JP5323827B2 - 光起電力装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
10 太陽電池セル
11 半導体層部
12 p型シリコン基板
13 n型拡散層
14 p+層
15 反射防止膜(窒化シリコン膜)
16 表銀グリッド電極
17 表銀バス電極
18 裏面銀電極
19 タブ電極
19a 張出部
20 反射層
31 マスク
51 アルミペースト
52 裏面用銀ペースト
53 表面用銀ペースト
54 アルミニウム層
56 アルミ銀合金部
60 横タブ電極
図1−1は、この発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの一例を示す上面図であり、図1−2は、図1−1の太陽電池セルの裏面図であり、図2は、図1−1のA−A断面図である。図4−3は、裏面銀電極付近のp+層(BSF層)14の形状を詳細に示す断面図である。この太陽電池セル10は、半導体基板としてのp型シリコン基板12と、このp型シリコン基板12の表面の導電型が反転したn型拡散層13と、裏面銀電極18の形成位置を除いた領域にアルミニウムを拡散させて形成される高濃度不純物を含んだp+層(BSF層)14と、を含む光電変換機能を有する半導体層部11と、この半導体層部11の受光面に設けられ入射光の反射を防止する反射防止膜15と、この半導体層部11で発電された電気を局所的に集電するために受光面に所定の方向に複数並行して設けられる表銀グリッド電極16と、表銀グリッド電極16で集電された電気を取り出すために表銀グリッド電極16にほぼ直交して設けられる表銀バス電極17と、外縁部のみがp+層(BSF層)14上の所定の位置に形成され、他はp型シリコン基板12上に直接に形成され、半導体層部11で発電された電気を集電する裏面銀電極18と、表銀バス電極17と裏面銀電極18の上面に設けられ、複数の太陽電池セル10を直列に接続するためのタブ電極19と、受光面側から入射し、半導体層部11を透過した光を半導体層部11に反射させ、裏面銀電極18が形成されたp+層14上の全面に形成される反射層20と、を備える。なお、表銀グリッド電極16と表銀バス電極17をまとめて表銀電極という。
実施の形態1では、図5−4に示されるように、太陽電池セルを40個直列にアセンブリした状態で、太陽電池セルをEVAなどによって封止しているが、反射層の材質によっては反射の効果は高いもののモジュール化した場合において、EVAとの接着強度が十分に得られない場合が発生する。そこで、この実施の形態2では、このような反射層を用いた場合においても、太陽電池セル裏面側とEVAとの接着強度が十分に得られる構造の太陽電池セルの構造とその製造方法について説明する。
Claims (10)
- 第1の導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の光の入射面側に第2の導電型の不純物が拡散された第1の拡散層と、
前記第1の拡散層上に形成される表面電極と、
前記半導体基板の光の入射面に対向する裏面の裏面銀電極の形成位置を除いた領域にアルミニウムを拡散させて形成される第1の導電型からなる第2の拡散層と、
外縁部のみが前記第2の拡散層上の所定の位置に形成され、他は前記半導体基板と直接に形成される前記裏面銀電極と、
前記裏面銀電極を形成した前記第2の拡散層上および前記裏面銀電極上に直接に形成される光を反射する絶縁性の材料からなる反射層と、
を備え、
前記裏面銀電極は、外縁部に形成されるアルミ銀合金部でのみ前記第2の拡散層と電気的に接続し、
前記反射層は、前記半導体基板と前記第1の拡散層を含む半導体層部における光電変換に寄与する波長領域の全てまたは一部を反射するアルミニウム粉末または酸化チタン粉末を含む絶縁膜であることを特徴とする光起電力装置。 - 前記反射層は、前記裏面銀電極を形成した前記第2の拡散層上の全面に形成されることを特徴とする請求項1に記載の光起電力装置。
- 前記反射層は、前記裏面銀電極を形成した前記第2の拡散層上の総面積の90%以上を覆うように形成されることを特徴とする請求項1に記載の光起電力装置。
- 第1の導電型の半導体基板の光の入射面側に第2の導電型の不純物を拡散させて、第1の拡散層を形成する第1の拡散層形成工程と、
前記第1の拡散層上に所定の形状の表面電極用ペーストを塗布し、前記半導体基板の光の入射面に対向する裏面上に所定の位置が開口した第1の導電型の元素であるアルミニウムを含む第1の導電型元素含有ペーストと、前記第1の導電型元素含有ペーストの開口部を覆うとともに前記開口部に接する周囲の前記第1の導電型元素含有ペーストと重なるように銀を含む裏面電極用ペーストを塗布するペースト塗布工程と、
前記ペーストを焼成し、前記半導体基板の裏面の前記第1の導電型元素含有ペーストの塗布領域であって裏面銀電極の形成位置を除いた領域に前記半導体基板よりも高い第1の導電型の不純物濃度を有する第2の拡散層と、拡散しなかった前記第1の導電型元素含有ペーストが焼成された第1の導電型不純物層と、を形成するとともに、前記第1の拡散層上に表面電極を形成し、前記半導体基板の裏面上に、外縁部のみ前記第2の拡散層上に接続し、他は前記半導体基板と直接に接続する裏面銀電極を形成する焼成工程と、
希フッ酸に前記表面電極と前記裏面銀電極とを形成した前記半導体基板を浸漬して、前記表面電極と前記裏面銀電極の表面側に析出した溶融ガラス成分とともに、前記第1の導電型不純物層を除去する除去工程と、
前記表面電極と前記裏面銀電極上にタブ電極を形成するタブ電極形成工程と、
前記タブ電極を形成した前記半導体基板の裏面上および前記裏面銀電極上に直接に、光を反射する絶縁性の材料からなる反射層を形成する反射層形成工程と、
前記タブ電極を形成した前記半導体基板を密封するように透明樹脂で挟む樹脂密封工程と、
を含み、
前記ペースト塗布工程で使用される前記第1の導電型元素含有ペーストは、ガラス粉を含まないまたは希フッ酸で除去可能なガラス粉を含み、
前記反射層形成工程では、前記半導体基板と前記第1の拡散層を含む半導体層部における光電変換に寄与する波長領域の全てまたは一部を反射するアルミニウム粉末または酸化チタン粉末を配合した塗料を前記反射層として形成することを特徴とする光起電力装置の製造方法。 - 前記ペースト塗布工程で使用される前記表面電極用ペーストは、銀を含むペーストであり、前記第1の導電型元素含有ペーストは、ガラス粉を含まないペーストであり、
前記除去工程では、1:10〜1:500の割合で純水によって希釈されたフッ酸を用いて、前記第1の導電型不純物層であるアルミニウム層を選択的に除去することを特徴とする請求項4に記載の光起電力装置の製造方法。 - 前記焼成工程で焼成された前記第1の導電型不純物層であるアルミニウム層は、JIS K5400−8.4.1またはJIS K5400−8.4.2に記載された試験に基づく値がH以下の柔らかい鉛筆によるすり傷が認められることを特徴とする請求項5に記載の光起電力装置の製造方法。
- 前記反射層形成工程では、前記裏面銀電極を形成した前記第2の拡散層上の全面に前記反射層を形成することを特徴とする請求項4から6のいずれか1つに記載の光起電力装置の製造方法。
- 前記反射層形成工程では、前記裏面銀電極を形成した前記第2の拡散層上の総面積の90%以上を覆うように前記反射層を形成することを特徴とする請求項4から6のいずれか1つに記載の光起電力装置の製造方法。
- 前記反射層形成工程は、
前記裏面銀電極を形成した前記第2の拡散層上に、前記第2の拡散層の総面積のうち10%未満の領域にマスクを形成する工程と、
前記マスクを含む前記第2の拡散層および前記裏面銀電極上に前記反射層を形成する工程と、
前記マスクを取り除く工程と、
を含むことを特徴とする請求項8に記載の光起電力装置の製造方法。 - 前記反射層形成工程では、前記塗料を噴射塗布またはスプレー塗布によって前記タブ電極を形成した前記半導体基板上に塗布することを特徴とする請求項4から9のいずれか1つに記載の光起電力装置の製造方法。
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