JP2007234884A - 太陽電池及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板10と、前記シリコン基板10の表面に形成された拡散層20と、前記拡散層20上に形成された絶縁膜30と、前記絶縁膜30上に設けられた焼成後暗色である導電性金属ペースト材料800を焼成することで前記拡散層20と電気的に接続するように形成された表面銀電極801と、前記シリコン基板10の裏面に形成された裏面アルミニウム電極61と、前記シリコン基板10の裏面に形成された裏面銀電極71とを設けた
【選択図】図1
Description
この発明の実施の形態1に係る太陽電池の製造方法について図1及び図2を参照しながら説明する。図1は、この発明の実施の形態1に係る太陽電池の製造方法を示す断面図である。また、図2は、この発明の実施の形態1に係る太陽電池の製造方法を示す平面図である。なお、図1の断面図は、図2の平面図において、グリッド電極に平行で、かつグリッド電極の間からみた断面を表し、断面図ではバス電極の断面は表れるが、グリッド電極の断面が表れていない(他の実施の形態の図面も同様である。)。また、以降では、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
この発明の実施の形態2に係る太陽電池の製造方法について図3及び図4を参照しながら説明する。図3は、この発明の実施の形態2に係る太陽電池の製造方法を示す断面図である。また、図4は、この発明の実施の形態2に係る太陽電池の製造方法を示す平面図である。
この発明の実施の形態3に係る太陽電池の製造方法について図5及び図6を参照しながら説明する。図5は、この発明の実施の形態3に係る太陽電池の製造方法を示す断面図である。また、図6は、この発明の実施の形態3に係る太陽電池の製造方法を示す平面図である。
この発明の実施の形態4に係る太陽電池の製造方法について図7及び図8を参照しながら説明する。図7は、この発明の実施の形態4に係る太陽電池の製造方法を示す断面図である。また、図8は、この発明の実施の形態4に係る太陽電池の製造方法を示す平面図である。
上記の実施の形態1〜4において、表面銀電極801を暗色化するために導電性金属ペースト材料800中に、炭素粉末を含有させたが、粉末である必要はまったく無く、粒子をはじめ、炭素含有材料であれば、その形態は任意であり、同様の効果を奏する。
上記の実施の形態1〜4において、表面銀電極801を暗色化し、かつある程度の低抵抗値を維持するために導電性金属ペースト材料800中に、炭素を含有させたが、炭素にこだわる必要は無く、たとえばRuO2、ルテニウム系多酸化物またはそれらの混合物の少なくとも一種である導電性粒子、或いはセル基板色を呈する顔料等を添加しても、同様の効果を奏する。
Claims (15)
- シリコン基板と、
前記シリコン基板の表面に形成された拡散層と、
前記拡散層上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた焼成後暗色である導電性金属ペースト材料を焼成することで前記拡散層と電気的に接続するように形成された表面銀電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面アルミニウム電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面銀電極と
を備えたことを特徴とする太陽電池。 - シリコン基板と、
前記シリコン基板の表面に形成された拡散層と、
前記拡散層上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた第1の導電性金属ペースト材料、及び前記第1の導電性金属ペースト上に設けられた焼成後暗色である第2の導電性金属ペースト材料を焼成することで前記拡散層と電気的に接続するように形成された表面銀電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面アルミニウム電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面銀電極と
を備えたことを特徴とする太陽電池。 - シリコン基板と、
前記シリコン基板の表面に形成された拡散層と、
前記拡散層上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた第1の導電性金属ペースト材料を焼成することで前記拡散層と電気的に接続するように形成された表面銀電極の一部である表面バス電極と、
前記絶縁膜上に設けられた焼成後暗色である第2の導電性金属ペースト材料を焼成することで前記拡散層と電気的に接続するように形成された表面銀電極の一部である表面グリッド電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面アルミニウム電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面銀電極と
を備えたことを特徴とする太陽電池。 - シリコン基板と、
前記シリコン基板の表面に形成された拡散層と、
前記拡散層上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた第1の導電性金属ペースト材料を焼成することで前記拡散層と電気的に接続するように形成された表面銀電極と、
前記第1の導電性金属ペースト上の一部分に設けられた焼成後暗色である第2の導電性金属ペースト材料とを焼成することで前記拡散層と電気的に接続するように形成された表面銀電極の一部である二層目表面グリッド電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面アルミニウム電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面銀電極と
を備えたことを特徴とする太陽電池。 - 前記第2の導電性金属ペースト材料は、炭素を有している
ことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の太陽電池。 - 炭素濃度が4〜50重量%である
ことを特徴とする請求項5記載の太陽電池。 - 前記炭素は、粉末である
ことを特徴とする請求項5記載の太陽電池。 - 前記第2の導電性金属ペースト材料は、炭素の粉末よりも粒子径が大きい金属粉末を有する
ことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の太陽電池。 - 前記第2の導電性金属ペースト材料は、RuO2、ルテニウム系多酸化物又はそれらの混合物の少なくとも一種である導電性粒子を含有している
ことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の太陽電池。 - シリコン基板と、
前記シリコン基板の表面に形成された拡散層と、
前記拡散層上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた焼成後セル基板色である導電性金属ペースト材料を焼成することで前記拡散層と電気的に接続するように形成された表面銀電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面アルミニウム電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面銀電極と
を備えたことを特徴とする太陽電池。 - シリコン基板と、
前記シリコン基板の表面に形成された拡散層と、
前記拡散層上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた第1の導電性金属ペースト材料を焼成することで前記拡散層と電気的に接続するように形成された表面銀電極の一部である表面バス電極と、
前記絶縁膜上に設けられた焼成後セル基板色である第2の導電性金属ペースト材料を焼成することで前記拡散層と電気的に接続するように形成された表面銀電極の一部である表面グリッド電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面アルミニウム電極と、
前記シリコン基板の裏面に形成された裏面銀電極と
を備えたことを特徴とする太陽電池。 - シリコン基板の表面に導電型を反転させた拡散層を形成し、前記拡散層上に反射防止膜を形成する太陽電池の製造方法であって、
前記反射防止膜上に、焼成後暗色である導電性金属ペースト材料をスクリーン印刷して乾燥し、800℃から850℃で数分から十数分間、ドライエア雰囲気中の近赤外炉中で焼成する工程と、
前記焼成後暗色である導電性金属ペースト材料が焼成中に前記反射防止膜を溶融・貫通し、前記拡散層と電気的な接触を取ることが可能な表面銀電極を形成する工程と
を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - シリコン基板の表面に導電型を反転させた拡散層を形成し、前記拡散層上に反射防止膜を形成する太陽電池の製造方法であって、
前記反射防止膜上に、第1の導電性金属ペーストをスクリーン印刷して乾燥する工程と、
前記第1の導電性金属ペースト上に、焼成後暗色である第2の導電性金属ペースト材料をスクリーン印刷して乾燥し、800℃から850℃で数分から十数分間、ドライエア雰囲気中の近赤外炉中で焼成する工程と、
前記第1及び第2の導電性金属ペースト材料が焼成中に前記反射防止膜を溶融・貫通し、前記拡散層と電気的な接触を取ることが可能な表面銀電極を形成する工程と
を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - シリコン基板の表面に導電型を反転させた拡散層を形成し、前記拡散層上に反射防止膜を形成する太陽電池の製造方法であって、
前記反射防止膜上に、第1の導電性金属ペーストをスクリーン印刷して乾燥する工程と、
前記反射防止膜上に、前記第1の導電性金属ペーストと重ならないよう、焼成後暗色である第2の導電性金属ペースト材料をスクリーン印刷して乾燥し、800℃から850℃で数分から十数分間、ドライエア雰囲気中の近赤外炉中で焼成する工程と、
前記第1及び第2の導電性金属ペースト材料が焼成中に前記反射防止膜を溶融・貫通し、前記拡散層と電気的な接触を取ることが可能な表面銀電極を形成する工程と
を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - シリコン基板の表面に導電型を反転させた拡散層を形成し、前記拡散層上に反射防止膜を形成する太陽電池の製造方法であって、
前記反射防止膜上に、第1の導電性金属ペーストをスクリーン印刷して乾燥する工程と、
前記第1の導電性金属ペースト上の一部分に、焼成後暗色である第2の導電性金属ペースト材料をスクリーン印刷して乾燥し、800℃から850℃で数分から十数分間、ドライエア雰囲気中の近赤外炉中で焼成する工程と、
前記第1及び第2の導電性金属ペースト材料が焼成中に前記反射防止膜を溶融・貫通し、前記拡散層と電気的な接触を取ることが可能な表面銀電極を形成する工程と
を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。
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