極の
直列抵抗が大きいことと、グリッド電極とシリコン基板
表面との接触抵抗が大きいことが原因であると推定され
る。しかし、銀電極の抵抗率が３×１０^-8Ωｍであるの
に対してハンダの抵抗率はそれより大きな１５×１０^-8
Ωｍであるので、電極部とシリコン基板表面との接触抵
抗が大きいことが、ハンダで被覆されていない電極を有
する太陽電池セルの出力低下の主要な原因であろうと推
定される。

【００２６】したがって、ハンダ被覆処理に代わる何ら
かの方法によって電極とシリコン基板表面との接触抵抗
を下げることができれば、従来のようなハンダ被覆が必
ずしも必要でないことが予想される。

【００２７】電極と基板表面との接触抵抗を下げる方法
としては、使用する銀ペースト中の銀の組成比率を高め
たり、銀ペースト中のガラスフリットの種類を変えた
り、焼成条件（炉内で半導体基板を輸送するベルトの速
度や焼成温度など）を最適化することが考慮され得る
が、ハンダ被覆処理された太陽電池セルと同一の電気特
性と電極の引張り強度を得ることは非常に難しい。

【００２８】したがって、本発明においては、電極焼成
後でハンダ被覆前の太陽電池セルを化学処理することに
よって電極とシリコン基板表面との接触抵抗を下げるこ
とにより、ハンダ被覆を必要とすることなく出力特性が
改善された太陽電池セルを提供しようとする。

【００２９】図１は、ハンダ被覆される前の図９（Ｂ）
の状態にある太陽電池セルを０．５％濃度の各種薬液の
いずれか１つ中で浸漬処理し、それを純水で洗浄して乾
燥した後に測定した太陽電池セルの電気的特性を示して
いる。図１において、横軸と縦軸はそれぞれ処理時間
（秒）と最大出力Ｐｍ（Ｗ）を表わしている。薬液とし
ては、臭化水素酸（ＨＢｒ），ＤＬ−リンゴ酸，フッ化
水素酸（ＨＦ），塩酸（ＨＣｌ），アンモニア，および
酢酸のいずれか１つを０．５％濃度で含む水溶液が用い
られた。図１からわかるように、いずれの薬液を用いて
も、適切な処理時間を選択すれば太陽電池セルの最大出
力Ｐｍが著しく改善される。

【００３０】しかし、各種薬液の中で、アンモニアにつ
いては化学処理後に電極表面にやや変色が認められてハ
ンダ付け性も悪化するが、臭化水素酸とＤＬ−リンゴ酸
については電極の外観上の変化もなくて優れた電気的特
性を得ることができる。

【００３１】図１の結果から、銀ペーストに含まれる銀
粉末の表面が銀電極の焼成中に酸化され、この酸化被膜
によってシリコン表面と銀電極との接触抵抗が高くなっ
ているために焼成後の太陽電池セルの最大出力が低くな
っているものと推定される。したがって、焼成後の太陽
電池セルの電気的特性を改善するためには、電極中の酸
化物被膜を溶解して金属粒子表面を回復させる薬液で処
理すればよいと考えられる。しかし、無機酸のうちで、
たとえば硝酸や硫酸は金属を酸化させたり硫化物に変化
させるので好ましくない。また、塩酸やリン酸のような
還元性の酸は、強い腐食性があるので好ましくない。

【００３２】図２は、太陽電池セルへのインタコネクタ
の接続を説明するための概略的な側面図である。図２
（Ａ）は本発明による太陽電池セルへのインタコネクタ
の接続を示し、図２（Ｂ）は従来の太陽電池セルへのイ
ンタコネクタの接続を示している。図２において、符号
１Ｓは前面電極を除く太陽電池セルの構成部分を表わし
ており、インタコネクタ１０はハンダで被覆されてい
る。図２（Ａ）において、薬液処理された前面電極７ａ
に対応して、インタコネクタ１０上にフラックス１１が
塗布される。この状態で、ハンダごてを用いてインタコ
ネクタ１０が薬液処理された前面電極７ａに接合され
る。他方、図２（Ｂ）に示された従来の太陽電池セルに
おいては、前面電極７はハンダ層８によって被覆されて
いる。この状態で、ハンダ被覆されたインタコネクタ１
０が前面電極７にハンダごてを用いて接合される。

【００３３】図３は、図２に示されているような方法に
よって太陽電池セルの前面電極にハンダ付けされた３ｍ
ｍ幅のインタコネクタに引張り力を加えることによっ
て、シリコン基板に対する前面電極の接合強度（電極強
度）を測定した結果を示している。図３（Ａ）に示され
ているように、インタコネクタ１０は太陽電池セル１Ｓ
の表面に対して４５°の角度で引張り力が加えられた。
図３（Ｂ）のグラフは、種々の薬液で処理された前面電
極についての電極引張り強度（ｇ）を表わしている。

【００３４】図３（Ｂ）から明らかなように、臭化水素
酸（ＨＢｒ）またはリンゴ酸を用いて処理された前面電
極７ａは図１に示されているような優れた電気的特性の
みならず、優れた電極引張り強度をも有していることが
わかる。フッ化水素酸（ＨＦ）で処理された太陽電池セ
ルについては、図１で示されているように優れた電気的
特性が得られるものの、薬液処理を長時間行なえば図３
（Ｂ）に示されているように電極強度が低下するという
問題がある。これは、銀ペースト中のガラスフリットが
フッ化水素酸によって部分的に溶解されて電極とシリコ
ン表面との接触抵抗が低下した結果として良好な電気的
特性が得られるものの、銀粉末をシリコン基板に固着さ
せる働きをするガラスフリットが必要以上に溶解するた
めに電極強度が低下するためであると考えられる。した
がって、フッ化水素酸を薬液として用いる場合には、フ
ッ化水素酸の濃度を低くしたり処理時間を短くすること
が好ましい。

【００３５】以上のことから、処理薬液としては、塩素
を含まない臭化水素酸，フッ化水素酸，ＤＬ−リンゴ
酸，ステアリン酸，アジピン酸，サリチル酸，クエン
酸，および乳酸などが電極腐食の問題を生じることなく
電気的特性を改善し得るので好ましい。特に、臭化水素
酸やＤＬ−リンゴ酸は水で洗浄することができ、かつ高
い電極強度をも得ることができるので信頼性の点でも好
ましい。

【００３６】以上からわかるように、本発明に従って太
陽電池セルの焼成された金属電極を化学処理して電極と
シリコン表面との接触抵抗を下げることによって、金属
電極上のハンダ被覆なしに高い出力を有する太陽電池セ
ルを得ることができる。この際に使用し得る化学薬剤
は、ハンダ付け用のフラックスの活性剤として一般に用
いられるステアリン酸，アジピン酸，サリチル酸，クエ
ン酸，乳酸，ＤＬ−リンゴ酸などの有機酸や臭化水素酸
やフッ化水素酸などの無機酸がある。そして、電極をハ
ンダ被覆しなくても高い出力の太陽電池セルが得られる
のは、これらの薬剤が電極に含まれる金属粉末表面の酸
化被膜を溶解したり還元して金属粉末表面を回復させる
ことにより、電極とシリコン表面との接触抵抗を下げる
からであると推測される。なお、一旦接触抵抗が下がっ
て高い出力が得られるようになった太陽電池セルは、電
気特性の経時変化を生じないことが恒温恒湿試験（温度
４５℃，湿度９５％，試験時間７２０時間）によって確
認されている。また、臭化水素酸やＤＬ−リンゴ酸など
は水によく溶けるので、流水で５〜１０分間洗浄するこ
とによって太陽電池セルにほとんど残留することがな
く、信頼性に問題を生じることもない。

【００３７】

【実施例】図４および図５は、本発明の一実施例による
太陽電池セルの製造工程を説明するための概略的な断面
図である。

【００３８】まず、図４（Ａ）において、ミラー指数
（１００）の結晶面に平行な主面を有しかつ約０．４ｍ
ｍの厚さを有するｐ型シリコン基板１が用意される。こ
のシリコン基板１は数％の水酸化ナトリウムとイソプロ
ピルアルコールを含む８０℃の水溶液中で約３０分間エ
ッチング処理され、基板表面の歪みが除去されるととも
に、基板１の主面は図４（Ａ）中の丸印１Ａ内で拡大さ
れて示されているようなピラミッド状の凹凸形状にされ
る。このエッチングはテクスチャーエッチングと呼ば
れ、ピラミッド状の凹凸形状１Ａは、基板１の主面にお
ける光反射を減少させて基板１内へ光を取入れる効率を
改善するものである。

【００３９】図４（Ｂ）においては、約１０００℃にお
ける約３０分間の熱処理によって、ｎ型不純物（一般に
はリン）を基板１から拡散させてｎ⁺ 層２を形成し、そ
れによって、ｐ型基板１とｎ⁺ 層２との間にｐｎ接合が
形成される。

【００４０】図４（Ｃ）において、公知のスプレー方法
を利用して、基板１の受光面となる前面上に金属酸化物
からなる反射防止膜３が形成される。

【００４１】図４（Ｄ）において、反射防止膜３を耐酸
テープ（図示せず）で覆った後に、フッ酸と硝酸の混合
液で約３０秒間エッチングすることによって、ｎ⁺ 拡散
層２のうちで基板１の背面と側面に形成された不要な部
分が除去される。

【００４２】図５（Ａ）において、銀ペーストとアルミ
ペーストを基板１の背面にスクリーン印刷して７００℃
〜８００℃で焼成することによって、背面銀電極４と背
面アルミ電極５が形成される。このとき同時に、ｐ⁺ 層
６が形成され、これはキャリアを効率的に収集するよう
に働く。

【００４３】図５（Ｂ）において、銀ペーストを反射防
止膜３上にスクリーン印刷して７００℃〜７５０℃で焼
成し、前面銀電極７が形成される。この焼成の間、銀ペ
ーストは反射防止膜３と反応して貫通し、ｎ⁺ 層２と接
合する。その後、基板１は、臭化水素酸を純水と混合し
た０．５％濃度の常温水溶液中に約２０秒間浸漬され
て、純水（５ＭΩ以上）にて洗浄される。洗浄された基
板１は温風にて乾燥され、これによって太陽電池セルが
完成する。

【００４４】図６は、図４および図５に示されたプロセ
スによって製造された太陽電池セルの前面と背面を示し
ている。図６（Ａ）は太陽電池セルの前面を示してお
り、前面電極の主電極部７ａとグリッド電極部７ｂ（幅
５０〜１００μｍ）のいずれもが、化学処理されていて
ハンダ被覆はされていない。図６（Ｂ）は太陽電池セル
の背面を示しており、アルミ電極層５にあけられた開口
を介してシリコン基板１に接触している背面銀電極４も
薬液処理されており、ハンダ被覆はされていない。

【００４５】図７は、図４および図５に示されたプロセ
スによって製造された太陽電池セルの出力特性を示して
いる。このグラフにおいて、横軸は出力電圧（Ｖ）を表
わし、縦軸は出力電流（Ａ）を表わしている。図７のグ
ラフと図１１のグラフとの比較からわかるように、図９
（Ｂ）に示された状態にある焼成されたままの電極を有
する従来の太陽電池セルの出力特性に比べて、本発明に
従って焼成後に化学処理された電極を有する太陽電池セ
ルの出力特性が著しく改善されていることが明らかであ
ろう。

【００４６】なお、以上の実施例では臭化水素酸が薬液
として用いられたが、臭化水素酸の代わりにＤＬ−リン
ゴ酸やクエン酸などの有機酸を用いることもできるのは
言うまでもなく、ＤＬ−リンゴ酸や臭化水素酸を活性剤
として含むフラックスを用いることもできる。ただし、
フラックスを用いる場合には、浸漬時間を長くしたり薬
剤濃度を濃くして、電気的特性と電極強度がともに高く
なるような処理条件を選択する必要がある。また、実施
例ではｎ⁺ ／ｐ／ｐ⁺ 型の太陽電池セルについて説明さ
れたが、本発明はｎ⁺ ／ｐ型の太陽電池セルにも適用し
得ることは言うまでもない。

【００４７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、焼成さ
れた電極をハンダで被覆しなくとも高い出力を得ること
ができる太陽電池セルを提供することができる。より具
体的には、以下のような効果を得ることができる。

【００４８】（Ｂ１） 高価なハンダ（ＱＱＳ５７１Ｓ
ｎ６２等）、電極のハンダ被覆のためのフラックス、お
よびハンダ被覆後のフラックスの洗浄のために用いられ
るキシレン，トルエン，アセトン等の有機溶剤が不要と
なるので、太陽電池セルの製造における大幅なコストダ
ウンを図ることができる。

【００４９】（Ｂ２） 高精度で温度制御し得るハンダ
装置や防爆タイプのフラックス洗浄装置のような高価な
製造装置の代わりに、より安価な化学処理装置や洗浄装
置を用いて太陽電池セルを製造することができるので、
設備投資額を軽減できることによる太陽電池セルのコス
トダウンを図ることができる。

【００５０】（Ｂ３） 電極をハンダ被覆する工程では
基板が急激に加熱および冷却されて割れやすくなるとと
もに、ハンダ，基板，および電極材料における相互間の
熱膨張係数の相違に起因する熱応力によっても基板が割
れやすくなることが太陽電池セルの歩留低下の要因にな
るが、本発明では常温での薬液処理が可能であって基板
に応力が加わることがないので、太陽電池セルの歩留り
が大きく改善されることになる。

【００５１】（Ｂ４） 電極をハンダ被覆する工程では
太陽電池セルの電極に含まれる銀がハンダ中に徐々に溶
け込むので数％の銀を含む高価なハンダが使用される
が、それでもハンダ層にセルを浸漬したときに電極に含
まれる銀が若干溶けて電極層が薄くなるとともに、熱ス
トレスによって電極の基板への接着強度が低下する。こ
れに対して、本発明では電極に含まれる銀が溶けだすこ
とはなく、熱ストレスを受けることもないので、電極の
基板への接着強度は従来のものに比べて高い強度を得る
ことも可能である。

【００５２】（Ｂ５） 本発明では電極がハンダ被覆さ
れることがないので、ハンダ被覆の不具合を太陽電池セ
ルごとに観察して補修する必要がなく、太陽電池セルの
検査工程をも低減することができる。

【００５３】（Ｂ６） 本発明によって製造された太陽
電池セルでは電極にハンダが被覆されていないので、セ
ル表面の凹凸が少なく、複数のセルをラミネートしてモ
ジュールに組立てる工程においてセルの割れを低減する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】種々の薬液によって化学処理された太陽電池セ
ルの最大出力を示すグラフである。

【図２】太陽電池セルへのインタコネクタの接続方法を
説明するための側面図である。

【図３】太陽電池セルの電極の引張り強度試験の方法と
その結果を示す図である。

【図４】本発明の一実施例による太陽電池セルの製造工
程を説明するための概略的な断面図である。

【図５】図４に続く工程を示す断面図である。

【図６】図４および図５の工程によって製造された太陽
電池セルの前面と背面を示す図である。

【図７】図４と図５の工程によって製造された太陽電池
セルの出力特性を表わすグラフである。

【図８】従来の太陽電池セルの製造工程の一例を説明す
るための断面図である。

【図９】図８に続く工程を示す断面図である。

【図１０】図８および図９の工程によって製造された太
陽電池セルの前面と背面を示す図である。

【図１１】図９（Ｂ）の状態における従来の太陽電池セ
ルの出力特性を表わすグラフである。

【符号の説明】

１ ｐ型シリコン半導体基板 １Ａ ピラミッド状の凹凸表面 ２ ｎ⁺ 拡散層 ３ 反射防止膜 ４ 背面銀電極 ５ 背面アルミ電極 ７ 前面銀電極 ７ａ，７ｂ 化学処理された前面銀電極 ８，８ａ，８ｂ 前面銀電極に被覆されたハンダ層 ９ 背面銀電極に被覆されたハンダ層 １０ インタコネクタ １１ ハンダ付け用フラックス

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光電変換作用を生じる結晶型半導体基板
   と、 前記半導体基板の表面上に金属ペーストをスクリーン印
   刷して焼成することによって形成された電極とを含み、 前記電極は臭化水素酸，フッ化水素酸，ＤＬ−リンゴ
   酸，ステアリン酸，アジピン酸，サリチル酸，クエン
   酸，および乳酸から選択された少なくとも１つを含む薬
   液によって化学処理された表面を有することを特徴とす
   る太陽電池セル。
2. 【請求項２】 前記電極は銀を含むことを特徴とする請
   求項１に記載の太陽電池セル。
3. 【請求項３】 光電変換作用を生じる結晶型半導体基板
   を形成し、 前記半導体基板の表面上に金属ペーストをスクリーン印
   刷して焼成することによって電極を形成し、 臭化水素酸，フッ化水素酸，ＤＬ−リンゴ酸，ステアリ
   ン酸，アジピン酸，サリチル酸，クエン酸，および乳酸
   から選択された少なくとも１つを含む薬液によって前記
   電極の表面を化学処理する工程を含むことを特徴とする
   太陽電池セルの製造方法。
4. 【請求項４】 前記電極は銀を含むことを特徴とする請
   求項３に記載の太陽電池セルの製造方法。
5. 【請求項５】 前記薬液はハンダ付け用フラックスであ
   ることを特徴とする請求項３に記載の太陽電池セルの製
   造方法。