JP2006286600A - 発光表示装置及び発光表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に画像表示部と、前記画像表示部と電気的に連結される少なくとも一つの端子が形成されたパッド部を含む発光表示装置の製造方法において、前記画像表示部上に薄膜トランジスターと、前記薄膜トランジスターと電気的に連結されて第1電極層、発光層及び第2電極層を含む少なくとも一つの発光素子を形成する段階と、前記発光素子の第2電極層上部と前記パッド部上部に保護層を形成する段階と、前記保護層上部に前記画像表示部を封止する段階、及び少なくとも前記パッド部上に形成された前記保護層をとり除いて前記端子を露出させる段階とを含む。
【選択図】図1
Description
110;基板
120;画像表示部
130;パッド部
150;パネル
160;密封材
210;第1薄膜トランジスタ
230;第2薄膜トランジスタ
250;キャパシタ
270;データライン
271;電源ライン
290;発光素子
291;第1電極層
293;発光層
295;第2電極層
370;保護層
Claims (12)
- 基板上に画像表示部と;
前記画像表示部と電気的に連結される少なくとも一つの端子が形成されたパッド部を含む発光表示装置の製造方法において、
前記画像表示部上に薄膜トランジスターと;
前記薄膜トランジスターと電気的に連結されて第1電極層、発光層及び第2電極層を含む少なくとも一つの発光素子を形成する段階と;
前記発光素子の第2電極層上部と前記パッド部上部に保護層を形成する段階と;
前記保護層上部で前記画像表示部を封止する段階と;
少なくとも前記パッド部上に形成された前記保護層をとり除いて前記端子を露出させる段階と;
を含むことを特徴とする発光表示装置の製造方法。 - 前記保護層除去段階では前記パッド部上に形成された保護層を除去するとともに前記封止領域以外の領域に形成された前記保護層をとり除くことを特徴とする請求項1に記載の発光表示装置の製造方法。
- 前記保護層は、
無機膜または有機膜の中で少なくとも一つを用いることを特徴とする請求項1に記載の発光表示装置の製造方法。 - 前記保護層の厚さは、
60〜130nmの範囲で選択されることを特徴とする請求項3に記載の発光表示装置の製造方法。 - 前記端子を露出させる段階ではエッチング工程を用いて前記選択された保護層の厚さ以上エッチングすることを特徴とする請求項4に記載の発光表示装置の製造方法。
- 前記エッチング工程は、
湿式エッチングであることを特徴とする請求項5に記載の発光表示装置の製造方法。 - 前記湿式エッチングの時にバッファーオキサイドエッチャント(buffer oxide etchent:BOE)を用いることを特徴とする請求項6に記載の発光表示装置の製造方法。
- 前記保護層をとり除いた後、洗浄段階をさらに含むことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の発光表示装置の製造方法。
- 前記洗浄段階で、脱イオン水、アルコール系洗浄液及び中性洗剤の中で少なくとも一つを含む洗浄液を使用することを特徴とする請求項8に記載の発光表示装置の製造方法。
- 基板上に画像表示部と;
前記画像表示部と電気的に連結される少なくとも一つの端子が形成されたパッド部を含む発光表示装置において、
前記画像表示部上に形成された薄膜トランジスターと;
前記薄膜トランジスターと電気的に連結されて第1電極層、発光層及び第2電極層を含む少なくとも一つの発光素子と;
前記端子が露出するように前記発光素子の上部と前記パッド部上部に形成される保護層と;
前記画像表示部上に前記発光素子を取り囲むように形成された密封パネルと;
を含むことを特徴とする発光表示装置。 - 前記保護層は、
無機膜または有機膜の中で少なくとも一つを用いることを特徴とする請求項10に記載の発光表示装置。 - 前記保護層は、
60〜130nmの範囲で選択されることを特徴とする請求項11に記載の発光表示装置。
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