JP4556886B2 - 導電性ペースト及び太陽電池素子 - Google Patents
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Description
一導電型を呈する半導体基板の受光面側に逆導電型を呈する領域を形成し、その上に反射防止膜と表面電極を設け、前記受光面の反対側の面に裏面電極を設けた太陽電池素子の表面電極形成に用いられる導電性ペーストであって、銀粉末を100重量部、ガラスフリットを0.1〜10重量部、炭酸銀、酸化銀、酢酸銀から選ばれる少なくとも1種の銀化合物を金属銀換算の合計量で0.05〜3.0重量部、および有機ビヒクルを含有することを特徴とする。
前記銀化合物は、平均粒径5μm以下の粒子状であることを特徴とする。
一導電型を呈する半導体基板の受光面側に逆導電型を呈する領域を形成し、その上に反射防止膜と表面電極を設け、前記受光面の反対側の面に裏面電極を設けた太陽電池素子において、前記表面電極が、請求項1または2に記載された導電性ペーストを500〜900℃で焼付けることにより形成されたものであることを特徴とする。
本発明の導電性ペーストは、銀粉末100重量部に対して、ガラスフリットを0.1〜10重量部と、炭酸銀、酸化銀、酢酸銀のうちの少なくとも1種の銀化合物を金属銀換算の合計量で0.05〜3.0重量部配合し、有機ビヒクルに分散させたものである。
銀粉末としては特に制限はなく、球状銀粉末、フレーク状銀粉末、樹枝状銀粉末等、従来用いられているものが使用される。また、純銀粉末のほか、少なくとも表面が銀層からなる銀被覆複合粉末や、銀を主成分とする合金等を用いてもよい。銀粉末は、平均粒径が0.1〜10μmのものが好ましい。
銀粉末100重量部に対して硼珪酸鉛系ガラスフリットを5重量部と、表1に示すとおり平均粒径約3μmの炭酸銀粉末を金属銀換算で0.05〜4重量部を配合し、有機ビヒクル12重量部に分散させて導電性ペースト(試料1〜8)を作製した。銀粉末としては、平均粒径約2μmの球状粉末と平均粒径約3μmのフレーク状粉末との混合粉末を用いた。有機ビヒクルとしてはエチルセルロースのブチルカルビトール溶液を使用した。また、炭酸銀粉末を配合しない点以外は同様にして、導電性ペースト(試料9)を作製した。なお、試料8、9は本発明の範囲外である。
炭酸銀粉末の平均粒径を表1に示すとおりとし、炭酸銀の量を金属銀換算で0.3重量部とする点以外は同様にして、導電性ペースト(試料10〜12)を作製した。
炭酸銀粉末に代えて、平均粒径約2μmの酸化銀(Ag2O)粉末、および平均粒径約2μmの酢酸銀粉末を表1に示すとおりそれぞれ金属銀換算で0.005〜4重量部配合する点以外は同様にして、導電性ペースト(試料13〜22)を作製した。なお、試料17および試料22は本発明の範囲外である。
炭酸銀粉末に代えて、表1に示すとおり、平均粒径約1μmの酸化チタン(TiO2)粉末、平均粒径約2μmの酸化ビスマス(Bi2O3)粉末、平均粒径約1μmの酸化コバルト(Co2O3)粉末、平均粒径約1μmの酸化亜鉛粉末、平均粒径約3μmの酸化リン(P2O5)粉末をそれぞれ0.5重量部配合する点以外は同様にして、導電性ペースト(試料23〜27)を作製した。
試料1〜27の導電性ペーストを使用して、次のようにして太陽電池素子を製造した。
15cm×15cmの正方形のp型多結晶シリコン基板を半導体基板として用い、その一主面側にリンを拡散させたn型の領域(拡散層)を形成し、この上に反射防止膜として窒化シリコン膜を形成した。また、一主面の反対面に、アルミニウムペースト、次いで銀ペーストを常法で焼付して裏面電極を形成した。このシリコン基板の反射防止膜上に前記導電性ペーストを櫛型パターンでスクリーン印刷し、700℃で2分間焼成し、表面電極とした。
2 拡散層
3 反射防止膜
4 裏面電極
5 表面電極
Claims (3)
- 一導電型を呈する半導体基板の受光面側に逆導電型を呈する領域を形成し、その上に反射防止膜と表面電極を設け、前記受光面の反対側の面に裏面電極を設けた太陽電池素子の表面電極形成に用いられる導電性ペーストであって、銀粉末を100重量部、ガラスフリットを0.1〜10重量部、炭酸銀、酸化銀、酢酸銀から選ばれる少なくとも1種の銀化合物を金属銀換算の合計量で0.05〜3.0重量部、および有機ビヒクルを含有することを特徴とする導電性ペースト。
- 前記銀化合物は、平均粒径5μm以下の粒子状であることを特徴とする請求項1に記載の導電性ペースト。
- 一導電型を呈する半導体基板の受光面側に逆導電型を呈する領域を形成し、その上に反射防止膜と表面電極を設け、前記受光面の反対側の面に裏面電極を設けた太陽電池素子において、前記表面電極が、請求項1または2に記載された導電性ペーストを500〜900℃で焼付けることにより形成されたものであることを特徴とする太陽電池素子。
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